DE19811842A1

DE19811842A1 - Sensor für physikalische Parameter mit Selbstdiagnose-Schaltung

Info

Publication number: DE19811842A1
Application number: DE19811842A
Authority: DE
Inventors: Teruaki Nagahara
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1997-08-12
Filing date: 1998-03-18
Publication date: 1999-03-04
Anticipated expiration: 2018-03-19
Also published as: JPH1164041A; DE19811842C2; US5847260A

Description

Die Erfindung betrifft Sensoren für physikalische Parameter, die einen physikalischen Parameter wie beispielsweise eine Beschleunigung, einen Druck oder eine Winkelgeschwindigkeit erfassen, und bezieht sich insbesondere auf einen Sensor für physikalische Parameter, der Charakteristiken einstellen kann.

Fig. 9 ist ein Blockschaltbild, das einen bekannten Sensor für physikalische Parameter zeigt. Bezugnehmend auf Fig. 9 umfaßt ein Sensor für physikalische Parameter 100 einen Sen sorabschnitt 101, der einen in ein elektrisches Signal umzu wandelnden physikalischen Parameter wie beispielsweise eine Beschleunigung, einen Druck oder eine Winkelgeschwindigkeit erfaßt, einen Signalverarbeitungsabschnitt 102, der eine tem peraturabhängige Änderung des elektrischen Signals kompen siert und die Offsetspannung einstellt, einen Verstärkerab schnitt 103, der das von dem Sensorabschnitt 101 ausgegebene und in dem Signalverarbeitungsabschnitt 102 verarbeitete Si gnal verstärkt, einen Datenspeicherabschnitt 104, der digita le Daten speichert, die zur Einstellung der Offsetspannung in dem Signalverarbeitungsabschnitt 102 und zur Einstellung der Verstärkung bzw. des Gewinns in dem Verstärkerabschnitt 103 verwendet werden, und einen Majoritätsentscheidungs-Schal tungsabschnitt 105. Der Ausgang bzw. das Ausgangssignal des Verstärkerabschnitts 103 ist der Ausgang bzw. das Ausgangs signal des Sensors für physikalische Parameter 100 und wird einer Steuerschaltung 106 zugeführt, die einen Mikroprozessor und andere Komponenten umfaßt.

Der Datenspeicherabschnitt 104 speichert eine Vielzahl von digitalen Datenworten, die aus Daten zum Einstellen der Off setspannung und Daten zum Einstellen der Verstärkung beste hen. Die digitalen Datenworte sind identische Worte. Der Ma joritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 105 führt eine Mehrheits- bzw. Majoritätsentscheidung für jeden Satz ent sprechender Bit in den digitalen Datenworten durch, um das durch die Majoritätsentscheidung generierte digitale Daten wort an den Signalverarbeitungsabschnitt 102 und den Verstär kerabschnitt 103 auszugeben. Nachstehend wird unter Bezugnah me auf die nachfolgende Tabelle 1 die Funktionsweise des Ma joritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitts 105 für einen Fall, in dem der Datenspeicherabschnitt 104 ein erstes, ein zweites und ein drittes Datenwort als identische digitale 6 Bit-Datenworte speichert, genauer erklärt.

Tabelle 1

Wie in Tabelle 1 gezeigt, führt dann, wenn das dritte Bit des zweiten in dem Datenspeicherabschnitt 104 gespeicherte Daten worts aus irgendwelchen Gründen von 1 auf 0 geändert wird, der Majoritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 105 eine Ma joritätsentscheidung für die dritten Bit der drei Datenworte durch und gibt 1 als drittes Bit der Majoritätsentscheidung aus, da die dritten Bit des ersten und des dritten Datenworts 1 sind. Natürlich gibt der Majoritätsentscheidungs-Schal tungsabschnitt 105 auch die anderen identischen entsprechen den Bit der drei Datenworte aus. Auf diese Art und Weise wird auch dann, wenn ein Teil der in dem Datenspeicherabschnitt 104 gespeicherten Datenworte geändert werden, durch den Majo ritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 105 ein korrektes Da tenwort an den Signalverarbeitungsabschnitt 102 und den Ver stärkerabschnitt 103 ausgegeben.

Im vorliegenden Fall jedoch kann dann, wenn mehr als ein ent sprechendes Bit der drei Datenworte geändert wurde, der Majo ritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 105 diesen Fehler nicht korrigieren und gibt daher ein falsches Datenwort aus. Denn beispielsweise wird, wie in der nachfolgenden Tabelle 2 gezeigt, dann, wenn die vierten Bit des ersten und des zwei ten Datenworts von 1 auf 0 geändert wurden, durch die Majori tätsentscheidung 0 als viertes Bit ausgegeben.

Tabelle 2

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das vorste hend beschriebene Problem zu lösen und einen Sensor für phy sikalische Parameter zu schaffen, der Änderungen in vorange hend für Einstellungen gespeicherten Daten derart, daß die Änderungen durch einen Majoritätsentscheidungs-Schaltungsab schnitt nicht korrigiert werden können, erfassen und die Ver wendung eines Ausgangssignals, welches durch Einstellungen auf der Grundlage inkorrekter Daten erhalten wird, verhindern kann.

Die vorstehend genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch einen Sensor für physikalische Parameter zur Erfassung physikalischer Parameter, gekennzeichnet durch einen Sensor abschnitt, der einen physikalischen Parameter in ein elektri sches Signal konvertiert, einen Signalverarbeitungsabschnitt, der eine Signalverarbeitung des durch den Sensorabschnitt konvertierten elektrischen Signals durchführt, einen Verstär kerabschnitt, der das durch den Signalverarbeitungsabschnitt verarbeitete Signal verstärkt, einen Datenspeicherabschnitt, der digitale Daten, die zum Einstellen der durch den Signal verarbeitungsabschnitt durchgeführten Signalverarbeitung und zum Einstellen des Verstärkerabschnitts verwendet werden, als identische Datenworte speichert, einen Majoritätsentschei dungs-Schaltungsabschnitt, der eine Majoritätsentscheidung für jeden Satz entsprechender Bit in den in dem Datenspei cherabschnitt gespeicherten digitalen Datenworten durchführt und das durch die Majoritätsentscheidung erzeugte digitale Datenwort an den Signalverarbeitungsabschnitt und den Ver stärkerabschnitt ausgibt, und einen Selbstdiagnose- Schaltungsabschnitt, der erfaßt, ob die in dem Datenspei cherabschnitt gespeicherten Datenworte identisch sind oder nicht, und ein Fehlersignal nach außerhalb des Sensors für physikalische Daten ausgibt, falls sie nicht identisch sind.

In Übereinstimmung mit der Erfindung nutzt der Sensor für physikalische Parameter einen Selbstdiagnose-Schaltungsab schnitt, der überwacht, ob eine Vielzahl von in dem Daten speicherabschnitt gespeicherten identischen Datenworten iden tisch bleibt oder nicht, und ein Fehlersignal nach außerhalb des Sensors für physikalische Parameter ausgibt, falls die ursprünglich identischen Datenworten aus irgendwelchen Grün den so geändert worden sind, daß sie nicht mehr identisch sind. Infolgedessen kann der erfindungsgemäße Sensor Änderun gen in den vorangehend für Einstellungen in dem Datenspei cherabschnitt gespeicherten Daten derart, daß die Änderungen durch den Majoritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt nicht korrigiert werden können, erfassen. Darüber hinaus kann der erfindungsgemäße Sensor die Verwendung eines Ausgangssignals, das durch Einstellungen auf der Grundlage inkorrekter Daten erhalten wurde, verhindern, so daß die Zuverlässigkeit des erfindungsgemäßen Sensors verbessert wird.

Der Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt umfaßt bevorzugt einen Beurteilungs-Schaltungsabschnitt, der bitweise beurteilt, ob die in dem Datenspeicherabschnitt gespeicherten Datenworte identisch sind oder nicht, und die Ergebnisse der Beurteilung ausgibt, und eine Fehlersignal-Ausgabeschaltung, die ein vor bestimmtes Fehlersignal erzeugt und ausgibt, falls die durch den Beurteilungs-Schaltungsabschnitt ausgegebenen Ergebnisse der Beurteilung anzeigen, daß die Datenworte nicht identisch sind. Durch diese Einrichtungen kann der erfindungsgemäße Sensor Änderungen in vorangehend in dem Datenspeicherab schnitt für Einstellungen gespeicherten Daten derart, daß die Änderungen durch den Majoritätsentscheidungs-Schaltungsab schnitt nicht korrigiert werden können, erfassen. Darüber hinaus verhindert der erfindungsgemäße Sensor die Verwendung eines Ausgangssignals, das durch Einstellungen auf der Grund lage inkorrekter Daten erhalten wurde, so daß die Zuverläs sigkeit des erfindungsgemäßen Sensors verbessert wird.

Bevorzugt weist der Beurteilungs-Schaltungsabschnitt Eingänge auf, die der Anzahl von in dem Datenspeicherabschnitt gespei cherten Datenworten entsprechen, besteht der Beurteilungs- Schaltungsabschnitt aus Exclusiv-NICHT-ODER-Schaltungen, die der Anzahl der Bit in jedem in dem Datenspeicherabschnitt ge speicherten Datenwort entsprechen, und besteht die Fehlersi gnal-Ausgabeschaltung aus einer NICHT-UND-Schaltung, die Ein gänge aufweist, welche den Exclusiv-NICHT-ODER-Schaltungen entsprechen.

Alternativ weist der Beurteilungs-Schaltungsabschnitt Eingän ge aufweist, die der Anzahl von in dem Datenspeicherabschnitt gespeicherten Datenworten entsprechen, besteht der Beurtei lungs-Schaltungsabschnitt aus Exclusiv-ODER-Schaltungen, die der Anzahl der Bit in jedem in dem Datenspeicherabschnitt ge speicherten Datenwort entsprechen, und besteht die Fehlersi gnal-Ausgabeschaltung aus einer NICHT-ODER-Schaltung, die Eingänge aufweist, welche den Exclusiv-ODER-Schaltungen ent sprechen.

In jedem Fall kann erfindungsgemäß mittels einfacher Schal tungen die Erfassung von Änderungen in vorangehend für Ein stellungen in dem Datenspeicherabschnitt gespeicherten Daten derart, daß die Änderungen durch den Majoritätsentscheidungs- Schaltungsabschnitt nicht korrigiert werden können, verwirk licht werden. Erfindungsgemäß kann die Verwendung eines Aus gangssignals, welches durch Einstellungen auf der Grundlage inkorrekter Daten erhalten wird, verhindert werden, so daß die Zuverlässigkeit und die Betriebssicherheit verbessert werden.

Die Erfindung wird nachstehend anhand eines bevorzugten Aus führungsbeispiels unter Bezugnahme auf die beigefügte Zeich nung, in der einander entsprechende Elemente mit denselben Bezugszeichen bezeichnet sind, näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 ein Blockschaltbild, das einen Sensor für physikali sche Parameter gemäß einem Ausführungsbeispiel veranschau licht;

Fig. 2 eine Schaltungsanordnung, die einen Verstärkerab schnitt 4 gemäß Fig. 1 veranschaulicht;

Fig. 3 eine Schaltungsanordnung, die eine Offsetspannungsein stellschaltung 11 gemäß Fig. 2 veranschaulicht;

Fig. 4 eine Schaltungsanordnung, die ein Beispiel einer Ver stärkungseinstellschaltung 12 gemäß Fig. 2 veranschaulicht;

Fig. 5 eine Schaltungsanordnung eines Selbstdiagnose-Schal tungsabschnitts 7 gemäß Fig. 1;

Fig. 6 eine Schaltungsanordnung, die eine Variante des Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitts 7 gemäß Fig. 1 zeigt;

Fig. 7 eine Schaltungsanordnung, die eine weitere Variante des Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitts 7 gemäß Fig. 1 zeigt;

Fig. 8 eine Schaltungsanordnung, die eine nochmals weitere Variante des Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitts 7 gemäß Fig. 1 zeigt; und

Fig. 9 ein Blockschaltbild, das einen bekannten Sensor für physikalische Parameter veranschaulicht.

Fig. 1 zeigt ein Blockschaltbild, welches einen Sensor für physikalische Parameter gemäß einem Ausführungsbeispiel dar stellt. Bezugnehmend auf Fig. 1 umfaßt ein Sensor für physi kalische Parameter 1 einen Sensorabschnitt 2, der einen in ein elektrisches Signal umzuwandelnden physikalischen Parame ter wie beispielsweise eine Beschleunigung, einen Druck oder eine Winkelgeschwindigkeit erfaßt, einen Signalverarbeitungs abschnitt 3, der eine temperaturabhängige Änderung des elek trischen Signals kompensiert und die Offsetspannung ein stellt, einen Verstärkerabschnitt 4, der das von dem Sensor abschnitt 2 ausgegebene und in dem Signalverarbeitungsab schnitt 3 verarbeitete Signal verstärkt, einen Datenspeicher abschnitt 5, der aus einem Festspeicher bzw. ROM besteht und digitale Daten speichert, die zur Einstellung der Offsetspan nung in dem Signalverarbeitungsabschnitt 3 und zur Einstel lung der Verstärkung in dem Verstärkerabschnitt 4 verwendet werden, einen Majoritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 6 und einen Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt 7, der Änderun gen in den in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Da ten erfaßt.

Der Sensorabschnitt 2 ist mit dem Signalverarbeitungsab schnitt 3 verbunden. Der Signalverarbeitungsabschnitt 3 ist mit dem Verstärkerabschnitt 4 verbunden. Der Ausgang bzw. das Ausgangssignal des Verstärkerabschnitts 4 bildet einen Aus gang bzw. ein Ausgangssignal des Sensors für physikalische Parameter 1 und wird einer Steuerschaltung 8 zugeführt, die aus einem Mikrocomputer besteht.

Der Datenspeicherabschnitt 5 ist durch den Majoritätsent scheidungs-Schaltungsabschnitt 6 mit dem Signalverarbeitungs abschnitt 3 und dem Verstärkerabschnitt 4 verbunden. Außerdem ist der Datenspeicherabschnitt 5 mit dem Selbstdiagnose- Schaltungsabschnitt 7 verbunden. Das Ausgangssignal des Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitts 7 ist ein Ausgangssignal des Sensors für physikalische Parameter 1 und wird der Steu erschaltung 8 zugeführt. Die Steuerschaltung 8 führt auf der Grundlage der durch den Sensor für physikalische Parameter 1 ausgegebenen Signale eine vorbestimmte Verarbeitung durch.

Digitale Daten, die aus Daten zum Einstellen der Offsetspan nung und Daten zum Einstellen der Verstärkung bestehen, sind in Form einer Vielzahl von Datenworten in dem Datenspeicher abschnitt 5 gespeichert. Die digitalen Datenworte sind iden tisch. Der Majoritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 6 führt eine Majoritätsentscheidung für jeden Satz entsprechen der Bit in den digitalen Datenworten durch. Das durch die Ma joritätsentscheidung generierte digitale Datenwort wird an den Signalverarbeitungsabschnitt 3 und den Verstärkerab schnitt 4 ausgegeben. Der Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt 7 beurteilt, ob die in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespei cherten digitalen Datenworte identisch sind oder nicht und gibt die Ergebnisse der Beurteilung an die Steuerschaltung 8 aus.

Nachstehend wird auf Fig. 2 Bezug genommen, die ein Block schaltbild des Verstärkerabschnitts 4 darstellt. Der Signal verarbeitungsabschnitt 3 weist eine Offsetspannungs-Einstell schaltung 11 auf, die die Offsetspannung in dem Signalverar beitungsabschnitt 3 einstellt. Der Verstärkerabschnitt 4 um faßt eine Verstärkungseinstellschaltung 12, die die Verstär kung einstellt, eine Verstärkerschaltung 13, die aus einem Operationsverstärker besteht, eine Referenzspannungs-Erzeu gungsschaltung 14 und einen Widerstand 15. Die Verstärkungs einstellschaltung 12 und die Offsetspannungs-Einstellschal tung 11 sind mit einem Eingang A der Verstärkerschaltung 13 verbunden. Der Widerstand 15 ist zwischen dem Anschluß A der Verstärkerschaltung 13 und dem Ausgang verschaltet.

Die Verstärkungseinstellschaltung 12 und die Referenzspan nungs-Erzeugungsschaltung 14 sind mit dem anderen Eingang B der Verstärkerschaltung 13 verbunden. Die Verstärkungsein stellschaltung 12 ist außerdem mit dem Signalverarbeitungsab schnitt 3 verbunden. Die Referenzspannungs-Erzeugungsschal tung 14 ist eine Schaltung, die eine Referenzspannung VR er zeugt. Die Offsetspannungs-Einstellschaltung 11 und die Ver stärkungseinstellschaltung 12 sind mit dem Majoritätsent scheidungs-Schaltungsabschnitt 6 verbunden.

Fig. 3 veranschaulicht die Schaltungsanordnung der Offset spannungs-Einstellschaltung 11. In Fig. 3 werden Daten, die in dem Datenspeicherabschnitt 5 zur Einstellung der Offset spannung gespeichert sind, durch ein aus BIT1 bis BITm beste hendes Datenwort repräsentiert (m ist eine natürliche Zahl bzw. eine Ganzzahl).

Bezugnehmend auf Fig. 3 besteht die Offsetspannungs-Einstell schaltung 11 aus einem Digital-Analog-Umsetzer in R/2R-Lei terbauart, der aus m-1 Widerständen R, m+1 Widerständen 2R und m Halbleiterschaltern SW aufgebaut ist. Die einzelnen Halbleiterschalter SW verwenden die BIT1 bis BITm des zur Einstellung der Offsetspannung dienenden und durch den Majo ritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 6 ausgegebenen Da tums. Die einzelnen Halbleiterschalter SW verbinden dann die einzelnen Widerstände 2R mit der Quellenspannung Vcc oder der Masse. Auf diese Art und Weise schaltet die Offsetspannungs- Einstellschaltung 11 jeden Schalter so, daß der mit dem Schalter verbundene Widerstand in Abhängigkeit von dem ent sprechenden, über den Majoritätsentscheidungs-Schaltungsab schnitt 6 zugeführten Datenbit auf die Quellenspannung Vcc oder auf die Masse gelegt wird. Auf diese Art und Weise stellt die Offsetspannungs-Einstellschaltung 11 die Offset spannung durch Variieren der an den Eingang A der Verstärker schaltung 13 gemäß Fig. 2 angelegten Spannung ein.

Fig. 4 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung der Verstär kungseinstellschaltung 12. In Fig. 4 werden Daten für die Einstellung der Verstärkung durch ein aus BITm+1 bis BITm+n bestehendes Datenwort repräsentiert (n ist eine natürliche Zahl bzw. eine Ganzzahl). Bezugnehmend auf Fig. 4 besteht die Verstärkungseinstellschaltung 12 aus einem Digital-Analog- Umsetzer in R/2R-Leiterbauart, der aus n-2 Widerständen R, n Widerständen 2R und n Halbleiterschaltern SW aufgebaut ist.

Die einzelnen Halbleiterschalter SW verwenden BITm+1 bis BITm+n des zur Einstellung der Verstärkung verwendeten und durch den Majoritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 6 aus gegebenen Datums. Die einzelnen Halbleiterschalter SW legen dann die einzelnen Widerstände 2R auf den Eingang A oder auf den Eingang B der Verstärkerschaltung 13. Auf diese Art und Weise schaltet die Verstärkungseinstellschaltung 12 jeden Schalter so, daß der mit dem Schalter verbundene Widerstand in Abhängigkeit von dem entsprechenden, über den Majori tätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 6 zugeführten Datenbit auf den Eingang A oder auf den Eingang B der Verstärkerschal tung 13 gemäß Fig. 2 gelegt wird. Auf diese Art und Weise stellt die Verstärkungseinstellschaltung 12 die Verstärkung durch Variieren des in dem Widerstand 15 der Verstärkerschal tung 13 gemäß Fig. 2 fließenden Stroms ein.

Als nächstes veranschaulicht Fig. 5 die Schaltungsanordnung des Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitts 7. Gemäß Fig. 5 wer den die in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten (m+n)-Bit-Datenworte durch 6 Bit-Worte repräsentiert, und speichert der Datenspeicherabschnitt 5 die identischen ersten bis drit ten 6 Bit-Worte. Darüber hinaus werden die Bit jedes in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Datenworts mit BIT1 bis BIT6 bezeichnet.

Bezugnehmend auf Fig. 5 besteht der Selbstdiagnose-Schal tungsabschnitt 7 aus ersten bis sechsten Beurteilungsschal tungen 31 bis 36, die bitweise beurteilen, ob die entspre chenden Bit BIT1 bis BIT6 der ersten bis dritten Datenworte identisch sind oder nicht, und einer Fehlersignal-Ausgabe schaltung 37, die erfaßt, ob eine Änderung in den in dem Da tenspeicherabschnitt 5 gespeicherten ersten bis dritten Da tenworten aufgetreten ist oder nicht, und ein vorbestimmtes Fehlersignal an die Steuerschaltung 8 ausgibt, falls sie eine Änderung erfaßt. Hierbei bilden die ersten bis sechsten Beur teilungsschaltungen 31 bis 36 den Beurteilungs-Schaltungsab schnitt, und bildet die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 den Fehlersignal-Ausgabeabschnitt.

Die erste Beurteilungsschaltung 31 beurteilt, ob die BIT1 der ersten bis dritten Datenworte identisch sind oder nicht; die zweite Beurteilungsschaltung 32 beurteilt, ob die BIT2 der ersten bis dritten Datenworte identisch sind oder nicht; die dritte Beurteilungsschaltung 33 beurteilt, ob die BIT3 der ersten bis dritten Datenworte identisch sind oder nicht; die vierte Beurteilungsschaltung 34 beurteilt, ob die BIT4 der ersten bis dritten Datenworte identisch sind oder nicht; die fünfte Beurteilungsschaltung 35 beurteilt, ob die BIT5 der ersten bis dritten Datenworte identisch sind oder nicht; und die sechste Beurteilungsschaltung 36 beurteilt, ob die BIT6 der ersten bis dritten Datenworte identisch sind oder nicht.

Jeder Eingang der ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 ist mit dem Datenspeicherabschnitt 5 verbunden, und jeder Ausgang der ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 ist mit der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 ver bunden. Die BIT1 der ersten bis dritten Datenworte werden in die erste Beurteilungsschaltung 31 geleitet; die BIT2 der er sten bis dritten Datenworte werden in die zweite Beurtei lungsschaltung 32 geleitet; die BIT3 der ersten bis dritten Datenworte werden in die dritte Beurteilungsschaltung 33 ge leitet; die BIT4 der ersten bis dritten Datenworte werden in die vierte Beurteilungsschaltung 34 geleitet; die BIT5 der ersten bis dritten Datenworte werden in die fünfte Beurtei lungsschaltung 35 geleitet; und die BIT6 der ersten bis drit ten Datenworte werden in die sechste Beurteilungsschaltung 36 geleitet.

Hierbei sind die ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 mit Ausnahme ihrer unterschiedlichen Eingänge iden tische Schaltungen. Daher wird nachstehend stellvertretend für dieselben die erste Beurteilungsschaltung 31 beschrieben.

Die erste Beurteilungsschaltung 31 besteht aus einer NICHT- UND-Schaltung 41 mit zwei Eingängen, NICHT-UND-Schaltungen 42, 43 mit jeweils drei Eingängen und Inverterschaltungen 44, 45, 46. Die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 wird durch eine NICHT-UND-Schaltung 47 mit 6 Eingängen gebildet. Die Eingänge der NICHT-UND-Schaltung 42 sind jeweils an die Eingänge der Inverterschaltungen 44 bis 46 geführt. Diese Verbindungen sind die Eingänge der ersten Beurteilungsschaltung 31. Sie sind mit dem Datenspeicherabschnitt 5 verbunden und empfangen das BIT1 der ersten bis dritten Datenworte.

Die Ausgänge der Inverterschaltungen 44 bis 46 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-UND-Schaltung 43 geführt. Die Aus gänge der NICHT-UND-Schaltungen 42, 43 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-UND-Schaltung 41 geführt. Der Ausgang der NICHT-UND-Schaltung 41 ist der Ausgang der ersten Beurtei lungsschaltung 31 und an einen Eingang der NICHT-UND-Schal tung 47 geführt. In dieser Schaltungsanordnung hat sich dann, wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 1 sind, kei nes der in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten BIT1 geändert und ist normal geblieben. In diesem Fall wird der Ausgang der NICHT-UND-Schaltung 41 hochpegelig.

Falls nicht alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder falls nicht alle BIT1 der ersten bis dritten Daten worte 1 sind, dann hat sich wenigstens eines der BIT1 der in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten drei Datenworte geändert, d. h. etwas Abnormales ist geschehen. In diesem Fall wird der Ausgang der NICHT-UND-Schaltung 41 niedrigpegelig. Auf diese Art und Weise wird die erste Beurteilungsschaltung 31 durch eine Exklusiv-NICHT-ODER-Schaltung mit 3 Eingängen, nachstehend in Kurzform als Ex.NOR-Schaltung bezeichnet, ge bildet, die aus der NICHT-UND-Schaltung 41 mit 2 Eingängen, den NICHT-UND-Schaltungen 42, 43 mit 3 Eingängen und den In verterschaltungen 44, 45, 46 zusammengesetzt ist. In hierzu vergleichbarer Art und Weise werden auch die zweiten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 32 bis 36 durch Ex.NOR- Schaltungen mit 3 Eingängen gebildet.

Die Ausgänge der NICHT-UND-Schaltungen 41 in den ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-UND-Schaltung 47 geführt, die die Feh lersignal-Ausgabeschaltung 37 bildet. Falls alle Ausgänge der NICHT-UND-Schaltungen 41 der ersten bis sechsten Beurtei lungsschaltungen 31 bis 36 hochpegelig sind, wird der Ausgang der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Ausgang der NICHT-UND-Schaltung 47, niedrigpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß keine Abnormalität in den Daten in dem Datenspeicherabschnitt 5 vorgelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann die vorbestimmte Verarbeitung des durch den Verstärkerabschnitt 4 zugeführten Signals durch.

Falls demgegenüber wenigstens einer der Ausgänge der NICHT- UND-Schaltungen 41 in den ersten bis sechsten Beurteilungs schaltungen 31 bis 36 niedrigpegelig ist, wird der Ausgang der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Ausgang der NICHT-UND-Schaltung 47, hochpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß eine Abnormalität in den in dem Da tenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann eine vorbestimmte Verarbei tung für die Abnormalität durch.

Die Ex.NOR-Schaltungen mit 3 Eingängen, die die ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 bilden, können durch sich von den in Fig. 5 gezeigten logischen Schaltungen unterscheidende Schaltkreise aufgebaut sein. Eine andere Schaltungsanordnung des Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitts 7 ist in Fig. 6 veranschaulicht für den Fall, in dem die ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 aus anderen logischen Schaltungen bestehen. In Fig. 6 sind die ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 mit Ausnahme ihrer unterschiedlichen Eingänge identische Schaltungen. Daher wird stellvertretend für dieselben nachstehend die Beurteilungs schaltung 31 beschrieben.

Bezugnehmend auf Fig. 6 besteht die erste Beurteilungsschal tung 31 aus einer NICHT-ODER-Schaltung 51 mit 3 Eingängen und Exklusiv-ODER-Schaltungen 52 bis 54, nachstehend in Kurzform als Ex.OR-Schaltungen bezeichnet, mit jeweils 2 Eingängen. Die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 besteht aus einer NICHT- UND-Schaltung 47 mit 6 Eingängen. Die Eingänge der NICHT- ODER-Schaltung 51 sind jeweils mit den Ausgängen der Ex.OR- Schaltungen 52 bis 54 verbunden. Ein Eingang der Ex.OR-Schal tung 52 und ein Eingang der Ex.OR-Schaltung 54 sind miteinan der verbunden. Diese Verbindung ist wiederum mit dem Daten speicherabschnitt 5 verbunden und empfängt das BIT1 des er sten Datenworts. Der andere Eingang der Ex.OR-Schaltung 52 und ein Eingang der Ex.OR-Schaltung 53 sind miteinander ver bunden. Diese Verbindung ist wiederum mit dem Datenspeicher abschnitt 5 verbunden und empfängt das BIT1 des zweiten Da tenworts. Der andere Eingang der Ex.OR-Schaltung 53 und der andere Eingang der Ex.OR-Schaltung 54 sind miteinander ver bunden. Diese Verbindung ist wiederum mit dem Datenspeicher abschnitt 5 verbunden und empfängt das BIT1 des dritten Da tenworts. Der Ausgang der NICHT-ODER-Schaltung 51 ist der Ausgang der ersten Beurteilungsschaltung 31 und ist mit einem der Eingänge der NICHT-UND-Schaltung 47 verbunden.

In dieser Schaltungsanordnung hat sich dann, wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 1 sind, ein beliebiges der in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten BIT1 nicht ge ändert und ist normal geblieben. In diesem Ball wird der Aus gang der NICHT-ODER-Schaltung 51 hochpegelig. Falls nicht al le BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder falls nicht alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 1 sind, dann hat sich wenigstens eines der BIT1 der in dem Datenspei cherabschnitt 5 gespeicherten drei Datenworte geändert, d. h. etwas Abnormales ist geschehen. In diesem Fall wird der Aus gang der NICHT-ODER-Schaltung 51 niedrigpegelig.

Die Ausgänge der NICHT-ODER-Schaltungen 51 in den ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-UND-Schaltung 47 geführt, die die Feh lersignal-Ausgabeschaltung 37 bildet. Falls alle Ausgänge der NICHT-ODER-Schaltungen 51 der ersten bis sechsten Beurtei lungsschaltungen 31 bis 36 hochpegelig sind, wird der Ausgang der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Ausgang der NICHT-UND-Schaltung 47, niedrigpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß keine Abnormalität der in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann die vorbestimmte Verar beitung des durch den Verstärkerabschnitt 4 zugeführten Signals durch.

Falls demgegenüber wenigstens einer der Ausgänge der NICHT- ODER-Schaltungen 51 in den ersten bis sechsten Beurteilungs schaltungen 31 bis 36 niedrigpegelig ist, wird der Ausgang der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Ausgang der NICHT-UND-Schaltung 47, hochpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß eine Abnormalität in den in dem Da tenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann eine vorbestimmte Verarbei tung für die Abnormalität durch.

Der Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt 7 gemäß Fig. 5 und 6 gibt ein niedrigpegeliges Signal an die Steuerschaltung 8 aus, falls keine Abnormalität in den in dem Datenspeicherab schnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat, und gibt ein hochpegeliges Signal an die Steuerschaltung 8 aus, falls eine Abnormalität in den in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespei cherten Daten erfaßt wurde. Dies ist jedoch lediglich ein Beispiel. Der Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt 7 kann auch ein hochpegeliges Signal an die Steuerschaltung 8 ausgeben, falls keine Abnormalität in den in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat, und kann ein niedrigpe geliges Signal an die Steuerschaltung 8 ausgeben, falls eine Abnormalität in den in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespei cherten Daten erfaßt wurde.

Fig. 7 veranschaulicht eine Schaltungsanordnung eines auf diese Art und Weise aufgebauten Selbstdiagnose-Schaltungsab schnitts 7. In Fig. 7 sind die ersten bis sechsten Beurtei lungsschaltungen 31 bis 36 mit Ausnahme ihrer unterschiedli chen Eingänge identisch. Daher wird nachstehend stellvertre tend für dieselben die erste Beurteilungsschaltung 31 be schrieben.

Bezugnehmend auf Fig. 7 besteht die erste Beurteilungsschal tung 31 aus einer NICHT-ODER-Schaltung 61 mit zwei Eingängen, NICHT-ODER-Schaltungen 62, 63 mit jeweils drei Eingängen und Inverterschaltungen 64, 65, 66. Die Fehlersignal-Ausgabe schaltung 37 wird durch eine NICHT-ODER-Schaltung 67 mit 6 Eingängen gebildet. Die Eingänge der NICHT-ODER-Schaltung 62 sind jeweils mit den Eingängen der Inverterschaltungen 64 bis 66 verbunden. Diese Verbindungen sind die Eingänge der ersten Beurteilungsschaltung 31. Sie sind mit dem Datenspeicherab schnitt 5 verbunden und empfangen das BIT1 der ersten bis dritten Datenworte.

Die Ausgänge der Inverterschaltungen 64 bis 66 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-ODER-Schaltung 63 geführt. Die Aus gänge der NICHT-ODER-Schaltungen 62, 63 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-ODER-Schaltung 61 geführt. Der Ausgang der NICHT-ODER-Schaltung 61 ist der Ausgang der ersten Beurtei lungsschaltung 31 und an einen Eingang der NICHT-ODER-Schal tung 67 geführt. In dieser Schaltungsanordnung hat sich dann, wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 1 sind, ein beliebiges der in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten BIT1 nicht geändert und ist normal geblieben. In diesem Fall wird der Ausgang der NICHT-ODER-Schaltung 61 niedrigpegelig.

Falls nicht alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder falls nicht alle BIT1 der ersten bis dritten Daten worte 1 sind, dann hat sich wenigstens eines der BIT1 der in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten drei Datenworte geändert, d. h. etwas Abnormales ist geschehen. In diesem Fall wird der Ausgang der NICHT-ODER-Schaltung 61 hochpegelig. Auf diese Art und Weise wird die erste Beurteilungsschaltung 31 durch eine Exklusiv-ODER-Schaltung mit 3 Eingängen, nachste hend in Kurzform als Ex.OR-Schaltung bezeichnet, gebildet, die aus der NICHT-ODER-Schaltung 61 mit 2 Eingängen, den NICHT-ODER-Schaltungen 62, 63 mit 3 Eingängen und den Inver terschaltungen 64, 65, 66 zusammengesetzt ist. In hierzu ver gleichbarer Art und Weise werden auch die zweiten bis sech sten Beurteilungsschaltungen 32 bis 36 durch Ex.OR-Schaltun gen mit 3 Eingängen gebildet.

Die Ausgänge der NICHT-ODER-Schaltungen 61 in den ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-ODER-Schaltung 67 geführt, die die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 bildet. Falls alle Ausgänge der NICHT-ODER-Schaltungen 61 der ersten bis sechsten Beur teilungsschaltungen 31 bis 36 niedrigpegelig sind, wird der Ausgang der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Aus gang der NICHT-ODER-Schaltung 67, hochpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschal tung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß keine Abnormalität in den in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vor gelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann die vorbestimm te Verarbeitung des durch den Verstärkerabschnitt 4 zugeführ ten Signals durch.

Falls demgegenüber wenigstens einer der Ausgänge der NICHT- ODER-Schaltungen 61 in den ersten bis sechsten Beurteilungs schaltungen 31 bis 36 hochpegelig ist, wird der Ausgang der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Ausgang der NICHT- ODER-Schaltung 67, niedrigpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß eine Abnormalität in den in dem Da tenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann eine vorbestimmte Verarbei tung für die Abnormalität durch.

Die Ex.OR-Schaltungen mit 3 Eingängen, die die ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 bilden, können durch sich von den in Fig. 7 gezeigten logischen Schaltungen unterscheidende Schaltungsanordnungen aufgebaut sein. Eine andere Schaltungsanordnung des Selbstdiagnose-Schaltungsab schnitts 7 ist in Fig. 8 dargestellt für den Fall, in dem die ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 aus an deren logischen Schaltungen zusammengesetzt sind. In Fig. 8 sind die ersten bis sechsten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 mit Ausnahme ihrer unterschiedlichen Eingänge identische Schaltungen. Daher wird stellvertretend für dieselben nach stehend die Beurteilungsschaltung 31 beschrieben.

Bezugnehmend auf Fig. 8 besteht die erste Beurteilungsschal tung 31 aus einer Ex.OR-Schaltung 71 mit 2 Eingängen, einer NICHT-UND-Schaltung 72 mit 3 Eingängen und einer NICHT-ODER- Schaltung 73 mit 3 Eingängen. Die Fehlersignal-Ausgabeschal tung 37 besteht aus einer NICHT-ODER-Schaltung 67 mit 6 Ein gängen.

Die Eingänge der NICHT-UND-Schaltung 72 sind jeweils mit den Eingängen der NICHT-ODER-Schaltung 73 verbunden. Diese Ver bindungen bilden die Eingänge der ersten Beurteilungsschal tung 31. Sie sind mit dem Datenspeicherabschnitt 5 verbunden und empfangen das BIT1 der ersten bis dritten Datenworte. Die Ausgänge der NICHT-UND-Schaltung 72 und der NICHT-ODER-Schal tung 73 sind jeweils an die Eingänge der Ex.OR-Schaltung 71 geführt. Der Ausgang der Ex.OR-Schaltung 71 ist der Ausgang der ersten Beurteilungsschaltung 31 und ist mit einem Eingang der NICHT-ODER-Schaltung 67 verbunden.

In dieser Schaltungsanordnung hat sich dann, wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder wenn alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 1 sind, ein beliebiges der in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicherten BIT1 nicht ge ändert und ist normal geblieben. In diesem Fall wird der Aus gang der Ex.OR-Schaltung 71 niedrigpegelig. Falls nicht alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 0 sind oder falls nicht alle BIT1 der ersten bis dritten Datenworte 1 sind, dann hat sich wenigstens eines der BIT1 der in dem Datenspei cherabschnitt 5 gespeicherten drei Datenworte geändert, d. h. etwas Abnormales ist geschehen. In diesem Fall wird der Aus gang der Ex.OR-Schaltung 71 hochpegelig.

Die Ausgänge der Ex.OR-Schaltungen 71 in den ersten bis sech sten Beurteilungsschaltungen 31 bis 36 sind jeweils an die Eingänge der NICHT-ODER-Schaltung 67 geführt, die die Fehler signal-Ausgabeschaltung 37 bildet. Falls alle Ausgänge der Ex.OR-Schaltungen 71 der ersten bis sechsten Beurteilungs schaltungen 31 bis 36 niedrigpegelig sind, wird der Ausgang der Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Ausgang der NICHT-ODER-Schaltung 67, hochpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß keine Abnormalität der in dem Da tenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann die vorbestimmte Verarbei tung des durch den Verstärkerabschnitt 4 zugeführten Signals durch.

Falls demgegenüber wenigstens einer der Ausgänge der Ex.OR- Schaltungen 71 in den ersten bis sechsten Beurteilungsschal tungen 31 bis 36 hochpegelig ist, wird der Ausgang der Feh lersignal-Ausgabeschaltung 37, d. h. der Ausgang der NICHT- ODER-Schaltung 67, niedrigpegelig. Auf diese Art und Weise zeigt in diesem Fall die Fehlersignal-Ausgabeschaltung 37 der Steuerschaltung 8 an, daß eine Abnormalität in den in dem Da tenspeicherabschnitt 5 gespeicherten Daten vorgelegen hat. Die Steuerschaltung 8 führt dann eine vorbestimmte Verarbei tung für die Abnormalität durch.

Wie vorstehend beschrieben, erfaßt der Sensor für physikali sche Parameter gemäß dem bevorzugten Ausführungsbeispiel, ob eine Vielzahl von in dem Datenspeicherabschnitt 5 gespeicher ten Datenworten identisch sind oder nicht. Falls die ur sprünglich identischen Datenworte aus irgendwelchen Gründen so geändert wurden, daß sie nicht mehr identisch sind, gibt der Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt 7 ein Fehlersignal nach außerhalb des Sensors ab. Demzufolge kann der Sensor für physikalische Parameter mittels einfacher Schaltungen Ände rungen in vorangehend für Einstellungen in dem Datenspeicher abschnitt 5 gespeicherten Daten derart, daß die Änderungen durch den Majoritätsentscheidungs-Schaltungsabschnitt 6 nicht korrigiert werden können, erfassen. Darüber hinaus kann der Sensor für physikalische Parameter die Verwendung eines Aus gangssignals, das durch auf inkorrekten oder falschen Daten beruhende Einstellungen erhalten wurde, verhindern, so daß die Zuverlässigkeit bzw. die Verläßlichkeit von Sensoren für physikalische Parameter verbessert wird.

Somit kann ein Sensor für physikalische Parameter Änderungen in vorangehend für Einstellungen in einem Datenspeicherab schnitt gespeicherten Daten derart, daß die Änderungen durch einen Majoritäts-Entscheidungsabschnitt nicht korrigiert wer den können, erfassen. Der Sensor für physikalische Parameter kann so die Verwendung eines Ausgangssignals, welches durch auf inkorrekten Daten basierende Einstellungen erhalten wird, verhindern. Der Sensor für physikalische Parameter weist hierzu einen Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt auf, der er faßt, ob eine Vielzahl von in dem Datenspeicherabschnitt ge speicherten Datenworten identisch sind oder nicht, und gibt ein Fehlersignal nach außen hin ab, falls die identischen Da tenworte aufgrund irgendwelcher Ursachen so geändert wurden, daß sie nicht identisch sind.

Claims

1. Sensor für physikalische Parameter zur Erfassung phy sikalischer Parameter, gekennzeichnet durch
einen Sensorabschnitt (2), der einen physikalischen Pa rameter in ein elektrisches Signal konvertiert,
einen Signalverarbeitungsabschnitt (3), der eine Signal verarbeitung des durch den Sensorabschnitt konvertierten elektrischen Signals durchführt,
einen Verstärkerabschnitt (4), der das durch den Signal verarbeitungsabschnitt verarbeitete Signal verstärkt,
einen Datenspeicherabschnitt (5), der digitale Daten, die zum Einstellen der durch den Signalverarbeitungsabschnitt durchgeführten Signalverarbeitung und zum Einstellen des Ver stärkerabschnitts verwendet werden, als identische Datenworte speichert,
eine Majoritäts-Entscheidungsschaltung (6), die eine Ma joritätsentscheidung für jeden Satz entsprechender Bit in den in dem Datenspeicherabschritt gespeicherten digitalen Daten worten durchführt und das durch die Majoritätsentscheidung erzeugte digitale Datenwort an den Signalverarbeitungsab schnitt und den Verstärkerabschnitt ausgibt, und
einen Selbstdiagnose-Schaltungsabschnitt (7), der er faßt, ob die in dem Datenspeicherabschnitt gespeicherten Da tenworte identisch sind oder nicht, und ein Fehlersignal nach außerhalb des Sensors für physikalische Daten ausgibt, falls sie nicht identisch sind.

2. Sensor für physikalische Parameter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Selbstdiagnose-Schaltungsab schnitt (7)
einen Beurteilungs-Schaltungsabschnitt (31 bis 36), der bitweise beurteilt, ob die in dem Datenspeicherabschnitt (5) gespeicherten Datenworte identisch sind oder nicht, und die Ergebnisse der Beurteilung ausgibt, und
eine Fehlersignal-Ausgabeschaltung (37), die ein vorbe stimmtes Fehlersignal erzeugt und ausgibt, falls die durch den Beurteilungs-Schaltungsabschnitt ausgegebenen Ergebnisse der Beurteilung anzeigen, daß die Datenworte nicht identisch sind, umfaßt.

3. Sensor für physikalische Parameter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Beurteilungs-Schaltungsab schnitt (31 bis 36) Eingänge aufweist, die der Anzahl von in dem Datenspeicherabschnitt (5) gespeicherten Datenworten ent spricht, und aus Exclusiv-NICHT-ODER-Schaltungen besteht, die der Anzahl der Bit in jedem in dem Datenspeicherabschnitt ge speicherten Datenwort entsprechen, und daß die Fehlersignal- Ausgabeschaltung (37) aus einer NICHT-UND-Schaltung besteht, die Eingänge aufweist, welche den Exclusiv-NICHT-ODER-Schal tungen entsprechen.

4. Sensor für physikalische Parameter nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Beurteilungs-Schaltungsab schnitt (31 bis 36) Eingänge aufweist, die der Anzahl von in dem Datenspeicherabschnitt (5) gespeicherten Datenworten ent spricht, und Exclusiv-ODER-Schaltungen umfaßt, die der Anzahl von Bit in jedem in dem Datenspeicherabschnitt gespeicherten Datenwort entsprechen, und daß die Fehlersignal-Ausgabeschal tung (37) aus einer NICHT-ODER-Schaltung besteht, die Eingän ge aufweist, welche den Exclusiv-ODER-Schaltungen entspre chen.