DE19755490C2 - Piezoelektrischer Antrieb - Google Patents
Piezoelektrischer AntriebInfo
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen An
trieb mit den im Oberbegriff des Anspruchs 1 genann
ten Merkmalen.
Bekannt sind Schwingungsantriebe wie Piezomotoren
oder Ultraschallmotoren. Hierbei wird ein Schwingele
ment (Stator) aus Piezokeramik mit einer sinusförmi
gen Spannung beaufschlagt, aufgrund dessen die Piezo
keramik eine mechanische Verformung erfährt, und zu
Schwingungen, vorzugsweise im Ultraschallbereich, an
geregt wird. Diese mechanische Verformung wird ausge
nutzt, um einen Reibschluß zwischen einem die Verfor
mung übertragenden Antriebsmittel und einem beweglich
gelagerten Arbeitsmittel zu erzielen. Hierbei sind
sowohl Drehbewegungen eines Rotors als auch Linearbe
wegungen eines Läufers erzeugbar.
Aus der EP 0 297 574 A2 ist eine Antriebseinheit mit
zwei piezoelektrischen Antrieben bekannt, die in ei
nem bestimmten Winkel zueinander angeordnet sind für
und einen Linearantrieb sorgen. Durch eine 90°-Stel
lung der piezoelektrischen Antriebe zueinander ist
eine wellenähnliche beziehungsweise elliptische Bewe
gung eines mit beiden Antrieben verbundenen Kopfes
möglich, der wiederum mit dieser Bewegung ein an den
Kopf angepreßtes Teil, einen Rotor oder dergleichen,
antreiben kann. Nachteilig bei diesem bekannten pie
zoelektrischen Antrieb ist der erhebliche Bauaufwand
durch die Vielzahl der erforderlichen Einzelteile so
wie die relativ große Aufbauhöhe der Antriebseinheit
durch die notwendige Kinematik zur Erzeugung einer
Vorschubbewegung.
Weiterhin ist aus der dem Oberbegriff des Anspruchs 1 zugrunde liegenden US 5,132,582 ein piezoelektri
scher Antrieb mit Reibschlußverbindung bekannt. Dabei
weist ein einteiliger sechseckiger Träger zwei pas
sive und vier aktive Bereiche auf. Der obere passive
Bereich stellt den Reibschluß her und führt die el
liptische Bewegung aus, wenn die piezoelektrischen
Elemente in den aktiven Bereichen mit Spannung ver
sorgt werden. Die piezoelektrischen Elemente sind auf
dem Träger aufgeklebt oder ähnlich befestigt. Nach
teilig an einer solchen Anordnung ist wiederum die
relativ große Aufbauhöhe der Antriebseinheit und eine
mögliche Einschränkung in der Anwendung hinsichtlich
der Konturen der Antriebselemente beziehungsweise de
ren Dimensionierung.
Bekannt ist ferner aus der DE 196 36 827 C1 ein An
trieb mit zwei im Winkel stehenden piezoelektrischen
Elementen, an deren Spitze ein passiver Bereich den
Reibschluß herstellt. Auch hier wird durch anlegen
einer Spannung eine elliptische Bewegung initiiert.
Neben der relativ großen Aufbauhöhe ist nachteilig,
daß die Herstellung eines solchen Antriebs, insbeson
dere, wenn dieser mehrere Antriebselemente aufweist,
relativ aufwendig ist, da eine Vielzahl von Einzel
teilen miteinander gefügt werden müssen.
Ferner ist aus der DE 36 26 389 C2 und der JP 2-111 269
bekannt, piezoelektrische Elemente zur Erzeugung
einer wandernden Schwingungswelle zu nutzen. Dazu ist
ein durchgehendes piezoelektrisches Element mit einem
elastischen Element verbunden und führt entsprechend
einer angelegten Spannung periodisch eine Kontrak
tionsbewegung aus. Nachteilig bei diesen Antrieben
ist, daß einerseits ein erhöhter Materialverbrauch
piezoelektrischer Werkstoffe gegeben ist und anderer
seits nicht einzelne Bereiche, die den Reibschluß zu
einem Abtriebskörper bilden, einzeln angesteuert wer
den können.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen einfach aufgebau
ten, einfach zu fertigenden und kompakten piezoelek
trischen Antrieb zu schaffen.
Der erfindungsgemäße piezoelektrische Antrieb mit den
im Anspruch 1 genannten Merkmalen bietet den Vorteil,
daß der gesamte Antrieb sehr unkompliziert und ein
fach aufgebaut ist. Dadurch, daß das Antriebselement
eine Vielzahl piezoelektrischer anregbarer aktiver
Bereiche mit jeweils dazwischen angeordneten passiven
Bereichen aufweist und eine regelmäßige wellenartige
Kontur besitzt kann in einfacher Weise eine beliebige
Dimensionierung der Antriebselemente verwirklicht
werden.
Ein gebogenes, insbesondere Wellen- oder sinusförmi
ges, Antriebselement weist aktive und passive Berei
che auf. Die aktiven Bereiche sind vorzugsweise in
den geraden Abschnitten zwischen zwei (oberen oder
unteren) Krümmungen, das heißt Umkehrpunkten der sich
in einer Seitenansicht ergebenden gebogenen Kontur,
angeordnet. Diese aktiven Bereiche sind piezoaktiv,
das heißt, sie sind durch Anlegen einer äußeren Span
nung an ihre, hier nicht dargestellten, Elektroden
dehnbar und kontrahierbar. Die oberen Scheitelpunkte
der oberen passiven Bereiche sind durch geeignete An
steuerung der aktiven Bereiche in der Lage, eine el
liptische Bewegung auszuführen, wodurch eine An
triebsbewegung eines reibschlüssig an diesen ange
preßten Rotors ermöglicht wird. Diese Antriebselemen
te sind sehr einfach zu fertigen, beispielsweise aus
Metall mit darauf aufgebrachten piezoaktiven Be
schichtungen, oder auch aus Keramik mit darauf aufge
brachten bedruckten und anschließend gesinterten Fo
lien. Auf diese Weise sind nahezu beliebige Konturen
der Antriebselemente in vielfältigen Größenmaßstäben
herstellbar.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung
ergeben sich aus den übrigen, in den Unteransprüchen
genannten, Merkmalen.
Die Erfindung wird nachfolgend in Ausführungsbeispie
len anhand der zugehörigen Zeichnungen näher erläu
tert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Seitenansicht eines
schlangenförmigen Antriebselementes und
Fig. 2 eine schematische Detailansicht des
Antriebselementes aus Fig. 1.
Fig. 1 zeigt eine schematische Seitenansicht eines
im wesentlichen Wellen- beziehungsweise schlangenför
migen Antriebselementes 2, das durch piezoelektrische
Festkörperschwingungen, vorzugsweise im Ultraschall
bereich, ein anzutreibendes Teil (Rotor 6) vorwärts
bewegen kann. Das Antriebselement 2 hat in der Sei
tenansicht die Kontur eines gekrümmten oder gewellten
konstant oder variabel dünnen Streifens bestimmter
konstanter oder variabler Breite. Das Antriebselement
2 weist wenigstens einen Bogen 3 auf, im gezeigten
Ausführungsbeispiel sind sechs Bögen 3 vorhanden. Der
untere Bereich 16 jedes Bogens 3 ist auf einem Ab
stützelement, beispielsweise einem Gehäuse 4 oder ei
nem Gegenlager, befestigt. Gegen den oberen Bereich
12 jedes Bogens 3 wird ein anzutreibender Rotor 6 ge
drückt, der durch einen Reibschluß mit den oberen Be
reichen 12 der Bögen 3 des Antriebselementes 2 ange
trieben werden kann. Die Oberflächen der oberen Be
reiche 12 der Bögen 3 und/oder die mit diesen in Kon
takt stehende Unterseite des Rotors 6 können zur bes
seren reibschlüssigen Übertragung der Antriebskraft
mit einem Reibbelag versehen sein. In den nicht ge
krümmten Abschnitten, das heißt in den geraden Berei
chen des Antriebselementes 2 zwischen den gekrümmten
oberen und unteren Bereichen 12, 16 der Bögen 3, er
folgt die piezoelektrische Anregung. Diese geraden
Bereiche stellen somit jeweils den aktiven Bereich 14
des Antriebselementes 2 dar. Die oberen und unteren
Bereiche der Bögen werden im folgenden dementspre
chend als passive Bereiche 12, 16 bezeichnet. Durch
Anlegen einer elektrischen Spannung werden in den ak
tiven Bereichen 14 Längsdehnungen in Richtung des
elektrischen Feldes erzeugt. Durch eine Dehnung und
Kontraktion dieser aktiven Bereiche 14 wird das ge
samte Antriebselement 2 in seiner Längsausdehnungs
richtung gedehnt und verkürzt. Das Antriebselement 2
kann aus Metall oder einem anderen inaktiven Material
gefertigt sei, auf welchem piezoaktives Material und
Elektroden zu dessen Ansteuerung von außen aufge
bracht sind. Ebenso möglich ist eine Fertigung des
Antriebselementes 2 aus Piezokeramik, in dessen akti
ven Bereichen 14 die Elektroden aufgebracht sind.
Beispielsweise kann zur Herstellung ungesinterte Fo
lie mit den erforderlichen Elektroden bedruckt wer
den, diese Folie anschließend geformt beziehungsweise
geprägt und im geformten Zustand gesintert werden.
Alternativ können die aktiven und die inaktiven
(passiven) Bereiche als Multilayer ausgebildet sein,
bei der die Folien wie beschrieben bedruckt und ge
formt, anschließend aufeinander gestapelt, gepreßt
und in einem Stück gesintert werden.
Für die Erzeugung einer translatorischen Bewegung des
anzutreibenden Rotors 6 kann das Antriebselement 2,
wie im dargestellten Ausführungsbeispiel, geradlinig
geformt sein. Ebenso möglich sind jedoch auch andere,
beispielsweise kreisförmige, Konturen. Damit können
rotatorische Bewegungen erzeugt werden. Das Antriebs
element 2 kann bei einer gebogenen oder kreisförmigen
Kontur sowohl geschlossen sein als auch offen. Die
Konturen der Bögen 3 des Antriebselementes 2 können
sowohl sinusförmig oder kreisförmig, das heißt aus
aneinander gesetzten Kreisbögen bestehend, sein. Auch
ist die Einfügung gerader Abschnitte zwischen den
Kreisbögen möglich. Es ist jedoch auch jede andere
beliebige Form möglich.
Fig. 2 zeigt in einer schematischen Seitenansicht
einen Ausschnitt eines Antriebselementes 2 aus Fig.
1, bestehend aus zwei an einem Gehäuse 4 fixierten
(unteren) passiven Bereichen 16 sowie dazwischen lie
genden aktiven Bereichen 14 und einem diese verbin
denden (oberen) passiven Bereich 12. Gleiche Teile
wie in Fig. 1 sind mit gleichen Bezugszeichen verse
hen und nicht noch einmal erläutert. Erkennbar sind
hier die (unteren) passiven Bereiche 16, die mit ei
nem Gehäuse 4 oder einem Boden fest verbunden sind
und die dazwischen liegenden (geraden) aktiven Berei
che 14, die durch Anlegen einer äußeren Spannung eine
Dehnung oder Kontraktion erfahren können und durch
geeignete Ansteuerung den oberen gebogenen passiven
Bereich 12 und damit die Kontaktfläche zum hier nicht
dargestellten Rotor eine elliptische Bewegung erfah
ren lassen können. Diese Bewegung ist durch ein
Pfeilsymbol 20 verdeutlicht. In der gezeigten Ausfüh
rungsform besitzen die gebogenen passiven Bereiche
12, 16 des Antriebselementes 2 eine kreisförmige Kon
tur, ebenso möglich sind jedoch auch andere, bei
spielsweise sinusförmige oder ähnliche, Konturen.
Durch eine Kontraktion der (geraden) aktiven Ab
schnitte 14 verkürzen sich diese und ziehen den
(oberen) passiven Bereich 12 in Richtung des Gehäuses
4 und dehnen ihn dabei gleichzeitig. Die unteren pas
siven Bereiche 16 sind jeweils fest am Gehäuse 4 fi
xiert. Durch eine geeignete Ansteuerung der beiden an
einen (oberen) passiven Bereich 12 angrenzenden akti
ven Bereiche 14 sowie der weiteren aktiven Bereiche
14 des gesamten Antriebselementes 2 ist eine ellipti
sche Bewegung der Kontaktflächen der (oberen) passi
ven Bereiche 12 zu dem anzutreibenden Rotor möglich,
wodurch dieser in lineare Bewegung versetzbar ist.
Claims (12)
1. Piezoelektrischer Antrieb mit einem gelagerten,
eine Reibschlußverbindung zu einem anzutreibenden
Teil (Rotor) herzustellenden, Antriebselement, wobei
das Antriebselement wenigstens zwei piezoelektrische
anregbare aktive Bereiche und wenigstens einen, zwi
schen den aktiven Bereichen angeordneten, die Reib
schlußverbindung zum Rotor herstellenden, passiven
Bereich aufweist, und wobei die aktiven Bereiche bei
einer elektrischen Ansteuerung alternierende Längs
bewegungen ausführen und den zwischen ihnen liegenden
passiven Bereich zu elliptischen Bewegungen anregen,
dadurch gekennzeichnet, daß das Antriebselement (2)
eine Vielzahl piezoelektrischer anregbarer aktiver
Bereiche (14) mit jeweils dazwischen angeordneten
passiven Bereichen (12, 16) aufweist und eine regel
mäßige wellenartige Kontur besitzt.
2. Piezoelektrischer Antrieb nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß das Antriebselement (2) eine si
nusförmige Kontur aufweist.
3. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der vorherge
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das An
triebselement (2) eine konstante Dicke und eine kon
stante Breite aufweist.
4. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
passiven und aktiven Bereiche (12, 14, 16) des An
triebselementes (2) eine unterschiedliche Dicke
und/oder Breite aufweisen.
5. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der vorherge
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das An
triebselement (2) aus Keramik besteht.
6. Piezoelektrischer Antrieb nach Anspruch 5, dadurch
gekennzeichnet, daß die aktiven Bereiche (14) des An
triebselementes (2) mit aufgedruckten Elektroden ver
sehen sind.
7. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der vorherge
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das An
triebselement (2) aus geformter und gesinterter Folie
hergestellt ist.
8. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das
Antriebselement (2) aus mehreren bedruckten, geform
ten, übereinander gestapelten und anschließend gesin
terten Folien hergestellt ist.
9. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das
Antriebselement (2) eine geradlinige Längsausdehnung
aufweist.
10. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der Ansprü
che 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das An
triebselement (2) eine gekrümmte Längsausdehnung auf
weist.
11. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der Ansprü
che 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß das An
triebselement (2) eine kreisförmige Außenkontur auf
weist.
12. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der vorher
gehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die
passiven Bereiche (12, 16) an ihren dem anzutreiben
den Teil (6) und/oder an ihrem dem abstützenden Teil
(4) zugewandten Flächen einen Reibbelag aufweisen.
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Families Citing this family (3)
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---|---|---|---|---|
EP1641053B1 (de) * | 2004-09-27 | 2009-06-03 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Aktor und Transportvorrichtung, bewegliches Gerät sowie Vorrichtung ausgestattet mit dem Aktor |
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DE102005028970A1 (de) * | 2005-06-22 | 2006-12-28 | Siemens Ag | Piezoakter mit gesteigertem Hubvermögen |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0297574A2 (de) * | 1987-07-01 | 1989-01-04 | Hitachi, Ltd. | Antriebsanordnung, die mittels piezoelektrischer Elemente einen angetriebenen Teil antreibt |
DE3626389C2 (de) * | 1985-08-05 | 1989-12-28 | Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp | |
JPH02111269A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-24 | Fujitsu Ltd | 多層振動モータ |
US5132582A (en) * | 1989-03-20 | 1992-07-21 | Nihon Kohden Corporation | Recording medium transferring apparatus and vibrating element used therein |
DE19636827C1 (de) * | 1996-09-11 | 1998-04-16 | Frank Sittig | Piezoelektrischer Antrieb |
-
1997
- 1997-12-13 DE DE19755490A patent/DE19755490C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3626389C2 (de) * | 1985-08-05 | 1989-12-28 | Canon K.K., Tokio/Tokyo, Jp | |
EP0297574A2 (de) * | 1987-07-01 | 1989-01-04 | Hitachi, Ltd. | Antriebsanordnung, die mittels piezoelektrischer Elemente einen angetriebenen Teil antreibt |
JPH02111269A (ja) * | 1988-10-17 | 1990-04-24 | Fujitsu Ltd | 多層振動モータ |
US5132582A (en) * | 1989-03-20 | 1992-07-21 | Nihon Kohden Corporation | Recording medium transferring apparatus and vibrating element used therein |
DE19636827C1 (de) * | 1996-09-11 | 1998-04-16 | Frank Sittig | Piezoelektrischer Antrieb |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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DE19755490A1 (de) | 1999-06-24 |
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