DE19811989A1

DE19811989A1 - Dünnschichtspektrometer mit Transmissionsgitter

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Publication number: DE19811989A1
Application number: DE19811989A
Authority: DE
Inventors: Joerg Mueller; Dietmar Sander
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1998-03-19
Filing date: 1998-03-19
Publication date: 1999-09-30
Anticipated expiration: 2018-03-20
Also published as: DE59905563D1; DE19811989B4; EP1064573B1; US6452675B1; WO1999047952A1; EP1064573A1

Abstract

Ein Spektrometer mit einer dünnen Lichtleiterschicht in einem in Dünnschichttechnologie hergestellten Schichtaufbau zwischen zwei Deckschichten niedrigeren Brechungsindexes, mit einer ein Gitter aufweisenden Endfläche der Lichtleiterschicht, die durch die Lichtleiterschicht hindurch mit zu analysierendem Licht bestrahlt wird, und mit einem Zeilensensor, auf den das Spektrum abgebildet wird, wobei das treppenförmige Stufengitter mit transparenten Stufenflächen und mit Stufenkanten senkrecht zur Schichtebene ausgebildet ist und an den Stufenflächen des Gitters ein zweites Medium angrenzt, dessen Brechungsindex kleiner ist als der der Lichtleiterschicht, ist dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter in Treppenrichtung kontinuierlich die Höhe und Breite seiner Stufen derart ändert, daß für zwei ausgewählte Wellenlängen jeweils die Gesamtlichtwege durch die Lichtleiterschicht und das zweite Medium bis zu einem der jeweiligen Wellenlänge zugehörigen Brennpunkt für alle benachbarten Frontflächen des Gitters eine Längendifferenz von demselben Vielfachen der jeweiligen Wellenlänge aufweisen.

Description

Die Erfindung betrifft ein Spektrometer nach dem Oberbegriff des Anspruches 1.

Dünnschichtspektrometer mit einem Schichtaufbau mit einer Lichtleiterschicht und einem Stufengitter sind, wie die EP 0 250 824 A1 zeigt, in zwei grundsätzli chen Bauvarianten des Gitters möglich und zwar zum einen als Reflexionsgitter, wie dort in Fig. 1 gezeigt, und zum anderen als Transmissionsgitter, wie dort in den Fig. 3 bis 6 gezeigt.

Ein Reflexionsgitter hat den Vorteil, daß es, wie in der erwähnten Fig. 1 gezeigt, mit einer Gesamtkrümmung selbstfokussierend ausgebildet sein kann. Ein Transmissionsgitter benötigt dagegen gesonderte Fokussiereinrichtungen, wie in WO 97/27 460 dargestellt. Das Transmissionsgitter ergibt jedoch, wie in der letztgenannten Schrift erläutert, den wesentlichen Vorteil gegenüber dem Refle xionsgitter, daß bei geeigneter Wahl der Brechungsindizes in der Lichtleiter schicht und in dem zweiten Medium die Stufenhöhe bei derselben Wellenlängen auflösung des Spektrometers größer sein kann, also das Gitter mit relativ einfa chen Herstellungsverfahren kostengünstig und präzise herstellbar ist.

Nach dem Stand der Technik sind bei beiden Gittertypen die Gitter mit durchge hend konstanten Stufenabmessungen ausgebildet.

Es sind auch nicht gattungsgemäße fokussierende Stufengitter bekannt, bei denen sich die Stufenabmessungen in Treppenrichtung kontinuierlich ändern. Solche Stufengitter gehören grundsätzlich zum Typ der Fresnel-Zonenplatte, wie sie z. B. beschrieben ist in
Grimsehls Lehrbuch der Physik 1944, Teubner Verlag, S. 387.

Eine modernere Anwendungen dieses Prinzips finden sich in dem Aufsatz
Collimating cylindrical diffractive lenses:
rigorous electromagnetic analysis and scalar approximation von Elias N. Glytsis et al., in APPLIED OPTICS/Vo. 37, No. 1/1. Januar 1998, Seiten 34-43.

Bei dieser Konstruktion sind die Stufenhöhen konstant. Es ändert sich nur die Stufenbreite.

Gemeinsam ist bei allen Gitterkonstruktionen nach dem Fresnel-Zo nenplattenprinzip, daß sie nur eine einzige Wellenlänge auf einen Brennpunkt abbilden können. Bei anderen Wellenlängen ergibt sich keine Abbildung, so daß diese Konstruktion als Spektrometer grundsätzlich nicht verwendbar und daher gattungsfremd ist.

Eine weitere nicht gattungsgemäße Gitterkonstruktion ist aus dem Aufsatz
Diffractive phase elements that implement wavelength demultiplexing and spatial annular focusing simultaneously von Bi-Zhen Dong et al. in J. Opt. Soc. Am. A/Vol. 14, No. 1, Januar 1997, Seiten 44-48
beschrieben. Bei diesem Gitter sind die Linienabstände konstant und die Stufen höhen nach einem komplizierten, völlig unregelmäßigen Höhenrelief angeordnet, das in einer sehr aufwendigen Rechnung nur näherungsweise fokussierende Be dingungen für unterschiedliche Wellenlängen schafft. Ein solches Höhenrelief ist dort in Fig. 2a dargestellt. Fig. 2b zeigt das Spektrum mit den entstehenden Beu gungsfehlern (Falschlinien). Für praktische Anwendungen ist diese Konstruktion ersichtlich nicht geeignet.

Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein gattungsgemäßes Spektrometer mit einem Transmissionsgitter zu schaffen, das auf einfache Weise das Spektrum fokussiert.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Anspruches 1 ge löst.

Das erfindungsgemäße Gitter kann in seiner Formgebung der einzelnen, unterein ander ähnlichen, jedoch in einer Treppenrichtung immer kleiner werdenden Stu fen nach der im Kennzeichen des Anspruches 1 angegebenen Bedingung sehr einfach in aufeinanderfolgenden Rechenschritten Stufe für Stufe berechnet wer den. Ein Computer schafft dies für die erforderlichen, z. B. 1000 Stufen, in sehr kurzer Zeit. Dabei werden jeweils die Lichtwege (geometrische Weglänge multi pliziert mit dem Brechungsindex im jeweiligen Medium) bis zum Gitter und von dort weiter bis zum Brennpunkt berechnet und zwar jeweils für zwei benachbarte Frontflächen des Gitters. Diese Berechnungen werden für zwei ausgewählte Wellenlängen im zu analysierenden Spektrum mit zuvor an der gewollten Stelle festgelegten Brennpunkten für jede Wellenlänge durchgeführt. Dabei ergibt sich für jede Wellenlänge und für zwei an einer Stufe benachbarte Frontflächen in dem der Wellenlänge zugehörigen Brennpunkt konstruktive Interferenz. Es ergibt sich dabei auch für die Interferenz einer Frontfläche mit dem Licht der weiteren, in einer Richtung folgenden Frontflächen konstruktive Interferenz mit einer Lichtwegdifferenz mit höheren Vielfachen der Wellenlänge. Schließlich ergibt sich hierbei, daß ein solches Gitter nicht nur die beiden ausgewählten Wellenlän gen in den beiden Brennpunkten fokussiert, sondern auch dazwischenliegende Wellenlängen und außerhalb dieses Intervalles liegende Wellenlängen in Brenn punkten fokussiert, die mit nur sehr geringen, nicht störenden Abweichungen auf der durch die beiden ausgewählten Brennpunkte liegenden Brennebene liegen. Es wird auf diese Weise ein Spektrometer geschaffen, das mit einem Transmissions gitter, unter Beibehaltung dessen günstiger Eigenschaften hinsichtlich der ver wendbaren größeren Stufenhöhen, die Abbildung des Spektrums mit dem Gitter selbst ergibt, so daß zusätzliche Fokussiereinrichtungen entbehrlich sind. Da durch wird die Konstruktion gegenüber bekannten Spektrometern mit Transmis sionsgitter und zusätzlichen Fokussiereinrichtungen erheblich vereinfacht.

Vorteilhaft sind die Merkmale des Anspruches 2 vorgesehen. Hier endet der Schichtaufbau des Spektrometers am Stufengitter, so daß sich die Schichther stellung vereinfachen läßt.

Alternativ sind die Merkmale des Anspruches 3 vorgesehen, bei dem das zweite Medium durch eine zweite, jenseits des Stufengitters weiterführende Lichtleiter schicht gebildet ist. Hierbei bestehen bessere Möglichkeiten durch Wahl der Me dien der ersten und zweiten Lichtleiterschicht eine günstige, sehr kleine Differenz der am Stufengitter aneinandergrenzenden Brechungsindizes zu erhalten mit der, wie in WO 97/27 460 erläutert, bei gegebener Wellenlängenauflösung größere Stufenhöhen möglich sind.

Vorteilhaft sind die Merkmale des Anspruches 4 vorgesehen. Hierbei gestaltet sich durch den parallelen Lichteinfall auf das Gitter die Gitterberechnung nach Anspruch 1 relativ einfach. Es sind jedoch Linsen oder Hohlspiegel erforderlich, um das von einem Eintrittsspalt stammende Licht zu parallelisieren.

Vorteilhaft sind daher die Merkmale des Anspruches 5 vorgesehen, bei dem das Gitter für divergierend einfallendes Licht berechnet ist.

In den Zeichnungen ist die Erfindung beispielsweise und schematisch dargestellt. Es zeigen:

Fig. 1 die grundsätzlichen geometrischen Gegebenheiten im Schnitt durch ein Stufengitter,

Fig. 2 eine dreidimensionale Ansicht eines Spektrometers mit Schichtauf bau und Luft als zweitem Medium,

Fig. 3 schematisch die Draufsicht auf ein Spektrometer mit einem Hohl spiegel zur Parallelisierung des von einem Eintrittsspalt kommen den Lichtes,

Fig. 4 in einem Längsschnitt durch den Schichtaufbau ein Spektrometer mit einer weiterführenden zweiten Lichtleiterschicht als zweites Medium und

Fig. 5 eine Darstellung entsprechend Fig. 1 mit divergentem Lichteinfall auf das Gitter.

Fig. 1 zeigt in einem Schnitt parallel zu den Lichtwegen eine Lichtleiterschicht 1 aus einem transparenten Medium mit dem Brechungsindex n₁, die in einer als Stufengitter 3 ausgebildeten Grenzfläche mit senkrecht zur Zeichnungsebene ste henden Flächen an ein zweites Medium 2 angrenzt, das den Brechungsindex n₂ aufweist. Das Stufengitter 3 wird durch die Lichtleiterschicht 1 mit parallelem, zu analysierendem Licht 4 beleuchtet. An einer Endfläche 5 des zweiten Mediums 2 soll als Brennebene das Spektrum abgebildet werden, um von einem Sensor, z. B. einem Zeilensensor 6 aufgenommen zu werden.

Licht tritt vom Gitter 3 in das zweite Medium 2 von den Frontflächen 7 des Git ters aus. Berechnet man die Lichtwege von mittleren Punkten C, A, A', A'' der Frontflächen 7 aus, so lassen sich die Bedingungen für konstruktive Interferenz berechnen. Das dargestellte treppenförmig in einer Treppenrichtung kontinuier lich größer werdende Stufengitter 3 wird gemäß Kennzeichen des Anspruches 1 wie folgt in seiner Form berechnet:
Licht fällt gemäß Fig. 1 von links in Richtung der Strahlen 4 auf das Gitter 3. Es wird zunächst eine Wellenlänge λ_b untersucht. Dieses Licht der Wellenlänge λ_b soll im Brennpunkt B auf der Endfläche 5 fokussiert werden.

Im zweiten Medium 2 legt das Licht von dem Punkt C auf einer Frontfläche des Gitters bis zum Brennpunkt B den Weg CB zurück. Der Lichtweg entspricht dem Produkt CB.n₂. Auf der benachbarten Frontfläche der nächsten Stufe liegt der Punkt A. Bis zu diesem ist der Lichtweg in der Lichtleiterschicht 1 um die Strec ke EC.n₁ kleiner. Der Lichtweg im Medium 2 beträgt AB.n₂. Konstruktive Inter ferenz im Punkt B liegt vor, wenn die Formel

AB.n₂ = BC.n₂ + CE.n₁ + mλ_b

erfüllt ist. Die Gesamtlichtwege des Lichtes durch diese beiden benachbarten Gitterstufen (C und A) für die Wellenlänge λ_b unterscheiden sich also um ein Vielfaches dieser Wellenlänge.

Nun wird die erwähnte geometrische Konstruktion, ausgehend von den Punkten C und A, in bezug auf den Brennpunkt D gebildet. Es wird wiederum die oben erwähnte Gleichung aufgestellt, jedoch mit der Wellenlänge λ_d. Man erhält zwei unabhängige Gleichungen mit zwei Unbekannten in Form der Koordinaten des zu berechnenden Punktes A, wenn vom Punkt C als festen Ursprungspunkt und den beiden zuvor festgelegten Punkten B und D ausgegangen wird. Aus zwei Glei chungen mit zwei Unbekannten kann z. B. in einem XY-Koordinatensystem die Lage des zu berechnenden Punktes A ermittelt werden.

Mit derselben Berechnung kann nun, ausgehend vom Punkt A der Punkt A' und in einem nächsten Schritt, ausgehend von diesem, der Punkt A'' berechnet wer den. In dieser Weise kann das gesamte Gitter in der Form seiner Stufen festgelegt werden durch Errechnung jeweils der Punkte A, A', A'' usw. als Mittelpunkte der Frontflächen.

Bei dieser Berechnungsart muß jeweils von einer Stufe zur nächsten weiterge rechnet werden, wobei in der oben erwähnten Gleichung jeweils der letzte Term m.λ_b bzw. m.λ_d denselben Wert für m aufweist, beispielsweise 1.

Bei dieser Berechnungsart schrittweise von einer Stufe zur nächsten fortschrei tend, würden Verrundungsfehler laufend addiert werden. Deshalb ist eine andere Berechnungsweise günstiger, wie folgt:
Zunächst wird, wie oben angegeben, für beide Wellenlängen, ausgehend von C, der Punkt A berechnet. Im nächsten Schritt wird, ausgehend voll C, der Punkt A' direkt berechnet. Es ergeben sich für die beiden Wellenlängen dieselben Glei chungen, wie oben angegeben, jedoch ist nun m um 1 erhöht, also auf m + 1. Im nächsten Schritt wird dann, ausgehend von C, direkt A'' berechnet mit m + 2 usw. Ersichtlich ist hierbei die Rechengenauigkeit größer, da stets vom selben Punkt C aus gerechnet wird.

Ein nach diesem Algorithmus berechnetes Gitter 3 fokussiert die Wellenlängen λ_b und λ_d völlig fehlerfrei in den Punkten B und D. Es werden aber auch dazwi schenliegende Wellenlängen zwischen den Punkten B und D in der Ebene 5 fo kussiert und auch Wellenlängen jenseits der Wellenlängen λ_b und λ_d außerhalb der Punkte B und D. Dabei ist die spektrale Abbildung in der Ebene 5 fehlerfrei. Es entstehen lediglich sehr kleine, vernachlässigbare Fokussierfehler außerhalb der Punkte B und D.

Ein solches Gitter kann zum Arbeiten im optischen Bereich bei Verwendung voll Glas für die Lichtleiterschicht 1 und Luft für das zweite Medium 2 bei den Wel lenlängen λ_b = 400 nm und λ_d = 550 nm bei dem Abstand CD von 10 mm einen Abstand der Brennpunkte BD von 2 mm aufweisen. Dabei ergibt sich eine Git terperiode von etwa 1 µm, die sich über beispielsweise 10³ Stufen auf 5 µm nähe rungsweise linear vergrößert. Die minimale Strukturbreite des so geschaffenen selbstfokussierenden Gitters unterschreitet dabei nur wenig die Strukturgrößen eines nicht fokussierenden Gitters mit konstanter Gitterperiode.

Die Berechnung wird sehr einfach mit einem Computer schrittweise durchge führt. In die Berechnungen gehen als Parameter des zu berechnenden Gitters ein: die Berechungsindices der beiden an das Gitter grenzenden Medien, die Lage der beiden Brennpunkte B und D für zwei zuvor festgelegte Wellenlängen des Spek trums in ihrem Abstand zueinander sowie in ihrem Abstand zum Gitter und der Startpunkt C der Berechnung. Es ergibt sich dabei auf jeden Fall ein Gitter, bei dem die Stufengröße in einer Richtung anwächst. Das Gitter kann dabei für einen bestimmten Abstand der Punkte B und D in sich im wesentlichen gerade verlau fen, wie in Fig. 1 dargestellt. Liegen die Brennpunkte B und D enger zusammen, so hat es voll den Brennpunkten her gesehen eine konvexe Grundkrümmung, bei weiter auseinanderliegender Brennpunkten eine konkave Grundkrümmung.

Eine Konstruktion mit Luft als zweitem Medium 2 ist in Fig. 2 in ihrem Ge samtaufbau dargestellt. Die Lichtleitschicht 1 wird oben und unten voll Deck schichten 9 und 10 kleineren Brechungsindex bedeckt. Dieser Schichtaufbau ist auf einem Träger 11 angeordnet. Am Gitter 3 endet der Schichtaufbau. Das durch die Lichtleiterschicht 1 ankommende parallele Licht 4 wird auf dem bereits in Fig. 1 dargestellten Zeilensensor 6 fokussiert.

Fig. 3 zeigt schematisch eine Möglichkeit, ausgehend von einem Spalt 12, kom mendes divergentes Licht an einem Hohlspiegel 13, z. B. einer Grenze der Licht leitschicht 1 zu einem Material niedriger Brechungsindex, zu parallelisieren, da mit es parallel auf das Stufengitter 3 fällt.

Fig. 4 zeigt in einem Längsschnitt durch dem Schichtaufbau einer Konstruktion ähnlich wie Fig. 2 mit einem Träger 11, der Lichtleiterschicht 1 und den Deck schichten 9 und 10, bei der jedoch die Lichtleiterschicht 1 am Gitter 3 nicht an Luft (wie bei der Konstruktion der Fig. 2) sondern an eine weiterführende zweite Lichtleiterschicht 14 grenzt, an deren Endfläche 5 der Zeilensensor 6 angeordnet ist.

Fig. 5 zeigt eine schematische Darstellung der Abbildungsgeometrie entspre chend der Darstellung der Fig. 1. Es ist hier erläutert, daß auch bei divergent von dem Spalt 12 auf ein Gitter 3' fallendem Licht 4' fokussierende Bedingungen, also Abbildung einer Wellenlänge λ_b auf den Brennpunkt B und einer Wellenlänge λ_d auf den Brennpunkt D erreichbar ist. Die eingangs genannte Lichtweggleichung ist nur geringfügig zu korrigieren, wobei auch in der Lichtleiterschicht 1 Dreiecke ausgehend von dem Spalt 12 zu berücksichtigen sind.

Claims

1. Spektrometer mit einer dünnen Lichtleiterschicht (1) in einem in Dünn schichttechnologie hergestellten Schichtaufbau zwischen zwei Deck schichten (10, 9) niedrigeren Brechungsindexes, mit einer ein Gitter (3, 3') aufweisenden Endfläche der Lichtleiterschicht, die durch die Lichtleiter schicht hindurch mit zu analysierendem Licht (4, 4') bestrahlt wird, und mit einem Zeilensensor (6), auf den das Spektrum (B, D) abgebildet wird, wobei das treppenförmige Stufengitter (3, 3') mit transparenten Stufenflä chen (7) und mit Stufenkanten senkrecht zur Schichtebene ausgebildet ist und an den Stufenflächen des Gitters ein zweites Medium (2) angrenzt, dessen Brechungsindex kleiner ist als der der Lichtleiterschicht, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter (3, 3') in Treppenrichtung kontinuierlich die Höhe und Breite seiner Stufen derart ändert, daß für zwei ausgewählte Wellenlängen (λ_b, λ_d) jeweils die Gesamtlichtwege durch die Lichtleiter schicht (1) und das zweite Medium (2) bis zu einem der jeweiligen Wel lenlänge zugehörigen Brennpunkt (B, D) für alle benachbarten Frontflä chen (7) des Gitters (3) eine Längendifferenz voll demselben Vielfachen der jeweiligen Wellenlänge aufweisen.

2. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Medium (2) Luft ist.

3. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Medium aus einer all das Gitter (3) angrenzenden zweiten Lichtleiter schicht (14) gebildet ist.

4. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter (3) mit parallelem Licht (4) bestrahlt ist.

5. Spektrometer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gitter (3') mit divergentem Licht (4') bestrahlt ist.