DE19822926C2 - Verfahren zur Beschichtung von spanend eingreifenden Spanflächen spanabhebender Werkzeuge mit definierten Schneidengeometrien, insbesondere für Fräser, Drehstähle, Wendeschneideplatten, Bohrer sowie Werkzeuge zum Reiben und Räumen - Google Patents

Verfahren zur Beschichtung von spanend eingreifenden Spanflächen spanabhebender Werkzeuge mit definierten Schneidengeometrien, insbesondere für Fräser, Drehstähle, Wendeschneideplatten, Bohrer sowie Werkzeuge zum Reiben und Räumen

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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Beschichtung von spa­ nend eingreifenden Spanflächen spanabhebender Werkzeuge mit de­ finierten Schneidengeometrien, insbesondere für Fräser, Dreh­ stählen, Wendeschneideplatten, Bohrer, sowie für Werkzeuge zum Reiben und Räumen gemäß den Oberbegriffen der Ansprüche 1 oder 2 bzw. 25, wie beides bspw. aus der gattungsbilden zugrundegelegten DE 195 11 829 A1 als bekannt hervorgeht.
Aus der DE 195 11 829 A1 ist ein Schneidwerkzeug bekannt, bei dem zumindest im Bereich der Schneidkanten auf dem Grundkörper eine verschleißfeste Schicht aus TiN, TiAlN, TiCN, Diamant oder ähnlichen Materialien aufgetragen ist. Auf die verschleißfesten Schicht ist zumindest bereichsweise eine gegenüber der ver­ schleißfesten Schicht weichere Gleitschicht angeordnet. Die Gleitschicht besteht aus Sulfiden, Seleniden und/oder Tellur­ iden, wie insbesondere MoS2, NbS2, TaS2, WS2, MoSe2, NbTe2, WTe2 oder aus Mischverbindungen davon.
Aus dem Artikel "Formation and self-lubricating mechanisms of boric acid on borided steel surfaces" von A. Erdemir et al in Surface & Coating Technology 76-77, 1995, Seite 443-490 ist eine Beschichtung eines Trockenschmiermittels aus Borsäure auf Stählen bekannt sowie ein Verfahren zur Aufbringung der Be­ schichtung. Bei dem aus dieser Schrift vorbekannten Verfahren wird ein Stahl zuerst boriert. Die borierte Oberfläche des Stahls weist eine gute Härte und Korrosionsbeständigkeit auf. Allerdings ist ihr Reibwert (Reibkoeffizient) sehr hoch. Daher wird die borierte Oberfläche des Stahles mit einer Schmier­ stoffschicht aus Borsäure versehen, die als Trockenschmiermit­ tel wirkt. Zum Borieren wird der Stahl in ein Salzbad getaucht, das eine Borverbindung aufweist und das auf 940°C erhitzt wird. Nach dem Salzbad wird der borierte Stahl auf 750°C er­ hitzt, wodurch die Boratome tiefer in den Oberflächenbereich des Stahles diffundieren können. Es wird vermutet, daß einige der Atome auch an die freie Oberfläche diffundieren, wo sie bei Anwesenheit von Sauerstoff sofort zu Boroxid reagieren. Dadurch scheidet sich an der Oberfläche des Stahls eine Boroxidschicht ab, die beim späteren Abkühlen und in Anwesenheit von Wasser­ stoff in Borsäure umgewandelt wird. Zur Bildung des Boroxids darf die Temperatur allerdings nicht unter 750°C abgesenkt werden und der borierte Stahl auch nicht länger als 8 min auf diese Temperatur erhitzt sein, da sich ansonst kein Boroxid bildet. Abgesehen davon, daß diese Temperaturbehandlung eine immense Belastung für den Stahl darstellt, ist auch die Prozeß­ führung zur Herstellung der Boroxid-Schicht sehr empfindlich, weshalb das vorbekannte Verfahren auch sehr aufwendig, kompli­ ziert und teuer ist. Desweiteren sind mit diesem Verfahren end­ formnahe, insbesondere genau bemaßte Bauteile nur sehr schwer und mit einer großen Ausschußrate herzustellen. Auch ist das gesamte Verfahren insbesondere für veränderte Schichtdicken sehr inflexibel.
Aus dem Artikel "A study of the formation and self-lubrication mechanisms of boric acid folms on boric oxide caotings" von A. Erdemir et al in Surface & Coating Technology 43/44, 1990, Sei­ te 588-596 ist ebenfalls eine Beschichtung eines Trocken­ schmiermittels aus Borsäure sowie ein Verfahren zur Auftragung dieser Beschichtung bekannt. Bei diesem Verfahren wurden die Oberflächen eines Gegenstandes aus α-Aluminiumoxid und eines Gegenstandes aus Stahl (M50) durch einen Argon-Ionenstrahl ge­ reinig und anschließend mittels einer Elektronenstrahlverdamp­ fung im Vakuum mit dem Boroxid beschichtet. Die Reibkoeffizien­ ten der einige µm dicken Schmierstoffschichten waren in beiden Fällen sehr gut, wobei allerdings die Standzeit der Beschich­ tung auf Stahl gering war. Desweitern ist die Haftung der Schmierstoffschichten aus Borsäure auf den Substraten gering, so daß auch dieses Verfahren eine hohe Ausschußrate aufweist.
Aus dem Artikel Artikel "Tribilogical Properties of Boric-Acid- Forming Sufaces. Part II: Mechanisms of Formation and Self- Lubrication of Boric Acid Films on Boron- and Boric Oxide- Containing Surfaces." von A. Erdemir et al in Journal of the Siciety of Tribologists and Lubrication Engineers (1991), 47(3), Seite 179-184 ist eine weitere Beschichtung eines Ge­ genstandes mit Borsäure als Trockenschmiermittel sowie ein zu­ gehöriges Verfahren bekannt. Hierbei weist die zu beschichtende Oberfläche zuerst eine Borschicht, anschließend eine Boroxid­ schicht und anschließend die Schmierstoffschicht auf.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren anzugeben, mit dem eine spanend eingreifende Spanfläche eines spanabhebenden Werkzeuges mit einer definierten Schneidengeometrie in preis­ günstiger Weise und innerhalb geringer Herstellungstoleranzen sowie bei kleinen Ausschußraten mit einer guthaftenden Schmier­ stoffschicht aus einem Trockenschmiermittel versehen werden kann, wobei das Trockenschmiermittel einen möglichst geringen Reibwert und eine möglichst lange Standzeit aufweisen soll. Desweiteren ist es Aufgabe der Erfindung für einen insbesondere metallischen Gegenstand eine guthaftende Schmierstoffschicht aus einem Trockenschmiermittel zu entwickeln, welche Schmier­ stoffschicht preisgünstig und innerhalb geringer Herstellungs­ toleranzen sowie mit kleinen Ausschußraten aufgebracht ist, wo­ bei das Trockenschmiermittel einen möglichst geringen Reibwert und eine möglichst hohe Standzeit aufweist.
Die Aufgabe wird erfindungsgemäß mit einem Verfahren mit den Verfahrensschritten des Anspruchs 1 oder 2 bzw. mit einer Be­ schichtung mit den Merkmalen des Anspruchs 25 gelöst. Durch den erfindungsgemäßen Schichtaufbau und die Aufbringung der einzel­ nen Schichten, bevorzugt mittels eines Plasma-CVD-Verfahrens, können die Schichtdicken in einfacher Weise im µm-Bereich repro­ duzierbar aufgebracht werden, so daß zumindest eine aufwendige Nachbearbeitung entfällt. Desweiteren ist die Haftung auf dem Gegenstand durch das erfindungsgemäße Vorgehen sehr gut.
Sinnvolle Ausgestaltungen der Erfindung sind den jeweiligen Un­ teransprüchen entnehmbar. Im übrigen wird die Erfindung anhand von Beispielen und nachfolgenden Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigt
Fig. 1 einen Ausschnitt eines Schnittes durch einen erfin­ dungsgemäßen Schichtaufbau eines beschichteten Werkzeu­ ges,
Fig. 2 ein Diagramm des Reibkoeffizienten in Abhängigkeit der Zeit bei mit unterschiedlichen Trockenschmiermitteln beschichteten Werkzeugen bei einem Schwingverschleiß­ test und
Fig. 3 eine Vorrichtung zur Herstellung der erfindungsgemäßen Beschichtung und
Fig. 4 ein Gasflußdiagramm bei der Herstellung einer erfin­ dungsgemäßen Beschichtung.
In Fig. 1 ist ein Ausschnitt eines Schnittes durch einen er­ findungsgemäßen Schichtaufbau eines beschichteten Werkzeuges 1 dargestellt, wobei der Maßstab stark verzerrt ist. Das aus Stahl hergestellte metallische Werkzeug 1 weist im Bereich sei­ ner nach außen gerichteten und mit der Beschichtung bedeckten Oberfläche 2 eine borierte Haftvermittlerschicht 3 mit Boriden des Werkstoffs des Werkzeuges 1 auf. Im vorliegenden Fall sind innerhalb der Haftvermittlerschicht 3 Boride des Eisens ange­ ordnet. Innen beginnend liegt zuerst zumindest vermehrt Fe2B und anschließend FeB vor.
Anstelle einer reinen Borierung können zur Herstellung der Haftvermittlerschicht 3 die oberflächennahen Bereiche des Werk­ zeuges 1 auch nitriert und/oder carbonisiert und/oder carboni­ triert werden. Derartige Haftvermittlerschichten 3 können zu­ sätzlich auch noch boriert werden. Anstelle eines Werkzeuges 1 aus Stahl kann auch ein Werkzeug aus einem anderen Werkstoff, vorzugsweise jedoch aus einem Ti- und/oder Al- und/oder Mg- Werkstoff, mit der erfindungsgemäßen Beschichtung versehen wer­ den.
Auf der zuvor freiliegenden Oberfläche 2 des Werkzeuges 1 folgt der Haftvermittlerschicht 3 eine Zwischenschicht 4, die Bor und dessen Oxide aufweist. Insbesondere weist die Zwischenschicht 4 - beginnend von der zuvor freiliegenden Oberfläche 2 des Werk­ zeuges 1 - zuerst zumindest vorwiegend Bor, nachfolgend zumin­ dest vorwiegend B6O und zuletzt B2O3 auf. Auf dem B2O3 ist die Borsäure (H3BO3) aufweisende Schmierstoffschicht 5 angeordnet, wobei die Anteil der Borsäure in der Schmierstoffschicht 5 zu­ mindest oberflächennah mindestens 5%, bevorzugt 10% und beson­ ders bevorzugt 30% beträgt.
Die als Trockenschmiermittel verwendete Borsäure kann insbeson­ dere erst oder auch zusätzlich, insbesondere bei einem Ver­ schleiß der bisherigen Borsäure aufweisenden Schmierstoff­ schicht 5, im Einsatzfall durch eine oberflächennahe Umwandlung des B2O3 bei Anwesenheit von Wasser bzw. Wasserstoff gebildet werden. In vorteilhafter Weise kann also die Bor und Sauer­ stoff, insbesondere B2O3, aufweisende Zwischenschicht 4 im Ver­ schleißfall eine Art Reservoir für die Borsäure der Schmier­ stoffschicht 5 bilden.
In Fig. 2 ist ein Diagramm des Reibkoeffizienten in Abhängig­ keit der Zeit bei mit unterschiedlichen Trockenschmiermitteln beschichteten Gegenständen dargestellt, welche einem Schwing­ vergleichstest unterzogen wurden.
Die einzelnen Kurven betreffen Werkzeuge aus folgenden Werk­ stoffen:
Kurve A: ein Werkzeug 1 mit einem erfindungsgemäßen Schicht­ aufbau mit einer Schmierstoffschicht aus Borsäure,
Kurve B: eine Molybdensulfid-Schicht (MoS2) auf einem Werkzeug aus einem Hartmetall,
Kurve C: amorpher Diamant auf einem Werkzeug aus einem Hart­ metall und
Kurve D: eine Wolframcarbid/Graphitschicht auf einem Werk­ zeug aus einem Hochleistungs-Schnell-Schneidestahl.
Die Versuche wurden in trockenen Zustand, d. h. ohne zusätzli­ che, insbesondere flüssige Schmierung durchgeführt. Als Test­ körper wurde eine Kugel aus 100Cr6 mit einem Radius von 4 mm verwendet, die mit einer Last von 5 N auf das beschichtete Substrat aufgepreßt und auf einer Länge von 600 µm mit einer Frequenz von 10 kHz hin- und herbewegt wurde.
Das mit der WC/C-Schicht beschichtete Werkzeug 1 (Kurve D) weist einen Verlauf des Reibkoeffizienten auf, der sich nach einem anfänglichen Einlaufverhalten bei Werten zwischen 0.2 und 0.3 einstellt. Dieser Wert wird innerhalb der genannten Band­ breite etwas über 100 Minuten gehalten und steigt anschließend an. Bei ca. 4000 Minuten beträgt er etwa 0.45.
Das mit dem amorphen Diamanten beschichtete Werkzeug 1 (Kurve C) weist einen Verlauf des Reibkoeffizienten auf, der sich nach einem anfänglichen etwa zehnminutigen Einlaufverhalten, bei dem die Werte des Reibkoeffizienten zwischen etwa 0.1 und 0.35 an- und abschwellen, auf einen Wert von ca. 0.1 einstellt. Ab die­ sem Zeitpunkt nimmt der Wert des Reibkoeffizienten mit zuneh­ mender Beanspruchungszeit stetig zu. Wie aus dem Diagramm nach Fig. 2 ersichtlich ist, steigt der Wert des Reibkoeffizienten nach 10 Minuten innerhalb von ca. 190 min von etwa 0.1 auf etwa 0.2 an.
Das mit MoS2 beschichtete Werkzeug 1 (Kurve B) weist einen Ver­ lauf des Reibkoeffizienten auf, der sich nach einem sehr kurzen Einlaufverhalten, auf einen Wert zwischen etwa 0.05 und etwa 0.1 einstellt. Dieser Wert des Reibkoeffizienten wird innerhalb der oberen Bandbreite etwa 100 Minuten gehalten und steigt an­ schließend innerhalb sehr kurzer Zeit auf Werte über 0.4 an. Dies bedeutet, daß das Material ein sehr gutes Kurzeitverhalten aber ein sehr schlechtes Langzeitverhalten aufweist.
Das den erfindungsgemäßen Schichtaufbau aufweisende Werkzeug 1 (Kurve A) weist nach einem anfänglichen etwa einminütigen Ein­ laufverhalten einen Verlauf des Reibkoeffizienten auf, der sich auf einen Wert von etwa 0.05 einstellt. Dieser Wert des Reib­ koeffizienten wird unverändert über die gesamte Zeit gehalten. Insbesondere sei hier erwähnt, das der Wert des Reibkoeffi­ zienten sogar nach einer Versuchszeit die länger als die im Diagramm aufgeführte Zeit von 10.000 min war, immer noch stabil blieb.
In Fig. 3 ist eine Vorrichtung in der Art einer Plasma-CVD- Anlage dargestellt, die zur Durchführung des erfinderischen Verfahrens, mit dem der erfindungsgemäße Schichtaufbau reali­ sierbar ist, geeignet ist.
Die Vorrichtung weist einen Reaktor 6 auf, der durch ein flui­ disch mit im verbundenes Pumpsystem 7 evakuierbar ist. Ferner weist der Reaktor 6 ein Gasversorgungssystem mit mehreren Gas­ flaschen 8-11 und einem Verdampfer 12 auf. Das Gasversor­ gungssystem ist ebenso wie das Pumpsystem 7 zu- und abschalt­ bar. Die Gasflaschen 8-11 und der Verdampfer 12 können ein­ zeln und mit einem regelbaren Gasstrom mit dem Innenraum 13 des Reaktors 6 verbunden werden. In den Gasflaschen 8-11 sind bspw. die Prozeßgas, ein ein Plasma 16 unterstützendes Gas und/oder auch Vormaterialien für den erfindungsgemäßen Schicht­ aufbau gespeichert. Insbesondere handelt es sich um die Gase Methan, Diboran, Wasserstoff, Sauerstoff und Stickstoff.
Innerhalb des Reaktors 6 ist ein Substrathalter 14 angeordnet, auf dem ein zu beschichtendes Werkzeug 1 angeordnet werden kann. Der Substrathalter 14 ist zur Spannungsversorgung elek­ trisch leitend mit einem Generator 15 verbunden. Der zur Plasmaerzeugung vorgesehene Generator 15 kann bspw. mit elektri­ scher Wechselspannung, mit einer Wechselspannung mit gekappter Halbwelle oder dgl., vorzugsweise mit einer gepulsten Gleich­ spannung betrieben werden.
Zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Schichtaufbaus wird der zu beschichtende Werkzeug 1 in den Reaktor 6 eingebaut und das Reaktorinnere 13 auf einen Druck kleiner 100 mbar, bevorzugt kleiner 10 mbar und besonders bevorzugt auf etwa 1 mbar evaku­ iert. Nach dem Evakuieren wird im Reaktorinnern 13 der erreich­ te Unterdruck gehalten. Gegebenenfalls kann das Reaktorinnere 13 auch zumindest teilweise wieder mit einem Inertgas befüllt werden.
Anschließend wird an dem Generator 15 eine gewünschte Puls- Spannung hinsichtlich ihrer Amplitude und ihrer Frequenz einge­ stellt und an den elektrisch leitend mit dem Generator 15 ver­ bundenen Werkzeug 1 angelegt. Vorzugsweise wird eine Spannung gewählt, die bezogen auf den dem Werkzeug 1 umgebenden Gasraum und insbesondere auch gegenüber Masse negativ ist.
Danach wird das Prozeßgas zur Herstellung der Haftvermittler­ schicht 3, die zur Verbesserung der Haftung zwischen dem später aufgetragenen Trockenschmierstoff der Schmierstoffschicht 5 und dem Material des Werkzeuges 1 oder zur Verbesserung der Haftung zwischen einer anschließend aufgebrachten Zwischenschicht 4 und dem Material des Werkzeuges 1 dient, eingeleitet.
Die Haftvermittlerschicht 3 wird günstigerweise durch Borieren und/oder Nitrieren und/oder Carbonisieren und/oder Carbonitrie­ ren erzeugt, welche Prozesse zweckmäßigerweise durch ein Plasma 16 unterstützt werden. Hierbei werden überschüssige Gaspartikel von dem Pumpsystem 7 entfernt.
Anstelle oder ergänzend zu dem obigen Prozeß kann zur Herstel­ lung der Haftvermittlerschicht 3 das bzw. die betreffenden Sub­ stanzen auch mittels Ionenimplantation in die oberflächennahen Bereiche der zu beschichtenden Oberfläche 2 des Werkzeuges 1 eingebracht werden.
Als Ersatzmaßnahme oder als ergänzende Maßnahme zu der/den oben genannten Haftvermittlerschichten 3 kann auf der zu beschich­ tenden Oberfläche 2 des Werkzeuges 1 und zwar als Haftvermitt­ lerschicht 3 oder als Bestandteil der Haftvermittlerschicht 3 insbesondere TiN und/oder TiC und/oder Ti(C, N) und/oder eine Borcarbid-Schicht (B4C) abgeschieden werden.
Das unterstützende Plasma 16 wird aus der Zusammenwirkung der gepulsten elektrischen Spannung und Wasserstoff, der hierzu ex­ tra in das Reaktorinnere 13 eingeleitet wird, und/oder dem Pro­ zeßgas erzeugt. Bevorzugt wird das Plasma 16 so erzeugt, daß es die zu beschichtende Oberfläche 2 des Werkzeuges 1 umhüllt und ggf. auch zumindest teilweise in Vertiefungen, wie Bohrungen und dergleichen, des Werkzeuges 1 eintaucht. Vorzugsweise wird das Plasma 16 im Bereich der Oberfläche des Werkzeuges 1 er­ zeugt.
In günstiger Weise beheizt das Plasma 16 zumindest die zu be­ schichtende Oberfläche 2 des Werkzeuges 1 auf Temperaturen kleiner 750°C, vorzugsweise kleiner 700°C und besonders be­ vorzugt kleiner 600°C, da hier allenfalls eine geringe Ände­ rung des Gefüges des Werkstoffes des Werkzeuges 1 zu erwarten ist.
Die Pulsrate der elektrischen Spannung hat u. a. eine Auswirkung auf die räumlich Gestalt des Plasma 16. Daher wird die Pulsrate und ggf. auch die gewählte elektrische Spannung zweckmäßiger­ weise in Abhängigkeit zu der körperlichen Ausgestaltung der zu beschichtenden Oberfläche 2 des Werkzeuges 1 eingestellt.
Bei den Prozeßgase handelt es zweckmäßiger um Gase, die das Element bzw. die Elemente enthalten, die zur Herstellung der Haftvermittlerschicht 3 benötigt werden. Dies kann bspw. da­ durch erfolgen, daß das Prozeßgas das bzw. die betreffende Element(e) in reiner Form aufweist und/oder daß das bzw. die be­ treffende Element(e) bei Prozeßbedingungen aus dem Prozeßgas als Dissoziationsprodukt und/oder als Ion zur Verfügung ge­ stellt werden.
Als Prozeßgas werden in den obigen Fällen Prozeßgase verwendet, die Bor und/oder Stickstoff und/oder Kohlenstoff zumindest als Verbindung aufweisen und/oder bei Prozeßbedingungen das ent­ sprechende Element freigeben.
Bei einer Borierung handelt es sich bei dem Prozeßgas bevorzugt um Borane (BnHm), vorzugsweise Diboran (B2H6), Borchlorid (BCl3) oder Borfluorid (BF3) oder ein Gemische zumindest zweier dieser Gase.
Bei einem Fe aufweisenden Werkzeug 1 wird beim Borieren insbe­ sondere Fe2B und FeB gebildet. Eine besonders gute Haftung der nachfolgenden Schicht wird erreicht, wenn das FeB im Verhältnis zu allen Eisenboriden mit einem Anteil kleiner 20%, bevorzugt kleiner 10% und besonders bevorzugt kleiner 1% gebildet wird.
Um dies in einfacher Weise zu realisieren kann insbesondere der Anteil von Bor in der abscheidenden Gasphase nach der Bildung von Fe2B im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche 2 des Werkzeuges 1 innerhalb von 5 s um wenigstens 20% erhöht und/oder die oberflächennahe Temperatur des Werkzeuges 1 abge­ senkt werden.
Auf der Haftvermittlerschicht 3 wird sinnvollerweise eine Zwi­ schenschicht 4 angeordnet. Hierzu wird als zweites Vormaterial ein Gas in das Reaktorinnere 13 und in das Plasma 16 eingelei­ tet, das Bor zumindest als Verbindung aufweist und bei Prozeß­ bedingungen das Bor freigibt.
Wie schon bei der Haftvermittlerschicht 3 werden hierzu insbe­ sondere Borane (BnHm), vorzugsweise Diboran (B2H6), Borchlorid (BCl3) oder Borfluorid (BF3) oder ein Gemische zumindest zweier dieser Gase verwendet.
Desweiteren wird zur Bildung der Zwischenschicht 4 ein Sauer­ stoff zumindest als Verbindung aufweisendes und bei Prozeßbe­ dingungen den Sauerstoff freigebendes erstes Vormaterial in die abscheidende Gasphase eingeleitet.
Aus diesen beiden Vormaterialien wird die Bor und Sauerstoff aufweisende Zwischenschicht 4 auf der Haftvermittlerschicht 3 abgeschieden.
Durch die Variation der Temperatur und/oder des Sauerstoffs kann hierbei der Anteil des Sauerstoff in der Zwischenschicht 4 gesteuert werden, so daß der Anteil von Sauerstoff innerhalb der Zwischenschicht 4 einen Gradienten aufweist.
Vorzugsweise nimmt der Anteil von Sauerstoff mit zunehmendem Abstand von der Haftvermittlerschicht 3 zu. Bevorzugt wird die Zwischenschicht 5 mit Boroxid, insbesondere als B6O und/oder B2O3 aufgetragen, wobei vorzugsweise zuerst B6O und anschließend B2O3 aufgetragen wird. Vor der Aufbringung des der Boroxide wird auf die Haftvermittlerschicht 3 sinnvollerweise zumindest weitgehend reines Bor aufgetragen.
Analog zur Herstellung der Haftvermittlerschicht 3 wird hierbei das Werkzeug 1 während des Abscheidens der Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwischenschicht 4 insbesondere auf Temperaturen kleiner 750°C, vorzugsweise kleiner 700°C und besonders be­ vorzugt kleiner 600°C beheizt.
Im Bereich der freiliegenden Oberfläche 2 der Zwischenschicht 4 wird zuletzt die Schmierstoffschicht 5 aus Borsäure (H3BO3) an­ geordnet. Diese Schmierstoffschicht 5 kann mit den Gasen Was­ serstoff, Sauerstoff und Bor gleich innerhalb des Reaktors 6 hergestellt werden.
Ebenso ist es innerhalb des Reaktors 6 möglich, die oberflä­ chennahen Bereiche der Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwi­ schenschicht 4 durch Reaktion mit Wasserstoff in Borsäure umzu­ wandeln oder die Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwischen­ schicht 4 gleich bei Ihrer Herstellung aus der Gasphase zumin­ dest teilweise in Borsäure umzuwandeln. In beiden Fällen wird zweckmäßigerweise zumindest oberflächennah die Temperatur des Werkzeuges 1 gesenkt.
Ersatzweise ist es auch möglich, daß diese Schmierstoffschicht 5 erst bei Anwesenheit von Wasserstoff und/oder Wasserdampf im Einsatz des Werkzeuges 1 gebildet wird. In diesem Fall wird durch eine chemische Reaktion der oberflächennahen Bereiche der Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwischenschicht 4 mit dem Was­ serstoff der Atmosphäre zu der Borsäure aufweisenden Schmier­ stoffschicht 5 umgesetzt. Diese Reaktion wird insbesondere noch durch die beim Einsatz entstehende Wärme gefördert.
In allen Fällen weist die Schmierstoffschicht 5 sinnvollerweise mindestens 80%, bevorzugt mindestens 90% und besonders bevor­ zugt mindestens 95% Borsäure auf.
In vorteilhafter Weise wird nicht nur während der Herstellung der Haftvermittlerschicht 3 sondern auch bei der Herstellung der Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwischenschicht 4 und/oder der Schmierstoffschicht 5 innerhalb des Reaktors 6 an dem Werk­ zeug 1 eine gepulste DC-Spannung angelegt, die gegenüber dem das Werkzeug 1 umgebenden Gasraum ein negatives elektrisches Potential aufweist.
Mit einer gemäß Anspruch 1 aufgetragenen Beschichtung können spanend eingreifende Spanflächen spanabhebender Werkzeuge mit definierten Schneidengeometrien wie Fräser, Drehstähle, Wende­ schneideplatten, Bohrer, und auch Werkzeuge zum Reiben und Räu­ men in vorteilhafter Weise zumindest bereichsweise mit einer sinnvollen und gut haftenden tribologischen Beschichtungen ver­ sehen werden.
Bei allen Anwendungen ist von besonderem Vorteil, daß ein sonst notwendige Schmierung mit Flüssigschmiermitteln zumindest ver­ ringert werden kann.
Nachfolgend wird das erfindungsgemäße Verfahren anhand eines in Fig. 4 dargestellten Gasflußdiagramms beschrieben.
In Fig. 4 ist ein Gasflußdiagramm verschiedener Gase über der Zeit dargestellt, wobei zusätzlich die Temperatur der zu be­ schichtenden Probe mit aufgetragen ist. Das Diagramm nach Fig. 4 beschreibt den eingestellten Gasfluß im Reaktorinnern 13 wäh­ rend der Herstellung eines erfindungsgemäßen Schichtaufbaus auf einer metallischen Probe mittels eines Plasma-CVD-Prozesses.
Bei dem Plasma-CVD-Prozeß wird die Probe durch ein die Probe umgebendes Plasma 16 geheizt. Das die zu beschichtende Oberflä­ che 2 der Probe beheizende Plasma 16, das ebenfalls die Vorma­ terialien sowie das Prozeßgas zur Abscheidung bzw. zur Borie­ rung aktiviert, wird durch eine an der Probe anliegende Span­ nung gezündet bzw. aufrechterhalten.
Zur Regelung der Temperatur wird die Temperatur der Probe ge­ messen und dementsprechend die an der Probe anliegende elektri­ sche Spannung für das u. a. heizend wirkenden Plasma 16 verän­ dert. Die elektrische Spannung kann wie vorliegend eine reine Gleichspannung sein. Je nach Anforderungen an das Plasma 16 wird anstelle der Gleichspannung vorzugsweise eine gepulste Spannung, eine Wechselspannung oder eine halbwellige Wechsels­ pannung angelegt.
Der Verlauf des Druckes p im Reaktorinnern ist in dem Diagramm nach Fig. 4 als nicht gekennzeichnete Kurve, der bei der Her­ stellung der Haftvermittler- und der Zwischen- und ebenfalls der Schmierstoffschicht mit dem Prozeßgas vermischte H2-Fluß (5% B2H6 und 95% H2) als Kurve E und der Sauerstoffluß der Kurve G entnehmbar. Die Werte der unterschiedlichen Gasflüsse beziehen sich auf die Einheit Standard-Kubikzentimeter (sccm). Da für das Bor liefernde zweite Vormaterial ebenfalls das borie­ rend wirkende Prozeßgas verwendet wird, zeigt die Kurve F nach dem Borieren (Zeitintervall H) ebenfalls den Gasfluß des zwei­ ten Vormaterials (Zeitintervall I). Während des Zeitintervalls J wird die Schmierstoffschicht 5 aufgetragen.
Die Probe wird eventuell vor dem Einbau in den Reaktor 6 vorge­ reinigt und anschließend in den Reaktor 6 eingebaut. Danach wird das Reaktorinnere 13 bis auf einen Druck kleiner 0.5 mbar evakuiert. Zur Reinigung wird in das evakuierte Reaktorinnere 13 des Reaktor 6 ca. 30 min ein H2-Gas eingeleitet. Mit H2- Gas wird in Bereich der Probe das Plasma 16 gezündet und die zu beschichtende Oberfläche 2 der Probe unter Zuhilfenahme des H2- Plasma 16 gereinigt. Wie aus dem Diagramm nach Fig. 4 ersicht­ lich ist, steigt bei der Reinigung der Probe der Druck im Reak­ torinnern 13 auf einen Wert von ca. 10 mbar an. Dieser Wert wird bei der beschriebenen Herstellung des erfindungsgemäßen Schichtaufbau dieses Ausführungsbeispiels zumindest weitgehend beibehalten.
Nach der Reinigung der Oberfläche 2 der Probe wird sie für die Zeitdauer H von ca. 6 Stunden bei einer Temperatur von ca. 750 °C und einem mit 95% H2 versetzten B2H6 Gasstrom von ca. 60 sccm aufgesetzt. Bei diesen Prozeßbedingungen wird die Haftvermitt­ lerschicht 3 hergestellt. Dabei wird die Probe bei den eben ge­ nannten Bedingungen einige µm oberflächennah boriert. Durch die borierte Haftvermittlerschicht 3 ist die Haftung zwischen der anschließend aufzutragenden Zwischenschicht 4 sowie der später aufzutragenden Schmierstoffschicht 5 und dem Material der Probe (Gegenstandes 1) verbessert.
Nach dem Borieren wird die Temperatur auf ca. 500°C abgesenkt und der Fluß des H2-versetzten Prozeßgases auf einen Fluß von ca. 50 sccm gesenkt. Dadurch wird auf der Haftvermittlerschicht 3 für die Zeitdauer I von ca. 5 Stunden eine Borschicht herge­ stellt. Diese Borschicht gehört zu der Zwischenschicht 4.
Nach dem Aufwachsen der Borschicht wird in den Reaktor 6 zu­ sätzlich für ca. 1 Stunde (Zeitdauer J) Sauerstoff und zwar mit einem Fluß von ca. 15 sccm eingeströmt, wobei die vorherigen Prozeßparameter (Gasflüsse, Temperatur und Druck) beibehalten wird. Hierbei bilden sich die Bor und Sauerstoff aufweisenden Bereiche der Zwischenschicht 4.
Anschließend wird die Temperatur abgesenkt und die restlichen Parameter konstant gehalten. Durch die Absenkung der Temperatur bricht das Plasma 16 zusammen und der zuvor als Plasmabrenn­ stoff verwendete Wasserstoff steht zur freien Verfügung. Hier­ durch bildet sich bei Temperaturen unterhalb von ca. 200°C und der Anwesenheit von Wasserstoff die weitgehend ausschließlich das Trockenschmiermittel Borsäure (H3BO3) aufweisende Schmier­ stoffschicht 5.

Claims (29)

1. Verfahren zum außenseitigen und haftenden Aufbringen einer Schmierstoffschicht auf eine freiliegende und tribologisch be­ anspruchte Oberfläche von spanend eingreifenden Spanflächen spanabhebender Werkzeugen mit definierten Schneidengeometrien, insbesondere für Fräser, Drehstähle, Wendeschneideplatten, Boh­ rer, wobei die Schmierstoffschicht zumindest unter Beanspru­ chungsbedingungen Borsäure (H3BO3) aufweist,
bei welchem Verfahren das zu beschichtende und mit einer Haftvermittlerschicht versehene Werkzeug (1) in einen Reaktor eingebaut wird, wobei durch die Haftvermittlerschicht (3) die Haftung zwischen dem später aufgetragenen Trockenschmierstoff der Schmierstoffschicht (5) und dem Material des Werkzeuges (1) verbessert wird,
bei welchem Verfahren der Reaktor (6) auf einen Druck kleiner 100 mbar, bevorzugt kleiner 10 mbar und besonders bevorzugt auf etwa 1 mbar evakuiert und/oder zumindest teilweise mit einem Inertgas befüllt wird,
bei welchem Verfahren auf der Haftvermittlerschicht aus Vor­ materialien, die Bor und Sauerstoff aufweisen, eine Zwischen­ schicht hergestellt wird,
bei welchem Verfahren die oberhalb der Haftvermittlerschicht (3) abgeschiedene Zwischenschicht (4) mit einem Sauerstoff­ gradienten abgeschieden wird, der mit zunehmendem Abstand von der Haftvermittlerschicht (3) hin zunimmt,
bei welchem Verfahren der abscheidenden Gasphase ein Bor zu­ mindest als Verbindung aufweisendes und bei Prozeßbedingungen das Bor freigebendes zweites Vormaterial zugegeben wird,
bei welchem Verfahren der abscheidenden Gasphase ein Sauer­ stoff zumindest als Verbindung aufweisendes und bei Prozeßbedingungen den Sauerstoff freigebendes erstes Vormaterial zu­ gegeben wird, und
bei welchem Verfahren wenigstens im Einsatzfalle zumindest teilweise Bor und Sauerstoff der Bor und Sauerstoff aufwei­ senden Zwischenschicht (4) zumindest im Bereich ihrer frei zugänglichen Oberfläche unter Zuhilfenahme von Wasserstoff zu Borsäure umgewandelt und als Trockenschmiermittel der Schmierstoffschicht (5) verwendet wird.
2. Verfahren zum außenseitigen und haftenden Aufbringen einer Schmierstoffschicht auf eine freiliegende und tribologisch be­ anspruchte Oberfläche von spanend eingreifenden Spanflächen spanabhebender Werkzeugen mit definierten Schneidengeometrien, insbesondere für Fräser, Drehstähle, Wendeschneideplatten, Boh­ rer, wobei die Schmierstoffschicht zumindest unter Beanspru­ chungsbedingungen Borsäure (H3BO3) aufweist,
bei welchem Verfahren das zu beschichtende Werkzeug (1) in einen Reaktor eingebaut wird,
bei welchem Verfahren der Reaktor (6) auf einen Druck kleiner 100 mbar, bevorzugt kleiner 10 mbar und besonders bevorzugt auf etwa 1 mbar evakuiert und/oder zumindest teilweise mit einem Inertgas befüllt wird,
bei welchem Verfahren eine Haftvermittlerschicht (3) herge­ stellt wird, wozu im Bereich der freiliegenden Oberfläche (2) des Werkzeuges (1), insbesondere durch Diffusion, zumindest ein Element eines Prozeßgases in das Material der freiliegen­ den Oberfläche (2) des Werkzeuges (1) eingebracht und dort eingebaut und/oder chemisch reagiert wird, wobei durch die Haftvermittlerschicht (3) die Haftung zwischen dem später aufgetragenen Trockenschmierstoff der Schmierstoffschicht (5) und dem Material des Werkzeuges (1) verbessert wird,
bei welchem Verfahren in den Reaktor ein Bor und/oder Stick­ stoff und/oder Kohlenstoff zumindest als Verbindung aufwei­ sendes und bei Prozeßbedingungen das entsprechende Element freigebendes Prozeßgases zugegeben wird,
bei welchem Verfahren mit Bor und Sauerstoff aufweisenden Vormaterialien auf der Haftvermittlerschicht (3) eine Zwi­ schenschicht (4) hergestellt wird,
bei welchem Verfahren die oberhalb der Haftvermittlerschicht (3) abgeschiedene Zwischenschicht (4) mit einem Sauerstoff­ gradienten abgeschieden wird, der mit zunehmendem Abstand von der Haftvermittlerschicht (3) hin zunimmt,
bei welchem Verfahren wenigstens im Einsatzfalle zumindest teilweise Bor und Sauerstoff der Bor und Sauerstoff aufwei­ senden Zwischenschicht (4) zumindest im Bereich ihrer frei zugänglichen Oberfläche unter Zuhilfenahme von Wasserstoff zu Borsäure umgewandelt und als Trockenschmiermittel der Schmierstoffschicht (5) verwendet wird,
bei welchem Verfahren der abscheidenden Gasphase ein Bor zu­ mindest als Verbindung aufweisendes und bei Prozeßbedingungen das Bor freigebendes zweites Vormaterial zugegeben wird, und
bei welchem Verfahren der abscheidenden Gasphase ein Sauer­ stoff zumindest als Verbindung aufweisendes und bei Prozeßbe­ dingungen den Sauerstoff freigebendes erstes Vormaterials zu­ gegeben wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der Haftvermittlerschicht (3) zumindest ein Element des Prozeßgases in das Material der freiliegenden und zu beschichtenden Oberfläche (2) des Werkzeuges (1) eindiffun­ diert und/oder ionenimplantiert wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche des Werkzeuges (1) zur Bildung der Haftver­ mittlerschicht (3) boriert und/oder nitriert und/oder carboni­ siert und/oder carbonitriert wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zur Bildung der Borsäure-Schicht Wasserstoff und/oder eine unter Prozeßbedingungen Wasserstoff freigebende Wasserstoffver­ bindung aus der abscheidenden Gasphase verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Prozeßgase und/oder die Vormaterialien vor ihrem Auf­ treffen auf der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Werkzeuges (1) durch ein Plasma (16) hindurchgeleitet und zumindest zum Teil dissoziert und/oder ionisiert werden.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Plasma (16) im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Werkzeuges (1) erzeugt wird und daß mit dem Plasma zu­ mindest die zu beschichtenden Oberfläche des Werkzeuges (1) be­ heizt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug (1) während des Abscheidens der Bor/Sauerstoffschicht insbesondere auf Temperaturen kleiner 750 °C, vorzugsweise kleiner 700°C und besonders bevorzugt kleiner 600°C beheizt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Werkzeug (1) während der Bildung der Haftvermittler­ schicht (3) durch Einbringen von Boratomen und/oder von Kohlen­ stoffatomen und/oder von Stickstoffatomen insbesondere auf Tem­ peraturen kleiner 750°C, vorzugsweise kleiner 700°C und be­ sonders bevorzugt kleiner 600°C beheizt wird.
10. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß während der zumindest oberflächennahen und wenigstens teil­ weisen Umwandlung der Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwischenschicht (4) in Borsäure zum Herstellen der Schmierstoffschicht (5) die Temperatur gesenkt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß zum Einbringen des Bors und/oder zur Abscheidung der Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwischenschicht (4) Boran (BnHm), vorzugsweise Diboran (B2H6), Borchlorid (BCl3) oder Borfluorid (BF3) oder ein Gemisch zumindest zweier dieser Gase in den Re­ aktor (6) eingeleitet wird.
12. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß während der Herstellung der Bor und Sauerstoff aufweisenden Zwischenschicht (4) und/oder der Schmierstoffschicht (5) an das Werkzeug (1) eine elektrische Spannung angelegt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß während der Herstellung der Haftvermittlerschicht (3) an das Werkzeug (1) eine elektrische Spannung angelegt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 12 oder 13, dadurch gekennzeichnet, daß als elektrische Spannung eine gepulste Gleich-Spannung ge­ wählt wird.
15. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Bor und Sauerstoff aufweisende Zwischenschicht (4) Bo­ roxid, insbesondere B2O3 abgeschieden wird.
16. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmierstoffschicht (5) mit mindestens 30%, bevorzugt mindestens 50% und besonders bevorzugt mindestens 60% Borsäu­ re gebildet wird.
17. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmierstoffschicht (5) mit mindestens 80%, bevorzugt mindestens 90% und besonders bevorzugt mindestens 95% Borsäu­ re gebildet wird.
18. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß für die Zwischenschicht (4) B6O und/oder B2O3 abgeschieden wird.
19. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß auf das Werkzeug (1) und/oder die Haftvermittlerschicht (3) nacheinander B, B6O und B2O3 abgeschieden wird.
20. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Werkzeug (1) ein metallischer, insbesondere Eisen auf­ weisender Gegenstand (1) gewählt wird und daß als Borid der Haftvermittlerschicht (3) ein Metallborid, vorzugsweise Fe2B und/oder FeB, gebildet wird.
21. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Haftvermittlerschicht (3) auf der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Werkzeuges (1) eine Bor und Kohlenstoff, be­ vorzugt eine Borcarbid-Schicht (B4C) abgeschieden wird.
22. Verfahren nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß das FeB im Verhältnis zu allen Eisenboriden mit einem An­ teil kleiner 20%, bevorzugt kleiner 10% und besonders bevor­ zugt kleiner 1% gebildet wird.
23. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Bildung von Fe2B im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Werkzeuges (1) der Anteil von Bor in der ab­ scheidenden Gasphase innerhalb von 5 s um wenigstens 20% er­ höht wird.
24. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß nach der Bildung von Fe2B im Bereich der zu beschichtenden Oberfläche (2) des Werkzeuges (1) zumindest die oberflächennahe Temperatur des Werkzeuges (1) abgesenkt wird.
25. Werkzeug mit einer Schmierstoffschicht, welche zumindest im Einsatzfall wenigstens bereichsweise Borsäure als Trocken­ schmiermittel aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß unterhalb der Schmierstoffschicht (5) eine Haftvermittler­ schicht (3) angeordnet ist, daß die Haftvermittlerschicht (3) Bor und/oder Kohlenstoff und/oder Stickstoff aufweist, daß die Schmierstoffschicht (5) aus einer Gasphase aufgetragen ist, daß zwischen der Schierstoffschicht (5) und der Haftvermittler­ schicht (3) eine Zwischenschicht (4) angeordnet ist, daß die Zwischenschicht (4) Bor und Sauerstoff aufweist und daß die Zwischenschicht (4) einen Sauerstoffgradienten aufweist, der mit zunehmendem Abstand von der Haftvermittlerschicht (3) hin zunimmt.
26. Werkzeug nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Schmierstoffschicht (5) zumindest oberflächennah min­ destens 5%, bevorzugt 10% und besonders bevorzugt 30% Borsäu­ re (H3BO3) aufweist.
27. Werkzeug nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Haftvermittlerschicht (3) als borierte und/oder carbo­ nisierte und/oder nitrierte und/oder carbonitrierte Schicht ausgebildet ist.
28. Werkzeug nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (4) Bor, B6O und B2O3 aufweist.
29. Werkzeug nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht (4) beginnend von der Haftvermittler­ schicht (3) zuerst Bor nachfolgend B6O und darauf nachfolgend B2O3 aufweist, wobei das B2O3 in direktem Kontakt zu der Schmierstoffschicht (5) angeordnet ist.
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