DE19842576A1 - Verfahren zur Beschichtung von Schüttgütern - Google Patents

Verfahren zur Beschichtung von Schüttgütern

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Abstract

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur kostengünstigen Beschichtung von pulvrigen Substraten, wie z. B. Kunststoff-Granulate, mineralische Pulver, wie Glimmer oder reflektierende Glas-Perlen. DOLLAR A Die Partikel fallen frei beweglich an einer Verdampferquelle vorbei und werden durch die seitliche Abstrahlung der Quelle beschichtet.

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur kostengünstigen Beschichtung von pulvrigen Substraten, wie z. B. Kunststoff-Granulate, Metallpulver, pharmazeutische Wirkstoffe, mineralische Pulver wie Glimmer oder auch reflektierende Glas-Perlen.
Die bisher verwendeten Verfahren beschichten die Partikel mit verdampfbaren Substanzen mittels umlaufenden Trommeln. Hierbei wird die Trommel mit dem Schüttgut solange der verdampfenden Substanz ausgesetzt, bis die gewünschte Schichtdicke erreicht ist. Dieses Verfahren wird z. B. eingesetzt um kleine elektronische Bauelemente wie etwa Widerstände, gleichmäßig mit einer Widerstandsschicht zu beschichten.
Ein Merkmal dieser Technologie ist, daß die Partikel ständig untereinander Kontakt haben.
Das hier vorgestellte Verfahren läßt die Partikel frei beweglich an einer Quelle vorbeifallen, wodurch sie auf den Seiten, die einer oder mehreren Quellen zugewandt ist, beschichtet werden. Ausgenutzt wird der Umstand, daß eine Quelle auch eine seitliche, wenn auch geringere Abstrahlung besitzt. Der apparative Aufwand hierfür ist denkbar gering. Ein Vorratsbehältnis und eine Rieselvorrichtung sind dafür nötig. Bestehende Verdampferanlagen können leicht mit diesen Vorrichtungen nachgerüstet wenden.
Die folgenden Erläuterungen sind den Patentansprüchen zugeordnet.
Bezugszeichenliste
Fig.
1Prinzipieller Aufbau des Verfahrens: Partikel/Körner eines Schüttgutes fallen an einer Verdampferquelle mit Drahtzuführung vorbei. Diese werden einseitig beschichtet.
Fig.
2Aufbau eines Bedampfers mit zwei Quellen zur doppelseitigen Beschichtung der Partikel
Fig.
3Bedampfer mit vier Quellen auf zwei Etagen. Verschiedene Materialien können in einem Arbeitsgang aufgedampft werden.
Fig.
4Bedampfer mit drei nebeneinander angeordneten Quellen. Die Partikel werden von einem Förderband beschleunigt und fliegen frei über die Quellen. Die Richtungspfeile (
5
a) zeigen die Abstrahlwinkel der Quellen.
Fig.
5beschichtete Partikel im Querschnitt
1
Vorratsgefäß mit zu beschichtenden Partikeln
2
frei fallende Partikel, bereits beschichtet
3
Quelle, hier widerstandsbeheizter Tiegel mit Drahtzuführung
4
Drahtzuführung
5
Stilisierter Dampfnebel des Schichtmaterials. Dargestellt ist nur der Teil des Dampfes, der die fallenden Partikel entlang der Fallstrecke beschichtet.
5
aRichtungspfeile zeigen die Abstrahlwinkel der Quellen.
6
Auffangbehälter
7
Behälterwand des Bedampfers
8
halbseitig beschichtete Glasperle mit zwei halbseitigen Schichten verschiedener Materialien
9
Unregelmäßig geformtes Korn zweifach, mit zwei verschiedenen Beschichtungssubstanzen beschichtet,
9
aUnregelmäßig geformtes Korn jeweils halbseitig, mit zwei verschiedenen Beschichtungssubstanzen beschichtet
10
Förderband

Claims (16)

1. Verfahren zur Beschichtung von Schüttgütern, gekennzeichnet dadurch, daß die zu beschichtenden Partikel/Körner im Vakuum oder in einem Gas, lose an einer oder mehreren Verdampferquellen vorbeifallen oder über diese hinweg fliegen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß der in der Nähe der Verdampferquelle befindliche Dampf eines Schichtmaterials auf den Partikeln abgeschieden wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1-2, gekennzeichnet dadurch, daß der Dampf des Schichtmaterials entweder atomar oder in Ionenform vorliegt.
4. Verfahren nach Anspruch 1-3, gekennzeichnet dadurch, daß die zu beschichtenden Partikel z. B. a: Kunststoff-Granulate, b: Metallpulver, c: pharmazeutische Wirkstoffe, d: mineralische Pulver wie Glimmer, e: keramische Pulver, e: Glas-Perlen oder f: Granulate aus extrem dünnen transparenten Kunststoff-Folien sind.
5. Verfahren nach Anspruch 1-4, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel aus einem Vorratsgefäß innerhalb des Vakuumkessels herausfallen/herausrieseln, um während des freien Falles im Metalldampf beschichtet zu werden.
6. Verfahren nach Anspruch 1-3, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel auf einer Flugbahn über die Metalldampfquelle hinweg geworfen werden.
7. Verfahren nach Anspruch 1-6, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel über eine Vakuumschleuse in der Kesselwand dem Vorratsgefäß zugeführt werden.
8. Verfahren nach Anspruch 1-7, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel nur von der, der Quelle zugewandten Seite beschichtet werden.
9. Verfahren nach Anspruch 1-8, gekennzeichnet dadurch, daß Glas-Perlen auf einer Halbseite mit einer Metallschicht, z. B. mit Al oder Ag, verspiegelt werden.
10. Verfahren nach Anspruch 1-7, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel von mehreren Seiten beschichtet werden, indem sie an mindestens zwei Quellen vorbeifallen, wobei durch die Quellen unterschiedliche oder die gleichen Materialien verdampfen (Fig. 2).
11. Verfahren nach Anspruch 1-10, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel an mehreren untereinander angeordneten Quellen vorbeifallen, wobei durch die Quellen unterschiedliche oder die gleichen Materialien verdampfen.
12. Verfahren nach Anspruch 1-10, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel an mehreren nebeneinander angeordneten Quellen vorbeifliegen, wobei durch die Quellen unterschiedliche oder die gleichen Materialien mit geeigneten Aufdampfraten verdampfen.
13. Verfahren nach Anspruch 1-12, gekennzeichnet dadurch, daß die Quellen durch Blenden gegeneinander abgeschirmt sind.
14. Verfahren nach Anspruch 1-13, gekennzeichnet dadurch, daß die Quelle ein widerstandsbeheizter Metallwendel- und Schiffchenverdampfer, plasmagestützt oder nicht, ein Elektronenstrahlverdampfer, ein Kathodenzerstäuber oder bei Verwendung mehrerer Quellen in einer Verdampferkammer, Kombinationen derer sind.
15. Verfahren nach Anspruch 1-14, gekennzeichnet dadurch, daß das Schichtmaterial entweder Metalle oder Metall-Legierungen, aber auch Metalloxide oder komplexe Metallverbindungen sind.
16. Verfahren nach Anspruch 1-10 und 12-15, gekennzeichnet dadurch, daß die Partikel von einem, vorzugsweise waagerecht transportierenden, Förderband oder einer sich drehenden Streuscheibe beschleunigt werden, um über die Verdampferquellen zu fliegen.
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10340703A1 (de) * 2003-09-04 2005-03-31 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zur nahtlosen Beschichtung von Substraten
BE1015645A3 (nl) * 2003-08-12 2005-07-05 Donckers Guido Augustinus Cath Werkwijze voor het kleuren van granulaten en inrichting daarbij toegepast.
DE10249151B4 (de) * 2001-10-11 2009-11-05 Creavac - Creative Vakuumbeschichtung Gmbh Vorrichtung zur ein- oder mehrschichtigen Bedampfung von Substraten in einem einzigen Bedampfungsprozeß
CN101082120B (zh) * 2006-05-30 2010-10-06 比亚迪股份有限公司 一种对粉体表面进行镀膜的工艺及其设备
ITUB20151958A1 (it) * 2015-07-06 2017-01-07 Fabrizio Quadrini Processo di produzione di plastiche nanocomposite a partire da granuli rivestiti con film nanometrici
CN106929808A (zh) * 2015-12-29 2017-07-07 上海朗亿功能材料有限公司 一种超细粉体磁控溅射镀膜设备
WO2017125418A1 (de) * 2016-01-21 2017-07-27 Von Ardenne Gmbh Verfahren, beschichtungsvorrichtung und prozessieranordnung
CN111411325A (zh) * 2019-01-04 2020-07-14 董元 钐铁氮或钕铁氮各向异性粘结磁粉及其制备方法
WO2021008998A1 (de) * 2019-07-12 2021-01-21 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Beschichtungsanordnung und verfahren
CN112403717A (zh) * 2020-11-16 2021-02-26 泉州市勤裕鼎工业设计有限公司 一种高温结构陶瓷的蒸涂机
CN113106449A (zh) * 2021-04-30 2021-07-13 华侨大学 金刚石颗粒表面涂覆铬粉的制备方法及制备装置

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10249151B4 (de) * 2001-10-11 2009-11-05 Creavac - Creative Vakuumbeschichtung Gmbh Vorrichtung zur ein- oder mehrschichtigen Bedampfung von Substraten in einem einzigen Bedampfungsprozeß
BE1015645A3 (nl) * 2003-08-12 2005-07-05 Donckers Guido Augustinus Cath Werkwijze voor het kleuren van granulaten en inrichting daarbij toegepast.
DE10340703A1 (de) * 2003-09-04 2005-03-31 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zur nahtlosen Beschichtung von Substraten
DE10340703B4 (de) * 2003-09-04 2005-12-01 Schott Ag Vorrichtung und Verfahren zur nahtlosen Beschichtung von Substraten sowie beschichtetes Substrat
CN101082120B (zh) * 2006-05-30 2010-10-06 比亚迪股份有限公司 一种对粉体表面进行镀膜的工艺及其设备
ITUB20151958A1 (it) * 2015-07-06 2017-01-07 Fabrizio Quadrini Processo di produzione di plastiche nanocomposite a partire da granuli rivestiti con film nanometrici
CN106929808A (zh) * 2015-12-29 2017-07-07 上海朗亿功能材料有限公司 一种超细粉体磁控溅射镀膜设备
CN106929808B (zh) * 2015-12-29 2019-05-07 上海朗亿功能材料有限公司 一种超细粉体磁控溅射镀膜设备
WO2017125418A1 (de) * 2016-01-21 2017-07-27 Von Ardenne Gmbh Verfahren, beschichtungsvorrichtung und prozessieranordnung
CN108474104A (zh) * 2016-01-21 2018-08-31 冯·阿登纳资产股份有限公司 方法、涂覆装置和处理设备
CN108474104B (zh) * 2016-01-21 2020-09-11 冯·阿登纳资产股份有限公司 方法、涂覆装置和处理设备
CN111411325A (zh) * 2019-01-04 2020-07-14 董元 钐铁氮或钕铁氮各向异性粘结磁粉及其制备方法
WO2021008998A1 (de) * 2019-07-12 2021-01-21 VON ARDENNE Asset GmbH & Co. KG Beschichtungsanordnung und verfahren
CN112403717A (zh) * 2020-11-16 2021-02-26 泉州市勤裕鼎工业设计有限公司 一种高温结构陶瓷的蒸涂机
CN113106449A (zh) * 2021-04-30 2021-07-13 华侨大学 金刚石颗粒表面涂覆铬粉的制备方法及制备装置

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