DE19915473C1

DE19915473C1 - Verfahren und Vorrichtung zum Abbilden eines Objekts mittels energiereicher Strahlung auf ein Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel

Info

Publication number: DE19915473C1
Application number: DE19915473A
Authority: DE
Inventors: Peter Wellmann; Thomas Straubinger; Albrecht Winnacker
Original assignee: Sicrystal AG
Current assignee: Sicrystal AG
Priority date: 1999-04-06
Filing date: 1999-04-06
Publication date: 2001-04-05
Anticipated expiration: 2019-04-07

Abstract

Verfahren und Vorrichtungen zum Abbilden eines Objektes mittels das Objekt durchdringender energiereicher Strahlung auf einem für die Strahlung empfindlichen Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel (3) werden beschrieben, wobei das im Strahlenweg zwischen einer Strahlungsquelle (1) und dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel befindliche Objekt (2) gegenüber wenigstens der Strahlungsquelle von einer Abdeckung (7) mit in einer Querrichtung zum Strahlenweg abwechselnden Bereichen mit hoher strahlenabsorbierender Eigenschaft und solchen mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierender Eigenschaft abgedeckt ist. Beim Objekt kann es sich um einen in einem Tiegelofen (6) wachsenden Kristall handeln. Die Abdeckung kann durch eine elektrische Heizspule (7) zur Erwärmung des Tiegelofens bedingt sein. Um trotz der Abdeckung (7) ein Gesamtbild des Objektes auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel (3) zu schaffen, wird gemäß einer Alternative die Abdeckung relativ zum Strahlengang in Richtung des Pfeiles (A) bewegt, so dass ein ausgewählter Bereich des Objektes nacheinander jeweils zu einem Abdeckungsbereich mit hoher strahlenabsorbierender Eigenschaft und einem solchen mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierender Eigenschaft ausgerichtet wird, und der ausgewählte Bereich wenigstens während der Ausrichtung mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierender Eigenschaft wenigstens einmal der Strahlung ausgesetzt wird. Eine andere Alternative sieht die Auswertung des auf dem ...

Description

Die Erfindung betrifft Verfahren und eine Vorrichtung zum Abbilden eines Objektes mittels das Objekt durchdringender energiereicher Strahlung auf ein für die Strahlung empfindliches Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel gemäss den Oberbegriffen der unabhängigen Patentansprüche.

Ein wichtiges, jedoch nicht ausschliessliches Anwendungsgebiet der Erfindung ist die Beobachtung und Überwachung des Kristallwachstums in einem Tiegelofen während der Züchtung von Kristallen aus der Gasphase. Infolge der dabei zur Anwendung kommenden hohen Temperaturen sind geschlossene Tiegelöfen aus wärmebeständigem Material wie Graphit erforderlich, die demzufolge keine direkte optische Beobachtung des wachsenden Kristalles und der unmittelbaren Wachstumsumgebung erlauben. Die Beheizung des Tiegelofens erfolgt im allgemeinen auf induktivem Wege mittels einer um den Ofen herumgelegten Induktionsheizspule. Die Spule bedeutet für die Beaufschlagung des Kristalls mit einer Röntgenstrahlung zu dessen Abbildung auf einem Röntgenfilm oder dgl. ein Hindernis, indem das Material der Induktionsspule (z. B. Kupfer) häufig um mehrere Zehnerpotenzen stärker strahlenabsorbierend wirkt als das Tiegel- oder Kristallmaterial und die Spulenwindungen z. B. 50% oder mehr des Objektes gegenüber einer Strahlungsquelle abzudecken vermögen. Eine bekannte Methode (DD-45 638) zur Erzielung eines gleichmässigen Röntgenbildes trotz im Strahlenweg vor dem abzubildenden Objekt angeordneter strahlenabsobierender Schachtblenden besteht darin, die Schachtblenden nicht ortsfest zu halten, sondern während der Röntgenaufnahme zu bewegen. Es wurde festgestellt, dass mit dieser Methode zwar den Anforderungen in der Medizintechnik weitgehend entsprochen werden kann, nicht jedoch in der Kristallzüchtungstechnologie, die höhere Auflösungen erfordert, um Objekte, deren Abbildung durch die Gegenwart strahlenabsorbierender Induktionsspulen beeinflusst wird, zuverlässig darstellen und auswerten zu können.

Aufgabe der Erfindung ist es, Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Gattung zu schaffen, die die Gesamtabbildung und Auswertung mit einem geeigneten Auflösungsvermögen von mittels energiereicher Strahlung von durch strahlenabsorbierendem Material teilweise abgedeckten Objekten auf einem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel und eventuelle weitere messtechnische Auswertungen ermöglicht.

Diese Aufgabe wird durch die in den Patentansprüchen 1 und 5 aufgeführten alternativen Verfahren und einer Vorrichtung gemäss dem Patentanspruch 10 in überraschend einfacher und wirksamer Weise gelöst. Die Erfindung sieht vor, dass die auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabematerial geschaffenen Abbildungen des Objekts, sei es dass diese mit oder ohne Bewegung der strahlenabsorbierenden Bereiche erhalten wurden, mittels einer Abtasteinrichtung nach Hell/Dunkelfeldern abgetastet werden. Dies kann mit einer gewünschten Empfindlichkeit erfolgen und liefert gleichzeitig zur weiteren Auswertung geeignete Aussgangssignale. Durch diese Massnahmen lassen sich insbesondere zuverlässige Aussagen über das Wachstum von Kristallen in induktionsbeheizten Tiegelöfen während der Wachstumsphase gewinnen, wobei die gewonnenen Signale, wenn erwünscht, zur Steuerung der Wachstumsbedingungen im Tiegelofen herangezogen werden können.

Die Erfindung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher erläutert, die schematisch eine Gesamtobjektabbildungsvorrichtung gemäss einer Ausführungsform der Erfindung zeigt.

Obschon die Erfindung nachfolgend in Verbindung mit der Überwachung des Kristallwachstums in einem Tiegelofen beschrieben wird, versteht es sich, dass die Erfindung nicht auf dieses Anwendungsgebiet beschränkt ist, sondern immer dann zum Einsatz kommen kann, wenn es gilt, ein Objekt zur Beobachtung oder sonstigen Kontrolle mittels energiereicher Strahlung auf einem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel vollständig abzubilden, obschon das Objekt gegenüber einer Strahlungsquelle teilweise durch strahlungsabsorbierendes Material abgedeckt bzw. abgeschirmt ist, so dass eine vollständige Objektabbildung auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel nicht ohne weiteres erfolgen kann. Andere Anwendungsgebiete sind in der medizinischen Röntgenologie, Gepäckkontrolle auf z. B. Flughäfen, Werkstoffprüfung etc. Der Begriff "Objekt" umfasst daher jedwede Art von von energiereicher Strahlung, insbesondere γ-oder Röntgenstrahlung durchdringbaren räumlich definierten Gegenständen.

Der Aufbau einer Vorrichtung zur Abbildung eines Kristalles mittels Röntgenstrahlung gemäss einer Ausführungsform der Erfindung umfasst, wie in der Zeichnung dargestellt, eine γ- Strahlungsquelle 1, die einen grundsätzlich herkömmlichen Aufbau haben kann und zur Erzeugung von γ-Strahlung mit einer ausreichenden Energie von z. B. etwa 10 bis etwa 100 KV ausgelegt ist. Ferner umfasst sie ein für die von der Strahlungsquelle 1 ausgesandte Strahlung empfindliches Aufzeichnungsmittel 3, bei dem es sich ebenfalls um ein handelsübliches Material, wie z. B. einen Röntgenleuchtstofffilm, eine Röntgenleuchtstoffplatte, die beispielsweise von der Firma Fuji Photo Film Europe GmbH/Düssseldorf unter dem Handelsnamen Fuji Imaging Plate St-III, St-V, HR-III oder HR-V beziehbar sind, oder alternativ um ein Bildwiedergabegerät, z. B. eine CCD-Kamera, vorausgesetzt das Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel besitzt eine ausreichende Empfindlichkeit für die von der Strahlungsquelle abgegebene Strahlung, worauf nachfolgend noch näher eingegangen wird.

Im Strahlenweg zwischen der Strahlungsquelle 1 und dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 ist ferner ein abzubildendes Objekt 2 angeordnet, bei dem es sich im vorliegenden Fall um einen Kristall aus z. B. Siliciumkarbid (SiC) handelt, der in einem Tiegelofen 6 aus einem geeigneten Material, wie Graphit, aus der Gasphase bei hohen Temperaturen von z. B. 2000° bis 2500°C gezüchtet wird. Eine direkte optische Beobachtung des Kristallwachstums ist daher nicht möglich. Andererseits ist der Tiegelofen 6 für die von der Strahlungsquelle 1 abgegebene Strahlung, wenn auch unter gewisser Schwächung, grundsätzlich durchlässig.

Die für ein Kristallwachstum erforderlichen Temperaturen im Tiegelofen 6 werden bevorzugt auf induktivem Wege mittels einer elektrischen Induktionsheizspule 7 aufgebracht, die den Tiegelofen 6 aussenumfänglich in Abstand umgibt. Die Spule 7 bildet damit quasi ein Raster oder Gitter aus abwechselnden Windungsbereichen und windungsfreien Zwischenbereichen im Strahlenweg zwischen dem abzubildenden Objekt 2 und der Strahlungsquelle 1, so dass die Teile der Strahlung, die auf das Material, z. B. Kupfer, der Windungsbereiche der Spule 7 fallen, aufgrund der strahlenabsorbierenden Eigenschaft dieses Materials zu einem hohen Grad absorbiert werden. Dagegen werden diejenigen Teile der Strahlung, die auf die Zwischenbereiche der Spule 7 treffen, praktisch ungehindert zum Objekt 2 durchgelassen und können daher nach Durchtritt durch das Objekt 2 auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 ein Bild erzeugen. Dagegen wird derjenige Teil der Strahlung, der infolge der Absorption an den stark absorbierenden Bereichen der Spule 7 nicht oder nur mit verringerter Intensität auf das Objekt 2 fällt, auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 keine oder eine nur geringfügige Belichtung veranlassen, so dass die Abbildung des Objektes 2 auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 ohne die nachfolgend näher beschriebenen Massnahmen unvollständig wäre.

Das auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 geschaffene Objektbild kann mittels einer Abtasteinrichtung 4, z. B. eines Scanners, nach Hell/Dunkelfeldern abgetastet werden. Die Abtasteinrichtung 4 kann digitale für die Hell/Dunkelfelder kennzeichnende Ausgangssignale an eine Auswertungseinrichtung 5 liefern, die eine Auswertung des auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 erzeugten und mittels der Abtasteinrichtung 4 verarbeiteten Bildes in einer gewünschten Weise ermöglicht. Die Auswertungseinrichtung 5 kann beispielsweise Einzelbilder zu einem Gesamtbild zusammensetzen, das sich zur Darstellung auf einem Bildschirm oder dgl. eignet. Die Auswertungseinrichtung 5 kann auch dazu dienen, Steuersignale zur Steuerung der Kristallwachstumsbedingungen, z. B. der Temperatur des Tiegelofens 6, aufgrund der ermittelten Objektabbildung zu liefern. Ein Beispiel für eine geeignete Abtasteinrichtung 4 ist ein von der Firma Fuji Photo Film Europe GmbH/Düssseldorf unter dem Handelsnamen Image Reader Typ FCR-AC erhältlicher Scanner.

1. Verfahrensalternative

Die durch die Windungen der Spule 7 abgedeckten Bereiche des Objektes 2 können sichtbar gemacht und dadurch eine Gesamtabbildung des Objektes auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 4 erhalten werden, indem die Spule 7 während des Betriebes der Strahlungsquelle 1 in der in der Zeichnung durch den Doppelpfeil A angedeuteten Richtung quer zum Strahlenweg (in der Zeichnung vertikal nach oben oder nach unten) bewegt bzw. verschoben wird. Dadurch wird erreicht, dass der Teil der Strahlung, vgl. Bezugsziffer 8, der bislang auf die Zwischenbereiche der Spule 7 fiel, nach der Bewegung der Spule 7 nunmehr auf eine Spulenwindung trifft und dadurch entsprechend absorbiert bzw. geschwächt wird. Dagegen wird ein zuvor an einer Spulenwindung absorbierter Teil der Strahlung, vgl. Bezugszeichen 9, nunmehr zu einem Zwischenbereich der Spule 7 ausgerichtet und damit ungehindert an das Objekt 2 weitergeleitet. Die, übrigen Aufbauteile der Vorrichtung bleiben während der Bewegung der Spule 7 ortsfest. Es wird daher auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 4 nacheinander das gesamte Objekt 2 zur weiteren Auswertung abgebildet.

Die Bewegung der Spule 7 kann kontinuierlich oder diskontinuierlich erfolgen. Im ersten Fall wird die Strahlungsquelle 1 kontinuierlich betrieben und kontinuierlich sukzessive eine Abbildung des gesamten Objektes auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 4 geschaffen. Bei einem diskontinuierlichen Betrieb wird die Spule 7 bei abgeschalteter Strahlungsquelle 1 schrittweise um geeignete Wegstrecken von z. B. dem 0,5- bis 1,0-fachem Windungsabstand (oder einem Vielfachen davon) in der einen Querrichtung weiterbewegt und zwischen jedem Bewegungsschritt die Strahlungsquelle 1 vorübergehend kurzzeitig in Betrieb gesetzt, so dass sukzessive die Zwischenbereiche der Spule 7 zu sämtlichen Bereichen des Objektes 2 ausgerichtet zu liegen kommen und dadurch das gesamte Objekt 2 mit Strahlung beaufschlagt werden kann.

Wird als Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 4 ein Plattenmaterial verwendet, entsteht darauf die Abbildung des gesamten Objektes 2 ohne weiteres. Bei Verwendung eines Filmmateriales, ggf. in Verbindung mit einer CCD-Kamera, müssen die erhaltenen Einzelbilder mittels eines geeigneten Gerätes, z. B. Computers, zusammengesetzt werden, um ein Gesamtbild des Objektes 2 zu erhalten.

Die Strahlendosis, mit der das Objekt 2 zu beaufschlagen ist, sollte zwischen etwa 1 µGy und etwa 1 Gy, vorzugsweise bei etwa 1 mGy, liegen.

2. Verfahrensalternative

Eine für die Durchführung der zweiten Verfahrensalternative geeignete Vorrichtung unterscheidet sich von der vorbeschriebenen und in der Zeichnung dargestellten Alternative darin, dass die Spule ebenso wie die übrigen Aufbauteile der Vorrichtung stationär gehalten und eine Auswertungseinrichtung mit einstellbarer Empfindlichkeit vorgesehen ist. Für gleiche oder ähnliche Aufbauteile wie bei der vorbeschriebenen Alternative werden daher im folgenden die gleichen Bezugszeichen verwendet. Modifizierte Aufbauteile tragen dagegen den Zusatz "'".

Ein wesentlicher Bestandteil der Vorrichtung gemäss der zweiten Alternative ist eine modifizierte Bildabtasteinrichtung 4' für die Hell/Dunkelfelder des auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 geschaffenen Objektbildes, die eine Abtastung mit einer unterschiedlichen Empfindlichkeit ermöglicht. Die Empfindlichkeit der Bildabtasteinrichtung 4', bei der es sich vorzugsweise um einen Scanner handelt, kann mittels eines Fotomultipliers (nicht gezeigt) eingestellt werden, indem die Steuerspannung des Fotomultipliers verändert wird. Eine hohe Steuerspannung bewirkt eine hohe Empfindlichkeit, während eine niedrige Steuerspannung die Empfindlichkeit in geeigneter Weise herabsetzt. Ein geeigneter Scanner ist in "Nuclear Instruments and Methods in Physics Research", A 413 (1998), S. 175-184 beschrieben, worauf deshalb bezüglich weiterer Details Bezug genommen werden kann.

Das auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 durch einen Bestrahlungsvorgang geschaffene Objektbild wird mittels der Bildabtasteinrichtung 4' zunächst mit niedriger Empfindlichkeit nach Hell/Dunkelfeldern abgetastet. Dabei erscheinen die von den Windungen der Spule 7' abgedeckten Bereiche des Objektes 2 auf einer Auswertungseinrichtung 5 als dunkle nicht informative Felder und die nicht abgedeckten Bereiche als helle informative Felder. Letztere geben demzufolge Bereiche des abzubildenden Objektes wieder, die zu den windungsfreien Zwischenbereichen der Spule 7' ausgerichtet sind. Die Dunkelfelder werden bei der Auswertung vernachlässigt.

Im Anschluss an diesen ersten Abtastschritt wird eine weitere Abtastung desselben Bildes auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel 3 bei erhöhter Empfindlichkeit der Bildabtasteinrichtung 4' vorgenommen. Infolge der erhöhten Empfindlichkeit "sättigen" die Hellfelder des Bildes unter diesen Umständen die Bildabtasteinrichtung 4'. Diese Hellfelder werden bei der Auswertung vernachlässigt. Andererseits wird infolge der erhöhten Empfindlichkeit die in den Dunkelfeldern enthaltene Information nunmehr auswertbar, indem trotz der strahlenabsorbierenden Eigenschaft der Windungen der Spule 7' dennoch Strahlung in allerdings stark abgeschwächter Form die Windungen passieren kann und das Objekt 2 dadurch beaufschlagt wird. Die Dunkelfelder beinhalten demzufolge Informationen von Bereichen des Objektes, die durch die Windungen der Spule 7' abgedeckt sind. Die zur Auswertung herangezogenen Hell- und Dunkelfelder, die sich aus der Abtastung mit niedriger bzw. erhöhter Empfindlichkeit ergeben, werden anschliessend mittels der Auswertungseinrichtung 5 zu einem Bild zusammengesetzt, das eine Gesamtabbildung des Objektes 2 darstellt.

Es wurde festgestellt, dass die Strahlendosis, mit der das Objekt 2 bei der zweiten Alternative zu beaufschlagen ist, zwischen etwa 1 mGy und etwa 1 Gy, vorzugsweise zwischen etwa 50 und etwa 100 mGy betragen sollte. Ferner sollte der Empfindlichkeitsunterschied zwischen der ersten und zweiten Abtastung im Bereich von 1 : 2,5 bis 1 : 20, vorzugsweise bei etwa 1 : 10, liegen.

Claims

1. Verfahren zum Abbilden eines Objektes mittels das Objekt durchdringender energiereicher Strahlung auf ein für die Strahlung empfindliches Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel, wobei das im Strahlenweg zwischen einer Strahlungsquelle und dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel befindliche Objekt gegenüber wenigstens der Strahlungsquelle von einer Abdeckung mit in einer Querrichtung zum Strahlenweg abwechselnden Bereichen mit hoher strahlenabsorbierender Eigenschaft und solchen mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierender Eigenschaft abgedeckt ist, indem die Abdeckung relativ zum Strahlenweg in der einen Querrichtung bewegt wird, so dass ein ausgewählter Bereich des Objektes nacheinander jeweils zu einem Abdeckungsbereich mit hoher strahlenabsorbierender Eigenschaft und einem solchen mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierender Eigenschaft ausgerichtet wird, und der ausgewählte Bereich wenigstens während der Ausrichtung mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierender Eigenschaft wenigstens einmal der Strahlung ausgesetzt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel geschaffene Bild mittels einer Abtasteinrichtung nach Hell/Dunkelfeldern abgetastet wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Strahlungsquelle permanent betrieben wird und die Abdeckung kontinuierlich in der einen Querrichtung bewegt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Abdeckung schrittweise bewegt wird und nach jedem Bewegungsschritt das Objekt vorübergehend der Strahlung ausgesetzt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass als Strahlungsquelle eine γ-(Röntgen-)Strahlungsquelle vorgesehen wird, wobei die Dosis zwischen 0,1 µGy und 1 Gy, vorzugsweise etwa 1 mGy, beträgt.

5. Verfahren zum Abbilden eines Objektes mittels das Objekt durchdringender energiereicher Strahlung auf ein für die Strahlung empfindliches Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel, wobei das im Strahlenweg zwischen einer Strahlungsquelle und dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel befindliche Objekt gegenüber wenigstens der Strahlungsquelle von einer Abdeckung mit in einer Querrichtung zum Strahlenweg abwechselnden Bereichen von - hoher strahlenabsorbierender Eigenschaft und solchen mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierenden Eigenschaft abgedeckt ist, dadurch gekennzeichnet, dass das auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel geschaffene Objektbild nach Hell/Dunkelfeldern abgetastet wird, indem ein erster Abtastungsschritt mit einer geringen und ein zweiter Abtastungsschritt mit einer erhöhten Empfindlichkeit durchgeführt wird, und im wesentlichen nur die Hellfelder bei der ersten Abtastung und die Dunkelfelder bei der zweiten Abtastung zur Schaffung eines Gesamtbildes des Objektes ausgewertet werden.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertung mittels eines Scanners durchgeführt wird, dessen Empfindlichkeit durch Einstellung der Steuerspannung eines Fotomultipliers eingestellt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass als Strahlungsquelle eine γ-(Röntgen-)Strahlungsquelle vorgesehen wird, wobei die Dosis zwischen 1,0 mGy und 1 Gy, vorzugsweise zwischen 50 und 100 mGy, beträgt.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt von einem lichtundurchlässigen Hüllenmaterial umgeben ist.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das Objekt ein in einem von einer elektrischen Heizspule umgebenen Tiegelofen gewachsener Kristall ist.

10. Vorrichtung zum Abbilden eines Objektes mittels das Objekt durchdringender energiereicher Strahlung auf ein für die Strahlung empfindliches Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel (3), mit einer Strahlungsquelle (1), und einem zwischen der Strahlungsquelle und dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel angeordneten Objekt, das wenigstens gegenüber der Strahlungsquelle durch eine Abdeckung (7) mit in einer Querrichtung zum Strahlenweg abwechselnden Bereichen mit hoher strahlenabsorbierender Eigenschaft und solchen mit geringer bzw. fehlender strahlenabsorbierender Eigenschaft abdeckbar ist, gekennzeichnet durch eine Abtasteinrichtung (4') mit einstellbarer Abtastempfindlichkeit zum Abtasten der Hell/Dunkelfelder eines Objektbildes auf dem Aufzeichnungs/Bildwiedergabemittel, und eine Auswertungseinrichtung (5) zum Auswerten der für die Hell/Dunkelfelder kennzeichnenden Ausgangssignale der Abtasteinrichtung.

11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtasteinrichtung ein Scanner (4') mit einem Fotomultiplier mit einstellbarer Steuerspannung ist.