DE19902413C1 - Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes - Google Patents

Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes

Info

Publication number
DE19902413C1
DE19902413C1 DE19902413A DE19902413A DE19902413C1 DE 19902413 C1 DE19902413 C1 DE 19902413C1 DE 19902413 A DE19902413 A DE 19902413A DE 19902413 A DE19902413 A DE 19902413A DE 19902413 C1 DE19902413 C1 DE 19902413C1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
stop
calibration
piezoelectric actuator
actuator
control
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19902413A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Jaenker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mercedes Benz Group AG
Original Assignee
DaimlerChrysler AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by DaimlerChrysler AG filed Critical DaimlerChrysler AG
Priority to DE19902413A priority Critical patent/DE19902413C1/de
Priority to JP2000007483A priority patent/JP2000214929A/ja
Priority to US09/490,188 priority patent/US6340858B1/en
Application granted granted Critical
Publication of DE19902413C1 publication Critical patent/DE19902413C1/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/802Circuitry or processes for operating piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for, e.g. drive circuits
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/04Constructional details
    • H02N2/043Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/02Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
    • H02N2/06Drive circuits; Control arrangements or methods
    • H02N2/062Small signal circuits; Means for controlling position or derived quantities, e.g. for removing hysteresis

Landscapes

  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
  • Control Of Position Or Direction (AREA)

Abstract

Aufgabe der Erfindung ist es, einen piezoelektrischen Stellantrieb zu schaffen, dessen Stellweg unabhängig von Umgebungsbedingungen und piezoelektrischen Instabilitäten ist. DOLLAR A Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine selbsttätige Ermittlung von Stellgrößen und zugehörigen Stellpositionen aus einer Erfassung des/der Anschlagzeitpunkte t¶1¶, t¶2¶ an dem/den Anschlag/Anschlägen (9) erfolgt, wozu die Änderung der elektrischen Kapazität des Piezostapels (3) beim Anstoßen des Aktuatorabtriebes (4) an dem/den Anschlag/Anschlägen (9) von der Ansteuerelektronik meßtechnisch erfaßt wird. DOLLAR A Die Erfindung findet Anwendung bei der Kalibrierung von piezoelektrischen Stellantrieben, bestehend aus einer Ansteuerelektronik, einem piezoelektrischen Aktuator und mindestens einem Anschlag.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelek­ trischen Stellantriebes gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Aus der DE 43 03 125 C1 ist ein piezoelektrischer Stellantrieb bekannt, der eine Ansteuerelektronik und einen piezoelektrischen Aktuator aufweist. Die dort offenbarte Erfindung will eine Schaltungsanordnung schaffen, bei der die Verknüpfung der Stellbewegung mit der elektrischen Spannung so verbessert ist, dass insbesondere Hystereseeinflüsse abgebaut sind. Hierzu wird vor­ gesehen, einen zweiten Stellantrieb anzuordnen, dessen Ausgangssignal linear mit der Stellbewegung des ersten Stellantriebs verknüpft ist.
Wenn sich für piezoelektrische Stellantriebe Umgebungsbedingungen wie die Temperatur oder die mechanische Last ändern und Instabilitätseffekte der piezoelektrischen Keramik infolge von Alterung zum Tragen kommen, ist das präzise Funktionieren hubauflösender piezoelektrischer Stellan­ triebe beeinträchtigt. Dieses trifft sowohl für gesteuerte als auch für geregelte Systeme mit einer Rückführung eines Stellwegsignales zu. Für piezoelek­ trisch gesteuerte Ventile hoher Präzision, insbesondere für Kraftstoffein­ spritzventile in der Kraftfahrzeugtechnik, ist eine präzise Funktion der Stell­ antriebe von erheblicher technischer und wirtschaftlicher Bedeutung.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen piezoelektrischen Stellantrieb zu schaffen, dessen Stellweg unabhängig von Umgebungsbedingungen und piezoelektrischen Instabilitäten ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die Merkmale der Patent­ ansprüche 1 und 6 gelöst. Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Vorgeschlagen wird zur Lösung der vorgenannten Aufgabe ein Verfahren zur Selbstkalibrierung des piezoelektrischen Stellantriebes unter der vor­ teilhaften Ausnutzung des piezoelektrischen Effektes. Diese Kalibrierung kann nach Bedarf oder zyklisch durchgeführt werden. Das erfindungsge­ mäße Verfahren läßt sich ohne zusätzliche Bauteile mit einem üblichen Stellantrieb, bestehend aus einer Ansteuerelektronik, einem Aktuator und zwei Anschlägen, durchführen.
Die erfindungsgemäße Ausnutzung des piezoelektrischen Effektes beruht darauf, daß der piezoelektrische Effekt mechanische und elektrische Eigenschaften koppelt. Eine Änderung von mechanischen Randbedingun­ gen - wie z. B. im Extremfall ein Klemmen des piezoelektrischen Aktuators beim Anstoßen an einen starren Anschlag oder im anderen Extremfall eine ungehinderte Längenveränderung des Aktuators - wirken sich auf der elektrischen Seite derart aus, daß die elektrische Kapazität CB des Piezo­ stapels im Aktuator im Fall des Klemmens geringer ist als die elek­ trische Kapazität CF im Fall einer freien Lagerung des Piezostapels. Für die vorgenannten Extreme gilt der Zusammenhang CB = CF(1 - k2) mit dem Materialkennwert k, auch Kopplungsfaktor genannt, der typischer­ weise den Wert von 0,65 aufweist. Zwischen diesen beiden Extremfällen ändert sich die elektrische Kapazität des Piezostapels kontinuierlich mit dem Grad der Bewegungshinderung, die auf den Piezostapel ausgeübt wird.
Anhand der Zeichnung wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert.
Fig. 1 zeigt einen piezoelektrischen Aktuator mit zwei Anschlägen und
Fig. 2 zeitliche Signalverläufe für ein selbsttätiges Kalibrierverfahren für diesen Aktuator.
Der in Fig. 1 gezeigte piezoelektrische Aktuator 1 besteht aus einem Trägerrahmen 2, in dem ein Piezostapel 3 einseitig gelagert ist. Der Aktuatorabtrieb 4 ist als ein Balken ausgebildet, der zwischen dem freien Ende 5 des Piezostapels 3 und einem dazu versetzten Schneidenlager 6 gelenkig gelagert und von einer Druckfeder 7 in diesem Lager gehalten wird. Das Schneidenlager 6 ist in dem Trägerrahmen 2 starr aufgenommen.
Eine Längenveränderung des Piezostapels führt zu einer Steilbewegung des Aktuatorabtriebes 4 im Sinne des Richtungspfeiles 8. Diese Stellbe­ wegung ist durch zwei starre Anschläge 9 begrenzt.
Abweichend von dem vorangehend beschriebenen Ausführungsbei­ spiel kann der Aktuator zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens auch andere, dem Fachmann bekannte Ausgestaltungen aufweisen; z. B. Biegeformen, Piezostapel-Aktuatoren mit hydraulischer oder mechanischer Hubübersetzung.
Auch kann das erfindungsgemäße Verfahren, wie weiter unten beschrie­ ben, abweichend von dem vorangehend beschriebenen Aktuator auf einen Aktuator mit nur einem Anschlag Anwendung finden.
Das erfindungsgemäße Verfahren wird nachstehend anhand der in Fig. 2 gezeigten Signalverläufe beschrieben. Im Ausführungsbeispiel wird der Piezostapel 3 mit der elektrischen Spannung U als physikalischer Steuer­ größe angesteuert. Es kann aber auch anstelle der Spannung U die elek­ trische Ladung Q als physikalische Steuergröße benutzt werden, wie weiter unten beschrieben ist. Mit der elektrischen Ladung Q als Steuer­ größe kann die bei piezoelektrischen Elementen auftretende dielektrische Hysterese vermieden werden. Eine weitere Alternative für das erfindungs­ gemäße Verfahren besteht in der meßtechnischen Auswertung von Ladungsimpulsen, die beim Anfahren an die Anschläge entstehen.
Beide Alternativen zu der Spannungsansteuerung sind weiter unten beschrieben.
Die elektrische Spannung U zur Ansteuerung des Piezostapel 3 ist als eine Rampenfunktion 10 ausgebildet. Diese Rampenfunktion 10 wird erfindungsgemäß von einem hochfrequenten, sinusförmigen Spannungs­ signal 11 überlagert, das dem folgenden funktionalen Zusammenhang genügt:
US(t) = U0 sin(ωt)
mit U0 << Maximum von UR und 1/ω << Anstiegszeit von UR.
Der zeitliche Verlauf des elektrischen Stromes durch den so mit der elektrischen Spannung U angesteuerten Aktuator wird gemessen und in einem Bandpaßfilter mit schmaler Bandbreite um die Meßfrequenz ω gefiltert. Das ergibt für den elektrischen Strom I ein Meßsignal 12 der Form:
IS(t) = ωC(t)U0.
mit C(t) = veränderbare elektrische Kapazität des piezoelektrischen Elementes, hervorgerufen durch die sich im zeitlichen Ablauf des Aktu­ atorbetriebes durch die Anschläge ändernden mechanischen Freiheits­ grade.
Stößt der Balken des Aktuators 1 mit seinem freien Ende zum Zeit­ punkt t1 an einen der Anschläge 9, so verringert sich der gemessene Strom IS(t), da die elektrische Kapazität C(t) des Piezostapels 3 auf­ grund des piezoelektrischen Effektes im blockierten Fall wie eingangs beschrieben gegenüber einer geringeren Bewegungshinderung kleiner wird.
Erfindungsgemäß wird über den aus dem Meßsignal 12 ermittelbaren Zeitpunkt t1 für den Sprung im Meßsignal 12 die Steilposition X1 des ersten Anschlages 9 detektiert. Diese Detektion erfolgt dadurch, daß die Änderung der Amplitude des Meßstromes mit einer Komparator­ schaltung oder einem anderen geeigneten Auswerteverfahren ermittelt wird.
Zur Kalibrierung wird die Steuergröße U1 = UR(t1) zum ermittelten Zeitpunkt t1 der detektierten Stellposition X1 des ersten Anschlages zuge­ ordnet. Am zweiten Anschlag 9 tritt zum Zeitpunkt t2 ebenfalls ein Sprung des Meßsignales 12 auf und die Steuergröße U2 = UR(t2) wird der aus dem gemessenen Zeitpunkt t2 detektierten Stellposition X2 zugeordnet.
Zur Kalibrierung von Steilpositionen zwischen den Anschlägen 9 kann die physikalische Funktion x(U) mathematisch interpoliert werden, sofern sie bekannt ist. Im einfachsten Fall ist dies eine lineare Interpolation.
Wird der Piezostapel 3 mit der elektrischen Ladung Q angesteuert, so erfolgt diese Ansteuerung mit einem niederfrequenten, sinusförmigen Ver­ lauf. Diesem Ladungsverlauf wird eine hochfrequente Komponente
QS(t) = Q0 sin(ωt)
der elektrischen Ladung Q überlagert. Ändert sich aufgrund der mecha­ nischen Rahmenbedingungen für den Piezostapel 3 - frei oder an den Anschlägen 9 blockiert - die elektrische Kapazität des Piezostapels, dann ändert sich die elektrische Spannung über dem Piezoaktuator. Der zeitliche Verlauf der elektrischen Spannung wird entsprechend der vorangehend beschriebenen Ausführungsvariante mit einem elektro­ nischen Bandpaßfilter um die Meßfrequenz ω gefiltert und dient derart gefiltert als Meßsignal der Form
US(t) = Q0 C(t) sin(ωt)
für die Bestimmung der an den Anschlägen auftretenden Sprungszeit­ punkte t1 und t2. Aus diesen Zeitpunkten lassen sich die Anschlag­ positionen X1 und X2 detektieren und die zugehörigen Steuergrößen Q1 = QS(t1) und Q2 = QS(t2) ableiten und zur Kalibrierung heran­ ziehen.
Wenn abweichend von den vorangehend beschriebenen Ausführungs­ beispielen nur ein Anschlag für die erfindungsgemäße Lösung verwen­ det wird, dann ist zwar keine Interpolation zur Kalibrierung der Zwischenpositionen möglich, es kann aber über ein Extrapolationsver­ fahren eine erhebliche Verbesserung der Positioniergenauigkeit zur Ansteuerung der Zwischen- und der nicht kontrollierten Anschlagspo­ sition erreicht werden. Dazu wird der zu kontrollierende Anschlag nach den vorangehenden beschriebenen Verfahren unter Verwendung der elektrischen Spannung U oder der elektrischen Ladung Q als physika­ lischer Steuergröße ermittelt und für eine Nullpunktkorrektur in der elektrischen Ansteuerung zur Hubsteuerung des Aktuators benutzt.
Die Anschlagerkennung kann aber auch über eine Auswertung von Ladungsimpulsen erfolgen. Wird der spannungs- oder ladungsgesteu­ erte Aktuator dynamisch zwischen seinen beiden Anschlagpositionen verfahren, so ist beim Auftreffen des Balkens 4 an den Anschlägen 9 aufgrund der plötzlichen Krafteinwirkung auf den Piezostapel 3 ein elektrischer Ladungsimpuls feststellbar. Die Zeitpunkte t1 und t2 für das Anschlagen können ermittelt werden, indem die Ladungsimpulse mit dem zeitlich wohl definierten elektrischen Ansteuersignal korreliert werden. Die Kalibrierung erfolgt wie bei den vorangehend beschrie­ benen Verfahren über eine Detektion der Anschlagpositionen X1 und X2 und eine Ableitung der zugehörigen Steuerfunktionswerte U1 und U2 oder bei einer Ladungsansteuerung Q1 und Q2.

Claims (8)

1. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes bestehend aus einer Ansteuerelektronik, einem piezoelektrischen Aktu­ ator und mindestens einem Anschlag, dadurch gekennzeichnet, daß eine selbsttätige Ermittlung von Stellgrößen und zugehörigen Stellpositionen aus einer Erfassung des/der Anschlagzeitpunkte t1, t2 an dem/den Anschlag/­ Anschlägen (9) erfolgt, wozu die Änderung der elektrischen Kapazität des Piezostapels (3) beim Anstoßen des Aktuatorabtriebes (4) an dem /den Anschlag/Anschlägen (9) von der Ansteuerelektronik meßtechnisch erfaßt wird.
2. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Piezostapel (3) mit einer Rampenfunktion (10) der elektrischen Spannung UR angesteuert wird, daß die Rampenfunktion (10) von einem hochfrequenten, sinusförmigen Span­ nungssignal US(t) (11) überlagert wird und daß als Meßsignal (12) für die Ermittlung des /der Anschlagzeitpunkte t1, t2 der mit einem Bandpaßfilter um die Frequenz ω des Signales US(t) ausgefilterte Stromverlauf IS(t) über den Piezostapel (3) dient.
3. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Piezostapel (3) mit einer niederfrequenten Sinusfunktion der elektrischen Ladung Q angesteuert wird, daß die niederfrequente Sinusfunktion von einem hochfrequenten, sinus­ förmigen Ladungssignal QS(t) überlagert wird und daß als Meßsignal für die Ermittlung der Anschlagzeitpunkte t1, t2 der mit einem Bandpaßfilter um die Frequenz ω des Signales QS(t) ausgefilterte Spannungsverlauf US(t) über den Piezostapel (3) dient.
4. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Stellweg des Aktuators (1) beidseitig von je einem Anschlag (9) begrenzt ist und daß nach erfolgter Kalibrierung der Anschlagpositionen eine Kalibrierung für Zwischenpositionen über eine mathematische Inter­ polation mit einer bekannten Stellfunktion x(U) oder x(Q) erfolgt.
5. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Stellweg des Aktuators (1) einseitig von einem Anschlag (9) begrenzt ist und daß nach erfolgter Kalibrierung der Anschlagposition mittels eines Extrapolationsverfahrens die Genauigkeit der Ansteuerung von anderen Stellpositionen verbessert wird, wobei die kalibrierte Anschlagposition zu einer Nullpunktkorrektur für die Extrapolation herangezogen wird.
6. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes, bestehend aus einer Ansteuerelektronik, einem piezoelektrischen Aktu­ ator und mindestens einem Anschlag, dadurch gekennzeichnet, daß eine selbsttätige Ermittlung von Stellgrößen und zugehörigen Steilpositionen aus einer Erfassung des/der Anschlagzeitpunkte t1, t2 an dem/den Anschlag/Anschlägen (9) erfolgt, wozu das Auftreten von elektrischen Ladungsim­ pulsen am Piezostapels (3) des Aktuators (1) beim Anstoßen des Aktu­ atorabtriebes (4) an dem/den Anschlag/Anschlägen (9) von der Ansteuerelektronik meßtechnisch erfaßt wird.
7. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Erfassung der Anschlagzeit­ punkte t1, t2 durch eine Korrelation der gemessenen Ladungsimpulse mit dem zeitlich wohl definierten Ansteuersignal erfolgt.
8. Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes nach einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Kalibrierung nach Bedarf oder zyklisch durchgeführt wird.
DE19902413A 1999-01-22 1999-01-22 Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes Expired - Fee Related DE19902413C1 (de)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19902413A DE19902413C1 (de) 1999-01-22 1999-01-22 Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes
JP2000007483A JP2000214929A (ja) 1999-01-22 2000-01-17 圧電アクチュエ―タ駆動装置の校正方法
US09/490,188 US6340858B1 (en) 1999-01-22 2000-01-24 Method for calibrating a piezoelectric actuating drive

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19902413A DE19902413C1 (de) 1999-01-22 1999-01-22 Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE19902413C1 true DE19902413C1 (de) 2000-05-31

Family

ID=7895031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19902413A Expired - Fee Related DE19902413C1 (de) 1999-01-22 1999-01-22 Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes

Country Status (3)

Country Link
US (1) US6340858B1 (de)
JP (1) JP2000214929A (de)
DE (1) DE19902413C1 (de)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006076992A1 (de) * 2005-01-18 2006-07-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum betreiben einer kraftstoff-einspritzvorrichtung einer brennkraftmaschine
EP1832221A1 (de) * 2006-03-10 2007-09-12 Fujinon Corporation Endoskopievorrichtung mit piezoelektrischer Linsenverstellung
WO2009063047A1 (de) * 2007-11-14 2009-05-22 Continental Automotive Gmbh Verfahren und vorrichtung zur kalibrierung eines in einem kraftfahrzeug zum antrieb eines schaltventils betriebenen piezo-aktuators
WO2012152552A3 (de) * 2011-05-12 2013-01-03 Continental Automotive Gmbh Regelverfahren für ein einspritzventil und einspritzsystem

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1143133B1 (de) * 2000-04-01 2004-01-21 Robert Bosch GmbH Ausgleich der Spieltoleranzen in verschieden Losen wegen der Schwankungen der Schichtdicke oder der Zahl der Schichten in mehrschichtigen piezoelektrischen Elementen
US6707230B2 (en) * 2001-05-29 2004-03-16 University Of North Carolina At Charlotte Closed loop control systems employing relaxor ferroelectric actuators
DE10149960C1 (de) * 2001-10-10 2003-02-27 Bosch Gmbh Robert Verfahren, Computerprogramm, Steuer- und/oder Regelgerät zum Betreiben einer Brennkraftmaschine, sowie Brennkraftmaschine
US7979336B2 (en) * 2002-03-18 2011-07-12 Nyse Amex Llc System for pricing financial instruments
DE10325446B3 (de) * 2003-06-05 2005-03-03 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum Detektieren eines Fehlers bei einem Piezoaktor und Ansteuerschaltung für einen Piezoaktor, sowie Piezoaktorsystem
US7041963B2 (en) * 2003-11-26 2006-05-09 Massachusetts Institute Of Technology Height calibration of scanning probe microscope actuators
FR2934393B1 (fr) * 2008-07-25 2010-09-10 Commissariat Energie Atomique Procede de realisation d'un systeme mecatronique flexible
US8294539B2 (en) 2008-12-18 2012-10-23 Analog Devices, Inc. Micro-electro-mechanical switch beam construction with minimized beam distortion and method for constructing
US8587328B2 (en) * 2009-08-25 2013-11-19 Analog Devices, Inc. Automatic characterization of an actuator based on capacitance measurement
JP5881288B2 (ja) * 2010-11-24 2016-03-09 日本発條株式会社 圧電素子組付判別方法及びヘッド・サスペンション
JP5989471B2 (ja) * 2012-09-14 2016-09-07 日本発條株式会社 圧電素子供給方法
US8902538B1 (en) 2013-03-29 2014-12-02 Western Digital Technologies, Inc. Disk drive detecting crack in microactuator
US11539308B2 (en) 2019-05-01 2022-12-27 Advanced Energy Industries, Inc. Virtual resistive load in feedback loop driving a piezoelectric actuator
WO2024108301A1 (en) * 2022-11-25 2024-05-30 Boréas Technologies Inc. Charge leakage compensation in piezo-electric transducer circuits

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4303125C1 (de) * 1993-02-04 1994-05-11 Hommelwerke Gmbh Schaltungsanordnung mit einem elektromechanischen Stellantrieb

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4263527A (en) * 1979-05-17 1981-04-21 The Charles Stark Draper Laboratory, Inc. Charge control of piezoelectric actuators to reduce hysteresis effects
US5051646A (en) * 1989-04-28 1991-09-24 Digital Instruments, Inc. Method of driving a piezoelectric scanner linearly with time
JPH041949A (ja) * 1990-04-18 1992-01-07 Canon Inc 情報入力及び/または取出し装置
CA2060674C (en) * 1991-02-08 1996-10-01 Masahiro Tagawa Driving apparatus and a recording and/or reproducing apparatus using the same
US5384507A (en) * 1991-11-29 1995-01-24 Hitachi Construction Machinery Co., Ltd. Method of and device for driving piezo-electric elements and system for controlling micromotion mechanism
EP0599582B1 (de) * 1992-11-20 1998-04-08 Topometrix Linearisierungs- und Eichungssystem für einen Abtastungsapparat
EP0678861B1 (de) * 1994-04-20 2001-07-25 Canon Kabushiki Kaisha Vorrichtung und Verfahren zur optischen Aufzeichnung und Wiedergabe von Information mit einer durch eine Vibrationswelle angetriebenen Vorrichtung oder mit einer Vorrichtung mit durch Vibration angetriebenem Motor
US5568003A (en) * 1994-09-28 1996-10-22 Zygo Corporation Method and apparatus for producing repeatable motion from biased piezoelectric transducers
US5557156A (en) * 1994-12-02 1996-09-17 Digital Instruments, Inc. Scan control for scanning probe microscopes
US6100623A (en) * 1998-08-25 2000-08-08 International Business Machines Corporation Piezoelectric actuator for control and displacement sensing

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4303125C1 (de) * 1993-02-04 1994-05-11 Hommelwerke Gmbh Schaltungsanordnung mit einem elektromechanischen Stellantrieb

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DECK, Leslie: Accurate, repetitive, linear motion from biased piezoelectric actuators. In: Rev.Sci. Instrum., Vol. 66, No. 5, 1995, S. 3204-3207 *
HARB, S., SMITH, S.T., und CHETWYND, D.G.: Submanometer behavior of a capacitive feed back, piezoelectric displacement actuator. In: Rev.Sci. Instrum., Vol. 63, No. 2, 1992, S. 1680-1689 *
VAN DE LEEMPUT, L.E.C., u.a.: Calibration and characterization of piezoelectric elements as used in scanning tunneling microscopy. In: Rev. Sci.Instrum., Vol. 62, No. 4, S. 989-992 *

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2006076992A1 (de) * 2005-01-18 2006-07-27 Robert Bosch Gmbh Verfahren zum betreiben einer kraftstoff-einspritzvorrichtung einer brennkraftmaschine
US7505846B2 (en) 2005-01-18 2009-03-17 Robert Bosch Gmbh Method for operating a fuel injection device of an internal combustion engine
EP1832221A1 (de) * 2006-03-10 2007-09-12 Fujinon Corporation Endoskopievorrichtung mit piezoelektrischer Linsenverstellung
US8033994B2 (en) 2006-03-10 2011-10-11 Fujinon Corporation Endoscopic apparatus
WO2009063047A1 (de) * 2007-11-14 2009-05-22 Continental Automotive Gmbh Verfahren und vorrichtung zur kalibrierung eines in einem kraftfahrzeug zum antrieb eines schaltventils betriebenen piezo-aktuators
US9112431B2 (en) 2007-11-14 2015-08-18 Continental Automotive Gmbh Method and device for the calibration a piezo-actuator that is actuated in a motor vehicle for driving a switching valve
WO2012152552A3 (de) * 2011-05-12 2013-01-03 Continental Automotive Gmbh Regelverfahren für ein einspritzventil und einspritzsystem
CN103502614A (zh) * 2011-05-12 2014-01-08 大陆汽车有限公司 用于喷射阀的控制方法和喷射系统
US9651009B2 (en) 2011-05-12 2017-05-16 Continental Automotive Gmbh Control method for an injection valve and injection system
CN103502614B (zh) * 2011-05-12 2017-11-24 大陆汽车有限公司 用于喷射阀的控制方法和喷射系统

Also Published As

Publication number Publication date
US6340858B1 (en) 2002-01-22
JP2000214929A (ja) 2000-08-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19902413C1 (de) Verfahren zur Kalibrierung eines piezoelektrischen Stellantriebes
DE102016105904A1 (de) MEMS-Mikrofon und Verfahren zur Selbstkalibrierung des MEMS-Mikrofons
EP1836769A2 (de) N[herungsschalter und verfahren zum betrieb eines n[herungsschalters
DE2655615B2 (de)
DE3009975A1 (de) Verfahren zur impulsanregung eines piezoelektrischen schall-sendewandlers
WO2002004933A1 (de) Vorrichtung und verfahren zur ermittlung der feuchte in gasen
EP0204897B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur Regelung des Tastverhältnisses eines elektrischen Signals
DE102006036568A1 (de) Verfahren zur Detektion von Ventilöffnungszeitpunkten von Kraftstoffeinspritzsystemen einer Brennkraftmaschine
DE10023305A1 (de) Verfahren zur Ansteuerung einer Wandlereinrichtung in Füllstandmessgeräten und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE102005012752A1 (de) Verfahren zur digitalen Stromregelung
WO1997037425A1 (de) Anschlags- und blockiererkennung bei einem schrittmotor
DE102008038293A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Erzeugen von elektrischer Energie aus einer mechanischen Anregungsschwingung
DE19858147A1 (de) Induktivitätsänderungs-Detektierschaltung
EP0758794A1 (de) Vorrichtung zur Überwachung des Vakuums eines Vakuumschalters
EP0237583A1 (de) Verfahren und Schaltungsanordnung zum Umsetzen einer Messspannung in einen digitalen Wert
DE4313273A1 (de) Auswerteverfahren und -schaltung für einen induktiven Sensor
DE112006001288B4 (de) Verfahren zur Justierung eines piezoelektrischen Ring-Motors
DE3018285C2 (de)
DE3502871C2 (de) Schaltanordnung zum Messen eines Magnetfeldes
WO1995025383A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur vergleichmässigung der spannungsaufteilung seriengeschalteter, gategesteuerter halbleiter
WO2002015399A1 (de) Schaltungsanordnung zur erzeugung von rechteckimpulsen
DE19948892A1 (de) Impulsdetektor und Verfahren zur Detektion von sinusförmigen Impulsen
EP0129132B1 (de) Messeinrichtung zur Erfassung einer Temperaturdifferenz
DE102012223706A1 (de) Feldgerät mit einem Analogausgang
DE102012005994B4 (de) Piezoelektrischer Antrieb für ein Ventil, Piezoventil mit einem solchen Antrieb und Verfahren zum Betrieb und zur Herstellung eines Piezoventils

Legal Events

Date Code Title Description
8100 Publication of patent without earlier publication of application
D1 Grant (no unexamined application published) patent law 81
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee