DE19803357A1 - Vorrichtung zur Endfilterbelüftung mit 2 facher Vorfilterung des Volumenstromes - Google Patents

Description

Belüftet werden vorzugsweise Reinraumanlagen, welche zur Pro­ duktion hochreiner Stoffe bzw. Geräte fliesende Prozeßluft mit sehr hohem Reinheitsgrad benötigen und dafür nur räumlich begrenzte Einbaumöglichkeiten zur Verfügung haben.

Bekannt sind Belüftungsvorrichtungen für Endfilter bei denen Lüftermotoren die Zuluft über außerhalb der Vorrichtung be­ findliche Vorfilter ansaugen und danach die Endfilter direkt belüften. Der Platzbedarf sowie der Energieaufwand für außer­ halb der Vorrichtung befindliche Vorfilterelemente welche einen hohen Reinheitsgrad der Prozeßluft sicherstellen, ist erheblich und erfordert dadurch entsprechend hohe Kosten. Nachteilig ist ferner, daß der Zugang zu diesen Geräten für Servicearbeiten erheblichen Zeitaufwand erfordert, was meist zu längerem Betriebsstillstand führt.

Die Problematik der bekannten Belüftungsvorrichtungen wird mit der erfindungsgemäßen Vorrichtung in Verbindung mit meiner Patentanmeldung Aktenzeichen 197 07 598.3 gelöst. Mit Einbau der zur Erzeugung hochreiner Prozeßluft erforderlichen Filter­ ausstattung samt Lüftermotor innerhalb der erfindungsgemäßen Belüftungsvorrichtung wird eine erhebliche Platzreduzierung, verbunden mit deutlicher Energieeinsparung bewirkt. Ferner wird der Zugang zu den Geräten innerhalb der Belüftungsvor­ richtung aus der Reinluftseite sichergestellt und damit Servicearbeiten wesentlich erleichtert.

Die Erfindung wird nachstehend, anhand der Zeichnungen an Ausfüh­ rungsbeispielen noch näher erläutert.

In der Zeichnung zeigt:

Fig. 1 die Belüftungsvorrichtung im vertikalen Schnitt entlang der Schnittlinie II-II in Fig. 2,

Fig. 2 die Belüftungsvorrichtung im horizontalen Schnitt entlang der Schnittlinie I-I in Fig. 1,

Fig. 3 die Belüftungseinrichtung im horizontalen Schnitt entlang der Schnittlinie III-III in Fig. 1.

Im Zusammenhang mit der Fig. 1 wird die federbelastete Anpressvor­ richtung des Dichtrahmens des Endfilters (4) an die ebenen Joch­ platten entsprechend der Patentanmeldung Aktenzeichen 197 97 598.3 dargestellt.

Das Gehäuse hat die Gestalt eines Quaders und besitzt 4 Wand,- und 1 Deckenteil aus schalldämmendem Material (7), sie sind übereck luft­ dicht zusammengefügt. Die Zuluft zur Luftaufbereitung wird in der mitte des Deckenteils vierseitig über die Filterstufe eins (2) vom Lüftermotor (1) angesaugt. Der Lüftermotor ist in der Vorrichtung mittig angeordnet, wobei das Lüfterrad den Volumenstrom allseitig, horizontal in die nachfolgende Filterstufe zwei (3) fördert, dessen Oberfläche damit vollflächig beaufschlagt wird. Die Oberfläche der Filterstufe zwei ist sternförmig angeordnet und erhält damit eine vergrößerte Anströmoberfläche, welche eine deutliche Minderung der der Druckdifferenz bewirkt und mit ihr eine entsprechende Senkung des Energieaufwandes. Vorteilhaft ist ferner, daß der Volumenstrom aus der Filterstufe zwei umlaufend mit gleicher Strömungsgeschwindig­ keit in die nachfolgende Endfilterstufe (4) gefördert wird. Der vier­ seitige Zufluß des Volumenstromes auf die Anströmfläche des End­ filters gewährleistet die höchstmögliche Nutzung des Wirkungsgrades der Filtermedien.

Der Zugang zu den Filterstufen eins (2) und zwei (3) sowie zum Lüftermotor (1) innerhalb der erfindungsgemäßen Vorrichtung erfolgt aus der Reinluftseite (6) nach Herausnahme der Endfilter­ stufe (4) aus der federbelasteten Anpreßvorrichtung der Dicht­ rahmen an den ebenen Jochplatten, siehe Patentanmeldung Akten­ zeichen 197 07 598.3.

Der Zwischenboden (9) im inneren der Vorrichtung ist nach Lösung der Verschraubungen an den Seitenwänden zur Reinluftseite her­ ausnehmbar. Die Filterstufe zwei sowie der Lüftermotor und Filterstufe eins sind damit für Servicearbeiten ungehindert aus der Reinluftseite erreichbar.

Zur Schalldämpfung des Volumenstromes werden die Luftleitwände innerhalb der Vorrichtung mit schalldämpfendem Material (8) verkleidet, der Schalldruckpegel aus der Vorrichtung wird im Arbeitsbereich damit unter den vorgeschriebenen Wert gesenkt.

Gegenüber bekannten Vorrichtungen dieser Art liegen die Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung in der Erzeugung fliesender Prozeßluft entsprechend den höchsten Anforderungen an den Rein­ heitsgrad. Dazu wird der Platzbedarf auf Grund der günstigen Filterbestückung und des zentralen Einbaues des Lüftermotores innerhalb der Vorrichtung günstig beeinflußt, so daß damit auch räumlich begrenzte Einbaumöglichkeiten nutzbar sind.

Claims (5)

1. Vorrichtung zur Endfilterbelüftung mit 2facher Vorfilterung des Volumenstromes, dadurch gekennzeichnet, daß der Dichtrah­ men der Endfilterstufe (siehe 4 Zeichnung Fig. 1) entsprechend der Patentanmeldung vom 26.02.97. Aktenzeichen 197 07 598.3 mittels federbelasteter Anpressvorrichtung an die ebenen Jochplatten der Vorrichtung gepreßt werden.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Volumenstrom aus dem Umfeld vierseitig über Filterstufe eins (siehe 2 in Zeichnung Fig. 1 und 3) vom Lüftermotor (siehe 1 Zeichnung Fig. 1 und 2) angesaugt und horizontal in die stern­ förmig angeordnete Filterstufe zwei (siehe 3 in der Zeichnung Fig. 1 und 2) gedrückt wird.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Volumenstrom aus Filterstufe zwei (3) mit gleicher Luftgeschwindigkeit vierseitig auf die Anströmoberfläche der Endfilterstufe (siehe 4 Fig. 1 und 2) gedrückt wird.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Zwischenboden (siehe 9 Fig. 1) herausnehmbar ist und Filterstufe zwei (3) samt Lüftermotor (1) und Filterstufe eins (2) aus der Reinluftseite (6) nach Herausnahme der Endfilterstufe (4) für Servicezwecke zugänglich sind.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Gehäuseeinfassung (7 siehe Fig. 1, 2 und 3) schall­ gedämmt ausgeführt und die Luftleitwände (8) von Filterstufe zwei (3) bis Endfilterstufe (4) sowie der Zwischenboden (9) mit schalldämpfendem Material verkleidet werden.