DE19946198A1 - Dickschichtschaltung mit temperaturabhängigen Widerständen und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Dickschichtschaltung mit temperaturabhängigen Widerständen und Verfahren zu ihrer Herstellung

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Abstract

In einer Dickschichtschaltung mit temperaturabhängigen Widerständen und mit Schaltungsfunktionseinheiten verbindenden Leiterbahnen (2) auf einem isolierenden Substrat (1) sind die temperaturabhängigen Widerstände in den Leiterbahnen (2) integriert.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Dickschichtschaltung mit temperaturabhängigen Widerständen nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Verfahren zu ihrer Herstel­ lung nach Patentanspruch 10.
Bisher wurden in Dickschichtschaltungen mit temperaturabhän­ gigen Widerständen diese Widerstände als diskrete Elemente in die Schaltung eingekoppelt. Dies bedeutet für den Anwender von Dickschichtschaltungen einen zusätzlichen Bestückungsauf­ wand, wenn beispielsweise neben diskreten induktiven Kompo­ nenten, wie etwa Ferrit-Kernen, daß auch die temperaturabhän­ gigen Widerstände diskret in die Schaltung eingefügt werden müssen. In Bestückungsautomaten müssen dann auch für die tem­ peraturabhängigen Widerstände eigene Bestückungsvorrichtungen vorgesehen werden.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Möglichkeit anzugeben, mit der temperaturabhängige Elemente direkt in eine Dickschichtschaltung eingefügt werden können.
Diese Aufgabe wird bei einer Dickschichtschaltung der gat­ tungsgemäßen Art erfindungsgemäß durch die Maßnahme nach dem kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 gelöst.
Ein Verfahren zur Herstellung einer erfindungsgemäßen Dick­ schichtschaltung ist Gegenstand des Patentanspruchs 10.
Weiterbildungen der Erfindung sowohl hinsichtlich der Schal­ tung als auch des Verfahrens sind Gegenstand entsprechender Unteransprüche.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispie­ len gemäß den Figuren der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt:
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Dickschichtschaltung mit einer homogenen Leiterbahn mit temperaturabhängigem Wider­ standsverhalten;
Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel einer Dickschichtschaltung mit Abschnitten einer Leiterbahn mit temperaturabhängigem Wider­ standsverhalten sowie mit Abschnitten mit Ohm'schem Wider­ standsverhalten; und
Fig. 3 ein Ausführungsbeispiel einer Dickschichtschaltung mit einer Leiterbahn mit temperaturabhängigem Widerstandsverhal­ ten in Vielschichttechnologie.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 ist auf ein isolie­ rendes Substrat 1, beispielsweise aus Aluminiumoxid (Al2O3), eine Leiterbahn 2 aufgebracht, die insgesamt temperaturabhän­ giges Widerstandsverhalten, insbesondere Kaltleiterverhalten, besitzt.
Zur Herstellung einer derartigen Leiterbahn 2 in Dickschicht­ technologie wird ein elektrisch leitendes Metall, wie bei­ spielsweise Aluminium oder Silber mit einem feinkörnigen Ke­ ramikpulver mit temperaturabhängigen Widerstandseigenschaften versetzt und diese Mischung in Form einer Paste im Siebdruck auf das isolierende Substrat 1 aufgebracht. Handelt es sich bei der Keramik um ein Material mit Kaltleiterverhalten, so kann der pastenförmigen Mischung gleichzeitig ein sperr­ schichtabbauendes Dotierungsmaterial, wie beispielsweise Bor oder Zink zugesetzt werden. Das Keramikpulver kann beispiels­ weise durch Mahlen und anschließendes Sieben des Mahlgutes hergestellt werden. Zur Herstellung der fertigen Leiterbahn 2 wird die im Siebdruck aufgebrachte Paste mit dem isolierenden Substrat 1 gebrannt, wodurch ein oxidierender Einbrand ent­ steht.
Die im Siebdruck aufgebrachte Paste wird vorzugsweise mit Glasfluß versetzt, um eine gute mechanische Anbindung zwi­ schen Keramik und Metallpulver zu erhalten.
Beim Ausführungsbeispiel einer Dickschichtschaltung nach Fig. 2 sind in einer Leiterbahn 2 Abschnitte 2-2 mit temperaturab­ hängigen Widerstandseigenschaften vorgesehen, welche mit rein metallischen - Ohm'schen - Abschnitten 2-1 abwechseln. Die Abschnitte 2-2 mit temperaturabhängigen Widerstandseigen­ schaften sind ebenso herstellbar, wie dies vorstehend für das Ausführungsbeispiel nach Fig. 1 beschrieben wurde. Die Ab­ schnitte 2-1, 2-2 sind dabei mittels an sich bekannter Mas­ kierungstechniken herstellbar, was übrigens auch für eine Leiterbahnkonfiguration nach Fig. 1 gilt.
Fig. 3 zeigt ein Ausführungsbeispiel einer Dickschichtschal­ tung mit einer erfindungsgemäß ausgebildeten Leiterbahn in Vielschichttechnologie. Dabei ist auf ein isolierendes Sub­ strat 1 zunächst ein rein metallischer - Ohm'scher - Bereich 10, auf diesen ein eine Keramik mit temperaturabhängigem Wi­ derstandsverhalten enthaltender Bereich 11 und auf diesen wiederum ein rein metallischer - Ohm'scher - Bereich 12 auf­ gebracht. Für die Herstellung des eine Keramik mit tempe­ raturabhängigen Widerstandseigenschaften enthaltenden Berei­ ches 11 gelten die Ausführungen zu den Ausführungsbeispielen nach den Fig. 1 und 2 entsprechend.
Die erfindungsgemäße Integrationstechnik für temperaturabhän­ gige Widerstände in Dickschichtschaltungen eignet sich insbe­ sondere für Widerstände mit Kaltleiterverhalten. Es ist je­ doch auch denkbar, derartige Integrationstechniken auch für Widerstände mit Heißleiterverhalten anzuwenden. Bei Leiter­ bahnen oder Leiterbahnbereichen mit temperaturabhängigem Wi­ derstandsverhalten bestimmt das Mischungsverhältnis von Kera­ mikpulver und Metall in einer aufzudruckenden Paste den Wi­ derstandshub des temperaturabhängigen Widerstandes. Durch Wahl des Keramikmaterials kann das Ansprechverhalten variiert werden.

Claims (13)

1. Dickschichtschaltung mit temperaturabhängigen Widerständen und mit mit Schaltungsfunktionseinheiten verbundenen Leiter­ bahnen (2; 2.1, 2-2) auf einem isolierenden Substrat (1), dadurch gekennzeichnet, daß die tempera­ turabhängigen Widerstände mindestens in Teilen (2-2) der Lei­ terbahnen (2) integriert sind.
2. Dickschichtschaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Leiterbahnen (2) mit aus­ schließlich temperaturabhängigem Widerstandsverhalten vorge­ sehen sind.
3. Dickschichtschaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Leiterbahnen (2) mit metal­ lischen Abschnitten (2-1) mit rein Ohm'schen Widerstandsver­ halten und Abschnitte (2-2) mit temperaturabhängigem Wider­ standsverhalten vorgesehen sind.
4. Dickschichtschaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Leiterbahnen in Vielschicht­ technologie mit abwechselnden Schichten (10, 11, 12) mit rein Ohm'schen Widerstandsverhalten bzw. mit temperaturabhängigem Widerstandsverhalten vorgesehen sind.
5. Dickschichtschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß für die Lei­ terbahnen (2; 11) eine mit einer Kaltleiterkeramik versetzte siebdruckfähige Metallpaste mit sperrschichtabbauenden Eigen­ schaften Verwendung findet.
6. Dickschichtschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Ausgangs­ material für die siebdruckfähige Metallpaste Aluminium Ver­ wendung findet.
7. Dickschichtschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als Ausgangs­ material für die siebdruckfähige Metallpaste Silber Verwen­ dung findet.
8. Dickschichtschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die sieb­ druckfähige Metallpaste Glasfluß enthält.
9. Dickschichtschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das isolie­ rende Substrat (1) aus Aluminiumoxid besteht.
10. Verfahren zur Herstellung einer Dickschichtschaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekenn­ zeichnet, daß ein Keramikpulver mit temperaturabhängi­ gem Widerstandsverhalten in eine metallische Paste eingebaut und im Siebdruck auf ein isolierendes Substrat (1) aufge­ bracht wird, und daß das Substrat (1) mit der aufgedruckten Paste unter Bildung von Leiterbahnen (2; 2-1, 2-2; 10, 11, 12) gebrannt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Keramikpulver durch Mahlen einer Ke­ ramik und Sieben des Mahlgutes hergestellt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10 und/oder 11, dadurch gekennzeichnet, daß das Keramikpulver in einer für einen vorgegebenen Widerstandshub des temperaturabhängi­ gen Widerstandes notwendigen Menge in die metallische Paste eingebracht wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 10 bis 12, dadurch gekennzeichnet, in die das Kera­ mikpulver enthaltende Metallpaste Glasfluß eingebracht wird.
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DE3106136A1 (de) * 1981-02-19 1982-08-19 Draloric Electronic GmbH, 8672 Selb Verfahren zur herstellung polykristalliner keramischer kaltleiterkoerper
DE3740872A1 (de) * 1986-12-02 1988-06-09 Toshiba Kawasaki Kk Integrierte dickschichtschaltungsanordnung
DE19635276A1 (de) * 1996-08-30 1998-03-12 Siemens Matsushita Components Elektro-keramisches Vielschichtbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung

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Title
Ripka, G., Hajdu, I.: Hybridschaltungen, München: Franzis Verlag 1987, S. 260-262 *

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