DE19821059C2 - Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Erfassung von Formabweichungen an ObjektenInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten mit diffus reflektierenden Oberflächen. Bei diesem Verfahren wird eine Serie von versetzten, in der Grauwertverteilung sinusförmigen Streifenmustern auf einen Schirm projiziert, die zu untersuchende Objektoberfläche derart ausgerichtet, daß die Objektoberflächennormale zumindest näherungsweise auf der Winkelhalbierenden zwischen einer Verbindungsgeraden zwischen Objekt und Schirm einerseits sowie einer Verbindungsgeraden zwischen dem Objekt und einer Kamera andererseits liegt, und mit der Kamera die auf der Objektoberfläche auftretenden Intensitätsverteilungen der Bildserie aufgenommen und zur Weiterverarbeitung einer Auswerteeinheit zur Verfügung gestellt, wo unter Verwendung des aus der Interferometrie bekannten Verfahrens der Phasenrekonstruktion ein Bild der Oberflächenneigung oder Oberflächenkrümmung erzeugt wird. Die Erfindung bezieht sich ferner auf eine Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfahrens.
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erfassung von Formabweichungen an
Objekten mit diffus reflektierenden Oberflächen.
Die Erfindung bezieht sich ferner auf eine Vorrichtung zur Durchführung eines sol
chen Verfahrens.
Zur schnellen, feldweisen Geometrieerfassung im Rahmen einer Qualitätsprüfung
werden in zunehmendem Maße optische Verfahren eingesetzt (Laseroptische Meß-
und Prüfverfahren für die Produktion und Umweltmeßtechnik, VDI Technologiezen
trum, Düsseldorf, 1997).
Sind technische Objekte mit vornehmlich rauhen Oberflächen zu prüfen, ist es be
kannt, mit dem sogenannten Streifenprojektionsverfahren zu arbeiten
(Breuckmann, B.: Bildverarbeitung und optische Meßtechnik, Franzis-Verlag
GmbH, München, 1993). Hierbei wird ein Streifenmuster oder eine Folge von Mu
stern direkt auf die Objektoberfläche projiziert und das entstehende Bild mit einer
Kamera unter einem vorgegebenen Winkel zur Projektionsrichtung aufgezeichnet
und ausgewertet. Genutzt wird dabei die Tatsache, daß sich die auf die Objekt
oberfläche projizierten Muster infolge von Höhenvariationen deformieren und sich
aus diesen Verzerrungen die vorliegende Objektform rekonstruieren läßt. Mit Hilfe
leistungsfähiger Projektionssysteme (Frankowski, G.: The ODS 800 - a new pro
jection unit of optical metrology, in W. Jüptner, W. Osten (Eds) Fringe '97, Akade
mie Verlag Berlin, 1997, Seiten 533-539) und hochentwickelter Auswertealgorith
men (Huntley, J. M.; Saldner, H. O.: Shape Measurment of Discontinuos Objects
Using a Spatial Light Modulator and Temporal Phase Unwrapping, in W. Jüptner,
W. Osten (Eds) Fringe '97, Akademie Verlag Berlin, 1997, Seiten 156-163) wird eine
vertikale Auflösung von 1/50000 der horizontalen Objektausdehnung angestrebt.
Für die z. B. in der Automobilindustrie zu detektierenden Fehler in Blechteilen der
PKW-Außenhaut sind Höhen von 5 bis 10 µm typisch bei Bauteilabmessungen im
Meterbereich. Die dafür erforderliche Auflösung von 1/500000 ist mit den vorge
nannten Streifenprojektionsmethoden derzeit jedoch noch nicht realisierbar.
Andererseits ist es zur Prüfung der Formtreue hochglänzender Bauteile bekannt,
das Rasterreflexionsverfahren anzuwenden (Marguerre, H.: Dreidimensionale opti
sche Formerfassung von Oberflächen zur Qualitätsprüfung, Feinwerktechnik &
Meßtechnik 91 (1993) 2, Seiten 67-70). Hierbei wird die zu prüfende Oberfläche als
Spiegel in den optischen Strahlengang einbezogen. Geringe Variationen der Ober
flächenneigung führen zur Verzerrung des Spiegelbildes, woraus letztlich wie
derum auf die Bauteilform bzw. Formabweichungen geschlossen werden kann. In
neueren Arbeiten wurden binäre Streifenbilder variabler Breite ausgewertet
(Pérard, D.; Beyerer, J.: Three-dimensional measurement of free-form surfaces with
a structured-lighting reflection technique, Proc. SPIE Vol. 3204 (1997), Seiten 74-
80), wobei eine vergleichsweise große Auflösung erreicht werden konnte. Aller
dings ist diese auf Intensitätskodierung beruhende Methode auf die Untersuchung
von Objekten mit sehr gut spiegelnde Oberflächen begrenzt und somit z. B. für die
Prüfung umgeformter, unlackierter Bleche nicht geeignet.
Eine Vorrichtung zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten ist auch aus
Xianzhu Zhang, Walter North: Retroreflective grating generation and analysis for
surface measurement, in: Applied Optics, Vol. 37, 1. Mai 1998, S. 2624-2627,
bekannt. Allerdings wird auch hier von einer gut reflektierenden Objektoberfläche
ausgegangen.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrich
tung anzugeben, mit dem bzw. mit der es gelingt, an Objekten mit diffus reflektie
renden Oberflächen Formabweichungen mit einer vertikalen Auflösung von wenig
stens 1/500000 der horizontalen Objektausdehnung zu erkennen bzw. zu erfassen.
Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren, wie es im Anspruch 1 definiert ist, und
mit einer Vorrichtung gemäß Anspruch 3 erfindungsgemäß gelöst.
Eine vorteilhafte Weiterbildung des Verfahrens ist Gegenstand des Unteranspruchs
2.
Die Erfindung zeichnet sich durch einen optischen Aufbau aus, bei dem einerseits
ein geeigneter, insbesondere programmierbarer, Projektor vorgegebene Grauwert
verteilungen auf einen ebenen oder gekrümmten Schirm projiziert und andererseits
eine an eine Auswerteeinrichtung, z. B. einen Rechner, angeschlossene Kamera das
Bild des Untersuchungsobjektes aufnimmt. Die zu prüfende, diffus reflektierende
Oberfläche ist dabei so ausgerichtet, daß die Oberflächennormale näherungsweise
auf der Winkelhalbierenden zwischen der Kameraachse und einer Verbindungsge
raden zum Schirm liegt. Gleichzeitig wird das Objekt von zusätzlichem Umge
bungslicht abgeschirmt.
Zur Messung wird eine Serie von Streifenmustern mit sinusförmiger Helligkeits-
bzw. Grauwertverteilung mit geringer Ortsfrequenz auf den Schirm projiziert. Durch
Aufnahme der dabei auf der Objektoberfläche auftretenden Intensitätsverteilungen
und deren Auswertung nach den aus der Interferometrie bekannten Verfahren der
Phasenrekonstruktion kann ein Bild der Oberflächenneigung, -höhe, oder -krüm
mung erzeugt werden, in dem sich die Fehler mit hoher vertikaler und horizontaler
Auflösung abzeichnen. Im Unterschied zum Rasterreflexionsverfahren an glänzen
den Oberflächen sind die auf den Schirm projizierten Muster mit der Kamera nicht
direkt sichtbar, das ausgeprägte diffuse Streuverhalten der Oberflächen führt zur
Verwaschung der Intensitätsverteilungen. Erst die erfindungsgemäße Anwendung
der Phasenkodierung trennt das Streulicht-Rauschen vom Signal und führt zu er
folgreichen Messungen.
Mit Hilfe der Erfindung wird das Anwendungspotential optischer Formprüfung um
ein hochsensitives, praktisch vielseitig einsetzbares Verfahren erweitert. Die be
grenzte Auflösung konventioneller Streifenprojektionstechnik wird überwunden,
indem eine Methode zum Einsatz kommt, die nicht die Höhe, sondern die Neigung
der Objektoberfläche mißt. Dies war bisher nur für hochglänzende Oberflächen mit
dem Rasterreflexionsverfahren möglich. Die erfindungsgemäße Phasenkodierung
mit schwach variierenden Sinusstreifen sowie die Phasenrekonstruktion nach Auf
nahme einer Reihe von Kamerabildern erlaubt es erstmals, diese neigungssensitive
Methode auf diffus reflektierende Objekte zu übertragen. Damit wird z. B. die wich
tige Gruppe der nicht lackierten Karosseriebauteile dem Prüfverfahren zugänglich.
Die erzielbaren Auflösungen entsprechen den Forderungen der Automobilindustrie.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels und einer zu
gehörigen Zeichnung näher erläutert werden.
Die Zeichnung zeigt schematisch eine Vorrichtung zur Erfassung von
Formabweichungen an einem Objekt.
Die Vorrichtung verfügt über einen programmierbaren und lichtstarken Projektor 1,
einen Schirm 2 und eine Kamera 3, zum Beispiel eine CCD-Kamera. Mittels Projek
tors 1 werden bezüglich ihres Helligkeits- bzw. Grauwertverlaufes sinusförmige
Streifenmuster auf den aus einem textilen Stoff bestehenden Schirm 2 proji
ziert. Die Kamera 3 ist auf ein Objekt 4 gerichtet. Das Objekt 4, dessen Oberflä
chengestalt erfaßt werden soll, ist dabei bezüglich des Schirmes 2 und der Kamera
3 so ausgerichtet, daß die in der Zeichnung mit 5 bezeichnete Oberflächennormale
etwa auf der Winkelhalbierenden zwischen der Verbindungsgeraden Objekt 4 -
Schirm 2 einerseits und der Verbindungsgeraden Objekt 4 - Kamera 3 andererseits
liegt.
Für eine Messung wird eine Serie von versetzten Streifenmustern der vorgenann
ten Helligkeits- bzw. Grauwertverteilung auf den Schirm 2 projiziert
(Phasenkodierung). Verlaufen diese geradlinigen, äquidistanten Streifen auf dem
Schirm 2 in horizontaler Richtung, dann mißt die Vorrichtung Oberflächenneigun
gen in vertikaler Richtung, d. h. den Gradienten dz/dy. Umgekehrt erfaßt die Vorrich
tung bei vertikaler Streifenrichtung den Gradienten dz/dx. Die Kamera 3 nimmt die
resultierenden Intensitätsbilder auf und stellt sie für die digitale Weiterverarbeitung
einer Auswerteeinheit, z. B. einem PC, zur Verfügung. Unter Verwendung von den
aus der Interferometrie bekannten Verfahren der Phasenrekonstruktion wird das
Signal (Reflexionsanteil) vom Rauschen (Streuanteil) getrennt und nachfolgend ein
Bild der Oberflächenneigung dz/dx bzw. dz/dy erstellt. Die Größen Höhe z(x, y) bzw.
Krümmung d2z/dx2, d2z/dy2 können bei Bedarf direkt durch Integration bzw. Diffe
rentiation bestimmt werden.
Zur Anpassung an die Oberflächengestalt des zu untersuchenden Objektes 4 ist es
auch denkbar, mit einem Schirm 2 zu arbeiten, der statt einer ebenen eine ge
krümmte Oberfläche aufweist.
Claims (3)
1. Verfahren zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten mit diffus
reflektierenden Oberflächen, bei dem eine Serie von versetzten, in der
Grauwertverteilung sinusförmigen Streifenmustern auf einen Schirm
projiziert wird, die zu untersuchende Objektoberfläche derart ausgerichtet
wird, daß die Objektoberflächennormale zumindest näherungsweise auf der
Winkelhalbierenden zwischen einer Verbindungsgeraden zwischen Objekt
und Schirm einerseits sowie einer Verbindungsgeraden zwischen dem
Objekt und einer Kamera andererseits liegt, und mit der Kamera die auf der
Objektoberfläche auftretenden Intensitätsverteilungen der Bildserie
aufgenommen und zur Weiterverarbeitung einer Auswerteeinheit zur
Verfügung gestellt werden, wo unter Verwendung des aus der
Interferometrie bekannten Verfahrens der Phasenrekonstruktion ein Bild der
Oberflächenneigung oder Oberflächenkrümmung erzeugt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Objekt von zusätzlichem Umgebungslicht abgeschirmt wird.
3. Vorrichtung zur Erfassung von Formabweichungen an Objekten mit diffus
reflektierenden Oberflächen (4), mit einem Projektor (1) zur Projektion einer
Serie von versetzten Streifenmustern mit jeweils sinusförmiger Helligkeits-
bzw. Grauwertverteilung auf einen aus einem textilen Stoff bestehenden
Schirm (2) und mit einer an eine Auswerteeinheit (6) angeschlossenen
Kamera (3) zur Aufnahme der auf der Objektoberfläche (4) auftretenden
Intensitätsverteilungen der Bildserie, wobei die Objektoberfläche (4) so
ausgerichtet ist, daß die Oberflächennormale (5) der Objektoberfläche (4)
zumindest näherungsweise auf der Winkelhalbierenden zwischen der
Verbindungsgeraden von Objektoberfläche (4) und Schirm (2) einerseits
sowie Objektoberfläche (4) und Kamera (3) andererseits liegt.
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006012432B3 (de) * | 2006-03-17 | 2007-10-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Erfassung der Oberflächenform einer teilspiegelnden Oberfläche |
DE102007034689A1 (de) | 2007-07-12 | 2009-01-15 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102007063530A1 (de) | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
WO2010075846A1 (de) | 2008-12-29 | 2010-07-08 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen inspizieren einer zumindest teilweise glänzenden oberfläche an einem gegenstand |
EP2251639A1 (de) | 2009-05-12 | 2010-11-17 | Carl Zeiss OIM GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren eines Gegenstandes |
DE102009038965A1 (de) | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
EP2322915A1 (de) | 2009-11-16 | 2011-05-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. | Konzept zur Erzeugung eines räumlich und/oder zeitlich veränderbaren thermischen Strahlungsmusters |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19944354C5 (de) * | 1999-09-16 | 2011-07-07 | Häusler, Gerd, Prof. Dr., 91056 | Verfahren und Vorrichtung zur Vermessung von spiegelnden oder transparenten Prüflingen |
DE10217068B4 (de) * | 2002-04-17 | 2005-09-15 | Michael Dr.-Ing. Gandyra | Verfahren zum optischen Messen der Form reflektierender und streuender Freiformflächen |
DE102005034637B4 (de) * | 2005-04-11 | 2007-05-24 | Carfix Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur automatisierten Erfassung und Auswertung der Zustände von Kfz-Karosserie-Oberflächen |
DE102006008840B4 (de) * | 2006-02-25 | 2009-05-14 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Beleuchtungsvorrichtung für zylindrische Objekte, damit durchgeführtes Oberflächenuntersuchungsverfahren und Computerprogrammprodukt |
DE102007063529A1 (de) | 2007-12-27 | 2009-07-23 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102010007396B4 (de) | 2010-02-03 | 2013-10-02 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren eines Prüflings mit einer zumindest teilweise reflektierenden Oberfläche |
DE102013216566A1 (de) * | 2013-08-21 | 2015-02-26 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und verfahren zur erfassung einer zumindest teilweise spiegelnden oberfläche |
CN103791860B (zh) * | 2014-03-07 | 2016-08-17 | 哈尔滨工业大学 | 基于视觉检测技术的微小角度测量装置及方法 |
CN106643511B (zh) * | 2017-03-16 | 2019-02-12 | 湖北工业大学 | 一种支架上的玻璃平面尺寸测量装置及方法 |
CN113030101A (zh) * | 2021-03-02 | 2021-06-25 | 成都小淞科技有限公司 | 条纹光涂装瑕疵检出装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4742237A (en) * | 1986-04-11 | 1988-05-03 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Surface configuration inspection apparatus with moving grating |
EP0769674A2 (de) * | 1995-10-17 | 1997-04-23 | Aluminum Company Of America | Elektronische Streifenanalyse zur Bestimmung von Oberflächenkonturen |
-
1998
- 1998-05-11 DE DE1998121059 patent/DE19821059C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4742237A (en) * | 1986-04-11 | 1988-05-03 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Surface configuration inspection apparatus with moving grating |
EP0769674A2 (de) * | 1995-10-17 | 1997-04-23 | Aluminum Company Of America | Elektronische Streifenanalyse zur Bestimmung von Oberflächenkonturen |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Xianzhu Zhang, Walter North: Retroreflective gra- ting generation and analysis for surface measure- ment, in: Applied Optics, Vol. 37, No. 13, 1. Mai 1998, S. 2624-2627 * |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006012432B3 (de) * | 2006-03-17 | 2007-10-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur Erfassung der Oberflächenform einer teilspiegelnden Oberfläche |
DE102007034689A1 (de) | 2007-07-12 | 2009-01-15 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102007034689B4 (de) * | 2007-07-12 | 2009-06-10 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
DE102007063530A1 (de) | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Carl Zeiss Ag | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
WO2010075846A1 (de) | 2008-12-29 | 2010-07-08 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen inspizieren einer zumindest teilweise glänzenden oberfläche an einem gegenstand |
DE102008064562A1 (de) | 2008-12-29 | 2010-07-08 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer zumindest teilweise glänzenden Oberfläche an einem Gegenstand |
EP2251639A1 (de) | 2009-05-12 | 2010-11-17 | Carl Zeiss OIM GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren eines Gegenstandes |
DE102009021733A1 (de) | 2009-05-12 | 2010-12-30 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren eines Gegenstandes |
DE102009038965A1 (de) | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Carl Zeiss Oim Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand |
EP2322915A1 (de) | 2009-11-16 | 2011-05-18 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V. | Konzept zur Erzeugung eines räumlich und/oder zeitlich veränderbaren thermischen Strahlungsmusters |
DE102009053510A1 (de) | 2009-11-16 | 2011-05-19 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Konzept zur Erzeugung eines räumlich und/oder zeitlich veränderbaren thermischen Strahlungsmusters |
DE102009053510B4 (de) * | 2009-11-16 | 2012-05-03 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Konzept zur Erzeugung eines räumlich und/oder zeitlich veränderbaren thermischen Strahlungsmusters |
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Publication number | Publication date |
---|---|
DE19821059A1 (de) | 1999-12-02 |
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