DE19858827A1 - Sensor - Google Patents
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Abstract
Die Erfindung betrifft einen Sensor mit einer Signalquelle zur Emission eines physikalischen Signals und mit einem von der Signalquelle beabstandeten Signaldetektor zum Empfang des physikalischen Signals am Ort des Signaldetektors. Das empfangene physikalische Signal wird mit Hilfe einer Auswerteeinheit ausgewertet, in dem das empfangene physikalische Signal anhand einer eingespeicherten Information zur Signalquelle ausgewertet und daraus der relative Abstand zwischen der Signalquelle und der Signaldetektor bestimmt wird. In den relativen Abstand gehen einerseits der geometrische Abstand zwischen der Signalquelle und dem Signaldetektor sowie andererseits die Übertragungseigenschaften des Raumbereichs zwischen der Signalquelle und dem Signaldetektor ein. Wird eine dieser Einflußgrößen konstant gehalten, lassen sich Rückschlüsse auf die andere Einflußgröße ziehen und damit Aussagen über bestimmte physikalische Größen machen. Ein derartiger Sensor läßt sich beispielsweise als Beschleunigungs-, als Druck-, als Kraft-, als Gasdichte-, als Transportgeschwindigkeits- oder als Durchflußmengensensor einsetzen.
Description
Aus der DE 33 10 643 ist ein kapazitiver Sensor zur absoluten
wie auch zur relativen Druckmessung bekannt. Dieser zeigt eine
erste und eine zweite Elektrode, welche zueinander beabstandet
sind und eine Meßkapazität bilden, wobei die erste Elektrode
auf einem ersten Substratkörper und die zweite Elektrode auf
einem zweiten Substratkörper angeordnet sind. Diese Substrat
körper sind seitlich miteinander verbunden und der zweite
Substratkörper im Bereich der zweiten Elektrode als durch
Druck verformbare Membran ausgebildet. Die kapazitiven Aus
gangssignale des Sensors werden einer externen Auswerteein
richtung zugeführt und ausgewertet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Sensor zu
schaffen, der in seinem Aufbau einen möglichst breiten Anwen
dungsbereich zeigt.
Diese Aufgabe wird durch einen Sensor mit den im Anspruch 1
angegebenen Merkmalen gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen des
Sensors sind in den Unteransprüchen dargestellt.
Der erfindungsgemäße Sensor zeigt eine Signalquelle zur Emis
sion eines physikalischen Signals und einen von der Signal
quelle beabstandeten und von dieser unabhängigen Signaldetek
tor zum Empfang des physikalischen Signals am Ort des Signal
detektors nachdem das physikalische Signal den Raumbereich
zwischen der Signalquelle und dem Signaldetektor überwunden
hat und dadurch eine Veränderung erfahren hat. Das im Signal
detektor empfangene Signal wird einer Auswerteeinheit zuge
führt, die das empfangene Signal unter Zuhilfenahme einer
gespeicherten Information über die Sendequelle und damit über
das emittierte physikalische Signal auswertet. Bei der Aus
wertung erfolgt vorzugsweise ein Vergleich des zu erwartenden
Signals, anhand der Information über die Signalquelle und
damit über das emittierte Signal, mit dem tatsächlich emp
fangenen Signal. Dabei wird eine Information über den relati
ven Abstand, das ist eine Größe itt der einerseits der räumli
che Abstand zwischen der Signalquelle und dem Signaldetektor
als auch die Übertragungseigenschaften des Bereichs zwischen
der Signalquelle und dem Signaldetektor eingehen, gewonnen.
Dieser relative Abstand ist somit von dem rein geometrischen
Abstand der Signalquelle und des Signaldetektors zu unter
scheiden.
Durch diese Art des Zusammenwirkens läßt sich bei konstantem
geometrischem Abstand eine Aussage über eine Veränderung des
Übertragungsverhaltens treffen und daraus bestimmte physika
lische Eigenschaften, wie Dichteänderungen, Temperaturänderun
gen oder Transportgeschwindigkeitsveränderungen oder eine
Änderung der Durchflußmenge oder auch deren Absolutwerte be
stimmen. Andererseits lassen sich bei konstanten Übertragungs
bedingungen eine Aussage über die Veränderung des geometri
schen Abstandes zwischen der Signalquelle und dem Signaldetek
tor machen. Ist die Abstandsänderung durch eine äußere Kraft,
einen Druck oder eine Beschleunigung oder ähnliches bedingt,
läßt sich daraus entweder die Änderung dieser Größen oder
deren Absolutwerte bestimmen. Durch die voneinander unabhängi
ge Ausbildung der Signalquelle und des Signaldetektors als
voneinander getrennter Einheiten, die idealerweise nicht ein
mal elektrisch oder elektronisch miteinander verbunden sind,
gelingt es, wechselseitige Beeinflussungen wie sie bei dem aus
der DE 33 10 643 bekannten kapazitiven Sensor durch die beiden
Elektroden, welche die eine Meßkapazität bilden, bekannt sind,
zu vermeiden.
Als besonders geeignete physikalische Signale haben sich aus
der Vielzahl der physikalischen Signale radioaktive Signale,
elektromagnetische Signale, optische Signale, Druckschwankun
gen oder thermische Signale herausgestellt. Durch eine Aus
bildung der Signalquelle und des Signaldetektors auf einem
gemeinsamen Substrat oder auf zwei getrennten eng voneinander
beabstandeten Substraten läßt sich das Ausmaß des Sensors sehr
stark reduzieren, was den möglichen Einsatzbereich eines sol
chen Sensors beispielsweise in der pharmazeutischen Industrie
oder chemischen Industrie, wo mit sehr hochwertigen oder teu
ren Substanzen mit geringen Volumina gearbeitet wird, wesent
lich erweitert.
Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, den Abstand zwi
schen der Signalquelle und dem Signaldetektor insbesondere
durch eine in sich geschlossene, mechanisch steife Konstruk
tion aus einem oder mehreren Substraten konstant zu halten und
dadurch die Möglichkeit zu schaffen, Änderungen in den Über
tragungseigenschaften in dem Raumbereich zwischen der Signal
quelle und dem Signaldetektor zu detektieren und auszuwerten.
Ein derartiger Sensor ist besonders geeignet, Änderungen in
der Gasdichte oder in der Transportgeschwindigkeit oder in der
Durchflußmenge oder in der Temperaturverteilung oder die Abso
lutwerte dazu zu bestimmen.
Auch erweist es sich als besonders vorteilhaft, die Übertra
gungseigenschaften in dem Bereich zwischen der Signalquelle
und dem Signaldetektor konstant zu halten und damit die Mög
lichkeit zu schaffen, den Abstand zwischen der Signalquelle
und dem Signaldetektor oder deren Änderung zu bestimmen. Dabei
wird die Übertragungseigenschaft insbesondere dadurch konstant
gehalten, daß der Raum, zwischen der Signalquelle und dem Si
gnaldetektor von einheitlicher gleichbleibender Struktur ist.
Dabei ist insbesondere auf konstante Temperatur, konstante
Zusammensetzung, isotrope Ausbildung des Raums und ähnliches
zu achten. Dabei hat sich als besonders vorteilhaft erwiesen,
den Raum vollständig mit einem Edelgas oder noch besser mit
einem Vakuum zu füllen. In diesem Falle läßt sich durch Ver
gleich des empfangenen Signals mit den Informationen über das
emittierte Signal eine Aussage über den Abstand bzw. dessen
Änderung treffen.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist eine
Steuereinheit vorgesehen, die mit der Signalquelle verbunden
ist und diese steuert. Darüber hinaus ist die Steuereinheit
mit der Auswerteeinheit verbunden, wodurch eine Aktualisierung
der Informationen über die Signalquelle zur Auswertung der
empfangenen physikalischen Signale gegeben ist. Darüber hinaus
ist es möglich, mit Hilfe dieser Steuereinheit die Auswerte
einheit und ergänzend hierzu auch den Signaldetektor nur für
die Zeit in Betrieb zu nehmen, in dem der Empfang und die
Auswertung eines emittierten physikalischen Signals durch die
Signalquelle zu erwarten ist. Durch diese Ausführungsform
gelingt es, den Stromverbrauch des Sensors über einen längeren
Zeitraum wesentlich zu reduzieren, was wiederum einen ver
größerten Einsatzbereich insbesondere in abgelegenen Meßsta
tionen insbesondere ohne Anschluß an ein Stromnetz erschließt.
Vorzugsweise wird die Auswerteeinheit und/oder die Steuer
einheit in dem oder den Substratkörpern insbesondere in dem
Bereich der Signalquelle oder des Signaldetektors angeordnet,
wodurch eine höhere Integrationsdichte des Sensors erreicht
wird, was sich sehr vorteilhaft auf die Größe des Sensors
auswirkt. Darüber hinaus erweist sich eine derartige Anordnung
als elektronisch sehr vorteilhaft, da durch diese Anordnung
sehr kurze Signalwege realisiert werden können und dadurch nur
geringe Signalverluste entstehen können, was zu einem beson
ders vorteilhaften Sigrialrauschverhältnis für das empfangene
physikalische Signal führt. Weiterhin erweist sich eine der
artige Anordnung als wenig empfindlich für äußere elektro
nische Störeinflüsse, beispielsweise durch den ständig vorhan
denen elektromagnetischen Smog, was insbesondere bei einem
Einsatz im Automobilbereich von besonderer Bedeutung ist.
Mithin erweist sich ein derartiger Sensor mit im Substratkör
per integrierter elektronischer Auswerteeinheit und/oder Steu
ereinheit als besonders geeignet für den Einsatz im Automobil
bereich. Dabei wird vorzugsweise die Steuereinheit getrennt
von der Auswerteeinheit im Substratkörper realisiert und dabei
die Steuereinheit vorzugsweise im Bereich der Signalquelle,
insbesondere unter dieser, angeordnet während die Auswerteein
heit im Bereich des Signaldetektors insbesondere unter diesen
im Substratkörper angeordnet wird. Im Falle der getrennten
Ausbildung der Signalquelle und des Signaldetektors auf ge
trennten Substratkörpern wird diese Trennung auch für die
Steuereinheit und die Auswerteeinheit realisiert. Damit ist
eine wechselseitige Störung der elektronischen Einheiten weit
gehendst ausgeschlossen.
Als besonders vorteilhaft hat sich erwiesen, die Auswerteein
heit im Substratkörper mit einer oder mehreren signalverstär
kenden Elementen zu versehen, die durch die Anordnung im Sub
strat insbesondere unterhalb des Signaldetektors optimal zur
Geltung kommen können, da gerade durch die kurzen Signalwege
ein recht gutes Signalrauschverhältnis und damit eine gute
Auflösung gegeben ist. Damit erweist sich diese Anordnung als
besonders geeignete Ausbildung eines erfindungsgemäßen Sen
sors.
Gemäß einem anderen Ausführungsbeispiel für einen Sensor, bei
dem der Abstand zwischen der Signalquelle und dem Signaldetek
tor veränderlich ausgebildet ist, ist der Substratkörper im
Bereich des Signalempfängers und/oder der Substratkörper im
Bereich des Signaldetektors als Membran ausgebildet, die ihre
Lage aufgrund einer äußeren Kraft oder eines äußeren Drucks
oder einer Beschleunigung des Sensors verändert und dadurch
den Abstand zwischen der Signalquelle und dem Signaldetektor
verändert und sich dadurch ein Maß für die von außen wirkende
Kraft, den Druck oder die wirkende Beschleunigung oder deren
Änderungen erzielen läßt. Damit gelingt es auf fertigungstech
nisch einfache und raumsprarende Weise einen universell ge
eigneten Sensor für die Messung von Kräften, Drücken oder
Beschleunigung oder entsprechendes zu schaffen.
Vorzugsweise ist ein Sensor mit einer Membran mit einer zu
sätzlichen Dämpfungsvorrichtung zur Dämpfung von unerwünschten
Schwingungen versehen, wodurch die dargestellten Meßergebnisse
von wesentlich besserer Qualität sind, denn eine Störung der
Meßwerte durch unerwünschte Schwingungen insbesondere aufgrund
von Resonanzen im Sensor insbesondere im Bereich der Membran
lassen sich durch eine derartige Dämpfungsvorrichtung aus
schließen. Beispielsweise lassen sich derartige Dämpfungsvor
richtungen durch Versteifungen im Bereich der Membranen bil
den, wodurch die Resonanzfrequenzen der Membran zielgerichtet
in weniger störende Bereiche verschoben werden können oder in
ihrer Eignung zum Aufschwingen deutlich reduziert werden kön
nen. Weiterhin hat es sich als vorteilhaft erwiesen, die abge
schlossenen Volumina des Sensors im Bereich der Membran mit
einem Gas höherer Dichte aufzufüllen und dadurch eine bessere
Dämpfung zu bewirken. Als ebenso geeignet hat sich herausge
stellt, den Membranbereich durch Magnetkraft zu bedämpfen, in
dem an geeigneter Stelle um die Membran herum in oder mehrere
Magnete angeordnet werden und die Membran selbst wiederum mit
einem entsprechenden Magnet versehen ist. Durch die magneti
sche Wechselwirkung dieser Magnete wird die Einnahme einer
Gleichgewichtslage der Membran beschleunigt und damit eine
Bedämpfung bewirkt.
Gemäß einem bevorzugten Auführungsbeispiel der Erfindung ist
die Signalquelle und/oder der Signaldetektor so strukturiert,
daß sie zur ortsauflösenden Messung geeignet sind. Dies kann
dadurch erfolgen, daß der Signaldetektor räumlich getrennte
Segmente aufweist, die durch das physikalische Signal räumlich
differenziert angesteuert werden und durch eine entsprechende
elektronische Anordnung zur ortsauflösenden Verarbeitung der
empfangenen physikalischen Signale räumlich differenziert
ausgewertet werden. Diese Anordnung zur ortsauflösenden Ver
arbeitung ist bevorzugt innerhalb des Substratkörpers ins
besondere unterhalb des Signaldetektors im Bereich der Aus
werteeinheit angeordnet, was zu dem vergleichbaren Vorteilen
wie bei der Anordnung die der Auswerteeinheit im Substratkör
per führt. Durch diese ortsauflösende Messung und Auswertung
gelingt es, spezifische Aussagen über die Art der Auslenkung
der Membran, ihren mechanischen Zustand, insbesondere ihren
Ermüdungszustand und damit über die Heilbarkeit der Membran
und der Sensorenanordnung zu treffen. Mithin erweist sich
dieser Sensor als ein Sensor, der schon frühzeitig vor einem
Ausfall aufgrund einer Materialermüdung der Membran diesen zu
erwartenden Ausfall detektiert und dem Benutzer die Informa
tion gibt, daß ein Austausch des erfindungsgemäßen Sensors
notwendig ist.
Als besonders vorteilhaft hat sich bei einem Sensor erwiesen,
bei dem das physikalische Signal durch elektromagnetische
Strahlung realisiert ist, die Signalquelle und/oder den Si
gnaldetektor durch eine Antenne aus Leiterbahnen auf oder in
dem Substratkörper zu realisieren. Damit gelingt es, durch
einen durchgehenden Fertigungsprozeß des Substratkörpers mit
den darauf oder darin realisierten elektrischen Leiterbahnen
und elektronischen Anordnungen ohne zusätzliche davon getrenn
te andere Herstellungsprozesse und ohne zusätzliche Aufbrin
gung von getrennt hergestellten Signalquellen oder Signalde
tektoren einen kompletten Sensor zu schaffen. Dieser Sensor
erweist sich damit als fertigungstechnisch sehr einfach herzu
stellen und als sehr kostengünstig wie auch als wenig stör
anfällig. Dies macht diesen Sensor sehr geeignet für die Mas
senproduktion beispielsweise im Automobilbereich oder auch
beim Einsatz unter extremen Bedingungen, wo ein enormer An
spruch an die Qualität gegeben ist.
Vorzugsweise ist die Steuereinheit des Sensors mit der Signal
quelle und der Auswerteeinheit so verbunden, daß bei der Aus
wertung und damit beim Vergleich der ausgesendeten physika
lischen Signale respektive der zu erwartenden physikalischen
Signale mit den tatsächlich empfangenen physikalischen Signa
len stets die aktuellen Eigenschaften der Signalquelle Berück
sichtigung findet. Führt eine Veränderung der Eingenschaften
der Signalquelle zu einer Veränderung der emittierten physika
lischen Signale, beispielsweise durch eine nachlassende Akti
vität einer radioaktiven Strahlungsquelle, so wird diese In
formation mittels der Verbindungsleitung der elektronischen
Anordnung zur Auswertung, auch Auswerteeinheit genannt, zur
Verfügung gestellt und bei der Auswertung berücksichtigt.
Damit gelingt es, Veränderungen in der Signalquelle automa
tisch bei der Auswertung zu berücksichtigen und damit das
Meßergebnis des Sensors wesentlich verläßlicher zu gestalten.
Im folgenden wir die Erfindung anhand der Zeichnungen näher
erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 ein erstes erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel des
Sensors mit einer radioaktiven Signalquelle und ei
nem ortsauflösenden Signaldetektor zur Bestimmung
der Durchflußmenge,
Fig. 2 ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel
des Sensors als Drucksensors und
Fig. 3 einen beispielhaften Schaltungsaufbau eines erfin
dungsgemäßen Ausführungsbeispiels eines Sensors.
Fig. 1 zeigt einen erfindungsgemäßen Sensor zur Durchflußmen
genbestimmung. Der Sensor weist einen ersten Substratkörper 1
auf, dem ein zweiter Substratkörper 2 beabstandet zugeordnet
ist. An dem ersten Substratkörper 1 ist die Signalquelle 3 dem
zweiten Substratkörper 2 zugewandt angeordnet. Auf dem zweiten
Substratkörper 2 ist auf der dem ersten Substratkörper 1 zu
geordneten Seite der Signaldetektor 4 angeordnet, welcher in
vier einzelne räumlich voneinander getrennte Einzeldetektor
elemente 4a, 4b, 4c, 4d aufteilt ist. Im Inneren des zweiten
Substratkörpers 2 ist eine elektronische Auswerteeinheit 5
angeordnet, die mit den einzelnen Signaldetektorelementen 4a-4d
verbunden ist und die die empfangenen physikalischen Signa
le verstärkt und auswertet. Dabei umfaßt die Auswertung auch
eine Differenzierung nach dem Ort der einzelnen Signaldetek
torelemente und damit eine Auswertung nach der räumlichen
Entwicklung des physikalischen Signals, was zu einer Darstel
lung der Durchflußmenge durch den Raumbereich 6 zwischen der
Signalquelle 3 und dem Signaldetektor 4 führt.
Die in diesem Ausführungsbeispiel dargestellte Signalquelle 3
stellt eine thermische Quelle dar. Wird der Zwischenraum 6
zwischen dem der Signalquelle 3 und dem Signaldetektor 4 von
einer langsam strömenden Flüssigkeit durchflossen so wird die
thermische Energie nur wenig in die Flußrichtung abgelenkt,
während bei einer höheren Flußgeschwindigkeit eine stärkere
Ablenkung auftritt. Je nach Maß der Ablenkung werden verschie
dene Signaldetektorelemente angeregt, wodurch ein Rückschluß
auf die Fließgeschwindigkeit der den Raum 6 durchfließend
Substanz getroffen werden kann und dadurch auch ein Maß für
die Durchflußmenge gewonnen werden kann.
Bei diesem Ausführungsbeispiel arbeitet die Signalquelle 3
völlig unabhängig von dem Signaldetektor 4 bzw. von der Aus
werteeinheit 5. Mithin ist es auch nicht erforderlich, den
Signaldetektor 3 elektrisch mit dem Signaldetektor 4 oder mit
der Auswerteeinheit 5 zu verbinden, was sich als besonders
vorteilhaft erweist, da damit all die Probleme des Abdichtens
der elektrischen Verbindungen gegenüber der auf die Durch
flußmenge zu messenden Substanz und damit die Gefahr von Fehl
funktion oder des Totalausfalls des Sensors weitgehend ausge
schlossen sind.
Durch den Aufbau des Sensors mit den zwei Substratkörpern 1, 2
und der darauf angeordneten Signalquelle 3 und den Signalde
tektor 4 mit der integrierten Auswerteeinheit 5 gelingt es,
den Sensor äußerst klein auszubilden und ihn dadurch auch in
Bereichen einzusetzen, wo beispielsweise nur geringe Substanz
mengen vorhanden sind, deren Durchflußgeschwindigkeit oder
Durchflußmenge bestimmt werden soll. Damit erweist sich ein
derartiger Durchflußmengenmeßsensor als besonders geeignet für
die pharmazeutische Industrie oder für Versuchslabore, Proto
typenlabore und Analysenlabore der chemischen Industrie.
Fig. 2 zeigt einen erfindungsgemäßen Drucksensor, der einen
ersten Substratkörper 1 und einen zweiten Substratkörper 2
aufweist, wobei auf dem zweiten Substratkörper 2 ein Signal
detektor 4 angeordnet ist und in den zweiten Substratkörper 2
eine elektronische Auswerteeinheit 5 integriert ist, die zur
Verarbeitung der physikalischen Meßsignale dient. Durch die
Integration der Auswerteeinrichtung 5 in dem Substratkörper 2
direkt bei dem Signaldetektor 4 wird der vorhandene Raum für
den gesamten Sensor sehr günstig ausgenutzt. Weiterhin werden
die Signalwege von dem Signaldetektor 4 zu der Auswerteeinheit
5 erheblich verkürzt, was zu einer besonders zuverlässigen
Auswertung der Meßsignale führt. Der erste Substratkörper 1
ist derart geformt, daß er eine Membran zeigt, die durch Druck
verformbar ist. Der Druck wird üblicherweise in Richtung des
Pfeils auf die Membran ausgeübt. Im Bereich der Membran ist
auf der den Signaldetektor 4 zugeordneten Seite eine Signal
quelle 3 angeordnet. Wird die Membran durch das Einwirken des
äußeren Drucks verformt und dadurch die Signalquelle 3 in
ihrer Lage verändert, bewirkt dies eine Abstandsänderung zu
dem Signaldetektor 4. Zeigt das von der Signalquelle 3 emit
tierte physikalische Signal eine Abhängigkeit von dem durch
laufenden Abstand vor dem Empfang durch den Signaldetektor 4,
so läßt sich aus dem empfangenen physikalischen Signal durch
die Auswerteeinheit 5 eine Aussage über die durchlaufende
Strecke und damit den Abstand zwischen Signalquelle 3 und
Signaldetektor 4 treffen und dadurch eine Aussage über den
Druck auf die Membran schließen. Dabei kann sowohl eine Aus
sage über den Relativdruck als auch den absoluten Druck ge
troffen werden.
In dem gewählten Ausführungsbeispiel sind die Substratkörper
1, 2 aus Silizium gebildet. Dadurch wird eine besonders ein
fache Integration der Auswerteeinheit 5 ermöglicht. Zudem
weist Silizium besonders günstige mechanische Eigenschaften
für die verformbare Membran 5 auf. Die Signalquelle 3 und der
Signaldetektor 4 sind durch in ihrer Formgebung und Größe
spezifisch ausgebildete Leiterbahnen auf dem jeweiligen Sub
stratkörper 1, 2 ausgebildet, wodurch sie einerseits als
Sende- und andererseits als Empfangsantenne für ein entspre
chendes elektromagnetisches Signal wirken. Das elektromagneti
sche Signal läßt sich durch die Wahl der Form und der Größe
der entsprechenden Leiterbahnen spezifizieren, wodurch die
Einflüsse störender äußerer elektromagnetischer Felder auf ein
Minimum reduziert werden können. Wie zuvor beschrieben hängt
das empfangene elektromagnetische Signal von den Übertragungs
eigenschaften des Raumes 6 zwischen der Signalquelle 3 und dem
Signaldetektor 4 ab, wobei insbesondere der Abstand eine zen
trale Bedeutung hat. Wird der Raum durch eine homogene Sub
stanz ausgefüllt, die in ihren elektromagentischen Übertra
gungseigenschaften abgesehen von der Übertragungsstrecke un
spezifisch ist, so erweist sich diese Ausbildung des Sensors
als besonders geeignet, beispielsweise den Druck auf die Mem
bran exakt zu bestimmen. Tritt ergänzend zu der Abhängigkeit
von Übertragungseigenschaften von der Übertragungsstrecke eine
Abhängigkeit von der Temperatur hinzu, so kann diese Tempera
turabhängigkeit nach der Messung durch ein an sich bekanntes
Thermometer bei der Auswertung durch die Auswerteeinheit 5
berücksichtigt werden. In einem solchen Fall läßt sich dieser
Sensor aber auch umgekehrt als Temperatursensor verwenden,
sofern der Abstand zwischen der Signalquelle 3 und dem Signal
detektor 4 konstant gehalten wird oder auf andere Weise be
stimmt werden kann.
Fig. 3 zeigt einen beispielhaften Schaltungsaufbau eines er
findungsgemäßen Sensors. Er zeigt die Sendequelle 3, die durch
den Raumbereich 6 von dem Signaldetektor 4 getrennt ausge
bildet ist. Die Signalquelle 3 sendet ein physikalisches Si
gnal in Richtung des Signaldetektors 4 aus. Dieses Signal ist
als Pfeil B angedeutet und durchquert den Raumbereich 6.
Der Sensor zeigt eine Steuereinheit 7, die über eine Steuer
leitung mit der Sendequelle 3 verbunden ist und diese zum
Aussenden eines bestimmten physikalischen Signals zu einem
bestimmten Zeitpunkt ansteuert. Weiterhin ist die Steuerein
heit 7, welche vorzugsweise im Bereich der Signalquelle 3 in
dessen Substratkörper 1 integriert ist, mit dem Signaldetektor
4 verbunden. Die Auswerteeinheit 5 ist in dem Signaldetektor 4
zugeordneten zweiten Substratkörper 2 integriert ausgebildet.
Mittels den Verbindungsleitungen zum Signaldetektor 4 und zur
Auswerteeinheit 5 werden diese in Kenntnis der Steuerdaten der
Signalquelle und der erwarteten Empfangszeit des physikali
schen Signals zielgerichtet eingeschaltet, so daß eine sichere
Dektektion des von der Signalquelle 3 emittierten physika
lischen Signals durch den Signaldetektor 4 und eine entspre
chende Auswertung in der Auswerteeinheit 5 gegeben ist. Au
ßerhalb dieses für einen sicheren Betrieb erforderlichen Zeit
fensters wird der Signaldetektor 4 oder auch die Auswerteein
heit 5 ausgeschaltet, wodurch der Energieverbrauch des Sensors
über die Zeit wesentlich reduziert ist. Entsprechendes gilt
auch für die Signalquelle 3.
Die Auswerteeinheit 5 ist neben der Verbindung mit der Steuer
einheit 7 und dem Signaldetektor 4, über die das empfangene
physikalische Signal der Auswerteeinheit 5 zugeführt wird,
auch mit einem externen Display 9 verbunden. In diesem Display
werden die durch die Auswerteeinheit 5 bestimmten Meßgrößen
wie Druck, Kraft, Beschleunigung, Durchflußgeschwindigkeit,
Durchflußmenge, Temperatur oder ähnliches dem Benutzer ange
zeigt.
1
erster Substratkörper
2
zweiter Substratkörper
3
Signalquelle
4
Signaldetektor
5
Auswerteeinheit
6
Raumbereich
7
Steuereinheit
8
Display
Claims (17)
1. Sensor mit einer Signalquelle (3) zur Emission eines phy
sikalischen Signals und mit einem von der Signalquelle (3)
beabstandeten Signaldetektor (4) zum Empfang des physikali
schen Signals am Ort des Signaldetektors und mit einer Aus
werteeinheit (5), die mit dem Signaldetektor (4) verbunden
ist und die das empfangene physikalische Signal auswertet und
daraus den relativen Abstand zwischen der Signalquelle (3)
und dem Signaldetektor (4) bestimmt, wobei die Signalquelle
(3) und der Signaldetektor (4) auf einem gemeinsamen Sub
stratkörper (1) oder auf zwei voneinander beabstandeten Sub
stratkörpern (1, 2) angeordnet sind.
2. Sensor nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, dass die Auswertung anhand einer ein
gespeicherten Information zur Senderquelle (3) erfolgt.
3. Sensor nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß der räumliche Abstand zwischen
der Signalquelle (3) und dem Signaldetektor (4) konstant ist
und der Raumbereich (6) zwischen diesen eine Änderung der
Übertragungseigenschaft erfahren kann.
4. Sensor nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß der räumliche Abstand zwischen
der Signalquelle (3) und dem Signaldetektor (4) veränderlich
ist und der Raumbereich (6) zwischen diesen keine Änderung
der Übertragungseigenschaften erfährt.
5. Sensor nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (5) so ausge
bildet ist, daß aus dem relativen Abstand die Gasdichte oder
die Transportgeschwindigkeit oder die Durchflußmenge bestimmt
wird.
6. Sensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit so ausgebil
det ist, daß aus dem relativen Abstand die Beschleunigung,
der Druck oder die Kraft auf den Sensor bestimmt wird.
7. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (7) mit der
Signalquelle (3) verbunden ist und diese steuert und daß die
Auswerteeinheit (5) so mit der Steuereinheit (7) verbunden
ist, daß anhand der von der Steuereinheit (7) empfangenen
Steuerdaten die Informationen zur Signalquelle (3) aktuali
sierbar sind.
8. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (7) mit einem
oder mehreren der Sendequelle (3), dem Signaldetektor (4) und
der Auswerteeinheit (5) so verbunden ist, daß diese durch die
Steuereinheit (7) zielgerichtet abschaltbar und in Betrieb
nehmbar sind.
9. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß in wenigstens einem der Substrat
körper (1, 2) die Auswerteeinheit (5) und/oder die Steuer
einheit (7) integriert ist.
10. Sensor nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (5) unterhalb
des Signaldetektors (4) im Substratkörper (2) angeordnet ist.
11. Sensor nach Anspruch 9 oder 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (5) im zwei
ten Substratkörper (2) und die Steuereinheit (7) in dem er
sten Substratkörper (1) integriert angeordnet ist.
12. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche 9 bis 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die Auswerteeinheit (5) und/oder
die Steuereinheit (7) signalverstärkende Elemente aufweist.
13. Sensor nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der erste Substratkörper (1), in
dem die Signalquelle (3) angeordnet ist, und/oder ein Bereich
des zweiten Substratkörpers (2), in dem der Signaldetektor
(4) angeordnet ist, als Membran ausgebildet ist.
14. Sensor nach Anspruch 13,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Dämpfungsvorrichtung zur
Dämpfung der Membran vorgesehen ist.
15. Sensor nach einem der vorangehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Signalquelle (3) und/oder der
Signaldetektor (4) zur ortsauflösenden Messung räumlich
strukturiert ausgebildet ist.
16. Sensor nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß eine
elektronische Anordnung zur Verarbeitung der ortsaufgelösten
Messung vorgesehen ist.
17. Sensor nach einem der vorstehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der auf oder in dem je
weiligen Substrat angeordneten Leiterbahnen zur Bildung der
Signalquelle (3) und/oder zur Bildung des Signaldetektors (4)
verwendet ist.
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8131 | Rejection |