DE19847867A1 - Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht - Google Patents
Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks entlang einer linienförmigen NahtInfo
- Publication number
- DE19847867A1 DE19847867A1 DE19847867A DE19847867A DE19847867A1 DE 19847867 A1 DE19847867 A1 DE 19847867A1 DE 19847867 A DE19847867 A DE 19847867A DE 19847867 A DE19847867 A DE 19847867A DE 19847867 A1 DE19847867 A1 DE 19847867A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- deflecting mirror
- laser beam
- bearing
- seam
- mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/04—Automatically aligning, aiming or focusing the laser beam, e.g. using the back-scattered light
- B23K26/044—Seam tracking
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
Eine Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks (10) entlang einer linienförmigen Naht (12) enthält zumindest einen im Strahlengang eines Laserstrahls (LS) angeordneten Ablenkspiegel (2, 4), der zum Bewegen des Fokus (F) des Laserstrahls (LS) quer zur Naht (12) in einem Lager (16, 70) beweglich gelagert und von einem Stellantrieb (20) angetrieben ist, und eine Steuereinrichtung (40) zum Steuern des Stellantriebs (20) in Abhängigkeit eines von einer Tasteinrichtung (32) abgegebenen und die Lage der Naht (12) erfassenden elektrischen Meßsignals (Y1). Durch diese Maßnahme ist eine schnelle und präzise Positionierung des Fokus (F) möglich.
Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Laserschweißen eines
Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht, wie sie beispielsweise aus der
EP 0 310 793 B1 bekannt ist.
In dieser europäischen Patentschrift ist eine Vorrichtung zum Laserschweißen
eines Werkstücks entlang einer Naht offenbart, bei der mit einem zwei Ablenk
spiegel enthaltenden Ablenksystem der Laserstrahl achsversetzt wird. Die beiden
Ablenkspiegel sind hierzu in einer gemeinsamen Halterung schwenkbar um die
Mittenachse des auf den ersten Ablenkspiegel einfallenden Laserstrahls gelagert,
so daß durch den Achsversatz bei einer Schwenkbewegung der Fokus des La
serstrahls entlang einer Kreislinie bewegt wird, deren Radius dem Abstand zwi
schen dem ersten und zweiten Ablenkspiegel entspricht. Die Halterung der Ab
lenkspiegel ist drehfixiert an eine Tastrolle gekoppelt, die in eine von zwei gegen
überliegenden Kanten eines Werkstücks gebildete schmale linienförmige Nahtfu
ge eingreift. Durch diese Maßnahme ist sichergestellt, daß der Fokus des Laser
strahls auch bei einem Versatz der Nahtfuge stets auf die zu verschweißende
Stoßstelle des Werkstücks gerichtet ist. Die mit der bekannten Vorrichtung er
reichbare Nachführgenauigkeit ist jedoch systembedingt durch das unvermeidbare
Spiel im Schwenklager begrenzt. Da außerdem die zur Nachführbewegung erfor
derlichen Kräfte mit zunehmender Prozeßgeschwindigkeit ebenfalls zunehmen
und mechanisch von der Werkstücknaht über die Tastrolle zum Schwenklager
übertragen werden müssen, ist die mit der bekannten Vorrichtung mögliche Pro
zeßgeschwindigkeit ebenfalls begrenzt.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Laser
schweißen eines Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht anzugeben, mit
der bei hohen Prozeßgeschwindigkeiten eine hohe Nachführgenauigkeit möglich
ist.
Die genannte Aufgabe wird gemäß der Erfindung gelöst mit einer Vorrichtung mit
den Merkmalen des Patentanspruches 1. Die Vorrichtung zum Laserschweißen
eines Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht enthält zumindest einen im
Strahlengang eines Laserstrahls angeordneten Ablenkspiegel, der zum Bewegen
des Fokus eines Laserstrahls quer zur Naht in zumindest einem Lager beweglich
gelagert und von einem Stellantrieb angetrieben ist, und eine Steuereinrichtung
zum Steuern des Stellantriebs in Abhängigkeit eines von einer Tasteinrichtung
abgegebenen und die Lage der Naht erfassenden elektrischen Meßsignals.
Da eine Tasteinrichtung zum Erfassen der Lage der Naht vorgesehen ist, die ein
elektrisches Meßsignal abgibt, das über eine Steuereinrichtung auf den Stellan
trieb wirkt, kann die Lagerung des Ablenkspiegels mechanisch von der Tastein
richtung entkoppelt sein, so daß dieser mit geeigneten Stellantrieben schnell und
präzise in eine Sollposition gebracht werden kann.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist ein insbesondere als Feder
lager ausgebildetes Drehlager zum Schwenken des zumindest einen Ablenkspie
gels vorgesehen. Durch diese Maßnahme kann eine nahezu spielfreie und daher
präzise Positionierung des Fokus des Laserstrahls erzielt werden. Außerdem ist
aufgrund der Verschleißarmut eines Federlagers eine hohe Lebensdauer bei
gleichbleibender Genauigkeit gewährleistet.
In einer weiteren bevorzugten Ausführungsform ist der zumindest eine beweglich
gelagerte Ablenkspiegel schwenkbar um die Achse des auf ihn einfallenden La
serstrahls an einem Torsionskörper des Drehlagers gelagert. Durch eine
Schwenkbewegung wird dann eine Verschiebung des Fokus des Laserstrahls
quer zur Naht hervorgerufen.
In einer alternativen Ausgestaltung ist einem starr gelagerten ersten Ablenkspiegel
ein schwenkbar gelagerter zweiter Ablenkspiegel nachgeordnet und im Drehlager
derart gelagert, daß der vom zweiten Ablenkspiegel reflektierte Laserstrahl in ei
ner Ebene geschwenkt wird, die zum auf den ersten Ablenkspiegel einfallenden
Laserstrahl parallel ist.
Vorzugsweise ist der zweite Ablenkspiegel ein fokussierender Hohlspiegel. Da
durch ist eine nachfolgende Fokussieroptik nicht mehr erforderlich und die beweg
ten Massen sind reduziert.
Insbesondere ist einem schwenkbar gelagerten ersten Ablenkspiegel ein zweiter
Ablenkspiegel nachgeordnet und gemeinsam mit ihm im Torsionsdrehlager derart
gelagert, daß der vom zweiten Ablenkspiegel reflektierte Laserstrahl parallel zum
auf den ersten Ablenkspiegel einfallenden Laserstrahl versetzt ist.
In einer besonders vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung umfaßt das Torsi
onsdrehlager einen hohlzylindrischen Torsionskörper, der an seinem Umfang mit
einer Mehrzahl von in Umfangsrichtung nebeneinander angeordneten Öffnungen
versehen ist, wobei jeweils benachbarte Öffnungen voneinander durch ein ela
stisch in Umfangsrichtung biegbares, vorzugsweise achsparallel verlaufendes
blattfederähnliches Biegeelement getrennt sind. Auf diese Weise wird bei Aus
übung einer Kraft in Umfangsrichtung des Grundkörpers eine Torsion erzeugt.
Insbesondere ist der Torsionskörper einstückig, wobei die Biegeelemente als Ste
ge ausgebildet sind.
In einer weiteren alternativen Ausgestaltung der Erfindung ist der zumindest eine
beweglich gelagerte Ablenkspiegel parallel zur Achse des auf ihn einfallenden La
serstrahls verschiebbar in einem Translationslager, insbesondere ebenfalls ein
verschleißarmes Federlager, gelagert. Dadurch wird eine Bewegung des Fokus
des Laserstrahls quer zur Naht durch eine Linearverschiebung eines Ablenkspie
gels erzeugt.
Insbesondere umfaßt das Translations-Federlager einen hohlzylindrischen Grund
körper, der zumindest zwei hintereinander in Umfangsrichtung verlaufende erste
Schlitze enthält, denen zumindest zwei parallel und versetzt dazu verlaufende
zweite Schlitze zugeordnet sind, die von den ersten Schlitzen durch einen in
Axialrichtung biegbaren und in Umfangsrichtung verlaufenden Steg getrennt sind.
Durch diese Maßnahme ist eine leichte elastische Verformbarkeit in Axialrichtung
bei zugleich quer zur Axialrichtung vorliegender Biegesteifheit sichergestellt.
Insbesondere ist als Stellantrieb zum Bewegen des beweglich gelagerten Ablenk
spiegels ein Piezoantrieb vorgesehen. Durch diese Maßnahme sind Positionier
bewegungen verschleißarm und mit hoher Präzision und hohen Stellkräften, d. h.
kurzen Zeitkonstanten, möglich.
In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung umfaßt die Tasteinrich
tung ein in der Naht führbares und quer zur Naht federgelagertes mechanisches
Tastelement, dem ein Sensor zum Erfassen seiner Auslenkung senkrecht zur
Naht und parallel zur Ebene des Werkstücks zugeordnet ist.
Insbesondere ist als Tastelement eine Rolle vorgesehen, die in zumindest einer
Biegefeder um eine quer zur Biegefeder orientierte Drehachse drehbar gelagert
ist. In dieser Ausführungsform kann das Tastelement in der von der Naht vor dem
Schweißen gebildeten Fuge reibungsarm abrollen.
Vorzugsweise ist die Rolle zwischen zwei parallelen Biegefedern gelagert. Da
durch ist sichergestellt, daß die Achse der Rolle bei kleinen Auslenkungen stets
quer zur Vorschubrichtung orientiert ist.
In einer weiteren vorteilhaften Ausführungsform ist die Biegefeder schwenkbar um
eine zur Drehachse parallele Schwenkachse gelagert. Dadurch ist gewährleistet,
daß die Rolle auch bei kleinen Abstandsschwankungen zwischen Werkstück und
Halterung der Tasteinrichtung in die von der Naht gebildete Fuge eingreift und von
dieser geführt wird.
Zur weiteren Erläuterung der Erfindung wird auf die Ausführungsbeispiele der
Zeichnung verwiesen. Es zeigen:
Fig. 1 eine Vorrichtung gemäß der Erfindung in einer schematischen per
spektivischen Darstellung,
Fig. 2 eine vorteilhafte Ausgestaltung einer Schwenklagerung mit einem Tor
sionsdrehlager ebenfalls in einer schematischen perspektivischen Dar
stellung,
Fig. 3 eine vergrößerte Darstellung des Torsionsdrehlagers,
Fig. 4 eine alternative Ausführungsform der Erfindung mit einem schwenkbar
gelagerten fokussierenden Ablenkspiegel,
Fig. 5 eine weitere vorteilhafte Ausführungsform der Erfindung, bei der ein
Ablenkspiegel axial verschiebbar in einem Translations-Federlager ge
lagert ist,
Fig. 6 ein schematisches Ersatzschaltbild der Wirkungsweise des Translati
ons-Federlagers,
Fig. 7a, 7b jeweils einen Biegekörper des Translations-Federlagers in einer um 90°
zueinander versetzten Seitenansicht,
Fig. 8 eine vorteilhafte Ausgestaltung einer Tasteinrichtung ebenfalls in einer
schematischen perspektivischen Darstellung.
Fig. 9a, 9b die Lagerung einer als Tastelement vorgesehenen Rolle in einer An
sicht von unten bzw. in einer Seitenansicht.
Fig. 10 eine Prinzipskizze zum Veranschaulichen der Bewegung der Rolle bei
einer seitlichen Auslenkung.
Gemäß Fig. 1 enthält die Vorrichtung zum Laserschweißen einen ersten und
zweiten Ablenkspiegel 2 bzw. 4, mit denen ein auf den ersten Ablenkspiegel 2
einfallender Laserstrahl LS jeweils um 90° umgelenkt wird, so daß er den zweiten
Ablenkspiegel 4 um den Abstand a der beiden Ablenkspiegel 2 und 4 achsversetzt
und in der gleichen Richtung wie der auf den Ablenkspiegel 2 einfallende Laser
strahl LS verläßt. Der erste und zweite Ablenkspiegel 2, 4 sind in einem Gehäu
se 6 angeordnet, das um die Achse 7 des auf den ersten Ablenkspiegel 2 einfal
lenden Laserstrahl LS geschwenkt werden kann. An diesem Gehäuse 6 befindet
sich eine Schweißdüse 8.
Der Laserstrahl LS wird vom zweiten Ablenkspiegel 4 reflektiert und in zumindest
einem Fokus F fokussiert. Anstelle des fokussierenden zweiten Ablenkspiegels 4
kann auch eine Linse vorgesehen sein. Die Schweißdüse 8 hat im Ausführungs
beispiel annähernd die Gestalt eines Kegelstumpfes, an dessen vom zweiten Ab
lenkspiegel 4 abgewandter Stirnfläche der fokussierte Laserstrahl LS durch eine
Austrittsöffnung gegebenenfalls gemeinsam mit Schutzgas austritt.
Zwei Teile 10a und 10b eines unterhalb der Schweißdüse 8 mit einer Vorschub
geschwindigkeit ν bewegten Werkstücks 10 stoßen entlang einer geradlinigen
Naht 12 aneinander, die vor dem Schweißen eine schmale Fuge 12a bildet, die
unter der Wirkung einer von außen aufgebrachten und durch Pfeile 14 angedeute
ten Druckkraft unmittelbar vor Erreichen des Fokus F des Laserstrahls LS nahezu
geschlossen wird.
Das Gehäuse 6 ist zur Feinanpassung an die Richtung der Naht 12 über ein
Drehlager 16 vorzugsweise ein Federlager (Torsionsdrehlager), schwenkbar um
den Schwenkwinkel α an einer Tragplatte 18 gelagert. Da mit dem Drehlager 16
nur ein kleiner Schwenkwinkel α möglich ist, kann das Drehlager 16 zur Grund
einstellung mit einem Lagerring 17 in einer beliebigen Winkelposition β um die
Achse 7 auf an der Tragplatte 18 positioniert und fixiert werden.
Dem Drehlager 16 ist ein an der Tragplatte 18 fixierter Stellantrieb 20 zugeordnet,
durch den das Gehäuse 6 und mit ihm die Ablenkspiegel 2 und 4 um die Achse 7
des auf den ersten Ablenkspiegel 2 einfallenden Laserstrahls LS um den
Schwenkwinkel α geschwenkt werden kann. Der Stellantrieb 20 ist vorzugsweise
ein linearer Stellantrieb, insbesondere ein Piezoaktor oder Piezoantrieb, dessen
axial verschiebbares Kopfstück mit einem am Umfang des Torsionsdrehlagers 16
angeordneten Zapfen 22 in Wirkverbindung steht. Geeignete lineare Piezoantrie
be sind beispielsweise sogenannte Piezostapelaktoren. Prinzipiell ist es jedoch
auch möglich als Piezoantrieb einen piezoelektrischen Biegewandler einzusetzen.
Die Tragplatte 18 ist an einem in der Figur nur schematisch dargestellten Monta
gerahmen 26 in y,z-Richtung einstellbar angeordnet, so daß der gesamte
Schweißkopf, d. h. die gesamte aus Ablenkspiegel 2, 4, Gehäuse 6 und Schweiß
düse 8 aufgebaute Einheit, in eine Grundposition zur Naht 12 positioniert werden
kann.
An einer ebenfalls am Montagerahmen 26 fixierten Basisplatte 30 ist eine Ta
steinrichtung 32 angeordnet, die als Tastelement 34 eine Rolle umfaßt, die dreh
bar zwischen zwei quer zur Naht 12 in y-Richtung auslenkbare Biegefedern 35 um
eine senkrecht zur Biegefeder 35, d. h. parallel zur y-Richtung, und senkrecht zur
Vorschubgeschwindigkeit ν in x-Richtung orientierte Drehachse 36 gelagert, um
ein Abrollen der Rolle in der Fuge 12a des sich unterhalb der Schweißdüse 8 be
wegenden Werkstückes 10 zu ermöglichen. Anstelle einer Rolle ist beispielsweise
auch ein kegelförmiger Stift als Tastelement 34 geeignet, der in der Fuge 12a
gleitet.
Die Biegefedern 35 sind federbelastet um eine parallel zur Drehachse 36 verlau
fende Schwenkachse 37 gelagert, so daß das Tastelement 34 mit einer einstellba
ren Anpreßkraft in die von der Naht 12 vor dem Fokus F gebildete Fuge 12a ein
greift. Einer der Biegefedern 35 ist ein Abstandssensor 38, beispielsweise ein in
duktiver oder kapazitiver Sensor, zugeordnet, mit dem der Abstand zwischen dem
Sensor und der Biegefeder 35, d. h. deren Auslenkung in y-Richtung relativ zum
Montagerahmen 26 erfaßt werden und in ein elektrisches Meßsignal Y1 umge
wandelt werden kann.
Das der Auslenkung der Biegefeder 35 entsprechende elektrische Meßsignal Y1
wird an eine Steuereinrichtung 40 weitergeleitet. Aus diesem Meßsignal Y1 wird in
der Steuereinrichtung 40 ein Sollwert für den Stellweg des Stellantriebs 20 und
damit für den Schwenkwinkel α ermittelt. Bei der Ermittlung des aktuellen Soll
werts wird auch ein Zeitversatz berücksichtigt, der durch die Werkstückgeschwin
digkeit ν und den Abstand zwischen dem Fokus F und dem Tastelement 34 be
stimmt ist. Ein im Stellantrieb 20 integrierter Istwertmeßgeber übermittelt den tat
sächlichen Istwert Y2 des Stellwegs an die Steuereinrichtung 40, die diesen mit
dem Sollwert vergleicht und abhängig vom Vergleichsergebnis ein Steuersignal S
für den Stellantrieb 20 generiert.
Das hier gezeigte Ausführungsbeispiel zeigt eine Stoßnaht, bei der die Teile 10a
und 10b des Werkstückes 10 aneinander stoßen und vor dem Verschweißen eine
schmale Fuge bilden, wie dies beispielsweise aus der EP 0 310 793 B1 für die
Herstellung von nahtgeschweißten Rohren veranschaulicht ist. Das erfindungs
gemäße Nahtfolge- oder Nahtnachführsystem setzt jedoch nicht das Vorhanden
sein einer Fuge voraus und kann mit Hilfe geeigneter Tasteinrichtungen auch für
andere Nahtformen, beispielsweise bei Kehlnähten, wie sie beim Überlapp
schweißen auftreten, eingesetzt werden. Als Tasteinrichtung ist in diesem Fall ein
Stift oder eine Rolle geeignet, die unter Vorspannung an eine Werkstückkante
angelegt wird, so daß sichergestellt ist, daß der Stift oder die Rolle stets der
Werkstückkante folgt.
In der schematischen Darstellung gemäß Fig. 2 ist zu erkennen, daß das Drehla
ger 16 mit dem oberen Lagerring 17 drehfixiert am Montagerahmen 26 angeord
net ist. Der obere Lagerring 17 ist über eine Vielzahl von Biegeelementen 50 mit
einem an der gegenüberliegenden Stirnseite gebildeten unteren Lagerring 52 ver
bunden ist. Bei den Biegeelementen 50 handelt es sich um blattfeder- oder biege
federähnliche Stege, deren Flachseiten senkrecht zur Umfangsrichtung der La
gerringe 17, 52 angeordnet sind, so daß eine Schwenkbewegung des unteren La
gerrings 52 relativ zum oberen Lagerring 17 durch elastische Durchbiegung der
Biegeelemente 50 ermöglicht ist. Das Drehlager 16 ist somit als verschleißarmes
Federlager (Torsionsdrehlager) gestaltet.
Der Figur ist außerdem zu entnehmen, daß der erste Ablenkspiegel 2 und der
zweite Ablenkspiegel 4 starr am unteren Lagerring 52 fixiert sind und somit ge
meinsam an der Schwenkbewegung des unteren Lagerrings 52 teilnehmen, die zu
einer Bewegung des Fokus F in Richtung des in der Figur dargestellten Doppel
pfeils 54 führen. In diesem Ausführungsbeispiel ist auch zu erkennen, daß der
zweite Ablenkspiegel 4 als fokussierender Hohlspiegel ausgebildet ist, so daß eine
Fokussierlinse nicht erforderlich ist.
Der Stellantrieb 20 ist starr am oberen Lagerring 17 und damit starr am Montage
rahmen 26 fixiert. Ein in der Figur nicht dargestelltes, axial in Richtung des Dop
pelpfeils 56 verschiebbares Kopfstück des als linearen Stellantrieb 20 verwende
ten Piezoaktors ist kraftschlüssig mit dem am unteren Lagerring 52 angeordneten
Zapfen 22 im Wirkabstand r von der Achse 7 gekoppelt, so daß eine Schwenkbe
wegung des unteren Lagerrings 52 in beide Drehrichtungen möglich ist. Ein Stell
weg des Piezoaktors von etwa ± 50 µm reicht dabei bei einem Wirkabstand r von
etwa 40 mm aus, um einen Schwenkwinkel α von ± 0,15° zu erzeugen, der bei
spielsweise bei einer Übersetzung a/r = 10 zu einem Stellweg des Fokus F von
etwa ± 0,5 mm führt. Dies reicht aus, um übliche Schwankungen der Nahtlage, die
beispielsweise bei der Fertigung von Rohren etwa ± 0,15 mm betragen, sicher zu
beherrschen.
Gemäß Fig. 3 ist in der Draufsicht auf das teilweise aufgeschnittene Drehlager 16
zu erkennen, daß dieses in der bevorzugten Ausführungsform einstückig ist und
aus einem hohlzylindrischen Torsionskörper 60 besteht, der an seinem Außenum
fang mit einer Vielzahl von in Umfangsrichtung hintereinander angeordneten an
nähernd rechteckförmigen Durchgangsöffnungen 62 mit parallel zur Längs- oder
Axialrichtung und annähernd parallel zu einer Radialrichtung verlaufenden Sei
tenwänden 64 versehen ist, so daß die Normalen 66 der Seitenwände 64 annä
hernd tangential in Umfangsrichtung verlaufen. Einander benachbarte Durch
gangsöffnungen 62 sind dabei durch dünne blattfederähnliche Stege voneinander
getrennt, die als Biegeelemente 50 dienen. Auf diese Weise kann der Torsions
körper 60 eine elastische Torsionsbewegung ausführen, die aufgrund einer
Durchbiegung der zwischen den als Lagerringe 17 und 52 dienenden ringförmigen
stirnseitigen Enden des Torsionskörpers 60 befindlichen blattfederähnlichen Ste
ge hervorgerufen wird.
In der alternativen Ausführungsform gemäß Fig. 4 ist das als Torsionsdrehlager
gestaltete Drehlager 16 zwischen dem ersten Ablenkspiegel 2 und dem zweiten
Ablenkspiegel 4 angeordnet, so dass der zweite Ablenkspiegel 4 mit Hilfe des
Stellantriebs 20 um die Achse des auf ihn einfallenden und sich annähernd paral
lel zur Schweißnaht 12 ausbreitenden Laserstrahl LS gedreht werden kann. Der
zweite Ablenkspiegel 4 ist als Hohlspiegel ausgebildet und dient zugleich zum Fo
kussieren des Laserstrahls LS im Fokus F. Durch die Schwenkbewegung des
zweiten Ablenkspiegels 4 wird der Laserstrahl in einer Ebene in Richtung des
Doppelpfeils 54 geschwenkt, die parallel zur Ausbreitungsrichtung oder Mit
tenachse 7 des auf den ersten Ablenkspiegel 2 einfallenden Laserstrahls LS ist.
Bei kleinen Schwenkwinkeln ist die mit der Schwenkbewegung des fokussieren
den Laserstrahls einhergehende Veränderung der Position des Fokus F relativ zur
Oberfläche des Werkstücks vernachlässigbar.
In der alternativen Ausgestaltung gemäß Fig. 5 ist anstelle einer Schwenkbewe
gung der Ablenkspiegel 2 und 4 eine Axialverschiebung des zweiten Ablenkspie
gels 4 relativ zum ersten Ablenkspiegel 2 vorgesehen. Der zweite Ablenkspiegel 4
ist hierzu an einem Translationslager 70 gelagert. Das Translationslager 70 ist als
Federlager ausgebildet und wird durch einen hohlzylindrischen Federkörper 72
gebildet, der mit einer Mehrzahl von in Umfangsrichtung verlaufenden Schlit
zen 74a-d derart versehen ist, daß sich der gesamte Federkörper 72 in Axialrich
tung in ähnlicher Weise federnd verhält wie eine Schraubenfeder. An jeder Stirn
seite sind hierzu in Umfangsrichtung hintereinander zwei erste Schlitze 74a und
74b angeordnet, die nur durch zwei einander gegenüberliegende Axialstege 76a
voneinander getrennt sind. Parallel zu diesen ersten Schlitzen 74a, 74b sind zwei
zweite Schlitze 74c, 74d - ebenfalls durch Axialstege 76b voneinander getrennt -
um 90° versetzt angeordnet, so daß die in Axialrichtung benachbarten Schlit
ze 74a-d durch einen dünnen in Umfangsrichtung verlaufenden Ringsteg 78 von
einander getrennt sind, der sich jeweils am stirnseitigen Tragring 80 über die
Axialstege 76a und am zentralen Tragring 82 des Federkörpers 72 über die
Axialstege 76b abstützt. Der Ringsteg 78 stellt somit zwei beidseitig eingespannte
Biegebalken dar, die bei Krafteinleitung zwischen dem zentralen Tragring 82 und
dem stirnseitigen Tragring 80 elastisch durchgebogen werden können.
Der zentrale Tragring 82 ist über einen Halterahmen 83 ortsfest am Montagerah
men 26 gemeinsam mit dem ersten Ablenkspiegel 2 gelagert. An diesem in der
Zeichnung schematisch veranschaulichten Halterahmen 83 ist der lineare Stellan
trieb 20, vorzugsweise ebenfalls ein Piezoantrieb fixiert, dessen bewegliches
Kopfstück 84 kraftschlüssig mit einem am stirnseitigen Tragring 80 angeordneten
Zapfen 86 verbunden ist. Eine Verstellbewegung des Kopfstücks 84 des Stellan
triebes 20 bewirkt dann eine Linearverschiebung in Axialrichtung 88 des zweiten
Ablenkspiegels 4 und somit einer Linearverschiebung des Fokus F.
Im Ausführungsbeispiel der Figur ist der Ablenkspiegel 4 starr mit den an beiden
Stirnseiten des Federkörpers 72 befindlichen Tragringen 80 verbunden. Dies ent
spricht einer mechanischen Parallelschaltung der beiden als Biegebalken wirken
den Ringstege 78.
In einer weiteren alternativen Ausgestaltung können die in Fig. 1 und 2 dargestell
te Schwenkbewegung und die in Fig. 5 gezeigte Linearbewegung miteinander
kombiniert werden, indem der Halterahmen 83 am unteren Lagerring 52 (Fig. 2)
fixiert ist. Dies ist in der Figur durch eine gestrichelte Weiterführung des Hal
terahmens 83 angedeutet.
In weiteren Ausgestaltungen der Erfindung kann auch eine Ausführungsform, bei
der der zweite Ablenkspiegel gemäß Fig. 4 schwenkbar um die Achse 88 des La
serstrahls in einem Federlager gelagert ist mit einer Linearbewegung gemäß
Fig. 5 und/oder mit einer Schwenkbewegung gemäß Fig. 1 und 2 kombiniert sein.
Im Ersatzschaltbild gemäß Fig. 6 ist zu erkennen, daß die Ringstege 78 als Bie
gebalgen wirken, deren Hub h dem Stellweg des Stellantriebs 20 und dem Stell
weg des zweiten Ablenkspiegels 4 entsprechen.
Die Gestaltung des Federkörpers 72 geht deutlicher aus Fig. 7a und 7b hervor,
die den Federkörper 72 in zwei Seitenansichten zeigen, die um 90° versetzt zu
einander sind. In diesem Ausführungsbeispiel ist der Federkörper 72 an seinen
Stirnseiten mit jeweils vier Schlitzpaaren 74 versehen, zwischen denen jeweils drei
als Biegeträger wirkende Ringstege 78 ausgebildet sind.
In Fig. 8 ist zu erkennen, daß die als Tastelement 34 dienende Rolle zwischen
zwei Biegefedern 35 gelagert ist, die parallel zur Drehachse 36 der Rolle ausge
lenkt werden können. Diese Blatt- oder Biegefedern 35 sind in der Basisplatte 30
schwenkbar um die Schwenkachse 37 gelagert, die parallel zur Drehachse 36 der
Rolle verläuft. Die als Lagergabel wirkenden Blattfedern 36 sind dabei um diese
Schwenkachse 37 federnd mit einer vorgegebenen Vorspannung und einem vor
gegebenen Neigungswinkel ϕ in Ausgangslage gelagert, um auch bei Werkstück
unebenheiten sicherzustellen, daß die Rolle in der Fuge geführt wird. Der Flach
seite einer der beiden Blattfedern 35 ist der Abstandssensor 38, beispielsweise
ein induktiver oder kapazitiver Näherungssensor, zugeordnet, mit dem Auslen
kungen der Blattfedern 35 aus der Ruhelage mit hoher Genauigkeit erfaßt werden
können. In der Figur ist außerdem zu erkennen, daß die Rolle an ihrem Umfang
ein V-förmig verlaufendes messerschneidenähnliches Profil hat, um auch in
schmale Fugen eingeführt werden zu können.
Gemäß Fig. 9a und 9b sind die Biegefedern 35 mit Hilfe einer Feder 90 unter Vor
spannung in einem Gleitlager schwenkbar um die Schwenkachse 37 gelagert. Die
Rolle (Tastelement 34) ist in einem ebenfalls axial vorgespannten Wälzlager, ins
besondere einem Keramiklager, durch Tellerfedern spielfrei gelagert, so dass ein
axialer Versatz der Naht unmittelbar auf eine Bewegung der Biegefedern 35 über
tragen wird.
In Fig. 10 ist dargestellt, dass eine durch einen seitlichen Versatz der Naht her
beigeführte Schwenkbewegung der Biegefeder 35 zu einem mindestens bei klei
nem Schwenkwinkel annähernd parallelen Versatz der Rolle 34 in y-Richtung
führt. Durch diese Parallelogrammführung wird somit ein Verkanten der Rolle 34
in der Naht verhindert.
2
erster Ablenkspiegel
4
zweiter Ablenkspiegel
6
Gehäuse
7
Achse
8
Schweißdüse
10
Werkstück
12
Naht
12
a Fuge
14
Pfeil
16
Drehlager
17
oberer Lagerring
18
Tragplatte
20
Stellantrieb
22
Zapfen
26
Montagerahmen
30
Basisplatte
32
Tasteinrichtung
34
Tastelement
35
Biegefeder
36
Drehachse
37
Schwenkachse
38
Abstandssensor
40
Steuereinrichtung
50
Biegeelement
52
unterer Lagerring
54
Doppelpfeil
56
Doppelpfeil
60
Torsionskörper
62
Durchgangsöffnung
64
Seitenwand
66
Normale
70
Translationslager
72
Federkörper
74
a-d Schlitze
76
a, bAxialsteg
78
Ringsteg
80
stirnseitiger Tragring
82
zentraler Tragring
83
Halterahmen
84
Kopfstück
86
Zapfen
88
Axialrichtung
90
Feder
LS Laserstrahl
F Fokus
ν Geschwindigkeit
α Schwenkwinkel
β Winkelposition
y, z Richtung
r Wirkabstand
a Abstand
h Hub
γ Winkellage
ϕ Neigungswinkel
Y1 Meßsignal
Y2 Istwert
S Steuersignal
LS Laserstrahl
F Fokus
ν Geschwindigkeit
α Schwenkwinkel
β Winkelposition
y, z Richtung
r Wirkabstand
a Abstand
h Hub
γ Winkellage
ϕ Neigungswinkel
Y1 Meßsignal
Y2 Istwert
S Steuersignal
Claims (18)
1. Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks (10) entlang einer linien
förmigen Naht (12), mit zumindest einem im Strahlengang eines Laser
strahls (LS) angeordneten Ablenkspiegel (2, 4), der zum Bewegen des Fo
kus (F) des Laserstrahls (LS) quer zur Naht (12) in zumindest einem Lager
(16, 70) beweglich gelagert und von einem Stellantrieb (20) angetrieben ist,
und mit einer Steuereinrichtung (40) zum Steuern des Stellantriebs (20) in Ab
hängigkeit eines von einer Tasteinrichtung (32) abgegebenen und die Lage
der Naht (12) erfassenden elektrischen Meßsignals (Y1).
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, mit einem Drehlager (16) zum Schwenken des
zumindest einen Ablenkspiegels (2, 4).
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, bei der als Drehlager (16) ein Federlager vorge
sehen ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, bei der das Drehlager (16) einen Torsionskör
per (60) enthält, an dem der Ablenkspiegel (2, 4) schwenkbar um die Achse (7)
des auf ihn einfallenden Laserstrahls (LS) gelagert ist.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der einem schwenkbar gelagerten ersten
Ablenkspiegel (2) ein zweiter Ablenkspiegel (4) nachgeordnet und gemeinsam
mit dem ersten Ablenkspiegel (2) im Drehlager (16) derart gelagert ist, daß der
vom zweiten Ablenkspiegel (4) reflektierte Laserstrahl (LS) parallel zum auf
den ersten Ablenkspiegel (2) einfallenden Laserstrahl (LS) versetzt ist.
6. Vorrichtung nach Anspruch 4, bei der einem starr gelagerten ersten Ablenk
spiegel (2) ein schwenkbar gelagerter zweiter Ablenkspiegel (4) nachgeordnet
und im Drehlager (16) derart gelagert ist, daß der vom zweiten Ablenkspie
gel (4) reflektierte Laserstrahl (LS) in einer Ebene geschwenkt wird, die zum
auf den ersten Ablenkspiegel (2) einfallenden Laserstrahl (LS) parallel ist.
7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 oder 6, bei der der zweite Ablenk
spiegel (4) ein fokussierender Hohlspiegel ist.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 7, bei der der Torsionskör
per (60) hohlzylindrisch ist und an seinem Umfang mit einer Mehrzahl von in
Umfangsrichtung nebeneinander angeordneten Durchgangsöffnungen (62)
versehen ist, wobei jeweils benachbarte Durchgangsöffnungen (62) voneinan
der durch ein elastisch in Umfangsrichtung biegbares blattfederähnliches Bie
geelement (50) getrennt sind.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, bei der die Biegeelemente (50) achsparallel
verlaufen.
10. Vorrichtung nach Anspruch 8 oder 9, bei der der Torsionskörper (60)
einstückig ist, und die Biegeelemente (50) als Stege ausgebildet sind.
11. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, mit einem Translati
onslager (70), in dem der zumindest eine bewegliche Ablenkspiegel (4) paral
lel zur Achse (88) des auf ihn einfallenden Laserstrahls (LS) verschiebbar ge
lagert ist.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, bei der als Translationslager (70) ein Federla
ger vorgesehen ist.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, bei der das Translationslager (70) einen
hohlzylindrischen Federkörper (72) umfaßt, der zumindest zwei hintereinander
in Umfangsrichtung verlaufende erste Schlitze (74a, 74b) enthält, denen zu
mindest zwei parallel und versetzt dazu verlaufende zweite Schlitze (74c, 74d)
zugeordnet sind, die von den ersten Schlitzen (74a, 74b) durch einen in Axial
richtung (88) biegbaren und in Umfangsrichtung verlaufenden Ringsteg (78)
getrennt sind.
14. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der als Stellan
trieb (20) ein Piezoantrieb vorgesehen ist.
15. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei der die Tastein
richtung (32) ein in der Naht (12) führbares und quer zur Naht (12) federgela
gertes mechanisches Tastelement (34) umfaßt, dem ein Abstandssensor (38)
zum Erfassen einer Auslenkung des mechanischen Tastelementes (34) paral
lel zur Ebene des Werkstücks (10) zugeordnet ist.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, bei der als Tastelement (34) eine Rolle vorge
sehen ist, die in zumindest einer Biegefeder (35) um eine quer zur Biegefe
der (35) orientierte Drehachse (36) drehbar gelagert ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 16, bei der die Biegefeder (35) schwenkbar um
eine zur Drehachse (36) parallele Schwenkachse (37) gelagert ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 16 oder 17, bei der die Rolle zwischen zwei paral
lelen Biegefedern (35) angeordnet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19847867A DE19847867A1 (de) | 1998-07-18 | 1998-10-16 | Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19832402 | 1998-07-18 | ||
DE19847867A DE19847867A1 (de) | 1998-07-18 | 1998-10-16 | Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19847867A1 true DE19847867A1 (de) | 2000-01-13 |
Family
ID=7874558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19847867A Withdrawn DE19847867A1 (de) | 1998-07-18 | 1998-10-16 | Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19847867A1 (de) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1219380A2 (de) * | 2000-12-28 | 2002-07-03 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Laserschweissverfahren und Laserschweissvorrichtung |
DE10346264A1 (de) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Daimler Chrysler Ag | Verfahren zum Verbinden zweier Werkstücke durch Schmelzschweißen |
DE102004026427A1 (de) * | 2004-05-29 | 2005-12-29 | Audi Ag | Vorrichtung zur Behandlung eines Substrates mittels Laserstrahlen |
WO2008014740A1 (de) | 2006-08-01 | 2008-02-07 | Eroform Edelstahl Gmbh | Aufhängung für ein laserschweissgerät |
DE102007027377B4 (de) * | 2006-06-28 | 2010-08-12 | Scansonic Mi Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls |
CN112975175A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-18 | 赣州市恒邦金属制品有限公司 | 一种新型板材激光切割机 |
CN116295191A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-06-23 | 山东津岳环保设备有限公司 | 一种密封罐v型环焊缝轴向偏移量检测装置和控制方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0310793A1 (de) * | 1987-10-07 | 1989-04-12 | Rofin Sinar Laser GmbH | Laserschweissgerät zum Schweissen von Hohlprofilen und Flachprofilen |
DE3805053A1 (de) * | 1988-02-18 | 1989-08-31 | Heinrich Prof Dr Ing Reents | Verfahren mit den dazu gehoerigen vorrichtungen zur lenkung eines laserstrahls mit hilfe einer flexiblen spiegelflaeche |
DE4316360A1 (de) * | 1992-05-20 | 1993-11-25 | Soc Et Et De Rech De L Ecole N | Vorrichtung zum Erzeugen von Schwingungen für einen Laserstrahl |
DE19615069A1 (de) * | 1996-04-17 | 1997-10-23 | Hannover Laser Zentrum | Verfahren und Vorrichtung zum Nachführen von Werkzeugen mittels Kantenverfolgung |
-
1998
- 1998-10-16 DE DE19847867A patent/DE19847867A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0310793A1 (de) * | 1987-10-07 | 1989-04-12 | Rofin Sinar Laser GmbH | Laserschweissgerät zum Schweissen von Hohlprofilen und Flachprofilen |
DE3805053A1 (de) * | 1988-02-18 | 1989-08-31 | Heinrich Prof Dr Ing Reents | Verfahren mit den dazu gehoerigen vorrichtungen zur lenkung eines laserstrahls mit hilfe einer flexiblen spiegelflaeche |
DE4316360A1 (de) * | 1992-05-20 | 1993-11-25 | Soc Et Et De Rech De L Ecole N | Vorrichtung zum Erzeugen von Schwingungen für einen Laserstrahl |
DE19615069A1 (de) * | 1996-04-17 | 1997-10-23 | Hannover Laser Zentrum | Verfahren und Vorrichtung zum Nachführen von Werkzeugen mittels Kantenverfolgung |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1219380A2 (de) * | 2000-12-28 | 2002-07-03 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Laserschweissverfahren und Laserschweissvorrichtung |
EP1219380A3 (de) * | 2000-12-28 | 2004-01-02 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Laserschweissverfahren und Laserschweissvorrichtung |
DE10346264A1 (de) * | 2003-10-06 | 2005-04-28 | Daimler Chrysler Ag | Verfahren zum Verbinden zweier Werkstücke durch Schmelzschweißen |
DE102004026427A1 (de) * | 2004-05-29 | 2005-12-29 | Audi Ag | Vorrichtung zur Behandlung eines Substrates mittels Laserstrahlen |
DE102004026427B4 (de) * | 2004-05-29 | 2007-04-05 | Audi Ag | Verwendung einer Vorrichtung zur Behandlung eines Substrates mittels Laserstrahlen und Vorrichtung zur Behandlung des Substrates |
DE102007027377B4 (de) * | 2006-06-28 | 2010-08-12 | Scansonic Mi Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zur Bearbeitung eines Werkstücks mittels eines Laserstrahls |
WO2008014740A1 (de) | 2006-08-01 | 2008-02-07 | Eroform Edelstahl Gmbh | Aufhängung für ein laserschweissgerät |
DE102006035702A1 (de) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Eroform Edelstahl Gmbh | Aufhängung für ein Laserschweißgerät |
CN112975175A (zh) * | 2021-03-01 | 2021-06-18 | 赣州市恒邦金属制品有限公司 | 一种新型板材激光切割机 |
CN112975175B (zh) * | 2021-03-01 | 2022-11-25 | 赣州市恒邦金属制品有限公司 | 一种新型板材激光切割机 |
CN116295191A (zh) * | 2023-05-22 | 2023-06-23 | 山东津岳环保设备有限公司 | 一种密封罐v型环焊缝轴向偏移量检测装置和控制方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0310793B1 (de) | Laserschweissgerät zum Schweissen von Hohlprofilen und Flachprofilen | |
DE102007063627B4 (de) | Verfahren zur Bestimmung der Lage eines Laserstrahls relativ zu einer Öffnung, sowie Laserbearbeitungsmaschine | |
DE102008049821B4 (de) | Abstandssensor und Verfahren zur Ermittlung eines Abstands und/oder von Abstandsschwankungen zwischen einem Bearbeitungslaser und einem Werkstück | |
EP1395385B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum robotergesteuerten schneiden von zu fügenden werkstücken mit laserstrahlung | |
EP0710551B1 (de) | Vorrichtung zur Herstellung einer Druckschablone | |
DE102017115922B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung und Einstellung eines Abstands zwischen einem Bearbeitungskopf und einem Werkstück sowie dazugehöriges Verfahren zur Regelung | |
DE3807471A1 (de) | Vorrichtung zum fuehren von optischen strahlen | |
EP0439425B1 (de) | Vorrichtung zum Herstellen einer Kontaktlinse mit insbesondere asphärischer Vorder- und/oder Rückfläche | |
EP1238746A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung robotgesteuerten Schneiden und Schweissen mit Laserstrahlung | |
DE19847867A1 (de) | Vorrichtung zum Laserschweißen eines Werkstücks entlang einer linienförmigen Naht | |
DE102014108426B4 (de) | Laserbearbeitungskopf mit taktiler Nahtführung | |
EP2830814B1 (de) | Positioniereinrichtung mit einem übertragungselement für eine stellbewegung eines optischen elementes, bearbeitungskopf für eine laserbearbeitungsmaschine mit solcher positioniereinrichtung | |
WO2010113127A2 (de) | Vorrichtung und verfahren zum wasserstrahlschneiden | |
DE10033638A1 (de) | Überwachungsvorrichtung für die Bogenzufuhr zu einer Bogen verarbeitenden Maschine und Verfahren zur Kontrolle des Bogenstromaufbaus des Bogenstroms | |
EP2092991A2 (de) | Biegegesenk für eine Biegepresse, insbesondere Abkantpresse | |
DE2947071A1 (de) | Anordnung zur praezisionsmaterialbearbeitung mittels laserstrahlen | |
EP0317760B1 (de) | Rotierkopf zum Abtasten der Oberfläche zylindrischer Prüfteile | |
WO2000033120A1 (de) | Vorrichtung zum abtasten eines objektes | |
EP2599574B1 (de) | Laseroptik mit passiver Nahtführung | |
DE19628672A1 (de) | Adaptiver Spiegel | |
AT516834B1 (de) | Verfahren zum Schwenkbiegen | |
DE4326254C2 (de) | Maschinenkopf für das Bearbeiten von Werkstücken mit Laserstrahlung | |
DE202010009009U1 (de) | Vorrichtung zur Lasermaterialbearbeitung mit einem Polygonspiegel | |
AT520419B1 (de) | Positioniereinrichtung zum Positionieren eines Funktionskörpers | |
EP1233247A1 (de) | Ermitteln der Ausrichtung zweier Körper ( Riemenscheiben ) zueinander mit konvexem oder halbdurchlässigem Reflektor |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OAV | Applicant agreed to the publication of the unexamined application as to paragraph 31 lit. 2 z1 | ||
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8130 | Withdrawal |