DE19804236A1 - Schleifspindel - Google Patents
SchleifspindelInfo
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
- B24B41/04—Headstocks; Working-spindles; Features relating thereto
Description
Die Erfindung betrifft eine Schleifspindel mit ei
nem Spindelgehäuse und zwei koaxialen, von einem
Antriebsmotor angetriebenen Wellen, an denen je
weils eine von zwei konzentrischen Schleifscheiben
befestigt ist, und die durch eine Hub- bzw. Senkbe
wegung relativ zueinander in axialer Richtung ver
schiebbar sind, so daß wahlweise die eine oder die
andere Schleifscheibe in Eingriff gebracht werden
kann.
Bei der Oberflächenbearbeitung ebener Werkstücke,
die beispielsweise aus Holz, Metall, Stein, Keramik
oder auch Halbleitermaterial bestehen können und
bei denen hohe Anforderungen an die Oberflächenqua
lität gestellt werden, kann die Technik des Schlei
fens, insbesondere des Flachschleifens, vorteilhaft
eingesetzt werden. Dazu wird ein rotierendes, viel
schneidiges Schneidwerkzeug, zum Beispiel eine auf
einer rotierenden Schleifspindel montierte Schleif
scheibe, auf die ein Schleifbelag aus gebundenem
Korn aufgebracht ist, beispielsweise eine Topf
schleifscheibe mit ringförmiger Schleiffläche ver
wendet. Ein axialer Vorschub des rotierenden
Schleifwerkzeuges, i.a. der gesamten Schleifspin
del, bringt die Körner des Schleifbelages in Ein
griff mit der Werkstücksoberfläche, wodurch es zu
einem Materialabtrag kommt. Auch der Einsatz einer
vollgesinterten Schleifscheibe ist möglich. Ein zu
sätzlicher linearer oder kreisförmiger Vorschub des
Werkstückes stellt dabei die gleichmäßige Bearbei
tung der gesamten Werkstücksoberfläche sicher.
Zur Erzielung einer hohen Oberflächenqualität des
Werkstückes ist im allgemeinen Fall ein mehrstufi
ger, oftmals zweistufiger Bearbeitungsprozeß ange
bracht, bei dem zunächst eine grobkörnige Schleif
scheibe mit hoher Zerspanungsleistung (Grob- bzw.
Schruppschleifscheibe) den größten Teil des Materi
alabtrages ausführt und die so gewonnene noch rela
tiv grobe Oberfläche in einem anschließenden weite
ren Arbeitsgang mit einer feinkörnigen Schleif
scheibe (Fein- bzw. Schlichtschleifscheibe) nachbe
arbeitet wird, die zwar nur einen geringen Materi
alabtrag bewerkstelligt, aber dafür eine gute Ober
fläche erzeugt. Sollen beide Arbeitsgänge mit der
selben Schleifspindel durchgeführt werden, so ist
es sinnvoll eine Schleifspindel zu verwenden, die
mit zwei Schleifscheiben unterschiedlicher Körnung
ausgestattet ist, die wahlweise zum Eingriff mit
der Werkstücksoberfläche gebracht werden können.
Auf diese Weise lassen sich die sonst mit einem
Wechseln des Schleifwerkzeuges einhergehenden Nach
teile, wie der erforderliche Umrüstzeitaufwand und
die aufgrund von nicht auszuschließenden Montageun
genauigkeiten notwendige neue Profilierung der
Schleifscheibe, die Zeit kostet und zu einem hohen
Verbrauch an Schleifmaterial führt, vermeiden. Vom
Stand der Technik her ist beispielsweise eine gat
tungsgemäße Schleifspindel bekannt (DE-PS 8 46 663),
bei der zwei konzentrische Topfschleifscheiben auf
zwei koaxial in einer einzigen Spindel angeordneten
Wellen gelagert sind, wobei die äußere Welle von
einem Motor gedreht, die innere Welle über eine
Mitnahmevorrichtung mitbewegt wird. Dabei ist die
innere Topfschleifscheibe in der Schleifspindel
axial verschiebbar angeordnet, so daß wahlweise die
innere oder aber die äußere Topfschleifscheibe in
Eingriff gebracht werden kann, ohne daß zusätzli
cher Aufwand zum Umrüsten oder profilieren notwen
dig wird. Bei einer weiteren Schleifspindel gemäß
der Eingangs erwähnten Gattung (DE-PS 42 08 615)
werden zwei Topfschleifscheiben verwendet, deren
schleifbeläge aus unterbrochenen Kreisringsegmenten
gleichen Durchmessers bestehen, die so ineinander
eingreifen, daß sie sich im wesentlichen zu einem
Kreisring ergänzen und wahlweise zum Eingriff mit
der Werkstückoberfläche gebracht werden können. Bei
dieser Anordnung arbeiten beide Schleifscheiben auf
identischem Wirkradius, was insbesondere bei der
Technik des Rotationsschleifens von Vorteil ist,
bei der die Vorschubbewegung des Werkstückes aus
einer Rotation um eine zur Schleifspindel im we
sentlichen parallele und durch den Schleifscheiben
belag verlaufende Achse besteht. Daher haben unter
schiedliche Wirkradien beider Schleifscheiben die
nachteilige Folge, daß für eine Grob- und Feinbear
beitung identischer Teile der Werkstückoberfläche
eine Neupositionierung des Werkstückes zwischen den
beiden Arbeitsgängen notwendig wäre.
Bei Präzisionsarbeiten, wie beispielsweise dem
Schleifen und Polieren von Siliziumwafern, deren
Bruchfestigkeit durch ihre Oberflächenqualität be
stimmt wird, ist eine hinreichende Steifigkeit der
verwendeten Spindel in radialer Richtung von ent
scheidender Bedeutung, da bei mangelnder Steifig
keit axiale Belastungen der Spindel radiale Schwin
gungen auslösen, die die resultierende Oberflächen
qualität des Wafers beeinträchtigen und womöglich
Rillen bilden, die als Sollbruchstelle für den Ein
kristall wirken können. Zur Erhöhung der radialen
Steifigkeit wird beim Stand der Technik der Durch
messer der Spindel vergrößert, was aber nur in be
grenztem Umfang möglich ist. Insbesondere bei Spin
deln mit integrierten Elektromotoren, bei denen der
Stator im Spindelgehäuse montiert und der mitbe
wegte Rotor außenseitig auf die Außenwelle aufge
bracht ist, wird der Durchmesser von Innen- und Au
ßenwelle durch den im Inneren des Elektromotors zur
Verfügung stehenden Raum limitiert. Gerade bei
kleinen Schleifspindeln läßt sich daher die für
Präzisionsarbeiten erforderliche radiale Steifig
keit nicht erreichen.
Vor diesem Hintergrund hat sich die vorliegende Er
findung die Aufgabe gestellt, eine Schleifspindel
zu schaffen, die zwei unterschiedliche Schleif
scheiben wahlweise mit dem Werkstück in Eingriff
bringen kann und die auch bei kompaktem Aufbau eine
ausreichende radiale Steifigkeit besitzt, um alle
bei Präzisionsarbeiten, wie beispielsweise dem
Schleifen von Siliziumwafern bestehenden Anforde
rungen zu erfüllen.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst,
daß die innere Welle als Hauptwelle mit dem An
triebsmotor verbunden ist, die Außenwelle durch
eine Mitnahmevorrichtung an die Hauptwelle gekop
pelt ist, eine Buchse koaxial auf das Spindelge
häuse aufgesattelt ist, die Außenwelle an der
Buchse mittels eines Drehlagers drehbar gelagert
ist, die Buchse mit einem Stellglied versehen ist,
das die Hub- bzw. Senkbewegung ausführt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Idee zugrunde,
die innere Welle als Hauptwelle mit dem Antriebsmo
tor zu verbinden und die Außenwelle, die durch eine
geeignete Mitnahmevorrichtung, beispielsweise einen
Mitnahmestift, an die Hauptwelle gekoppelt ist, so
daß sie sich mit der Hauptwelle mitdreht, an der
Außenseite des Spindelgehäuses zu befestigen. Dazu
wird eine Buchse koaxial auf das Spindelgehäuse
aufgesattelt, an der die Außenwelle mittels eines
Drehlagers drehbar befestigt wird. Für den wahlwei
sen Eingriff der an Innen- und Außenwelle montier
ten Schleifscheiben mit dem Werkstück wird die
Buchse mit einem Stellglied versehen, das die er
forderliche axiale Hub- bzw. Senkbewegung ausführt.
Dabei läßt sich die Schleifscheibe der Außenwelle
vermittels einer Senkbewegung unter das Niveau der
Schleifscheibe der innen gelegenen Hauptwelle und
damit in Eingriff mit der Werkstückoberfläche brin
gen, während die in entgegengesetzter Richtung ver
laufende Hubbewegung der Außenwelle die Schleif
scheibe der Hauptwelle wieder unter ihrem Gegen
stück hervortreten läßt, so daß sie in Eingriff mit
der Werkstückoberfläche gebracht werden kann. Der
Vorzug dieses Aufbaus einer Schleifspindel liegt
insbesondere in der starken Vergrößerung des Durch
messers der Außenwelle und der dadurch bedingten
wesentlich höheren radialen Steifigkeit. Gleichzei
tig wird im Inneren der Schleifspindel Platz für
eine Durchmesservergrößerung der inneren Welle ge
wonnen, wodurch diese ebenfalls an radialer Stei
figkeit gewinnt. Insgesamt ergibt sich also eine
Schleifspindel, die die sukzessive Bearbeitung der
Werkstückoberfläche mit zwei verschiedenen Schleif
scheiben, beispielsweise eine Grob- und einer Fein
schleifscheibe, ermöglicht und die gleichzeitig
auch bei kompaktem Aufbau aufgrund der großen
Durchmesser der die Schleifscheiben tragenden Wel
len gegen radiale Schwingungen stabil ist und sich
somit insbesondere für Präzisionsarbeiten vorteil
haft einsetzen läßt.
Der Antrieb der erfindungsgemäßen Schleifspindel
kann beispielsweise über eine koaxial an der Haupt
welle befestigte Riemenscheibe erfolgen, die der
Antriebsmotor über einen geeigneten Riemen an
treibt.
In bevorzugter Ausbildung der Erfindung wird zum
Antrieb der Schleifspindel aber ein in das Spindel
gehäuse integrierter Elektromotor verwendet, der
die Hauptwelle durchgreift. Dabei kann beispiels
weise der sich drehende Rotor des Elektroinotors auf
die Innenwelle außenseitig aufgebracht und der
feststehende Stator in das Spindelgehäuse eingebaut
werden. Auf diese Weise erhält man eine sehr kom
pakte Schleifspindel, die für ihren Drehantrieb
ohne äußere Antriebsteile auskommt. Auch hydrau
lisch oder mit Druckluft betriebene Motoren kommen
für den Antrieb der Schleifspindel in Frage.
Als Stellglied für die axiale Hub- und Senkbewegung
der Außenwelle wird vorzugsweise ein pneumatisch
betriebener Zylinder in Verbindung mit einer Rück
stellfeder eingesetzt. Es kommen aber beispiels
weise auch hydrostatische, elektromagnetische,
elektromotorische oder mechanische Stellglieder in
Frage.
Zur Bearbeitung eines Werkstückes muß die Schleif
spindel so weit abgesenkt oder das Werkstück ange
hoben werden, bis die Schleifscheibe mit der Werk
stückoberfläche in Eingriff steht. Dabei tritt das
Problem auf, daß der Abstand zwischen Schleif
scheibe und Werkstückoberfläche in vielen Fällen
nicht mit hinreichender Genauigkeit bekannt ist.
Daher wird die Schleifscheibe in einer Fortbildung
der Erfindung mit einem Sensor ausgestattet, der
die Berührung der Schleifscheibe mit dem Werkstück
beispielsweise über dabei entstehende Vibrationen
oder Verschiebungen der Welle registriert und ein
Signal abgibt, das die Bewegung der Schleifspindel
stoppt und den vorgegebenen Schleifzyklus startet.
Bestehen besonders hohe Anforderungen an die Ober
flächenqualität des Werkstückes, wie dies bei
spielsweise bei Siliziumwafern für den Einsatz in
Chipkarten der Fall sein kann, so ist eine zweistu
fige Oberflächenbearbeitung mit einer gröberen und
einer feineren Schleifscheibe oftmals unzureichend,
so daß zumindest noch ein weiterer Bearbeitungs
schritt mit einer extrafeinen Schleifscheibe oder
einem Poliertuch erforderlich ist. Um auch in einem
solchen Fall mit einer einzigen Schleifspindel ohne
zeitraubenden und kostspieligen Werkzeugwechsel
auskommen zu können, wird in einer Fortbildung der
Erfindung vorgeschlagen, die Schleifspindel mit ei
ner weiteren koaxial innerhalb der Hauptwelle ange
ordneten Innenwelle auszustatten, die mit einer
weiteren Schleifscheibe oder einem Poliertuch als
Werkzeug ausgestattet werden kann und sich eben
falls zum Eingriff mit der Werkstückoberfläche
bringen läßt. Diese Innenwelle weist aufgrund ihres
vergleichsweise niedrigen Durchmessers eine gerin
gere radiale Steifigkeit auf und eignet sich somit
besonders für Poliervorgänge, bei denen keine hohe
Steifigkeit erforderlich ist. Diese besondere Aus
führungsform der erfindungsgemäßen Schleifspindel
läßt sich somit vorteilhaft dazu einsetzen, eine
Werkstückoberfläche in einer einzelnen Maschine
zunächst vorzuschleifen, dann fertig zu schleifen
und schließlich noch zu polieren.
Bei Bedarf können bei der erfindungsgemäßen
Schleifspindel natürlich auch mehrere Buchsen ko
axial auf das Spindelgehäuse aufgsattelt werden, an
denen jeweils eine mit einer Schleifscheibe verse
hene, zur Hauptwelle koaxiale Welle drehbar gela
gert und mit der Hauptwelle über eine Mitnahmevor
richtung drehfest verbunden ist, wobei auch die zu
sätzlichen Schleifscheiben mittels an den Buchsen
angeordneter Stellglieder für Hub- und Senkbewegun
gen wahlweise einzeln in Eingriff mit der Werk
stückoberfläche gebracht werden können. Auf diese
Weise läßt sich die Anzahl der mit der erfindungs
gemäßen Schleifspindel ausführbaren mechanischen
Bearbeitungs- und Abtragsvorgänge nahezu beliebig
erhöhen und variieren.
In besonders einfacher Ausführungsform der Erfin
dung werden die verwendeten zwei oder auch mehr
Schleifscheiben aus konzentrisch angeordneten Topf
schleifscheiben gebildet, so daß die verwendeten
Schleifbeläge konzentrische Kreisringe bilden. Da
bei kann der Schleifbelag der inneren Schleif
scheibe auch in Form einer Kreisscheibe gebildet
sein, die je nach Ausführungsform der Schleifspin
del vom anderen Schleifbelag als konzentrischer
Kreisring oder den anderen Schleifbelägen als kon
zentrische Kreisringe mit eventuell unterschiedli
chen Wirkradien umgeben ist. Bei ungleichen Wirkra
dien können auch unterschiedliche Nutringdurchmes
ser und Nuttiefen geschliffen werden.
Soll die erfindungsgemäße Schleifspindel für die
Technik des Rotationsschleifens eingesetzt werden,
so sind identische Wirkradien der verwendeten
Schleifscheiben von großem Vorteil. Dazu empfiehlt
die Erfindung, die verwendeten Schleifscheiben als
Topfschleifscheiben mit identischem Wirkradius aus
zubilden, deren Schleifbeläge die Gestalt unterbro
chener Kreisringe besitzen, deren Segmente mitein
ander in Eingriff stehen und sich zu einem Kreis
ring ergänzen. Mit dieser besonderen Ausbildung der
Schleifscheiben läßt sich die erfindungsgemäße
Schleifspindel auch zum Rotationsschleifen vorteil
haft einsetzen. Selbstverständlich sind auch belie
bige Kombinationen aus Schleifscheiben mit gleichen
und unterschiedlichen Wirkradien denkbar.
Während des Schleifvorganges ist normalerweise eine
Kühlung des Werkstückes erforderlich. Hierzu emp
fiehlt die Erfindung, die Außenwelle bzw. die zu
sätzliche Innenwelle der Schleifspindel mit einer
durchgängigen axialen Bohrung zu versehen, durch
die ein geeignetes Kühlmittel dem Bearbeitungspro
zeß zugeführt werden kann.
Besteht die Notwendigkeit, zur Erzielung der gefor
derten Qualität einer Werkstückoberfläche mehr
Schleifscheiben zu verwenden als an einer einzigen
Schleifscheibe zweckmäßigerweise unterzubringen
sind, so empfiehlt die Erfindung, eine Schleifan
lage mit zumindest zwei erfindungsgemäßen Schleif
spindeln auszustatten. Damit lassen sich auch sol
che vielstufigen Bearbeitungsvorgänge ohne die mit
einem Werkzeugwechsel verbundenen Nachteile wie ho
hem Rüstzeitaufwand und der Erfordernis der Neupro
filierung der Schleifscheibe vorteilhaft ausführen,
wobei die hohe radiale Steifigkeit der verwendeten
Schleifspindeln das Erzielen hochpräziser Werk
stückoberflächen ermöglicht.
Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile der Er
findung sind dem nachfolgenden Beschreibungsteil zu
entnehmen, in dem anhand einer Zeichnung ein Aus
führungsbeispiel der Erfindung näher erläutert ist.
Sie zeigt einen Vertikalschnitt durch eine erfin
dungsgemäße Schleifspindel in schematischer Dar
stellung.
Die Hauptwelle (1) der erfindungsgemäßen Schleif
spindel ist in diesem Beispiel vermittels zweier
Paare von Rillenkugellagern (2) im Spindelgehäuse
(3) drehbar gelagert. Hier können auch andere Arten
von Wälzlagerungen oder auch hydrodynamische sowie
hydrostatische Lagerungen, Luftlager oder Magnetla
ger Verwendung finden. Der Drehantrieb der erfin
dungsgemäßen Schleifspindel erfolgt über eine hier
nicht dargestellte koaxial an der Hauptwelle befe
stigte Riemenscheibe, die vom Antriebsmotor über
einen entsprechenden Riemen angetrieben wird. Auf
das Spindelgehäuse (3) ist eine Buchse (4) koaxial
aufgesattelt, deren Oberteil (5) fest am Spindelge
häuse befestigt ist, während das zugehörige Unter
teil (6) in begrenztem Umfange axial beweglich ist.
Die Relativbewegung von Unterteil (6) und Spindel
gehäuse (3) wird im Beispiel über die Gleitlager
buchse (7) geführt, wobei diese Führung natürlich
auch auf anderem Wege etwa über eine Kugelbüchse
realisiert werden kann. Die Außenwelle (8) der er
findungsgemäßen Schleifspindel ist in einem aus
zwei Kugellagern gebildeten Drehlager (9) im Unter
teil (6) der Buchse (4) drehbar gelagert und über
eine Mitnahmevorrichtung (10) mit der Hauptwelle
(1) verbunden. An der Unterseite von Hauptwelle (1)
und Außenwelle (8) ist jeweils eine Schleifscheibe
(11, 12) mit mehreren Schrauben angeflanscht, wobei
der Schleifbelag der inneren Schleifscheibe (11)
die Form einer Kreisfläche aufweist, die der
Schleifbelag der äußeren Schleifscheibe (12) als
konzentrischer Kreisring umgibt. In der Abbildung
befindet sich die Außenwelle (8) mit samt ihrer
Schleifscheibe (12) in einer axial zurückgezogenen
Position, so daß die innere Schleifscheibe (11) mit
der Werkstückoberfläche in Eingriff gebracht werden
und diese bearbeiten kann. Um die äußere Schleif
scheibe (12) in Eingriff zu bringen, wird der pneu
matische Zylinder (13) beaufschlagt, der das Unter
teil der Buchse (8) samt Außenwelle und Schleif
scheibe in einer Senkbewegung axial abwärts bewegt,
bis der Schleifbelag der Schleifscheibe (12) über
die Schleifscheibe (11) übersteht. Wird die Kraft
wirkung des Pneumatikzylinders (13) ausgeschaltet,
schiebt die Rückstellfeder (14) Buchsenunterteil
(6), Außenwelle (10) und Schleifscheibe (12) wieder
in ihre Ausgangsposition zurück. Die endgültige
axiale Schleifposition wird jedoch durch die axiale
Lage der gesamten Schleifspindel festgelegt. Zu
diesem Zweck ist das Spindelgehäuse (3) mit einer
hier nicht dargestellten Schlittenkonstruktion ver
bunden, die es erlaubt, die gesamte in der Abbil
dung dargestellte Konstruktion in weiten Grenzen
axial zu verfahren. Diese Bewegung wird auch für
den eigentlichen Vorschub des Schleifprozesses aus
genutzt. Eine axiale durch die Hauptwelle (1) ver
laufende, durchgängige Bohrung (15) ermöglicht es,
der Werkstücksoberfläche und der Schleifscheibe
(11, 12) während des Schleifvorganges ein geeigne
tes flüssiges Kühlmittel zuzuführen.
Im Ergebnis erhält man eine Schleifspindel, mit
zwei wahlweise in Eingriff bringbaren Schleifschei
ben, die eine hohe radiale Steifheit aufweist und
daher auch für Präzisionsarbeiten gut geeignet ist.
Claims (15)
1. Schleifspindel mit einem Spindelgehäuse und zwei
koaxialen, von einem Antriebsmotor angetriebenen
Wellen, an denen jeweils eine von zwei konzentri
schen Schleifscheiben befestigt ist, und die durch
eine Hub- bzw. Senkbewegung relativ zueinander in
axialer Richtung verschiebbar sind, so daß wahl
weise die eine oder die andere Schleifscheibe in
Eingriff gebracht werden kann,
dadurch gekennzeichnet, daß
- - die innere Welle als Hauptwelle (1) mit dem An triebsmotor verbunden ist,
- - die Außenwelle (8) durch eine Mitnahmevorrichtung (10) an die Hauptwelle (1) gekoppelt ist,
- - eine Buchse (4) koaxial auf das Spindelgehäuse (3) aufgesattelt ist,
- - die Außenwelle (8) an der Buchse (4) mittels ei nes Drehlagers (9) drehbar gelagert ist,
- - die Buchse (4) mit einem Stellglied (13) versehen ist,
- - das die Hub- bzw. Senkbewegung ausführt.
2. Schleifspindel nach Anspruch 1, gekennzeichnet
durch eine koaxial an der Hauptwelle (1) befestigte
Riemenscheibe, über die der Antriebsmotor die
Hauptwelle (1) antreibt.
3. Schleifspindel nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet, daß der Antriebsmotor ein Elektromotor
oder ein Hydraulikmotor oder ein Druckluftmotor
ist, den die Hauptwelle (1) durchgreift.
4. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mitnahmevorrichtung
(10) ein Mitnahmestift ist, der Hauptwelle (1) und
Außenwelle (a) drehfest miteinander verbindet.
5. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
gekennzeichnet durch ein pneumatisches oder hydro
statisches oder elektromagnetisches oder elektromo
torisches oder mechanisches Stellglied (13).
6. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
gekennzeichnet durch einen Sensor, der die Berüh
rung der Schleifscheibe mit dem Werkstück erfaßt.
7. Schleifspindel nach Anspruch 6, gekennzeichnet
durch einen Sensor, der Vibrationen oder Längenän
derungen oder Verschiebungen erfaßt.
8. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
gekennzeichnet durch zumindest eine zusätzliche,
koaxial innerhalb der Hauptwelle (1) angeordnete
Innenwelle, mit der eine weitere Schleifscheibe,
insbesondere ein Poliertuch, zum Eingriff gebracht
werden kann.
9. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine weitere
Buchse koaxial auf das Spindelgehäuse (3) aufgesat
telt ist, an der Buchse eine zur Hauptwelle (1) ko
axiale Welle drehbar gelagert und durch eine Mit
nahmevorrichtung an die Hauptwelle (1) gekoppelt
ist, an der Welle eine Schleifscheibe befestigt ist
und die Buchse mit einem Stellglied für eine Hub-
bzw. Senkbewegung versehen ist, mit der die
Schleifscheibe in Eingriff gebracht werden kann.
10. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis
9, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifbeläge
der Schleifscheiben konzentrische Kreisringe bil
den.
11. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis
10, dadurch gekennzeichnet, daß der Schleifbelag
der inneren Schleifscheibe die Form einer Kreis
scheibe besitzt, die der andere bzw. die anderen
Schleifbeläge als konzentrischer Kreisring oder
konzentrische Kreisringe umgeben.
12. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis
11, dadurch gekennzeichnet, daß die Schleifbeläge
der an Haupt- (1) und Außenwelle (8) befestigten
Schleifscheiben (11, 12) die Gestalt unterbrochener
Kreisringe besitzen, deren Segmente miteinander in
Eingriff stehen und sich zu einem Kreisring ergän
zen.
13. Schleifspindel nach Anspruch 9, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Schleifbeläge sämtlicher Schleif
scheiben die Gestalt unterbrochener Kreisringe be
sitzen, deren Segmente miteinander in Eingriff ste
hen und sich zu einem Kreisring ergänzen.
14. Schleifspindel nach einem der Ansprüche 1 bis
13, gekennzeichnet durch eine durchgängige axiale
Bohrung (15) in der Hauptwelle (1) oder der Innen
welle.
15. Schleifanlage gekennzeichnet durch eine oder
mehrere Schleifspindeln nach einem der Ansprüche 1
bis 14.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19804236A DE19804236A1 (de) | 1998-01-28 | 1998-02-04 | Schleifspindel |
US09/601,580 US6336849B1 (en) | 1998-02-04 | 1998-02-27 | Grinding spindle |
PCT/DE1998/000592 WO1999039873A1 (de) | 1998-02-04 | 1998-02-27 | Schleifspindel |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19803087 | 1998-01-28 | ||
DE19804236A DE19804236A1 (de) | 1998-01-28 | 1998-02-04 | Schleifspindel |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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DE19804236A1 true DE19804236A1 (de) | 1999-07-29 |
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ID=7855818
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19804236A Withdrawn DE19804236A1 (de) | 1998-01-28 | 1998-02-04 | Schleifspindel |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19804236A1 (de) |
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1998
- 1998-02-04 DE DE19804236A patent/DE19804236A1/de not_active Withdrawn
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Legal Events
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8141 | Disposal/no request for examination |