DE19833904A1 - Verstelleinrichtung für die Positionierung eines Probentisches - Google Patents

Abstract

In Kryostaten oder Kryomagneten ist oft ein Verkippen der bereits eingebrachten Probe erforderlich, um beispielsweise eine Neutronenbestrahlung exakt in einer Ebene zu gewährleisten. Eine Demontage der bereits auf Stickstofftemperatur abgekühlten Probe ist zu aufwendig, so dass eine ferngelenkte Kippung erfolgen muss. Bekannte Goniometerköpfe sind aber empfindlich gegenüber dem herrschenden extrem starken Magnetfeld. Gegenüber Magnetismus unempfindlich sind dagegen bekannte thermoelektrische Verstelleinrichtungen mit Hubelementen, die aber nur für vorgegebene Stellwege und mit geringer Ansprechträgheit eingesetzt werden. Die erfindungsgemäße Verstelleinrichtung weist Positioniereinheiten (1) mit thermoelektrischen Hubelementen (2) auf, die mit einem seinen Aggregatzustand temperaturabhängig (T) ändernden Arbeitsmedium (6) gefüllt ist, in das eine regelbare elektrische Heizeinrichtung (8) hineinreicht. Eine reversible Längenänderung (DELTAL) wird durch Wärmezu- oder -abfuhr (Q) und einer entsprechenden Verdampfung bzw. Kondensation des Arbeitsmediums (6) erreicht. Da auch bei Tiefsttemperaturen die erforderlichen Stellwege und Kippbereiche zu nm-genau erreichen sind, kann die erfindungsgemäße Verstelleinrichtung deshalb bevorzugt in Aufbauten mit Kryostaten oder Kryomagneten eingesetzt werden.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Verstelleinrichtung für die Positionierung eines Probentisches mit mehreren kombinierten Positioniereinheiten, die spannungsabhängig in ihrer Länge nm-genau einstellbar sind, und einer zugeordneten Regeleinrichtung für die Positionierung. Derartige Verstellein­ richtungen werden für Probentische in der Mikro- und Nanotechnologie eingesetzt. Insbesondere für hochempfindliche Untersuchungsverfahren kann eine Raumpositionierung der Probe mit Präzisionsbewegungen im Nanometer­ bereich erforderlich sein.

In großen Versuchsaufbauten, beispielsweise für die Neutronenbestrahlung einkristalliner Proben, mit Massen im Bereich von 500 kg und mehr, die mit tiefen Temperaturen bis in den Bereich 4,2 K und/oder sehr großen Magnetfeldern mit Feldstärken im Bereich von 14 T (Kryostat, Kryomagnet) arbeiten, ist oft noch ein Verkippen der bereits eingebrachten einkristallinen Probe erforderlich, um eine Bestrahlung mit Neutronen in exakt einer Ebene zu ermöglichen. Ein Öffnen der Anlage wäre viel zu aufwendig, so dass die Probenlage im fertigen Versuchsaufbau ferngelenkt korrigiert werden muss. Ein Verkippen des Kryomagneten selbst kann dabei nur in äußerst beschränktem Maße erfolgen. Die Verwendung von eingebauten, im Aufbau relativ aufwendigen Goniometerköpfen als elektrisch angetriebene mecha­ nische Wiegen zum Verkippen der Probe um zwei Achsen ist jedoch äußerst problematisch, da deren Antriebsmotoren auf das starke Magnetfeld reagieren oder deren Gestänge magnetisierbar sind. Magnetische oder magnetisierbare Einrichtungen können deshalb in derartig starken Magnetfeldern nur unter Inkaufnahme wesentlicher Nachteile eingesetzt werden. Außerdem besteht eine starke Empfindlichkeit gegenüber großen Temperaturschwankungen und Strahlungseinflüssen. Piezoelektrische Verstelleinrichtungen sind zwar unempfindlich gegen magnetische und strahlungsbedingte Einflüsse, ihr spannungsabhängiges Dehnungsverhalten ist jedoch auch stark temperatur­ abhängig. Ein weiteres Problem in solchen Versuchsaufbauten stellt das Platzproblem dar.

Thermoelektrische Hubelemente sind in den unterschiedlichsten Ausführungsformen und Anwendungen bekannt. Beispielsweise wird in der DE-OS 30 28 532 A1 ein als Hubelement ausgeführter Stellantrieb beschrieben, bei dem ein geringes Verdampfungsvolumen für das Arbeits­ medium und ein Faltenbalg als hydraulische Übersetzung eingesetzt werden, um eine schnelle Stellwegverstellung, d. h. eine geringe Ansprechträgheit zu bewirken. Als Weiterbildung davon ist aus der DE-OS 33 40 548 A1 ein elektrothermischer Stellantrieb bekannt, bei dem zur Vermeidung von plötzlicher Kondensation und damit zur Erzeugung von stetigen Rückstell­ kräften ein von außen druckbeaufschlagter Faltenbalg eingesetzt wird. Ein derartiges Hubelement weist ebenfalls eine geringe Ansprechträgheit auf und ist außerdem noch frei von Hystereseverhalten durch Reibungskräfte. Ein anderes thermisches Hubelement wird in der DE-OS 36 15 631 A1 offenbart, bei dem die Ausgestaltung und Anordnung der Heizeinrichtung ebenfalls zur Erreichung eines schnelles Ansprechverhaltens variiert werden.

Das zuletzt beschriebene thermische Hubelement nimmt Bezug auf ein aus der DE-OS 35 32 376 A1, von der die Erfindung als Stand der Technik ausgeht, bekanntes thermisches Hubelement mit hoher Ansprechgeschwindigkeit, das als Arbeitsmedium über eine zur Schaumbildung fähige Flüssigkeit verfügt, damit bei der elektrischen Erwärmung große Gasblasen, die zu einem unkontrolliertem Verhalten des Hubelements führen können, vermieden werden und relativ wenig Wärmeenergie benötigt wird.

Allen genannten Hubelementen ist gemeinsam, dass sie über eine möglichst geringe Ansprechträgheit verfügen sollen. Sie eignen sich daher besonders für bekannte Anwendungen in Stellklappen, Fenstern oder auch für Schlösser von Sicherheitsgurten. Sie werden allgemein als Betätigungselemente eingesetzt, die möglichst schnell einen Öffnungs- oder auch Schließvorgang ausführen sollen. Über die Genauigkeit der ausführbaren Hubbewegungen in solchen Positioniereinheiten, bei denen es weniger auf die Ansprechgeschwindigkeit als vielmehr auf die Ansprechgenauigkeit ankommt, wird keine Aussage gemacht oder ein Hinweis gegeben. Weiterhin ist den genannten Druckschriften zu entnehmen, dass die beschriebenen Hubelemente in der Regel bei normalen Umgebungstemperaturen eingesetzt werden.

In Bezug auf die bekannten Verstelleinrichtungen mit Goniometerköpfen ist es deshalb Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Verstelleinrichtung für die nm-genaue Positionierung eines Probentisches mit mehreren kombinierten Positioniereinheiten der eingangs beschriebenen Art so weiterzubilden, das sie weitgehend unempfindlich gegenüber äußeren Einflüssen, insbesondere magnetischen Einflüssen ist. Dabei soll ihr Aufbau sowohl einfach und unempfindlich als auch besonders klein und kompakt sein, er soll keine magnetischen Teile aufweisen und gut justierbar sein - auch für kleinste Stellwege im pm-Bereich.

Als Lösung für diese Aufgabe ist bei der Erfindung vorgesehen, dass jede Positioniereinheit ein thermoelektrisches Hubelement aufweist, das mit einem seinen Aggregatzustand temperaturabhängig ändernden Arbeitsmedium gefüllt ist, in das eine regelbare elektrische Heizeinrichtung hineinreicht.

Die erfindungsgemäße Verstelleinrichtung ist eine thermoelektrische Verstell­ einrichtung. Das verwendete Hubelement ist äußerst robust und einfach in seinem Aufbau. Die Verstelleinheit ist neutronenresistent und unempfindlich gegenüber großen Temperaturschwankungen und magnetischen Einflüssen. Die Auslenkungen des Hubelements werden reversibel durch die thermische Beeinflussung des Arbeitsmediums erreicht, das stets den Zustand des Phasengleichgewichts zwischen flüssiger (selten : fester) und gasförmiger Phase anstrebt. Bei Wärmezufuhr verschiebt sich das Gleichgewicht in Richtung der gasförmigen Phase mit einer damit verbundenen Volumenzunahme im System. Bei Wärmeentzug verringert sich das Gasvolumen und das Hubelement fährt entsprechend wieder ein. Die Ansteuerung erfolgt in einfacher Weise über die regelbare elektrische Heizeinrichtung, die beispielsweise als gewendelter Widerstandsdraht oder als Heizplatte ausgeführt sein kann. Auch bei tiefen Temperaturen können mit der erfindungsgemäßen Verstelleinheit Kippungen im Bereich < 5° und Stellwege zwischen 1 µm und 10 µm direkt in einem Kryostaten realisiert werden. Da die Hubelemente sehr klein ausgeführt werden können, ist auch das Volumen für das Arbeitsmedium und damit die erforderliche Heizleistung sehr gering. Die zusätzliche Belastung der Kühlleistung in einem Kryostaten ist damit ebenfalls gering. Die Temperaturstabilität ist sicher gewährleistet. Die gleichzeitige Erreichung der genannten Eigenschaften ist dabei noch ein zusätzlicher Vorteil.

Eine Platzersparnis in Zusammenhang mit einem robusten Aufbau erhält man, wenn nach einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung das thermo­ elektrische Hubelement als Druckkolben mit einem druckdicht daran anschließenden Wellschlauch ausgebildet ist. Die Anordnung kann dabei so erfolgen, dass der Druckkolben senkrecht positioniert und von dem Wellschlauch an seinem unteren Ende abgeschlossen ist. Die Heizeinrichtung kann im Bereich der ortsfesten Bodenplatte des Druckkolbens in das Innere durchgeführt sein. Am vom Druckkolben abgewandten Ende des Well­ schlauches kann eine Abschlussplatte vorgesehen sein, die mit der Oberseite des Probentischs verbunden ist. Dieser kann gegenüber einem festen Drehgelenk durch eine derartige Anordnung bereits in einer Diagonalen verkippt werden.

Eine weitere Platzverringerung für jede Positioniereinheit ergibt sich, wenn nach einer nächsten erfindungsgemäßen Ausgestaltung das thermoelektrische Hubelement als Metallfaltenbalg ausgebildet ist. Derartige Faltenbälge sind in bereits sehr kleinen Dimensionierungen auf dem Markt verfügbar und besonders unempfindlich und preiswert. Sie sind auch für höhere Innendrücke ausgezeichnet geeignet und altern kaum, so dass die Genauigkeit der Auslenkungen auch auf der mechanischen Seite gesichert ist. Die Metallausführung macht sie unempfindlich gegen tiefen Temperaturen. Eine Teileverbindung zwischen einem ortsfesten und einem beweglichen Teil entfällt, die Auslenkungen werden gleichmäßig über die gesamte Länge des Faltenbalgs erreicht. Eine Anordnung an einem Probentisch kann wie bei der oben beschriebenen Ausführungsform erfolgen. Dabei können beispielsweise drei Druckkolben einer Kreisfläche von 20 mm Durchmesser angeordnet werden.

Der Einsatz von metallischen Faltenbälgen empfiehlt sich besonders, wenn in der Arbeitsumgebung tiefe Temperaturen herrschen. Dabei ist es nach einer weiteren Erfindungsausgestaltung selbstverständlich, wenn das Arbeitsme­ dium bei tiefen Temperaturen verflüssigbar ist. Der Phasenübergangspunkt muss im Temperaturarbeitsbereich des Probentisches liegen. Für besonders tiefe Temperaturen eignet sich besonders flüssiger Stickstoff, aber auch Sauerstoff und Wasserstoff sowie die Edelgase Argon und Neon sind auch einsatzbezogen geeignete Arbeitsmittel. Andere Gase, wie beispielsweise Helium, eignen sich dagegen nicht so sehr, da sie unterhalb von 4,2 K supraleitend werden und eine Eigendynamik entwickeln.

Besonders einfach kann der Regelkreis für die Verstelleinrichtung über die Heizungseinrichtung aufgebaut werden, wenn nach weiteren Fortbildungen der Erfindung die Regeleinrichtung zur Messung der Längenänderung des thermoelektrischen Hubelements eine variable Kapazität aufweist, insbeson­ dere in der Form, dass mit dem beweglichen Abschnitt der Positioniereinheit eine parallel dazu abgewinkelte Blechlasche verbunden ist, die zusammen mit einer mit dem ortsfesten Abschnitt der Positioniereinheit verbundenen zusätzlichen Blechlasche einen in seiner Überdeckung veränderlichen Kondensator bildet. Durch die Verschiebung zwischen dem ortsfesten und dem beweglichen Abschnitt wird die eine Platte des Kondensators relativ zur anderen entsprechend verschoben. Die Änderung der Kapazität ist das Maß für die Längenänderung der Positioniereinheit. Andere Ausbildungen des Kondensators, beispielsweise als Doppelplatte mit dazwischenliegender zweiter Platte oder als Rohr mit hineinreichendem Stift sind ebenfalls möglich.

Die Kombinationsmöglichkeiten der Positioniereinheiten mit den Hubelementen sind vielfältig und abhängig von dem Einsatz der Verstellein­ richtung. Kipp-, Dreh- und x-,y-Tische können nm-genau verstellt werden. Von Vorteil ist es insbesondere nach einer Fortführung der Erfindung, wenn drei identische, einzeln ansteuerbare Positioniereinheiten, die auf den Eckpunkten eines gleichseitigen Dreiecks angeordnet sind, an einem als Kipptisch ausgeführten Probentisch angeordnet sind. Der Kipptisch kann durch unterschiedliche und unabhängige Auslenkungen aller drei Positionier­ einheiten beliebig in seiner Oberflächenlage zur Normalen eingestellt werden. Es ist nach einer anderen Ausgestaltung aber auch möglich, dass vier identische Positioniereinheiten im Quadrat unter einem als Kipptisch ausgeführten Probentisch angeordnet sind und jeweils die beiden diagonal gegenüberliegenden Positioniereinheiten antiparallel bewegbar sind. Jeweils die beiden diagonal gegenüberliegenden Positioniereinheiten können thermoelektrisch antiparallel bewegt werden, während die jeweils anderen beiden anderen beiden Positioniereinheiten als Gelenke dienen. Der Kipptisch kann dadurch definiert um zwei verschiedene Diagonalen aus der x,y-Ebene gekippt werden.

Damit wird mit der erfindungsgemäßen Verstelleinrichtung ein Kipptisch realisiert wie er aus dem Stand der Technik mit einer Ausrüstung mit Goniometern bekannt ist. Nunmehr kann der Kipptisch jedoch auch bei besonders starken Magnetfeldern und unter Strahlungseinfluss eingesetzt werden, ohne dass die Kippgenauigkeit unerwünscht eingeschränkt wird.

Deshalb ist es besonders vorteilhaft, wenn die erfindungsgemäße thermoelektrische Verstelleinrichtung in ihrer Grundform oder mit einer oder mehreren Ausgestaltungen in einem Kryomagneten oder Kryostaten hoher Masse eingesetzt wird für einen Kipptisch zur winkelrichtigen Positionierung einer einkristallinen Probe für eine anschließende Untersuchung unter Neutronenbestrahlung.

Die Erfindung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an mehreren Ausführungsbeispielen noch näher erläutert. Dabei zeigt im einzelnen:

Fig. 1 ein thermoelektrisches Hubelement einer erfindungsgemäßen Verstelleinrichtung mit einem Druckkolben und einem Wellschlauch,

Fig. 2 ein thermoelektrisches Hubelement einer erfindungsgemäßen Verstelleinrichtung mit einem Metallfaltenbalg und

Fig. 3 eine erfindungsgemäße Verstelleinrichtung mit einer Anordnung von drei Positioniereinheiten an einem Kipptisch in einem Kryomagneten.

Die Fig. 1 zeigt eine Positioniereinheit 1 mit einem thermoelektrischen Hubelement 2 schematisch im Querschnitt. Das Hubelement 2 ist ca. 10 mm hoch und weist als ortsfesten Abschnitt einen Druckkolben 3 und als beweglichen Abschnitt einen Wellschlauch 4 auf. Beide sind druckdicht miteinander verbunden. Das Hubelement 2 ist in einem Innenraum 5 mit einem Arbeitsmedium 6 gefüllt, das abhängig von der Prozesstemperatur T seinen Aggregatzustand ändert, beispielsweise mit flüssigem Stickstoff N₂ bei -180°C. Der Innendruck P im Hubelement 2 liegt im Bereich von 1 bar. Der Druckkolben 3 ist senkrecht positioniert. Durch eine Bodenplatte 7 ist eine regelbare elektrische Heizeinrichtung 8 in den mit dem Arbeitsmedium 6 gefüllten Innenraum 5 geführt. Im dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um einen einfachen gewendelten Widerstandsdraht, an den eine veränderbare Gleichspannung ΔU angelegt ist.

Der den beweglichen Abschnitt bildende Wellschlauch 4 im unteren Teil des Hubelements 2 weist einen Ansatz 9 auf, über den er mit einem hier nicht weiter dargestellten Probentisch verbunden werden kann. Durch geregelte Zufuhr einer Wärmemenge Q verschiebt sich das Phasengleichgewicht im Innenraum 5 in Richtung der Gasphase. Die Volumenvergrößerung bewirkt eine nm-genaue Längenänderung ΔL des Hubelements 2 im Bereich von einigen nm bis einigen µm oder sogar mm. Dieser Vorgang ist kontrollierbar reversibel. Die Umkehrung erfolgt durch entsprechend geregelte Wärmeabfuhr, beispielsweise über in der Fig. 1 nicht weiter dargestellte Kühlbleche.

Zur kapazitiven Messung der Längenänderung ΔL ist mit dem beweglichen Wellschlauch 4 der Positioniereinheit 1 eine parallel dazu abgewinkelte Blech­ lasche 10 verbunden, die zusammen mit einer mit dem ortsfesten Druckkolben 3 der Positioniereinheit 1 verbundenen zusätzlichen Blechlasche 11 einen in seiner Überdeckung veränderlichen Kondensator 12 bildet.

In der Fig. 2 ist eine Positioniereinheit 20 im Querschnitt dargestellt, deren thermoelektrisches Hubelement 21 als Metallfaltenbalg 22 ausgebildet ist. Dieser hat eine Höhe von ca. 40 mm, einen Durchmesser von ca. 20 mm und ist in seinem Innenraum 23 mit einem Arbeitsmedium 24 gefüllt. In einem Zwischenteil 25 sind zwei eingelötete Durchführungen 26, 27 angeordnet, durch die jeweils elektrische Leitungen 28, 29 zu einer Heizplatte 30 geführt sind. Druckdicht abgeschlossen wird der Metallfaltenbalg 22 an seiner Unterseite durch einen Deckel 31. Eine reversible Längenänderung ΔL wird durch eine nm-genaue Längsdehnung oder -zusammenziehung des Metall­ faltenbalgs 22 aufgrund einer Wärmezu- oder -abfuhr Q über die Heizplatte 30 bzw. gegebenenfalls vorhandene Kühleinrichtungen und einer entsprechenden Verdampfung bzw. Kondensation des Arbeitsmediums 24 erreicht. Die Größe der Längenänderung ΔL kann auch bei dem Metallfaltenbalg 22 über eine in der Fig. 2 nicht weiter dargestellte variable Kapazität C gemessen werden.

In der Fig. 3 ist eine Verstelleinrichtung 40 für die Positionierung eines Kipptisches 41 in einem Kryomagneten 42 hoher Masse M (<500 kg) zur winkelrichtigen Positionierung einer einkristallinen Probe 43 für eine anschließende Untersuchung unter Neutronenbestrahlung dargestellt. Gezeigt ist eine Anordnung von drei identischen, unter einem Winkel von 120° zueinander angeordneten thermoelektrischen Positioniereinheiten 44, 45, 46, die senkrecht positioniert und über ihre ortsfesten Abschnitte 47 festgelegt sind. Der Kipptisch 41 kann durch unterschiedlich geregelte Längenänderun­ gen ΔL jeder Positioniereinheit 44, 45, 46 in nahezu jeder Raumstellung fixiert werden. Er kann in einem Winkelbereich <5° trotz der herrschenden Tieftemperaturen (Abkühlung beispielsweise auf die Temperatur flüssigen Stickstoffs) im geschlossenen Versuchsaufbau hochgenau im nm-Bereich positioniert werden. Die extremen Umgebungsbedingungen beeinträchtigen die thermoelektrische Verstelleinrichtung 40 nicht.

Bezugszeichenliste

1

Positioniereinheit

2

Hubelement

3

Druckkolben

4

Wellschlauch

5

Innenraum

6

Arbeitsmedium

7

Bodenplatte

8

elektrische Heizeinrichtung

9

Ansatz

10

Blechlasche

11

zusätzliche Blechlasche

12

Kondensator

20

Positioniereinheit

21

Hubelement

22

Metallfaltenbalg

23

Innenraum

24

Arbeitsmedium

25

Zwischenteil

26

,

27

Durchführung

28

,

29

elektrische Leitung

30

Heizplatte

31

Deckel

40

Verstelleinrichtung

41

Kipptisch

42

Kryomagnet

43

einkristalline Probe

44

,

45

,

46

Positioniereinheit

47

ortsfester Abschnitt

Claims (9)

1. Verstelleinrichtung für die Positionierung eines Probentisches mit mehreren kombinierten Positioniereinheiten, die spannungsabhängig in ihrer Länge nm-genau einstellbar sind, und einer zugeordneten Regeleinrichtung für die Positionierung, dadurch gekennzeichnet, dass jede Positioniereinheit (1; 20; 44, 45, 46) ein thermoelektrisches Hubelement (2; 21) aufweist, das mit einem seinen Aggregatzustand temperaturabhängig (T) ändernden Arbeitsmedium (6; 24) gefüllt ist, in das eine regelbare elektrische Heizeinrichtung (8; 30) hineinreicht.

2. Verstelleinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das thermoelektrische Hubelement (2) als Druckkolben (3) mit einem druckdicht daran anschließenden Wellschlauch (4) ausgebildet ist.

3. Verstelleinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das thermoelektrische Hubelement (21) als Metallfaltenbalg (22) ausgebildet ist.

4. Verstelleinrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass Arbeitsmedium (6; 24) bei tiefen Temperaturen (T) verflüssigbar ist.

5. Verstelleinrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Regeleinrichtung zur Messung der Längenänderung (ΔL) des thermoelekt­ rischen Hubelements (2; 21) eine variable Kapazität (C) aufweist.

6. Verstelleinrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 4 und nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass mit dem beweglichen Abschnitt der Positioniereinheit (1; 20; 44, 45, 46) eine parallel dazu abgewinkelte Blechlasche (10) verbunden ist, die zusammen mit einer mit dem ortsfesten Abschnitt (47) der Positioniereinheit (1; 20; 44, 45, 46) verbundenen zusätzlichen Blechlasche (11) einen in seiner Überdeckung veränderlichen Kondensator (12) bildet.

7. Verstelleinrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass drei identische, einzeln ansteuerbare Positioniereinheiten (44, 45, 46), die auf den Eckpunkten eines gleichseitigen Dreiecks angeordnet sind, an einem als Kipptisch (41) ausgeführten Probentisch angeordnet sind.

8. Verstelleinrichtung nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass vier identische Positioniereinheiten im Quadrat unter einem als Kipptisch ausgeführten Probentisch angeordnet sind und jeweils die beiden diagonal gegenüberliegenden Positioniereinheiten antiparallel bewegbar sind.

9. Kryomagnet (42) oder Kryostat hoher Masse (M) ausgestattet mit einer thermoelektrischen Verstelleinrichtung (40) nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche 1 bis 8 für einen Kipptisch (41) zur winkelrichtigen Positionierung einer einkristallinen Probe (43) für eine anschließende Untersuchung unter Neutronenbestrahlung.