DE19826519C2

DE19826519C2 - Hydrostatische Führung

Info

Publication number: DE19826519C2
Application number: DE1998126519
Authority: DE
Inventors: Achim Gleichner
Original assignee: FREUNDESKREIS DES LEHRSTUHLES
Current assignee: FREUNDESKREIS DES LEHRSTUHLES
Priority date: 1998-06-15
Filing date: 1998-06-15
Publication date: 2000-05-18
Anticipated expiration: 2018-06-16
Also published as: DE19826519A1

Description

Die Erfindung betrifft eine hydrostatische Führung, mit zwei einander gegenüberliegenden Führungsteilen, deren Gleitflächen nur durch einen Druckmedium-Film voneinander getrennt sind, wo bei das Druckmedium eine elektrorheologische Flüssigkeit ist, und das eine Führungsteil zumindest eine der Gleitflächen des anderen Führungsteils zugewandte Drucktasche aufweist, die von einer die eine Gleitfläche aufweisenden Wandung umschlossen ist, und an die eine Druckleitung für die Zufuhr des Druckmediums eines Druckversorgungssystems angeschlossen ist, das in der Drucktasche einen der äußeren Belastung entgegenwirkenden Ta schendruck aufbaut, hierdurch die eine Gleitfläche um einen Spaltabstand von der anderen Gleitfläche abhebt und in diesem Spaltabstand den genannten Druckmedium-Film bildet, wobei zur Viskositätsänderung der ERF zwischen den beiden Führungsteilen ein veränderbares elektrisches Feld besteht.

Hydrostatische Lagerungen zeigen z. B. die europäischen Patentan meldungen Nr. 0 070 375 A1, 0 304 090 A2, 0 355 904 A3 und 0 361 026 A1.

Bei den üblichen Anwendungen von hydrostatischen Führungen in Form von Geradführungen und Drehführungen bzw. Lagerungen kann das Genauigkeits- oder Steifigkeitsverhalten des Systems nur durch aufwendige mechanisch-elektrische Steuer- und Regelsysteme einstellbar bzw. regelbar gestaltet werden. Dabei werden der Volumenstrom, der Taschendruck oder (durch Temperaturänderung) die Viskosität optimiert. Die Regelungs- bzw. Steuerungssysteme liegen üblicherweise außerhalb der Führungs- bzw. Lagerflächen. Die Abstimmung dieser Systeme auf die gegebenen Betriebsverhält nisse ist zeitaufwendig und erfordert Erfahrung. Unter Verwen dung solcher Steuer- bzw. Regelungssysteme treten größere Regel zeiten zwischen dem zeitlichen Einsetzen der Störgröße (z. B. Laständerung oder Drehzahländerung) und der Anpassung des Ge samtsystems auf die geänderten Lastverhältnisse auf; die Regel frequenz ist überdies begrenzt.

Die eingangs beschriebene hydrostatische Führung läßt sich der JP 08035522 A2 entnehmen. Offenbart ist ein an einem Axiallager verwirklichtes hydrostatisches System, bei dem eine aus bestimm ten Bestandteilen bestehende bzw. einen besonderen Aufbau auf weisende elektrorheologische Flüssigkeit als Druckmedium Verwen dung findet. Durch Veränderung der das elektrische Feld aufbau enden Stromspannung sollen die statischen und dynamischen Eigen schaften des Axiallagers gesteuert bzw. seine Tragfähigkeit und Schwingungsdämpfung verbessert werden. Die das eine Führungsteil bildende, lotrecht angeordnete Welle liegt mit ihrer unteren Stirnfläche bei abgeschaltetem System auf der ringförmigen Gleitfläche des ortsfest angeordneten, das andere Führungsteil bildenden Axiallagers auf und deckt dadurch die im Axiallager vorgesehene, nach oben offene Drucktasche ab. Das Axiallager sowie seine die Drucktasche umschließende Ringwandung bestehen aus nichtleitendem Material. Für den Aufbau des elektrischen Feldes bildet die Welle die eine Elektrode, während die andere Elektrode ringförmig um die genannte Ringwandung des Axiallagers gelegt ist und eine etwas geringere axiale Höhe aufweist als die Ringwandung, die mit ihrer Gleitfläche die Welle abstützt. Bei ruhendem System besteht somit ein lichter Axialabstand zwischen der ringförmigen Elektrode und der unteren Stirnfläche der auf dem Axiallager aufliegenden Welle. Durch diesen Elektrodenaufbau ändern sich aber die vom Druckölversorgungssystem in Abhängig keit der elektrischen Spannung zu liefernden Drücke. Dieses vor bekannte Führungssystem ist somit ungeeignet für den Betrieb mehrerer Tragtaschen, die von einer einzigen Druckölpumpe ge speist werden. Als ERF werden für das vorbekannte Sytem ER-Sus pensionen verwendet, die verhältnismäßig große ER-aktive Teil chen enthalten, so daß entsprechend große Spaltweiten zwischen den einander gegenüberliegenden Führungsteilen erforderlich sind.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die eingangs beschrie bene hydrostatische Führung hinsichtlich ihrer Steuer- und Re gelbarkeit zu verbessern.

Diese Aufgabe wird in Verbindung mit den eingangs für die hydro statische Führung beschriebenen Merkmalen erfindungsgemäß da durch gelöst, daß die genannte Wandung mit ihrer Gleitfläche zusammen mit der anderen Gleitfläche einen als Drossel wirkenden Spalt bildet, den das genannte elektrische Feld durchsetzt, des sen Feldstärke und/oder Feldfrequenz regelbar ist, wobei als ERF ein homogenes Produkt Verwendung findet.

Mit der erfindungsgemäßen Ausführungsform lassen sich schnelle, einfache und exakte Steuerbarkeit und Regelbarkeit des Genauig keitsverhaltens und der Steifigkeit der Systeme erreichen. Dabei wird die elektrorheologische Flüssigkeit (ERF) als Aktor einge setzt, der sich mitten im Wirkpunkt, d. h. genau zwischen den Gleitflächen befindet. Dabei wird ausgenutzt, daß sich die Fließeigenschaften der ERF bei Anlegen eines elektrischen Feldes in Millisekunden reversibel ändern lassen. Durch Führung des elektrischen Feldes, das durch konstruktive Gestaltung der Füh rungsteile im Lagerspalt angelegt werden kann, läßt sich die Viskosität des Druckmediums reversibel ändern. Somit kann auch das Genauigkeits- oder auch das Steifigkeitsverhalten der Füh rungen einstellbar und damit steuerbar und regelbar gestaltet werden, da dieses direkt von der Viskosität des Fluids abhängt (für newtonsche Medien gilt dabei: η ~ 1/h³).

Die Feldstärke- und/oder Feldfrequenzregelung kann durch übliche elektronische Regler erfolgen.

Für eine besonders einfach zu verändernde Regelcharakteristik kann erfindungsgemäß die Steuerung oder Regelung durch einen Softwareregler erfolgen, so daß auf mechanische Bauelemente ver zichtet werden kann und unterschiedliche Optimierungskriterien einsetzbar sind, die auch während des Betriebes ausgewechselt werden können, wie z. B.

- maximale oder optimale Steifigkeit des Systems und damit einstellbare Systemeigenfrequenzen
- konstante Steifigkeit des Systems bei Laständerung (Steifigkeitskonstanz)
- minimale Verlagerungen des Systems bei Laständerung (Verlagerungskompensation)
- Ausgleich thermisch bedingter Verlagerungen (Tempera turkompensation).

Ausführungsformen können Geradführungen und Drehführungen sein; herstellbar sind aber auch konische, sphärische oder offene An ordnungen von Tragtaschen. Die Anordnungen können auch vorge spannt werden und aus mehreren Taschen bestehen.

Nachfolgend werden weitere Einsatzmöglichkeiten beschrieben:

- aktive hydrostatische Führung (Geradführung) als einfacher Aktor in einer Werkzeugmaschine oder einem Handhabungsgerät zur (Fein-)Positionierung eines Tisches oder Werkstückes normal zur Führungsfläche: Durch Erhöhen/Vermindern der elektrischen Feldstärke "verfährt" die Führung in die ent sprechende Richtung (um einige µm bis Zehntel Millimeter), d. h. die Spaltweite der Führungsflächen zueinander wird verändert.
- Aktive hydrostatische Führung (Geradführung/Drehführung) als Überlastschutz: Verlagert sich die Führung durch Über lastung so stark, daß zu geringe Spaltweiten auftreten, wird die Viskosität durch Steuerung der Feldstärke erhöht, so daß sich die Spaltweite vergrößert und so eine Beschä digung der Führung vermieden wird.
- Selbstkompensierende aktive hydrostatische Führung (Gerad führung/Drehführung): Durch ein dauernd angelegtes elektri sches Feld zwischen den Führungsflächen wird erreicht, daß sich die Viskosität des Druckmediums mit zunehmender Verla gerung (ausgelöst beispielsweise durch wachsende Last) ebenfalls vergrößert. Gegenüber herkömmlichen Führungen werden so wesentlich geringere Verlagerungen erreicht.
- Aktive hydrostatische Führung zum Ausgleich von hydrodyna misch erzeugten Verlagerungen: Durch die Bewegung der Füh rung entstehen zusätzlich zu den hydrostatisch erzeugten Tragdrücken hydrodynamisch verursachte Drücke, die zu einem Aufschwimmen oder Abfallen (falls große Zentripetalkräfte auftreten und das Drucköl aus dem Lager gedrückt wird) füh ren können. Durch eine der Gleitgeschwindigkeit angepaßte Steuerung des elektrischen Feldes können diese Effekte mi nimiert werden.
- Aktive hydrostatische Drehführung mit wählbarer Exzentrizi tät bzw. wählbarem Drehmittelpunkt: Um die Exzentrizität der Welle zu vermindern und so zu einer erhöhten Rundlauf genauigkeit beizutragen, werden die elektrischen Felder mehrerer Taschen unabhängig voneinander gesteuert. Verla gert sich die Welle in einer (Vorzugs-)Richtung (z. B. Bela stungsrichtung), wird die Feldstärke derjenigen Tasche mit der geringsten Spaltweite vergrößert, so daß die Viskosität des Druckmediums dieser Tasche steigt und die Verlagerung normal zu dieser Tasche minimiert werden kann. Auch der Drehpunkt der Welle kann auf diese Weise durch Steuerung der Felder frei wählbar gestaltet werden und so das Lager an das vorliegende Problem angepaßt werden. Somit können auch Fertigungsungenauigkeiten bei der Produktion der Füh rung auf einfache Weise ausgeglichen werden, so daß an die ser Stelle durch Verwendung geringerer Qualitätsforderungen Kosten gespart werden können.
- Aktive hydrostatische Drehführung zur Vermeidung von Schwingungsamplituden: Um das Lager beim Durchfahren von Resonanzfrequenzen vor zu großen Schwingungsamplituden zu schützen, kann eine Steuerung durch Anpassung der Steifig keit und Dämpfung des Lagers zu große Schwingungsamplituden unterbinden.
- Aktive hydrostatische Führung (Geradführung/Drehführung) zum Ausgleich von Verkippungen: Eine Steuerung oder Rege lung kann ein Verkippen einer Welle (Spindel) oder eines Tisches ausgleichen, wenn die Tragtaschen mit unterschied lich großen elektrischen Feldern versorgt werden.

Da mit abnehmender Spaltweite die Führung steifer wird, können durch die Steuerung der Feldstärke (Spannung) unterschiedliche Steifigkeiten der Führung erreicht werden. Durch Steuerung der aktiven hydrostatischen Führung läßt sich auch bei sich ändern der Belastung eine konstante Spaltweite sicherstellen. Die Steu erung kann aber auch nach Kennlinien verlaufen, die eine gleich bleibende Steifigkeit des Systems ermöglichen.

Eine für den Einsatz in hydrostatischen Führungen geeignete ho mogene ERF läßt sich aus Mischung der elektrorheologisch aktiven Komponente EPS 3301 der Firma DEA (s. z. B. WO 94/28096) und ei nem Mineralöl, z. B. Weissöl der Viskosität v = 4 mm²/s herstellen (z. B. im Verhältnis 38/62).

Weitere Merkmale der Erfindung sind Gegenstand der Unteransprü che und werden in Verbindung mit weiteren Vorteilen der Erfin dung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.

In der Zeichnung sind einige als Beispiele dienende Ausführungs formen der Erfindung schematisch dargestellt. Es zeigen:

Fig. 1 Ein Beispiel für eine mögliche Anordnung eines einstellbaren hydrostatischen Lagers mit einer Trag- bzw. Drucktasche;

Fig. 2 ein Beispiel für eine mögliche Anordnung eines einstellbaren hydrostatischen Radiallagers mit vier Tragtaschen;

Fig. 3 den schematischen Aufbau einer aktiven hydrosta tischen Führung mit einer Tragtasche;

Fig. 4 Elektrodenanordnungen bei hydrostatischen Gerad- und Radialführungen;

Fig. 5 in einer Darstellung gemäß Fig. 1 eine Geradfüh rung mit mehreren Tragtaschen, die mit unter schiedlichen Spannungen beaufschlagt werden kön nen;

Fig. 6 die Unteransicht des in Fig. 5 dargestellten Tisches;

Fig. 7 in einer Darstellung gemäß Fig. 2 ein sphärisches hydrostatisches Lager;

Fig. 8 im Längsschnitt eine konische hydrostatische La gerung;

Fig. 9 eine hydrostatische Axiallagerung und

Fig. 10 eine Draufsicht auf das feststehende Lagerteil gemäß Fig. 9.

Fig. 1 zeigt ein oberes Führungsteil 1 mit einer Drucktasche 2, die von einer einen Steg bildenden Wandung 3 umschlossen ist, die eine Gleitfläche 4 des oberen Führungsteils 1 bildet. In dem oberen Führungsteil 1 ist eine Elektrode 5 angeordnet. An die Drucktasche 2 ist eine Druckleitung eines Druckversorgungs systems für die Zufuhr eines Druckmediums angeschlossen, dessen Volumenstrom mit Q gekennzeichnet ist. Der darüber angeordnete Pfeil F symbolisiert die Belastung.

Das obere Führungsteil ist in der Bewegungsrichtung des Doppel pfeiles 6 gegenüber einem unteren Führungsteil 7 verschiebbar, das eine Gleitfläche 8 bildet, die von der oberen Gleitfläche 4 über einen Ringspalt beabstandet ist, dessen Spaltweite mit h gekennzeichnet ist. An die Elektrode 5 und das untere Führungs teil 7 ist eine Spannung U angelegt.

Das Druckversorgungssystem liefert das Druckmedium mit einem Volumenstrom Q in die Drucktasche 2 und baut hier einen Taschen druck auf. Das Druckmedium strömt dann durch den einen hydrauli schen Widerstand bildenden Ringspalt wieder ab. In Abhängigkeit der Belastung F, des Taschendrucks, der Geometrie der Druckta sche 2 und des verwendeten Druckmediums hebt sich die Druckta sche 2 bzw. das obere Führungsteil 1 von der die Führungsfläche bildenden Gleitfläche 8 des unteren Führungsteils 7 mit der Spaltweite h ab. Das obere Führungsteil 1 kann dann in der Füh rungsebene bewegt werden, wobei auch eine Funktionsumkehr mög lich ist, bei der das untere Führungsteil 7 gegenüber dem orts fest gehaltenen oberen Führungsteil 1 verschoben wird.

Das obere Führungsteil 1 kann aus nicht leitendem Werkstoff be stehen, in den die Elektrode 5 eingebettet ist.

Fig. 2 zeigt eine hydrostatische Radiallagerung, bei der die eine Gleitfläche durch Stege 3 im feststehenden Lagerring 9 und die andere Gleitfläche durch die Welle 10 gebildet sind. Der in den Drucktaschen 2 herrschende Taschendruck ist mit p_T gekenn zeichnet. Die Bewegungsrichtung der Welle 10 symbolisiert der Doppelpfeil 11.

Alle übrigen Bezeichnungen entsprechen denen der Fig. 1.

Fig. 3 läßt in schematischer Darstellung den Aufbau einer akti ven hydrostatischen Führung erkennen. Die Druckölversorgung (Konstantdruck- oder Konstantstromsystem) der Drucktasche 2 mit ERF erfolgt über eine Druckleitung 12 (z. B. Kapillare). Der Spalt h bildet einen hydraulischen Widerstand, der den Ölabfluß drosselt und somit den Druckaufbau ermöglicht, der der äußeren Belastung F entgegenwirkt. Die Spaltweite und damit die Lage der Führung und deren Steifigkeit ist von der Viskosität des Druck mediums abhängig, die bei Verwendung einer ERF als Druckmedium anpaßbar gestaltet werden kann, so daß die Tragkraft bzw. die Spaltweite und damit die Lage (in Wirkrichtung 13) und die Stei figkeit des Systems verändert werden können. Dazu wird das Drucköl beim Abströmen unter den Stegen 3 mit einem elektrischen Feld durchsetzt, in dem die Drucktasche 2 bzw. das obere Füh rungsteil 1 und das gegenüberliegende Führungsteil 7 als Konden sator aufgebaut werden, so daß sich ein Potentialunterschied zwischen den beiden Gleitflächen 4, 8 ausbilden kann. Hierzu zeigt Fig. 3 eine Spaltweiten-/Verlagerungserfassung 14 sowie eine steuerbare Hochspannungsquelle 15. Eingezeichnet sind fer ner Erdungen 16 und für den Druckölkreislauf eine Vordruckpumpe 17, eine Verteilerpumpe 18, die Druckleitung 12 sowie einen in einen Tank 19 mündenden Öl-Rücklauf 20.

Die Größe des im Spalt anliegenden elektrischen Feldes und des sen Frequenz wird durch die Größe und Frequenz der von einer Hochspannungsquelle abgegebenen Spannung sowie durch die aktuel le Spaltweite bestimmt. Die Größe der abgegebenen Spannung und deren Frequenz kann durch eine Steuerung der Spannungsquelle verändert und so die geforderte Charakteristik der Führung ein gestellt werden, in dem ein an die Aufgabe angepaßtes Steue rungsprogramm verwendet wird. Ein regelbares System kann durch Schließung des Regelkreises erreicht werden, in dem die Lage der Führung ermittelt wird. Neben der direkten Erfassung der Spalt weite 14 kann auch durch Erfassung indirekter Größen wie des Taschendrucks p_T, der Feldstärke E oder des Volumenstromes Q die Lage der Führung bestimmt werden. Die erfaßte Größe wird mit Hilfe einer programmierbaren Regelung im Soll/Ist-Vergleich aus gewertet und dem Regler zur Verfügung gestellt. Je nach program mierter Regelung (gewähltes Optimierungskriterium) wird dann die Größe der anliegenden Spannung bzw. Frequenz der steuerbaren Spannungsquelle korrigiert.

Bei dem vorliegenden Aktor können alle drei Wirkmechanismen für ERF-Wandler genutzt werden. Beim Abströmen über die Stege wird das Fluid im Flow-Modus belastet. Wird eine Relativbewegung zwi schen den Gleitflächen erzeugt, tritt neben dem Flow- auch der Shear-Modus auf. Verlagern sich die Führungsflächen normal zu einander, wird das Fluid zusätzlich im Squeeze-Modus belastet.

Fig. 4 läßt verschiedene Anordnungen der Elektroden des be schriebenen Kondensators erkennen, wobei kennzeichnend ist, daß das Drucköl unter den Stegen immer durch ein elektrisches Feld durchsetzt werden muß. Die Führungsflächen selbst können die Elektrode darstellen, wenn sie aus leitfähigem Material beste hen. Dabei liegt eine Elektrode immer auf Erdpotential und die gegenüberliegende Elektrode auf Hochspannungspotential. Wird die Hochspannungselektrode in einen Isolator eingebettet, so kann ein elektrisches Wechselfeld zur Viskositätsänderung des Fluids genutzt werden. Liegen die Elektroden frei, d. h. ohne Iso lationswerkstoffe gegenüber, kann neben dem elektrischen Wechselfeld auch ein Gleichfeld eingesetzt werden.

Die Fig. 5 und 6 zeigen eine hydrostatische Geradführung, bei der sich das als Tisch ausgebildete obere Führungsteil 1 mit eingelassenen Trag- bzw. Drucktaschen 2 über einen Ölfilm auf einer Gleit- bzw. Führungsfläche 8 abstützt. Die Tragtaschen 2 werden von einem nicht näher dargestellten Druckölversorgungs system mit Druckmedium mit dem Volumenstrom Q versorgt. An jede Tragtasche 2 kann eine unterschiedliche Spannung angelegt werden (U₁, U₂, U₃ . . .). Der Tisch ist beweglich in Richtung des Doppel pfeiles 6. Der Pfeil F symbolisiert die Belastung des Tisches in Richtung des Pfeiles. Auf seiten des Tisches werden die Gleit flächen 4 durch die Stege 3 der Tragtaschen 2 gebildet.

Fig. 7 zeigt ein sphärisches hydrostatisches Lager, bei dem die eine Gleitfläche 4 durch Stege 3 in einem feststehenden Lagerge häuse 9' und die andere Gleitfläche 8 durch die sphärische Aus bildung einer Welle 10' gebildet werden.

Fig. 8 zeigt ein hydrostatisches Lager mit konischen Führungs flächen, bei dem die eine Gleitfläche 4 durch Stege 3 in einem feststehenden Lagergehäuse 9'' und die andere Gleitfläche 8 durch eine Welle 10'' gebildet werden. Die Drehrichtungen der Welle 10'' symbolisiert der Doppelpfeil 11. Zwischen den Füh rungsflächen 4, 8 kann eine elektrische Spannung U angelegt wer den.

Die Fig. 9 und 10 zeigen in schematischer Darstellung ein hydrostatisches Axiallager. Hier werden die eine Gleitfläche 4 durch Stege 3 in einem feststehenden Lagerteil 9''' und die an dere Gleitfläche 8 durch eine Welle 10''' gebildet.

Claims

1. Hydrostatische Führung, mit zwei einander gegenüberliegen den Führungsteilen (1, 7; 9, 10), deren Gleitflächen (4, 8) nur durch einen Druckmedium-Film voneinander getrennt sind, wobei das Druckmedium eine elektrorheologische Flüssigkeit (ERF) ist, und das eine Führungsteil (1; 9) zumindest eine der Gleitflächen (8) des anderen Führungsteils (7; 10) zu gewandte Drucktasche (2) aufweist, die von einer die eine Gleitfläche (4) aufweisenden Wandung (3) umschlossen ist, und an die eine Druckleitung (12) für die Zufuhr des Druck mediums eines Druckversorgungssystems angeschlossen ist, das in der Drucktasche (2) einen der äußeren Belastung (F) entgegenwirkenden Taschendruck (P_t) aufbaut, hierdurch die eine Gleitfläche (4) um einen Spaltabstand (h) von der an deren Gleitfläche (8) abhebt und in diesem Spaltabstand (h) den genannten Druckmedium-Film bildet, wobei zur Viskosi tätsänderung der ERF zwischen den beiden Führungsteilen (1, 7; 9, 10) ein veränderbares elektrisches Feld besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte Wandung (3) mit ihrer Gleitfläche (4) zusammen mit der anderen Gleitfläche einen als Drossel wirkenden Spalt bildet, den das genannte elektrische Feld durchsetzt, dessen Feldstärke (E) und/oder Feldfrequenz regelbar ist, wobei als ERF ein homogenes Pro dukt Verwendung findet.

2. Hydrostatische Führung nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet, daß die sich gegenüberliegenden Führungsteile (1, 7; 9, 10) einen Kondensator bilden, dessen eine Elektrode auf Erdpotential und dessen andere Elektrode auf Hochspan nungspotential liegen.

3. Hydrostatische Führung nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß das mit der zumindest einen Drucktasche (2) versehene Führungsteil (1; 9) aus leitfähigem Material be steht und selbst die eine Elektrode bildet.

4. Hydrostatische Führung nach Anspruch 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Hochspannungselektrode (5) in einem Iso lator eingebettet ist, wobei zur Viskositätsänderung der ERF ein elektrisches Wechselfeld vorgesehen ist.

5. Hydrostatische Führung nach einem der vorhergehenden An sprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für die Feldstärke- und/oder Feldfrequenzregelung eine steuerbare Spannungs quelle (15) vorgesehen ist.

6. Hydrostatische Führung nach Anspruch 5, dadurch gekenn zeichnet, daß die Feldstärke- und/oder Feldfrequenzregelung durch einen Softwareregler erfolgt.

7. Hydrostatische Führung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch ge kennzeichnet, daß die Steuerung der Spannungsquelle (15) in Abhängigkeit von der Spaltweite (h), dem Taschendruck (p_T), der Feldstärke (E) oder dem Volumenstrom erfolgt.

8. Hydrostatische Führung nach einem der vorhergehenden An sprüche, gekennzeichnet durch mehrere, jeweils mit unter schiedlich hohen elektrischen Feldern durchsetzte Druckta schen (2). (Fig. 5 + 6)

9. Hydrostatische Führung nach einem der vorhergehenden An sprüche, gekennzeichnet durch eine Ausbildung als Radial lagerung, bei der die eine Gleitfläche durch Stege (3) im feststehenden Lagerring (9) und die andere Gleitfläche durch die Welle (10) gebildet sind. (Fig. 4)

10. Hydrostatische Führung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch eine Geradführung zur Positionierung eines Tisches oder Werkstückes normal zur Führungsfläche.

11. Hydrostatische Führung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch eine Ausbildung als Linearlagerung (Geradführung). (Fig. 5 + 6)

12. Hydrostatische Führung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch eine Ausbildung als sphärisches Lager. (Fig. 7)

13. Hydrostatische Führung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch eine Ausbildung als konisches Lager. (Fig. 8)

14. Hydrostatische Führung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, gekennzeichnet durch eine Ausbildung als Axiallagerung. (Fig. 9 + 10).