DE19813756A1 - Messung des Drucks eines Fluids - Google Patents

Abstract

Verfahren zur Messung des Drucks eines Fluids (2), bei dem DOLLAR A - ein Meßobjekt mit einem Fluid (2) druckbeaufschlagt wird, DOLLAR A - durch den Druck des Fluids (2) ein mechanischer Meßaufnehmer (12) ausgelenkt wird, wobei der mechanische Meßaufnehmer (12) ein Teil des Meßobjektes ist, DOLLAR A - die Auslenkung des mechanischen Meßaufnehmers (12) an seiner dem Fluid (2) abgewandten Seite mit Hilfe mindestens eines Sensors (4, 41, 42) gemessen wird.

Description

Eine Druckmessung ist in vielen Bereichen problematisch, weil die Einbringung eines externen Drucksensors in ein Meßobjekt zu Schwierigkeiten führt.

Bei der herkömmlichen Druckmessung wird ein externer Druck­ sensor in einen mit einem Fluid, d. h. mit einer Flüssigkeit oder einem Gas, druckbeaufschlagten Raum eines Meßobjekts, z. B. in ein mit einer Flüssigkeit gefülltes Strömungsrohr, dichtend eingeführt, beispielsweise eingeschraubt oder eingepreßt. Der Drucksensor besteht beispielsweise aus einem mechanischen Meßaufnehmer, beispielsweise einer Membran, und einem zur Detektion einer Meßgröße, beispielsweise einer Auslenkung oder einer Kraft, des mechanischen Meßaufnehmers notwendigen elektrischen Wandler bzw. Sensor, beispielsweise einem Abstandssensor. Der mechanische Meßaufnehmer und der Abstandssensor sind dabei in einem gemeinsamen, externen Gehäuse integriert. Der Drucksensor steht somit in direktem Kontakt mit dem Medium.

Zum Einbau eines solchen externen Druckmessers muß also eine Verbindung zwischen dem druckbeaufschlagten Raum und der Außenwelt hergestellt werden, beispielsweise indem ein Loch zwischen Innen- und Außenwand des Meßobjekts gebohrt wird (im folgenden ist mit "Innenwand" bzw. "Außenwand" eine mit bzw. nicht mit dem druckbeaufschlagten Fluid in Berührung stehende Fläche des Meßobjektes gemeint). Der beispielsweise aus einem mechanischen Meßaufnehmer und einem Abstandssensor bestehende Drucksensor wird also invasiv in das Meßobjekt eingebaut. Bei der invasiven Einbauweise kann es vorkommen, daß durch die Einbringung eines externen Sensors die Strömungsbedingun­ gen verändert werden. Auch kann es vorkommen, daß durch den Einbau eines solchen Sensors hydraulische Volumina unzulässig verändert werden.

Weiterhin stellt der Einbau eines externen Sensors ein Pro­ blem dar, wenn eine hohe Anforderung in bezug auf die Dich­ tigkeit eines Druckkreislaufes erfüllt werden muß, z. B. bei einer kerntechnischen Anlage oder im Bereich der chemischen Prozeßtechnik. In diesem Fall muß unbedingt vermieden werden, daß eine kontaminierte bzw. chemisch aggressive Substanz aus dem druckbeaufschlagten Bereich nach außen dringt, beispiels­ weise durch einen Spalt zwischen Meßobjekt und Sensor. Die Gefahr eines Austritts von Fluid kann beispielsweise auch beim Kontakt eines Sensors mit einem korrosiven Medium auf­ treten. Bei einem hohen Druck des Fluids kann es zu Undich­ tigkeiten im Bereich des Sensors kommen, die ebenfalls zu schweren Störungen im Betriebsablauf führen können. Allgemein ist die Druckmessung von aggressiven, strahlenden oder unter hohem Druck stehenden Medien problematisch.

Ein Beispiel für diese Problematik ist die Druckmessung an Einspritzsystemen für Hochdruck-Direkteinspritzungen von Kraftstoff in Motoren, beispielsweise für Benzin- oder Die­ selkraftstoff (sog. "Common-Rail"). Für die Erfassung der im Inneren des Einspritzers wirkenden Drücke (typischerweise 150-2000 bar) gibt es bisher keine geeignete Druckmessung: eine Vergrößerung der hydraulischen Volumina durch Anbringung ei­ nes herkömmlichen Drucksensors muß beispielsweise aufgrund der genauen Abstimmung der Einspritzsysteme und ihrer gerin­ gen Fertigungstoleranzen vermieden werden. Weiterhin ist eine Abdichtung eines Drucksensors bei Drücken bis 2000 bar sehr schwierig, und die Unterbringung eines Drucksensors ist auf­ grund der beengten baulichen Verhältnisse im Inneren des Ein­ spritzsystems nahezu unmöglich. Zur ortsaufgelösten Erfassung der Druckverhältnisse sind zudem keine ausreichend kleinen Drucksensoren vorhanden.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, einen schädi­ genden Einfluß eines Fluids bei einer Druckmessung zu redu­ zieren.

Diese Aufgabe wird durch die Merkmale der Ansprüche 1 bzw. 17 gelöst.

Das Grundprinzip der vorliegenden Erfindung ist es, das Meß­ objekt selbst oder geeignete Teile hiervon (z. B. ein zu die­ sem Zweck strukturierter Bereich) als mechanischen Meßaufneh­ mer zu verwenden, die Druckmessung also nicht-invasiv durch­ zuführen.

Dabei wird die mit dem Fluid in Kontakt stehende Wand des Meßobjektes ("Innenwand") nicht verändert. Es folgt, daß das Fluid keine wesentlich gegenüber einem ohne Druckmessung aus­ gestatteten Meßrohr veränderte Angriffsfläche vorfindet (insbesondere keine Passungen, Gewinde, empfindlicheren Ma­ terialien usw.).

Eine Strukturierung kann beispielsweise durch geeignete Bear­ beitung des Meßobjekts geschehen, beispielsweise durch Her­ stellung von Aussparungen mittels mechanischem Abtrag. Al­ ternativ kann schon bei der Herstellung des Meßobjekts ein zum Zwecke der Druckmessung geeigneter Bereich als mechani­ scher Meßaufnehmer vorgesehen werden.

Die Detektion einer mechanischen Meßgröße (z. B. einer Aus­ lenkung oder einer Kraft) des mechanischen Meßaufnehmers er­ folgt mit Hilfe eines externen Sensors, beispielsweise eines Abstandssensors. Die Tatsache, daß der mechanische Meßauf­ nehmer integraler Bestandteil des Meßobjektes ist, bewirkt, daß der Einfluß der Druckmessung auf die hydraulischen Ei­ genschaften des Meßobjekts, beispielsweise Strömungsbedin­ gungen oder hydraulische Volumina, keinen Einfluß mehr be­ sitzt. Weiterhin minimiert sich der Einfluß des Fluids auf den Sensor. Zusätzlich entfällt der beim herkömmlichen Einbau eines Drucksensors auftretende Zwischenraum zwischen Sensor und Meßobjekt, durch den Fluid aus dem druckbeaufschlagten Bereich austreten könnte.

Es ist zur einfachen Handhabung vorteilhaft, wenn der mecha­ nische Meßaufnehmer durch die Einbringung einer zylinderför­ migen Aussparung, beispielsweise eines Sacklochs, von einer Außenwand des Meßobjektes hergestellt wird.

Es ist zur vereinfachten Auswertung des Meßsignals weiterhin vorteilhaft, wenn der mechanische Meßaufnehmer rotationssym­ metrische Form besitzt, beispielsweise wenn die Bohrung senk­ recht zu der dem Fluid zugewandten Seite erzeugt wird.

Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn der mechanische Meßaufneh­ mer membranähnlich ist, d. h., daß die Auslenkung des mecha­ nischen Meßaufnehmers sich ähnlich der Auslenkung einer Mem­ bran verhält. Mögliche Abweichung zum Verhalten eines Idealen Membran können beispielsweise durch eine Kalibrierung des me­ chanischen Meßaufnehmers berücksichtigt werden. Alternativ können die Eigenschaften des mechanischen Meßaufnehmers denen einer dünnen oder einer dicken Scheibe angenähert werden.

Es ist besonders vorteilhaft, wenn die verbliebene Wanddicke des mechanischen Meßaufnehmers konstant ist. Dadurch wird die Auswertung der mechanischen Auslenkungen zur Bestimmung des Drucks erleichtert.

Der Sensor zur Messung der Auslenkung des mechanischen Meß­ aufnehmers kann beispielsweise auf der dem Fluid abgewandten Seite des Meßobjekts aufgebracht werden.

Bei Vorliegen einer Strukturierung ist es vorteilhaft, wenn der Sensor in die Strukturierung eingelassen wird.

Dabei ist es vorteilhaft, wenn die Strukturierung symmetrisch ist, beispielsweise ein auf den mechanischen Meßaufnehmer zu­ laufendes zylindrisches Sackloch. Die Bohrung besitzt dabei zur optimierten Anpassung an einen Sensor und an ein Befesti­ gungsmittel vorteilhafterweise verschiedene Durchmesser.

Es ist weiterhin vorteilhaft, wenn der Sensor in die Struktu­ rierung eingelassen wird und durch ein Befestigungsmittel in Form einer Fixierhohlschraube in der Strukturierung gehalten wird, weil durch die Öffnung in der Fixierhohlschraube das mindestens eine mit dem Sensor verbundene Sensordatenkabel nach außen geführt werden kann.

Es ist vorteilhaft, wenn der Sensor die Auslenkung des mecha­ nischen Meßaufnehmers mit Hilfe eines Piezoelementes mißt.

Ebenfalls vorteilhaft ist es, wenn der Sensor mittels eines kapazitiven Meßverfahrens arbeitet, weil dies eine hohe Meß­ genauigkeit erbringt.

Dabei ist es bei elektrisch leitenden Meßobjekten besonders vorteilhaft, wenn der mechanische Meßaufnehmer gleichzeitig als eine Kondensatorplatte des kapazitiven Sensors wirkt. Bei nicht leitenden Meßobjekten kann alternativ der mechanische Meßaufnehmer auf der dem Sensor zugewandten Seite mit einem elektrisch leitendem Material beschichtet sein.

Es können aber auch andere geeignete Sensorprinzipien verwen­ det werden, beispielsweise mittels piezoresistiver Messung.

Es ist vorteilhaft, wenn der Sensor zur Auswertung von Kenn­ größen des mechanischen Meßaufnehmers direkt mit der Auswer­ teelektronik verbunden ist. Die Auswerteelektronik kann dabei mit dem externen Sensor in einem Gehäuse untergebracht sein. Dadurch können die Signale dieses Sensors schon ganz oder teilweise in für den Beobachter brauchbare Daten umgewandelt werden, bevor sie über das Sensordatenkabel weitergeleitet werden. Es ergibt sich durch die so erreichte kurze Leitungs­ führung der Vorteil, daß erstens eine stabilere Abstimmung des Meßsystems und zweitens eine hohe Störunempfindlichkeit erreicht wird. Zudem ist eine solche Vorauswertung der Meß­ werte anwenderfreundlich.

Dabei ist es besonders vorteilhaft, wenn der externe Sensor, beispielsweise der Abstandssensor, und die Auswerteelektronik in einer Einheit ausgeführt sind, beispielsweise mittels ei­ nes kapazitiven Abstandssensors und einer Auswerteelektronik in Silizium-Technolgie, vorteilhafterweise auf einem Bauele­ ment. Ein solches Bauelement in Si-Technolgie ist sehr gut beherrschbar aufgrund der Erfahrung in der Herstellung von mikroelektronischen und mikromechanischen Bauteilen. Der ex­ terne Sensor selbst, beispielsweise ein kapazitiver oder piezoresistiver Abstandssensor, muß dabei, beispielsweise aus Kostengründen, nicht in mikromechanischer Bauweise ausgeführt sein.

Weiterhin ist es zur Platzersparnis vorteilhaft- den Sensor in mikromechanischer Weise auszuführen. Gerade bei Meßobjek­ ten mit kleinen Bauteildimensionen ist es oft ein Problem, einen vergleichsweise großen Sensor in das Meßobjekt zu inte­ grieren. Ein Sensor in mikromechanischer Ausführung hingegen bereitet in bezug auf den zu seinem Einbau benötigten Platz wenig Probleme. Auch kann bei Einbau eines Sensors in mikro­ mechanischer Bauweise sichergestellt werden, daß bei einer Verwendung mehrerer Sensoren die Stabilität des Meßobjekts ausreichend hoch ist.

Ein weiterer Vorteil der nicht-invasiven Druckmessung ist es, daß ohne wesentliche konstruktive Schwierigkeiten Über- und Unterdruck mit dem gleichen Drucksensor gemessen werden kann. Bei einer Ausführung des mechanischen Meßaufnehmers in Form einer Membran ist beispielsweise die Auslenkung der Membran für Über- und Unterdruck gleich.

Die nicht-invasive Druckmessung kann neben der Druckmessung in Einspritzsystemen besonders vorteilhaft auch zur Messung eines Brennraumdrucks, eines Kraftstoffdrucks in einem Kraft­ stoffördersystem (z. B. in einem "Common-Rail"-Kreislauf), bei hydraulischen Systemen (z. B. Bremsen oder Servolenkung), me­ dizinischen Anwendungen oder in Anlagen der Prozeßtechnik eingesetzt werden. Unter anderem bei einer dieser Anwendungen läßt eine Überwachung des Drucks einen vorteilhaften Effekt bei einer Systemsteuerung erwarten, beispielsweise durch Nutzung in einer Motorsteuerung.

Aufgrund der allgemeinen Anwendbarkeit kann die erfindungsge­ mäße Druckmessung an Bauteilen bzw. Meßobjekten in allen Größenordnungen und Formen durchgeführt werden. In den folgenden Ausführungsbeispielen wird schematisch die vorliegende Erfindung weiter ausgeführt.

Fig. 1 zeigt schematisch eine Druckmessung, bei der der Sensor ein kapazitiver Abstandssensor ist,

Fig. 2 zeigt schematisch in Aufsicht eine Meßkörpergeome­ trie zur Druckmessung,

Fig. 3 zeigt schematisch den Aufbau einer Druckmessung, bei der der Sensor ein piezoelektrischer Ab­ standssensor ist,

Fig. 4 zeigt Meßergebnisse einer Druckmessung.

In Fig. 1 ist schematisch als Seitenansicht in Schnittdar­ stellung das Meßprinzip einer nicht-invasiven Druckmessung mittels eines Sensors 4 in Form eines kapazitiven Ab­ standssensors 41 aufgetragen. Dabei ist das Meßobjekt ein Rohr 1 aus elektrisch leitendem Material, beispielsweise Me­ tall, beispielsweise zur Verwendung als ein Injektorkörper, beispielsweise zum Zumessen und Zerstäuben von Fluid 2, bei­ spielsweise bei einer Kraftstoffeinspritzung. Die Bohrung 11 des Rohrs 1 ist mit einem Fluid 2 druckbeaufschlagt. Von der der Bohrung 11 entgegengesetzten Wandseite des Rohrs ("Außenwand") ist ein Sackloch 3 erzeugt worden, beispiels­ weise durch Funkenerodieren, Bohren oder Fräsen. Der mecha­ nische Meßaufnehmer 12 ist Teil des Rohrs 1 und entspricht der stirnseitigen Fläche des Sacklochs 3. Der mechanische Meßaufnehmer 12 verformt sich unter Einwirkung des Drucks des Fluids 2 ähnlich einer Membran. Detektiert wird die Auslen­ kung des mechanischen Meßaufnehmers 12 mit Hilfe eines kapa­ zitiven Abstandssensors 41. Der kapazitive Abstandssensor 41 ist in das Sackloch 3 eingelassen, so daß der mechanische Meßaufnehmer 12 gleichzeitig als eine Elektrode des kapaziti­ ven Abstandssensors 41 wirkt. Die Elektrode 81 des kapaziti­ ven Abstandssensors 41 liegt dem mechanischen Meßaufnehmer 12 gegenüber. Gemessen wird der Abstand der beiden Elektroden (81, 12) zueinander, der durch die Durchbiegung des mechani­ schen Meßaufnehmers 12 bestimmt wird und der ein Maß für den auf den mechanischen Meßaufnehmer 12 wirkenden Druck des Fluids 2 ist. Der kapazitive Abstandssensor 41 wird durch eine Fixierhohlschraube 5 im Sackloch 3 gehalten. Die Meßda­ ten des Sensors 4, 41 werden mit Hilfe einer Auswerteeinheit 9 ausgewertet, beispielsweise durch Umrechnung von Spannungs­ werte in Druckwerte, beispielsweise unter Berücksichtigung einer Kalibrierung, und über ein Sensordatenkabel 6 an einen externen Beobachter weiterleitet. Das Sensordatenkabel 6 wird durch die Fixierhohlschraube 5 nach außen geführt. Das Sensordatenkabel 6 ist beispielsweise ein flexibles Miniatur- Koaxialkabel. Der kapazitive Abstandssensor 41 ist ohne Außengewinde gefertigt und wird in das Sackloch 3 geschoben, alternativ kann beispielsweise der kapazitive Abstandssensor 41 mit Außengewinde gefertigt und dann in das Sackloch 3 eingedreht werden.

Zur Erhöhung der Meßempfindlichkeit des mechanischen Meßauf­ nehmers 12 sollte seine Dicke, entsprechend der verbliebenen Wandstärke der Stirnfläche des Sacklochs 3, möglichst gering sein. Auf der anderen Seite besteht die Gefahr, daß ein dün­ ner mechanischer Meßaufnehmer 12 unter einem hohen Druck nachteilig irreversibel verformt wird. Daher muß die Dicke des mechanischen Meßaufnehmers 12 so ausgelegt werden, daß sich dieser reversibel, d. h. rein elastisch, verformt. Die Auslegung des mechanischen Meßaufnehmers 12 (beispielsweise Wandstärke oder Durchmesser) kann beispielsweise durch eine Finite-Elemente-Analyse durchgeführt werden. Diese Methode ist besonders nützlich bei Formen des mechanischen Meßauf­ nehmers 12, deren Auslenkung sich nicht analytisch berechnen läßt, beispielsweise auch bei asymmetrischer Formgestaltung.

Außer dem in diesem Ausführungsbeispiel gezeigten Sensor kön­ nen auch mehrere Sensoren, beispielsweise in mehreren Sack­ löchern, in das Meßobjekt eingebracht werden. Dies ist bei­ spielsweise vorteilhaft, wenn eine ortsaufgelöste Messung der Druckverhältnisse im Meßobjekt durchgeführt werden soll.

Der in dieser Figur gezeigte Drucksensor kann vorteilhafter­ weise auch gänzlich in Silizium-Technologie ausgeführt sein. Der kapazitive Abstandssensor 41 mit seiner Elektrode 81 ist dann auf dem gleichen Bauteil ausgeführt wie die Auswerteein­ heit 9. Außer einem kapazitiven Abstandssensor 41 kann bei­ spielsweise auch ein piezoresistiver Abstandssensor in Sili­ zium-Technologie ausgeführt sein.

Der kapazitive Abstandssensor 41 kann alternativ in mikro­ mechanischer Bauweise ausgeführt sein. Dies ist beispiels­ weise bei mehreren Drucksensoren oder bei einer geringen Wandstärke des Meßobjekts vorteilhaft.

Fig. 2 zeigt schematisch als Schnittdarstellung in Aufsicht die Form eines Rohrs 1 als Meßobjekt, wobei das Rohr 1 mit einer zentriert geführten Bohrung 11 versehen ist, die mit einem Fluid 2 gefüllt ist. Der Schnitt wird durch ein als Strukturierung dienendes Sackloch 3 geführt. Man erkennt, daß der mechanische Wegaufnehmer 12 in Aufsicht aufgrund der im Schnitt runden Bohrung eine auf der Innenwand des Meßobjektes einseitig konkave Form besitzt, also keiner planaren Membran entspricht.

Fig. 3 zeigt als Seitenansicht in Schnittdarstellung eine Ausgestaltung zur Druckmessung mit Hilfe eines Sensors 4 in Form eines piezoelektrischen Abstandssensors 42. Der piezo­ elektrische Abstandssensor 42 besteht im wesentlichen aus ei­ nem Piezoelement und zwei Elektroden 81, 82 sowie einer Aus­ werteeinheit 9 und einem Sensordatenkabel 6, wobei die Aus­ lenkung des mechanischen Meßaufnehmers 12 mit Hilfe des Pie­ zoelementes gemessen wird. Dieses Piezoelement ist hier in Form eines Piezoröhrchens 7 ausgebildet, welches hohl ist und das mit seinen Stirnseiten auf dem mechanischen Meßaufnehmer 12 bzw. auf einer Fixierhohlschraube 5 aufliegt. Durch die Auslenkung des mechanischen Meßaufnehmers 12 wird das Piezo­ röhrchen 7 gestaucht, so daß in diesem eine Spannung in indu­ ziert wird. Diese Spannung wird durch Elektroden 83, 82 ab­ gegriffen, die an der Innen- bzw. der Außenwand des Piezo­ röhrchens 7 anliegen. In diesem Ausführungsbeispiel liegt die Außenelektrode 82 auf Masse, während die Innenelektrode 83 mit einem durch die Fixierhohlschraube 5 geführten Sensor­ datenkabel 6 verbunden ist, welches Meßdaten an einen ex­ ternen Beobachter weitergibt.

Fig. 4 zeigt die Auftragung der an einem kapazitiven Ab­ standssensor abgegriffenen Spannung in beliebigen Einheiten gegen den Druck eines Fluids 3 in beliebigen Einheiten. Es ist deutlich zu erkennen, daß das Verhältnis zwischen Sen­ sorspannung und (vorbestimmten) Druck des Fluids 2 linear ist, und zwar über den gesamten Meßbereich. Dabei ist zu be­ achten, daß diese Figur verbundene Meßpunkte, und keine Kur­ venanpassung zeigt. Es wird in Fig. 3 somit eindrücklich die Eignung der hier beschriebenen Art der Druckmessung zur Bestimmung des Drucks des Fluids eines druckbeaufschlagten Meßobjekts nachgewiesen.

Das Auflösungsvermögen der Druckmessung ist mit < 0,1% sehr gut, so daß neben einer statischen Druckmessung auch schnelle Druckschwankungen sehr gut reproduzierbar sind (ohne Abbil­ dung).

Claims (21)

1. Verfahren zur Messung des Drucks eines Fluids (2), bei dem

• - ein Meßobjekt mit einem Fluid (2) druckbeaufschlagt wird,
• - durch den Druck des Fluids (2) ein mechanischer Meßaufneh­ mer (12) ausgelenkt wird, wobei der mechanische Meßaufneh­ mer (12) ein Teil des Meßobjektes ist,
• - die Auslenkung des mechanischen Meßaufnehmers (12) an sei­ ner dem Fluid (2) abgewandten Seite mit Hilfe mindestens eines Sensors (4, 41, 42) gemessen wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die Bewegungen mindestens eines mechanischen Meßaufnehmers (12) membranähnlich sind,

3. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem mindestens ein mechanischer Meßaufnehmer (12) durch eine Strukturierung auf einer dem Fluid (2) abgewandten Seite des Meßobjektes erzeugt wird,

4. Verfahren nach Anspruch 3, bei dem der mechanische Meßaufnehmer (12) durch mindestens ein Sack­ loch (3) senkrecht zu einer dem Fluid (2) zugewandten Seite des Meßobjekts erzeugt wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2-4, bei dem mindestens ein Sensor (4, 41, 42) in die Strukturierung einge­ lassen und in dieser gehalten wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem die Strukturierung die Form eines zylindrischen Sacklochs (3) mit mindestens einem Durchmesser besitzt.

7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem mindestens ein Sensor (4) ein piezoelektrischer Abstandssen­ sor (42) ist.

8. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem mindestens ein Sensor (4) ein kapazitiver Abstandssensor (42) ist.

9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem zwischen dem Sensor (4, 41, 42) und einem Sensordatenkabel (6) eine Auswerteeinheit (9) zur Verarbeitung der vom Sensor (4, 41, 42) ausgegebenen Daten vorhanden ist.

10. Verfahren nach Anspruch 9, bei dem der Sensor (4, 41, 42) und die Auswerteeinheit (9) in einem Bauteil integriert wer­ den.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem mindestens ein Sensor (4, 41, 42) in mikromechanischer Bau­ weise ausgeführt ist.

12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem mindestens ein Sensor (41, 42) auf der Basis der Silizium- Technologie hergestellt wird.

13. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem sich der Druck des Fluids (2) sowohl im Über- als auch im Unterdruckbereich befinden kann.

14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem die Druckmessung kalibriert wird.

15. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Verwendung in Anlagen der Prozeßtechnik.

16. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche zur Verwendung in Systemen zur Kraftstoffeinspritzung oder an Brennkammern.

17. Vorrichtung zur Messung des Drucks eines Fluids (2), bestehend aus

• - einem Meßobjekt, das mit einem Fluid (2) druckbeaufschlagt ist,
• - mindestens einem mechanischen Meßaufnehmer (12), der Teil des Meßobjektes ist und der durch einen Druck des Fluids (2) auslenkbar ist,
• - einem Sensor (4, 41, 42), über eine Auslenkung des mechani­ schen Meßaufnehmers (12) an seiner dem Fluid (2) abgewand­ ten Seite der Druck des Fluids (2) meßbar ist.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, bei der der mechanische Meßaufnehmer (12) membranähnlich ist und durch ein Sackloch (3) von einer dem Fluid (2) abgewandten Seite des Meßobjektes darstellbar ist.

19. Vorrichtung nach Anspruch 18, bei der der Sensor (4, 41, 42) sich mindestens teilweise in dem Sack­ loch (3) befindet und in dieser durch eine Befestigungsein­ richtung fixierbar ist.

20. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17-19 in Anlagen der Prozeßtechnik.

21. Verwendung der Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17-20 in Systemen zur Kraftstoffeinspritzung oder an Brennkammern.