DE19848942C2 - Optische Baugruppe - Google Patents
Optische BaugruppeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine optische Baugruppe bestehend aus einem optischen
Element und einem Halteelement, welche über je eine Fügefläche mittels Klebstoff
verbunden sind.
Eine derartige Baugruppe ist aus der DE 90 15 623 U1 bekannt.
Die erfindungsgemäße optische Baugruppe ist allgemein im optischen
Präzisionsgerätebau einsetzbar, insbesondere zur Montage größerer optischer
Elemente, die eine als Fügefläche nutzbare Planfläche aufweisen z. B. Streifenlinsen,
Prismen und Spiegel.
Teile aus Material mit unterschiedlichem thermischen Ausdehnungskoeffizienten,
wie sie ein optisches Element und ein Halteelement grundsätzlich sind, werden im
Stand der Technik häufig durch eine Klebeverbindung verbunden. Damit eine derart
gefügte Baugruppe keine irreversiblen Schäden erleidet, die bei auftretenden
thermischen und mechanischen Spannungen insbesondere während des
Transportes hervorgerufen werden können, bedarf es in der Regel besonderer
konstruktiver Maßnahmen. Je größer die Dimension und die
Ausdehnungsdifferenzen der Fügeteile sind, desto komplizierter erscheint diese
Problemlösung.
In Abhängigkeit von den zu erwartenden thermischen und mechanischen
Belastungen, sowie den Dimensionen und den Materialeigenschaften der Fügeteile
müssen spezielle konstruktive Maßnahmen getroffen werden, damit
- - auf das Halteelement einwirkende mechanische Schwingungen oder Stöße das optische Element nicht beschädigen oder dejustieren,
- - unterschiedliche Materialausdehnungen infolge von Temperaturschwankungen nicht zur Deformation des optischen Elementes, zur bleibenden Dejustage oder zum Reißen der Klebeverbindung führen.
Aus dem Stand der Technik sind hierzu verschiedene Lösungen bekannt, die dieser
Problemstellung unterschiedlich gerecht werden.
In der Gebrauchsmusterschrift DE 90 15 623 ist eine Prismenhalterungseinheit
(Halteelement) beschrieben mit einer Prismenmontage-Bezugsebene (Fügefläche des
Halteelementes), in welcher sich ein Stirnsenkenabschnitt (Ausnehmung) befindet,
der mit Klebstoff gefüllt ist. Das Volumen des Klebstoffes wird geringer gewählt als
das Volumen der Ausnehmung ist. Da der Querschnitt der Ausnehmung kleiner ist
als die Bodenfläche des darauf zu klebenden Prismas, entsteht eine Klebefläche,
deren Ausdehnung durch die Kontur der Ausnehmung begrenzt ist. Die Dicke der
entstehenden Klebstoffschicht ist durch die Tiefe der Ausnehmung vorgegeben und
über die Klebefläche konstant. Um die Klebefläche liegt der Prismenboden
ganzflächig und unmittelbar auf der Fügefläche des Halteelementes auf. Diese
unmittelbare Anlage ist einerseits bestimmend für die definierte Lage der Teile
zueinander, andererseits werden dadurch die auf das Halteelement einwirkenden
mechanischen Belastungen ungedämpft auf das optische Element übertragen. Das
unvermeidliche Schrumpfen des Klebstoffes beim Aushärten führt zu einem
Aneinanderpressen der beiden Fügeflächen. Die hierbei wirkenden Kräfte können
insbesondere bei großen Klebeflächen zur Deformation des optischen Elementes
führen. Ebenso können Unebenheiten in der Oberfläche des Halteelementes zur
Beschädigung des optischen Elementes führen. Für größere optische Elemente ist
eine solche Lösung daher ungeeignet.
Eine vergleichbare Fügung ist aus der JP 01-319716 A für zwei optische Elemente,
hier Linsen, bekannt. Hier wird auch vorgeschlagen, anstatt der Ausnehmungen in
einer der Fügeflächen zwischen die Fügeflächen eine ringförmige Zwischenlage
einzubringen. Die Dicke der Zwischenlage ist dann bestimmend für die maximale
Dicke der Klebstoffschicht. Da die gefügten Elemente aus gleichem Material
bestehen und sie sich bei thermischer Belastung entsprechend gleich ausdehnen
oder schrumpfen, kann ein Klebstoff geringer Viskosität und damit auch geringster
Dicke verwendet werden. Die Zwischenlage wird daher sehr dünn aus einem nicht
elastischen Material gefertigt sein.
Sowohl der Klebstoff als auch das Material der Zwischenlage, wie sie eine
Verbindung zwischen zwei optischen Elementen gleichem
Ausdehnungskoeffizienten gemäß der JP 01-319716 A ermöglichen, sind
ungeeignet für eine Verbindung zwischen einem optischen Element und einem
Halteelement, deren Ausdehnungskoeffizienten unterschiedlich sind.
In der Patentschrift US 4,857,130 ist eine Baugruppe beschrieben, bei der das
Halteelement nur über einem schmalen, eine Klebefläche umschließenden Rand
direkt am optischen Element anliegt. Die Anforderungen an eine hohe
Oberflächenebenheit beschränken sich daher gegenüber der oben beschriebenen
Lösung auf eine kleinere Fläche, nämlich die Oberfläche des Randes.
In der Patentschrift DE 41 13 956 ist eine optische Baugruppe beschrieben, bei
welcher die Fassung (Halteelement), mindestens zwei Ausnehmungen aufweist, in
die spezielle Verbindungselemente eingesetzt sind, über die das optische Element,
hier z. B. eine Streifenlinse, mittelbar mit dem Halteelement verbunden ist. Die
Verbindungselemente sind so gestaltet, dass sie auf der jeweils an einer Planfläche
des optischen Elementes anliegenden Seite, vergleichbar mit den bereits genannten
Lösungen, eine Aussparung aufweisen, in welcher der Klebstoff eingebracht ist.
Durch das Anlegen der Verbindungselemente an die jeweiligen Planflächen
entsteht, bestimmt durch die Tiefe der Aussparung und hier speziell durch eine
diese umschließende Klebstoffrille, zur Aufnahme überflüssigen Klebstoffes eine
Klebefläche mit definierter Ausdehnung und Klebstoffdicke. Der besondere Vorteil
dieser Lösung besteht darin, dass das optische Element um die Klebeflächen herum
jeweils an diesen Verbindungselementen, welche vorzugsweise aus Glas sind,
anliegt und nicht unmittelbar am Halteelement. Da die Verbindungselemente in den
Aussparungen im Halteelement ebenfalls mittels Klebstoff fixiert werden, werden
mechanische Belastungen, die auf das Halteelement wirken, nur gedämpft auf das
optische Element übertragen. Auch das Problem einer möglichen Deformation
besteht bei dieser Lösung nicht. Die Anzahl der Verbindungselemente kann in
Abhängigkeit von der Form und Größe des optischen Elementes variiert werden, so
dass diese Lösung auch für größere optische Elemente geeignet erscheint.
Nachteilig an dieser Lösung ist der konstruktiv hohe Aufwand und das Erfordernis,
dass an dem optischen Element wenigstens zwei genau zueinander gefertigte
Planflächen vorhanden sein müssen, die als Fügeflächen nutzbar sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine konstruktiv einfach gestaltete
Baugruppe zu finden, mit einem optischen Element und einem Halteelement,
welche mittels Klebstoff verbunden sind und die thermisch und mechanisch stabil
ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einer optischen Baugruppe gemäß
Anspruch 1 gelöst. Vorteilhafte Ausführungen sind in den Unteransprüchen
angegeben.
Für eine erfindungsgemäße Baugruppe ist es wesentlich, dass es keine direkte
Anlage zwischen dem optischen Element 1 und dem Halteelement 3 gibt, wodurch
eine unmittelbare Übertragung von mechanischen Belastungen wie z. B.
Schwingungen oder Stöße, die auf das Halteelement 3 einwirken, vermieden wird.
Die bei Änderung der Umgebungstemperatur auftretenden Längenänderungen der
beiden Fügeteile werden von der Klebstoffschicht 4, die aus einem hochviskosen
dauerelastischen Klebstoff mit geringer Schrumpfung besteht und eine konstante
Dicke aufweist, aufgenommen. Relativbewegungen der Fügeteile zueinander sind
trotz großer Klebefläche möglich, da ein Aneinandergleiten der Fügeteile mittelbar
an der Zwischenlage 2 erfolgt. Unebenheiten und Fertigungstoleranzen in den
beiden Fügeflächen werden durch die Zwischenlage 2 kompensiert. Ebenfalls
ausgeschlossen wird die Gefahr einer Deformation des optischen Elementes, da die
Zwischenlage 2 elastisch ist und die Volumenschrumpfung des Klebstoffes
aufnehmen kann.
Alle diese Vorteile werden mit einer einfachen konstruktiven Lösung erzielt. Diese ist
mit geringem Aufwand anpaßbar an Größe und Form des zu haltenden optischen
Elementes und daher für eine breite Anwendung im Präzisionsgerätebau geeignet.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert
werden. Die Zeichnung zeigt dazu in
Fig. 1a eine erfindungsgemäße Baugruppe mit einem Umlenkprisma als
optisches Element in Seitenansicht,
Fig. 1b die in Fig. 1a dargestellte Baugruppe in Draufsicht und
Fig. 2 die in den Fig. 1 dargestellte Baugruppe in Explosivdarstellung
Die erfindungsgemäße Baugruppe besteht aus einem optischen Element 1, einem
Halteelement 3, einer Zwischenlage 2 und einer Klebstoffschicht 4.
Im konkreten Ausführungsbeispiel ist das optische Element 1 ein Umlenkprisma mit
einer sehr großen Längenausdehnung, z. B. 300 mm. Eine der optisch nicht
wirksamen, in Richtung der Längsausdehnung des Prismas befindlichen
Seitenflächen, dient als Fügefläche 1.1. Als Fügefläche 1.1 wird vorteilhafterweise
die größte optisch nicht wirksame Planfläche des optischen Elementes 1 gewählt.
Das Halteelement 3 ist so dimensioniert, dass dessen Fügefläche 3.1 mindestens die
gleiche Größe aufweist wie die Fügefläche 1.1 des optischen Elementes 1. Das
Halteelement 3 ist der Einfachheit halber in den Figuren als einfache Planplatte
dargestellt, es kann jedoch jede beliebige Form aufweisen, die für die Montage der
Baugruppe in ein Gesamtsystem geeignet ist. Zwingend erforderlich ist nur das
Vorhandensein der bereits beschriebenen Fügefläche 3.1.
Zwischen der Fügefläche 1.1 des optischen Elementes 1 und der Fügefläche 3.1 des
Halteelementes 3 befinden sich die Zwischenlage 2 und die Klebstoffschicht 4.
Die Zwischenlage 2 ist ein synthetisch hergestelltes großporiges Vlies mit konstanter
Dicke und hoher Elastizität. Das Vlies ist luftdurchlässig und kann in bestimmten
Grenzen plastisch verformt werden. Es weist vorteilhafterweise die Form eines
Rahmens auf, dessen Außenmaße vorteilhafterweise denen der Fügefläche 1.1 des
optischen Elementes 1 entsprechen. Die Dicke D der Zwischenlage 2 bestimmt den
Abstand der beiden Fügeflächen und die Dicke der Klebstoffschicht 4 (schraffiert
dargestellt), die sich im Inneren des Rahmens befindet.
Als Klebstoff können grundsätzlich alle hochviskosen, elastischen Klebstoffe mit
geringer Schrumpfung verwendet werden. Im Ausführungsbeispiel soll es ein
Klebstoff auf Silikonbasis sein. Der Zutritt von Luftfeuchte zum Aushärten des
Silikonklebstoffes wird über die luftdurchlässige Zwischenlage 2 gewährleistet.
Die Dimensionierung und die Materialwahl für die Zwischenlage 2 erfolgt in
Kenntnis der möglichen thermischen Längenänderung der Fügeteile, deren
Dimension, sowie in Kenntnis der mechanischen und chemischen Eigenschaften des
Klebstoffes. Diese mehrfachen Abhängigkeiten erschweren die qualitative
Bestimmung der Parameter der Zwischenlage 2, so dass für eine Optimierung
Versuche erforderlich sind. Grundsätzlich sollte die Klebstoffschicht 4 möglichst
großflächig sein, während die Zwischenlage 2 wenigstens teilweise die Außenmaße
der Fügefläche 1.1 des optischen Elementes aufweisen sollte. So kann die
Zwischenlage 2 auch die Form eines Kreuzes oder eines Gitters aufweisen. Das
Einbringen des Klebstoffes in die freien Bereiche dieser Strukturen ist allerdings
komplizierter als in einem Rahmen, der die Möglichkeit bietet, eine geschlossene
Fläche mit Klebstoff zu versehen.
Zur Herstellung der Fügeverbindung wird die Zwischenlage 2 auf die Fügefläche 3.1
des Halteelementes 3 aufgelegt. Durch Anschläge oder Hilfsstifte kann die Position
des optischen Elementes 1 und der Zwischenlage 2 vorgegeben werden. Das setzt
voraus, dass die Fügefläche 3.1 am Halteelement 3 in jede Richtung der
Flächenausdehnung über die Fügefläche 1.1 des optischen Elementes 1 hinaus
geht. Danach wird der Klebstoff mit einem Dosiergerät in dem freien Innenbereich
aufgetragen, ohne mit der Zwischenlage 2 in Berührung zu gelangen. Anschließend
wird das optische Element 1 aufgesetzt, bis seine Fügefläche 1.1 auf der
Zwischenlage 2 gleichmäßig anliegt. Dabei wird der Klebstoff zu einer
Klebstoffschicht 4 gleicher Dicke gedrückt. Je nach Ausführung wird das optische
Element 1 lagejustiert, bevor der Klebstoff beginnt auszuhärten.
Claims (5)
1. Optische Baugruppe bestehend aus einem optischen Element (1) und einem
Halteelement (3), die aus Materialien mit einem unterschiedlichen
Ausdehnungskoeffizienten bestehen und je eine plane Fügefläche (1.1; 3.1)
aufweisen, die über eine hochviskose, elastische Klebstoffschicht (4) mit
minimaler Schrumpfung miteinander verbunden sind, dadurch gekennzeichnet,
dass in der Ebene der Klebstoffschicht (4) zusätzlich eine elastische Zwischenlage
(2), deren Elastizität klein gegenüber der Elastizität des Klebers ist, vorhanden ist,
über die das optische Element (1) mittelbar am Halteelement (3) anliegt,
wodurch eine spannungsfreie, definierte Relativlage zwischen den Fügeflächen
(1.1; 3.1) auch bei Temperaturschwankungen gesichert wird.
2. Optische Baugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Zwischenlage (2) wenigstens teilweise die Außenmaße der Fügefläche
1.1 des optischen Elementes (1) aufweist und großflächige freie Bereiche
aufweist, in denen die Klebstoffschicht (4) eingebracht ist.
3. Optische Baugruppe nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
dass die Zwischenlage (2) die Form eines Kreuzes aufweist.
4. Optische Baugruppe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Zwischenlage (2) die Form eines Rahmens aufweist, dessen
Außenkontur gleich der Umfangslinie der Fügefläche (1.1) des optischen
Elementes (1) entspricht.
5. Optische Baugruppe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
dass die Fügefläche (3.1) in ihren Ausmaßen über die Fügefläche (1.1) des
optischen Elementes (1) hinaus geht, um das optische Element (1) ganzflächig
aufliegend justieren zu können.
Priority Applications (1)
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DE1998148942 DE19848942C2 (de) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | Optische Baugruppe |
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DE19848942A1 DE19848942A1 (de) | 2000-05-11 |
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Family
ID=7885429
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DE1998148942 Expired - Lifetime DE19848942C2 (de) | 1998-10-23 | 1998-10-23 | Optische Baugruppe |
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Country | Link |
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DE (1) | DE19848942C2 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018124483B3 (de) | 2018-03-15 | 2018-12-13 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optikbaugruppe mit einem Optikelement mit einer planen Montagefläche großer Ausdehnung |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101474769B1 (ko) | 2007-06-27 | 2014-12-19 | 삼성전자 주식회사 | 광학부재의 결합장치 및 광주사장치 |
US11143975B2 (en) | 2016-12-22 | 2021-10-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus comprising an object with an upper layer having improved resistance to peeling off |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4857130A (en) * | 1987-12-03 | 1989-08-15 | Hughes Aircraft Company | Temperature stable optical bonding method and apparatus obtained thereby |
JPH01319716A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-26 | Canon Inc | レンズのの接着構造 |
DE9015623U1 (de) * | 1989-11-17 | 1991-02-21 | Nikon Corp., Tokio/Tokyo | Prismenhalterungseinheit |
US5089078A (en) * | 1990-12-17 | 1992-02-18 | Eastman Kodak Company | Apparatus for aligning an optical device |
DE4113956C2 (de) * | 1991-04-29 | 1993-12-23 | Rodenstock Optik G | Optisches System |
JPH07191248A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Chinon Ind Inc | レンズ構体 |
-
1998
- 1998-10-23 DE DE1998148942 patent/DE19848942C2/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4857130A (en) * | 1987-12-03 | 1989-08-15 | Hughes Aircraft Company | Temperature stable optical bonding method and apparatus obtained thereby |
JPH01319716A (ja) * | 1988-06-21 | 1989-12-26 | Canon Inc | レンズのの接着構造 |
DE9015623U1 (de) * | 1989-11-17 | 1991-02-21 | Nikon Corp., Tokio/Tokyo | Prismenhalterungseinheit |
US5089078A (en) * | 1990-12-17 | 1992-02-18 | Eastman Kodak Company | Apparatus for aligning an optical device |
DE4113956C2 (de) * | 1991-04-29 | 1993-12-23 | Rodenstock Optik G | Optisches System |
JPH07191248A (ja) * | 1993-12-27 | 1995-07-28 | Chinon Ind Inc | レンズ構体 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102018124483B3 (de) | 2018-03-15 | 2018-12-13 | Jenoptik Optical Systems Gmbh | Optikbaugruppe mit einem Optikelement mit einer planen Montagefläche großer Ausdehnung |
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE19848942A1 (de) | 2000-05-11 |
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