DE19900542A1 - Selbstreinigendes Filter zum Schutz von Sensoren für die Bestimmung von Gasen oder Gasgemischen - Google Patents

Abstract

Eine Anlage zur Bestimmung bzw. Messung von Gasen oder Gasgemischen weist eine Sensorkammer 2 auf, der eine Filterkammer 4 vorgeschaltet ist. Die hierin angeordneten Filter haben die Aufgabe, Verunreinigungen aus der Sensorkammer 2 fernzuhalten. Ein Ventilator 7 gewährleistet im Normalbetrieb, dass die Gasproben nach Passieren der Filterkammer 4 in die Sensorkammer 2 gelangen. In vorgegebenen zeitlichen oder in Abhängigkeit vom Verschmutzungsgrad des Filters 1 festzulegenden Abständen wird die Filterkammer 4 mit in einer Druckkammer 3 vorgehaltenem Druckmedium beaufschlagt. Dadurch lösen sich die Verunreinigungen und Rückstände an der Innenwand der Filterkammer 4, so dass das Filter 1 in regelmäßigen Abständen von Verunreinigungen befreit wird. Durch Ventile wird dabei gewährleistet, dass die Sensorik vor dem strömenden Druckmedium geschützt ist.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung bzw. Messung von Gasen oder Gasgemischen mit Hilfe von in einer Sensorkammer angeordneten Sensoren, de­ nen mindestens ein auch für Feinstpartikel geeignetes Filter vorgeschaltet ist, wobei die Gase über einen Ventilator durch das Filter gefördert werden. Gegenstand der Erfin­ dung ist außerdem eine Anlage zur Bestimmung von Gasen oder Gasgemischen, mit einer das Filter aufnehmenden Filterkammer, einer Sensorkammer mit mindestens ei­ nem zugeordneten Sensor und einem das Gas fördernden Ventilator.

Zur Bestimmung von Gasen und Gasgemischen, deren Bestandteilen und Zu­ sammensetzung, Gewicht, chemischen oder physikalischen Eigenschaften und anderer Merkmale werden Sensoren unterschiedlichster Art verwendet, beispielsweise elektro­ nische, chemische oder biologische Sensoren. Schon aus der Aufgabe dieser Sensoren heraus erklärt es sich, dass diese eine äußerst sensible und komplizierte Technik auf­ weisen und jede noch so kleine Störung deren Funktion und somit das von diesen zu ermittelnde Ergebnis verfälschen kann. Die Sensoren werden in ihrer Funktion, Genau­ igkeit und Kalibrierung von Verschmutzungen auf der Oberfläche ihrer aktiven Kompo­ nenten stark beeinflusst. Ein Funktionserhalt sowie die, falls erforderliche, Grundkali­ brierung ist nur in einem sterilen Raum zuverlässig gewährleistet. Daher ist es notwen­ dig, den Sensoren Filter vorzuschalten. So sind hierfür beispielsweise Metall-Sinterfilter bekannt, deren Aufgabe darin besteht, die Proben von Verunreinigungen zu befreien, bevor diese zu den Sensoren gelangen.

Dabei stellt sich das Problem, dass diese Filter konstruktionsbedingt häufig verschmutzen und mit zunehmendem Verschmutzungsgrad der Filter auch die Messung der geschützten Sensorik negativ beeinflusst wird. Der Verschmutzungsgrad der Filter lässt sich mitunter nur äußerst schwierig feststellen, da es sich ja hier auch um Feinst­ partikel handelt. Dies führt dazu, dass die Filter nur eine geringe Standzeit besitzen und häufig ausgebaut und ausgewechselt werden müssen.

Der Erfindung stellt sich somit die Aufgabe, ein Verfahren und eine Anlage zum Schutz von Sensoren zu schaffen, welche eine Gewährleistung der Dauerfunktions­ fähigkeit der Filter und die Vermeidung von Verschmutzungen auf deren Oberfläche und damit die Funktion der Sensoren gewährleisten.

Diese Aufgabe wird verfahrensgemäß dadurch gelöst, dass das Filter in kontinu­ ierlichen oder diskontinuierlichen zeitlichen Abständen gereinigt wird. Durch diese Reinigung wird die Oberfläche der Filter von Rückständen befreit, so dass das an den Sensoren vorbeigeführte Gas oder Gasgemisch von Verunreinigungen frei ist. Die Durchlässigkeit des Filters kann annähernd konstant gehalten werden, so dass deutliche verbesserte Messergebnisse erzielt werden können. Das Filter kann in vorgegebenen zeitlichen Abständen kontinuierlich gereinigt oder aber in Abhängigkeit von vorgegebe­ nen Parametern, beispielsweise des Verschmutzungsgrades des Filters, gereinigt wer­ den. Es wird grundsätzlich unterschieden zwischen dem Normalbetrieb, währenddessen die Gase oder Gasgemische nach der Filtrierung in die Sensorkammer gelangen, wo der eigentliche Bestimmungsprozeß durchgeführt wird einerseits und dem Reinigungsbetrieb andererseits, bei dem ausschließlich die Filterkammer mit Druckmedium beaufschlagt wird, welches den Filter bzw. die Filterkammer von Verunreinigungen und Rückstän­ den befreit.

Die Erfindung sieht vor, dass das Filter mit einem Druckmedium beaufschlagt wird. Dieses Druckmedium, vorzugsweise ein Gas, gelangt, durch Ventile gesteuert, über eine externe Druckmediumquelle in die Filterkammer, wodurch deren Innenwände von Rückständen und Verunreinigungen befreit werden. Wie später noch erläutert wird, kann dieses Druckmedium in der selben Richtung wie die Proben die Filterkammer passieren oder auch in der entgegengesetzten.

Es ist dabei vorgesehen, dass bei abgeschalteter Ventilation die in einer Druck­ kammer vorgehaltene und für den Reinigungsvorgang bemessene Menge Druckmedium durch eine Spülleitung in das Filter und von dort mit den Feinstpartikeln über eine Auslassvorrichtung abgegeben wird. Die Ventilation dient ausschließlich im Proben­ betrieb dazu, dass zu bestimmende Gas zunächst durch die Filterkammer und anschlie­ ßend durch die Sensorkammer zu fördern, folglich muss sie während des Reinigungs­ betriebs abgeschaltet sein. Die Druckkammer wird vorteilhafterweise so eingestellt, dass Druckmedium in der benötigten Menge und Druckstärke vorgehalten wird, je nachdem wie es für den Reinigungsvorgang notwendig ist. Dies kann beispielsweise von dem Grad der Verschmutzung des Filters oder der Zusammensetzung und dem Reinheitsgrad der zu prüfenden Probe abhängen. Als Auslassvorrichtung ist der bereits erwähnte Reinigungsauslass vorgesehen.

Der Reinigungsvorgang besteht in einem Zyklus, wonach zur Unterbrechung eines Probenstroms zunächst der Ventilator abgeschaltet wird, im Anschluss durch Öffnung eines Einlassventils das Strömen der vorgehaltenen Menge Druckmedium aus der Druckkammer in das Filter ermöglicht wird, sodann ein Reinigungsauslass am Ende des Filters geöffnet, das Einlassventil geschlossen, der Reinigungsauslass geschlossen und schließlich der Ventilator zur Wiederaufnahme des Probestroms eingeschaltet wird. So wie es denkbar ist, die Zyklen in gleichmäßigen oder ungleichmäßigen Abständen durchzuführen, kann die Anlage auch so geschaltet sein, dass der Reinigungsvorgang zweimal hintereinander durchgeführt wird, für den Fall, dass sich beispielsweise beim ersten Reinigungsvorgang nicht alle Feinstpartikel aus dem Filter oder der Filterkam­ mer gelöst haben sollten.

Zweckmäßigerweise wird der Zyklus in einstellbaren Zeitabständen automatisch oder abhängig von der Durchlässigkeit des Filters gesteuert. Diese Einstellungen sind im Hinblick auf die äußeren Umstände, also die erwarteten Messergebnisse, das jewei­ lige Gas oder auch der Eigenschaften des Filters zu wählen.

Zur Durchführung des Verfahrens ist vorgesehen, dass die Filterkammer für den Normalbetrieb einen Probeneinlass und ein die Verbindung zwischen Filterkammer und Sensorkammer herstellendes Auslassventil und für den Reinigungsbetrieb vorzugsweise mit einem Druckmedium ein Einlassventil und einen Reinigungsauslass aufweist. Für den Normalbetrieb ist ein Probeneinlass in der Filterkammer vorgesehen, welche wie­ derum über ein Auslassventil mit der Sensorkammer verbunden ist. Da die Sensoren­ kammer im Reinigungsbetrieb nicht dem Druckmedium ausgesetzt sein soll, ist an ei­ nem Ende der Filterkammer ein Reinigungsauslass vorgesehen, über den das Druckme­ dium in die Umgebung oder einen angeschlossenen Behälter abgegeben wird.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass das Einlass­ ventil und das Auslassventil als Dreiwegeventil ausgebildet sind. Hierdurch wird die direkte Verbindung der zwischen Druckkammer und Filterkammer angeordneten Spül­ leitung und dem Reinigungsauslass am Ende der Filterkammer erreicht. Das Einlass­ ventil ist also so geschaltet, dass es einerseits als Probeneinlass für den Normalbetrieb dient, das Gas oder die Gasmischung also hierüber in die Filterkammer gelangt. Ande­ rerseits kann dieses Einlassventil auch so geschaltet sein, dass hierdurch das Druckme­ dium aus der Druckkammer eingelassen wird und in die Filterkammer strömen kann. Über das Auslassventil am anderen Ende der Filterkammer kann das Druckmedium nach der erfolgten Reinigung des Filters entweder - im Normalbetrieb - in die Sensor­ kammer und somit den Sensoren zur Prüfung zugeführt werden oder aber - im Reini­ gungsbetrieb - über den Reinigungsauslass abgegeben werden.

Damit Normal- und Reinigungsbetrieb besser gesteuert werden können, ist vor­ gesehen, dass Einlassventil und Auslassventil voneinander abhängig einstellbar ausge­ bildet sind. Einlass- und Auslassventil sind also von einer gekoppelt, um die beiden Vorgänge Normal- und Reinigungsbetrieb auf zuverlässige Weise voneinander getrennt durchführen zu können.

Zur Durchführung des Reinigungsbetriebes sieht die Erfindung vor, dass dem Filter eine Druckmediumquelle und eine die benötigte Menge an Druckmedium vorhal­ tende Druckkammer zugeordnet sind. Unabhängig davon, ob das Druckmedium in einem Druckmediumbehälter oder einer externen Druckleitung vorgehalten wird, soll durch die Anordnung der zwischengeschalteten Druckkammer erreicht werden, dass stets Druckmedium in ausreichender Menge und Stärke vorhanden ist. Dies ist umso wichtiger, als es sich bei dieser Anlage um hochsensible Komponenten handelt. Druck­ mediumbehälter und Druckkammer einerseits und Druckkammer und Filterkammer andererseits sind jeweils durch Ventile gegeneinander abgeschottet. Die Druckkammer kann auch so bemessen sein, dass nur ein Teil des vorgehaltenen Druckmediums abge­ geben wird.

Dieser Vorgang wird dadurch gesteuert, dass zwischen Druckkammer und Filter ein Spülungsventil angeordnet ist. Dieses wird geöffnet, wenn ein Druckmedium in die Filterkammer abgegeben werden soll. Von dort aus gelangt das Druckmedium über die Spülleitung zum Einlassventil, welches geöffnet wird, damit das Druckmedium in die Filterkammer gelangen kann. Spülventil und -leitung sind insbesondere dann notwendig, wenn das Einlassventil als Dreiwegeventil ausgebildet ist, da in diesem Fall das Ein­ lassventil auch so geschaltet sein kann, dass es als Probeneinlass dient, weswegen eine zweite Schaltstufe vorhanden sein muss.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass die Filterkam­ mer röhrenförmig ausgebildet ist. Dies gilt insbesondere für die noch zu beschreibende Ausbildung als elektrostatisches Filter. Die röhrenförmige Ausbildung der Filterkammer bringt den Vorteil mit sich, dass die Widerstandseigenschaften im Hinblick auf das durchströmende Druckmedium besonders günstig sind.

Um mit der erfindungsgemäßen Technik unterschiedlichste Arten und Ausbil­ dungen von Filtern einsetzen zu können, ist vorgesehen, dass die Druckmediumkammer bzw. die Druckmediumquelle den Probeneinlass und/oder dem Probenauslass zugeord­ net ist. Von der Art des eingesetzten Filters kann es abhängen, in welche Richtung das zur Reinigung dienende Druckmedium durch das Filter strömen muss. Deswegen muss gewährleistet sein, dass das Druckmedium sowohl in die selbe Richtung wie die Proben als auch in der entgegengesetzten durch die Filterkammer strömen kann. In einer weite­ ren Variante ist entweder an beiden Enden der Filterkammer eine Druckkammer an­ geordnet, so dass auch mit der selben Anlage Druckmedium in beide Richtungen strö­ men kann, oder die Druckkammer ist so ausgebildet, dass von ihr zwei Spülleitungen ausgehen, welche jeweils eine Verbindung zu einem Ende der Filterkammer herstellen. Insbesondere bei Filtern, welche mechanisch funktionieren, beispielsweise in weitesten Sinne als Sieb, muss das Druckmedium in der dem Normalbetrieb entgegengesetzten Richtung strömen, um die im Filter zurückgehaltenen Rückstände lösen zu können.

Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung sieht vor, dass das Filter als elektrostatisches Filter mit einer Hochspannungselektrode ausgebildet ist. Zwischen die Hochspannungselektrode und die Außenwand der Filterkammer wird eine Hochspan­ nung gelegt, wodurch die Filterwirkung erreicht wird. Die Feinstpartikel schlagen sich an den Innenwänden der Filterkammer nieder und werden dann im Reinigungsbetrieb von den Flächen gelöst und aus der Filterkammer entfernt.

Um eine besonders gute Filterwirkung zu erreichen, dient als Druckmedium ein Edelgas, vorzugsweise Argon. Außerdem können als Druckmedium Druckluft oder Dampf dienen. Auch der Einsatz einer Flüssigkeit als Druckmedium ist denkbar.

Die Erfindung zeichnet sich insbesondere dadurch aus, dass ein Verfahren zur Reinigung von Filtern und einer Anlage zur Durchführung desselben geschaffen ist, welche auch im Dauerbetrieb die Verschmutzung und Verstopfung dieser Filter verhin­ dert. Dies wird dadurch erreicht, dass das Filter bzw. die Filterkammer zeitlich oder vom Grad der Verschmutzung abhängig mit einem Druckmedium gereinigt werden. Hierzu muss der Normalbetrieb mit dem Probendurchlauf kurz für den Reinigungs­ betrieb unterbrochen werden. Die Sensoren sind in diesem Moment vor dem Druckme­ dium abgeschottet, so dass diese in keinster Weise in Mitleidenschaft gezogen werden.

Weitere Einzelheiten und Vorteile des Erfindungsgegenstandes ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der zugehörigen Zeichnung, in der ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel mit den dazu notwendigen Einzelheiten und Einzelteilen dargestellt ist. Es zeigen:

Fig. 1 ein Schema einer Anlage zur Bestimmung von Gasen oder Gasgemischen,

Fig. 2 die perspektivische Ansicht einer solchen Anlage mit Proben- und Druckmediumströmung in der selben Richtung und

Fig. 3 die perspektivische Darstellung einer solchen Anlage mit Proben- und Druckmediumströmung in unterschied­ licher Richtung.

Fig. 1 zeigt die Sensorkammer 2 mit den hier nicht dargestellten Sensoren. Im Normalbetrieb wird über den Ventilator 7 das Gas oder Gasgemisch, welches bestimmt oder gemessen werden soll, durch die Sensorkammer 2 gefördert. Zuvor werden die Proben zur Reinigung durch die Filterkammer 4 mit dem oder den Filtern 1 gefördert, in die sie entsprechend dem Pfeil 19 gelangen. Die Filterkammer 4 weist an ihrem einen Ende zu diesem Zwecke einen Probeneinlass 11 auf und am anderen Ende ein Auslassventil 13. Das Auslassventil 13 stellt die Verbindung zur Sensorkammer 2 her. Die durch den Filter zurückgehaltenen Partikel setzen sich beispielsweise an der Innen­ wand der Filterkammer 4 ab oder bleiben bei einem mechanischen Filter an dessen Oberfläche haften.

Die Filterkammer 4 weist in diesem Beispiel zudem ein Einlassventil 8 auf, über welches die Verbindung zur Druckmediumeinrichtung hergestellt wird. Statt des Ein­ lassventiles 8 und des Probeneinlasses 11 kann hier auch ein Dreiwegeventil vorgesehen sein. Von der Druckmediumquelle 10 wird die für den Reinigungsvorgang benötigte Menge Druckmedium in die Druckkammer 3 abgegeben. Diese Zwischenspeicherung wird über ein Magnetventil 17 gesteuert. Im Rahmen des Reinigungsbetriebs wird durch kurzzeitiges Öffnen des Spülungsventils 12 das Druckmedium durch die Spüllei­ tung 6 in die Filterkammer 4 geleitet. Dies geschieht bei abgeschalteter Ventilation. Dabei sind Einlassventil 8 und Auslassventil 13 so eingestellt, dass die Sensoren nicht mit dem Reinigungsmedium in Verbindung kommen können. Das als Druckmedium verwendete Reinigungsgas dringt mit hohem Druck in die Filterkammer 4 ein und rei­ nigt deren Innenseite von den dort angesammelten Verunreinigungen und Rückständen und führt diese durch den Reinigungsauslass 9 entsprechend dem Pfeil 20 auf dem normalen Probenweg heraus. Jetzt werden Einlassventil 8 und Auslassventil 13 um- und die Ventilation wieder eingeschaltet, so dass die Anlage wieder auf Normalbetrieb ge­ schaltet ist. Dieser Reinigungszyklus kann beliebig oft wiederholt werden, wobei die Sensorkammer 2 und die darin angeordneten Sensoren sicher vor dem Eindringen von Fremdpartikeln geschützt sind.

Eine erfindungsgemäße Anlage in perspektivischer Ansicht zeigt Fig. 2. Bei dieser Ausführungsform handelt es sich um ein elektrostatisches Filter zur Filterung des Probenstromes. Die Filterkammer 4 ist hier als Hochspannungselektrode 14 ausgebil­ det. Dieser ist eine Hochspannungserzeugung 22 zugeordnet.

Im Normalbetrieb wird durch den Ventilator 7 das Gas oder Gasgemisch durch die Sensorkammer 2 an den Sensoren 21 vorbeigeführt. Der Sensorkammer 2 ist die Filterkammer 4 vorgeordnet, welche über das Auslassventil 13 mit der Sensorkammer 2 verbunden ist. In dieser Ausführungsform handelt es sich um ein Dreiwegeventil, wel­ ches einerseits die Verbindung zur Sensorkammer 2, andererseits zum Reinigungsaus­ lass 9 herstellt. Das Auslassventil 13 ist über eine Ventilkopplung 23 mit dem Einlass­ ventil 8 verbunden, so dass Einlassventil 8 und Auslassventil 13 abhängig voneinander eingestellt werden können. Das Einlassventil 8 ist hier ebenfalls als Dreiwegeventil ausgebildet, wobei es einerseits die Verbindung zum Probeneinlass 11, andererseits zur Spülleitung 6 herstellt. Die Spülleitung 6 stellt die Verbindung zur Druckkammer 3 her. Die Druckkammer 3 ist über ein weiteres Ventil, das Spülungsventil 12, abge­ schottet. Auch zwischen Druckkammer 3 und der Druckmediumquelle 10, hier ein Druckgasbehälter 24, ist ein Ventil, hier ein Magnetventil 17, vorgesehen. Letzteres öffnet, sobald jeweils ein Reinigungsvorgang abgeschlossen ist, um die für die Vorhal­ tung des nächsten Reinigungsvorgangs benötigte Menge Druckgas vom Druckgasbehäl­ ter 24 in die Druckkammer 3 zu leiten. Das Spülungsventil 12 wird geöffnet, damit das Gas dann über das Einlassventil 8 in die Filterkammer 4 gelangen kann.

Die in Fig. 3 dargestellte Anlage weist zu der in Fig. 2 gezeigten den Haupt­ unterschied auf, dass hier Normal- und Reinigungsbetrieb in unterschiedlicher Richtung durchgeführt werden. Durch den Ventilator 7 wird der Probenstrom vom Einlassventil 8 in Richtung Auslassventil 13 und weiter durch die Sensorkammer 2 an den Sensoren 21 vorbeigeführt. In diesem Ausführungsbeispiel handelt es sich um ein herkömmli­ ches, mechanisches Filter. Das zur Reinigung dieses Filters eingesetzte Gas strömt entgegengesetzt zum Normalbetrieb durch die Filterkammer 4. Aus diesem Grunde sind Druckkammer 3 und Druckgasbehälter 24 sowie die zugehörigen Einrichtungen dem Auslassventil 13 zugeordnet. Ansonsten verlaufen die aus Proben- und Reinigungsvor­ gängen bestehenden Zyklen entsprechend.

Alle genannten Merkmale, auch die den Zeichnungen allein zu entnehmenden, werden allein und in Kombination als erfindungswesentlich angesehen.

Claims (15)

1. Verfahren zur Bestimmung bzw. Messung von Gasen oder Gasge­ mischen mit Hilfe von in einer Sensorkammer angeordneten Sensoren, denen mindes­ tens ein auch für Feinstpartikel geeignetes Filter vorgeschaltet ist, wobei die Gase über einen Ventilator durch das Filter gefördert werden, dadurch gekennzeichnet, dass das Filter in kontinuierlichen oder diskontinuierlichen zeitlichen Abständen ge­ reinigt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Filter mit Druckmedium beaufschlagt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass bei abgeschalteter Ventilation die in einer Druckkammer vorgehaltene und für den Reinigungsvorgang bemessene Menge Druckmedium durch eine Spülleitung in das Filter und von dort mit den Feinstpartikeln über eine Auslassvorrichtung abgegeben wird.

4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, gekennzeichnet durch einen Zyklus, wonach zur Unterbrechung eines Probenstroms zunächst der Ventilator abgeschaltet wird, im Anschluss durch Öffnung eines Einlassventils das Strömen der vorgehaltenen Menge Druckmedium aus der Druckkammer in das Filter ermöglicht wird, sodann ein Reinigungsauslass am Ende des Filters oder einer dieses umgebenden Filterkammer geöffnet, das Einlassventil geschlossen, der Reinigungsauslass geschlos­ sen und schließlich der Ventilator zur Wiederaufnahme des Probestroms eingeschaltet wird.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass der Zyklus in einstellbaren Zeitabständen automatisch oder abhängig von der Durchlässigkeit des Filters gesteuert wird.

6. Anlage zur Bestimmung von Gasen oder Gasgemischen, mit einer das Filter (1) aufnehmenden Filterkammer (4), einer Sensorkammer (2) mit mindestens einem zugeordneten Sensor (21) und einem das Gas fördernden Ventilator (7) zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Filterkammer (4) für den Normalbetrieb einen Probeneinlass (11) und ein die Verbindung zwischen Filterkammer (4) und Sensorkammer (2) herstellendes Auslass­ ventil (13) und für den Reinigungsbetrieb vorzugsweise mit einem Druckmedium ein Einlaßventil (8) und einen Reinigungsauslass (9) aufweist.

7. Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Einlassventil (8) und das Auslassventil (13) als Dreiwegeventil ausgebildet sind.

8. Anlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass Einlassventil (8) und Auslassventil (13) voneinander abhängig einstellbar ausge­ bildet sind.

9. Anlage nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass dem Filter (1) eine Druckmediumquelle (10) und eine die benötigte Menge an Druckmedium vorhaltende Druckkammer (3) zugeordnet sind.

10. Anlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass zwischen Druckkammer (3) und Filter (1) ein Spülungsventil (12) angeordnet ist.

11. Anlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Filterkammer (4) röhrenförmig ausgebildet ist.

12. Anlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckkammer (3) bzw. die Druckmediumquelle (10) dem Probeneinlass (11) und/oder dem Probenauslass zugeordnet ist.

13. Anlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Filter (1) als elektrostatisches Filter mit einer Hochspannungselektrode (14) ausgebildet ist.

14. Anlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Druckmedium ein Edelgas, vorzugsweise Argon, dient.

15. Anlage nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass als Druckmedium Druckluft oder Dampf dient.