DE19753344A1 - Vorrichtung zur Homogenisierung eines Licht- oder Laserstrahls - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Be­ leuchtung und/oder zur Bearbeitung einer Fläche und insbe­ sondere zur Formung der Cornea mittels Licht gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.

Derartige Vorrichtungen werden beispielsweise zur Mate­ rialbearbeitung, zur Beleuchtung und/oder zur Abbildung mit Hilfe eines Lichtstrahls und vorzugsweise eines Laser­ strahls verwendet.

Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet gattungsgemäßer Vorrich­ tungen ist die Hornhautabtragung bzw. Cornea-Formung zur Behebung von Fehlsichtigkeiten.

Ein in der Hornhautchirurgie bekanntes Verfahren zur Kor­ rektur einer Fehlsichtigkeit besteht darin, mit Hilfe ei­ nes Laserstrahls die Oberfläche der Hornhaut flächig abzu­ tragen. Bei dieser photorefraktometrischen Entfernung von Corneamaterial sind in der Vergangenheit bevorzugt Exci­ merlaser verwendet worden, die insbesondere Licht mit der Wellenlänge 193 nm emittieren.

Wegen einer möglicherweise cancerogenen und/oder mutagenen Wirkung solcher Uv-Strahlung ist vorgeschlagen worden, La­ ser zu verwenden, die Licht im Wellenlängenbereich von 3 µm emittieren.

Ein derartiger Laser ist ein Multimode Er:YAG-Laser. Diese Laser besitzen jedoch über ihren Strahlquerschnitt eine ausgeprägte Ringstruktur der Intensität. Ohne Homogenisie­ rung dieser Ringstruktur wurde die Cornea ungleichmäßig abgetragen bzw. ablatiert.

Es ist deshalb erforderlich, um eine flächig gleichmäßige Abtragung zu erhalten, den Laserstrahl über seine Quer­ schnittsfläche zu homogenisieren.

Laser mit geringer Divergenz (einige mrad) lassen sich gut homogenisieren, jedoch werden häufig höhere Pulsenergien in der Größenordnung von 2J benötigt, die sich nur mit La­ serstäben größeren Querschnitts (5 mm) und entsprechend hö­ herer Pulsenergie erreichen lassen. Dadurch wird die Di­ vergenz des Laserstrahls auf zweierlei Weise nachteilig verstärkt und somit eine Homogenisierung erschwert: Wegen des größeren Stabquerschnitts schwingen bei gleicher Stab­ länge höhere Transversalmoden an, die eine stärkere Diver­ genz besitzen; außerdem führt die höhere Pumpenergie zu einer stärkeren Ausprägung einer thermischen Linse im La­ serstab während des Pulses, die ebenfalls die Divergenz des Strahls erhöht.

Nachteilig ist weiterhin, daß die Qualität und die Kon­ stanz der Homogenisierung stark von der Justierung, von der Modenstruktur und von der Pumpenergie abhängen mit entsprechend nachteiligen Folgen für die Robustheit, Zu­ verlässigkeit und Wartungsfreundlichkeit herkömmlicher photorefraktometrischer Ablationsvorrichtungen im klini­ schen Einsatz.

Die DE 44 41 579 C1, von der bei der Formulierung des Oberbegriffs des Anspruchs 1 ausgegangen worden ist, be­ schreibt eine Vorrichtung zur Formung der Cornea mit we­ nigstens einer Lichtquelle, die einen Licht- und insbeson­ dere einem Laserstrahl emittiert. Ein optisches System, das den Licht- bzw. Laserstrahl auf die zu beleuchtende bzw. zu bearbeitende Fläche führt, weist eine Einrichtung zur Strahlhomogenisierung auf.

Zur Homogenisierung wird der zur Ablation verwendete La­ serstrahl fokussiert und passiert ein gegenüber dem Fokus­ punkt axial geringfügig versetztes Beugungselement. Der Abstand des Beugungselements (eines Gitters oder einer Lochblende) kann so gewählt werden, daß dessen Beugungsma­ xima mit dem Minima der Modenverteilung interferieren. Dies führt bei Pulsenergien von bis zu 1 J zu einer Homo­ genisierung des Strahls in einer Bildebene.

Bei höheren Pulsenergien - beispielsweise in der Größen­ ordnung von 2 J - wird jedoch keine ausreichende Homogeni­ tät erreicht.

Zudem stößt die Homogenisierung durch Beugungselemente auf prinzipbedingte Grenzen. So ermöglicht der Einsatz einer Lochblende einen lediglich radialen Intensitätsausgleich, während azimutale Intensitätsschwankungen weiterhin zu ei­ nem entsprechend ungleichmäßigen Ablationsverhalten füh­ ren. Auch bei Einsatz eines Beugungsgitters bleibt die durch die Gittergeometrie bestimmte Homogenisierungswir­ kung hinter der erwünschten, nahezu vollständigen Intensi­ tätsangleichung über den Strahlquerschnitt insbesondere dann zurück, wenn die Intensitätsschwankungen nicht radi­ al, sondern statistisch verteilt sind.

Auch bei anderen Anwendungen stellt sich die Aufgabe, ei­ nen Lichtstrahl über seinen Querschnitt zu homogenisieren, insbesondere immer dann, wenn ein Material durch auftref­ fende elektromagnetische Strahlung bearbeitet wird, wenn ein Objekt über einen Bereich von der Größenordnung eines Strahldurchmessers gleichmäßig zu beleuchten ist, oder wenn für andere Zwecke, beispielsweise für eine optische Abbildung, ein zuvor homogenisierter Strahl benötigt wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, Vorrichtung zur Beleuchtung und/oder zur Bearbeitung einer Fläche und ins­ besondere zur Formung der Cornea mittels Licht gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 derart weiterzubilden, daß auch bei azimutalen Intensitätsschwankungen, wie sie beispielsweise bei Multimode Er:YAG-Lasern mit höheren Strahlenergien auftreten, eine wirkungsvolle Homogenisie­ rung erreicht wird, die insbesondere zur Cornea-Formung ausreichend ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Anspruch 1 gekennzeichneten Merkmale gelöst. Weiterbildungen der Er­ findung sind Gegenstand der Ansprüche 2 folgende.

Erfindungsgemäß weist die Einrichtung zur Strahlhomogeni­ sierung wenigstens ein Homogenisier-Element mit einer Vielzahl von Facettenelementen auf, von denen jedes das auf dieses Facettenelement auftreffende Licht in etwa gleichmäßig auf zumindest eine Strahlquerschnittsfläche mit einem bestimmten Abstand vom Homogenisier-Element ver­ teilt.

Grundgedanke dieser Erfindung ist die Idee, im Strahlen­ gang des Licht- oder Laserstrahls eine Vielzahl dicht ge­ packter, im Verhältnis zum Strahldurchmesser kleiner Fa­ cettenelemente anzuordnen, die jeweils das auftreffende Licht im weiteren Strahlengang über dem gesamten Strahl­ durchmesser oder über eine andere definierte, für alle Fa­ cettenelemente einheitliche Querschnittsfläche zu vertei­ len. Im Falle eines auftreffenden inhomogenen Strahls wird die je nach Lage des einzelnen Facettenelements unter­ schiedlichen Energiedichte jeweils auf die gesamte Quer­ schnittsfläche verteilt, wodurch eine statistische Durch­ mischung des Rohstrahls in zumindest in einem bestimmten Abstand zum Homogenisier-Element erzielt wird. In diesem Abstand, beispielsweise in der Fokalebene des optischen Elements, wird die Intensitätsverteilung durch eine Gloc­ kenkurve dargestellt.

Über die prinzipielle Homogenitätssteigerung hinaus hat die Erfindung den Vorteil, daß die erzielte Homogenisie­ rung ohne zusätzliche Anforderungen an den Laser oder des­ sen Strahlprofils erreicht wird. Dies eröffnet für Laser­ quellen beliebiger zeitlicher und/oder räumlicher Intensi­ tätsverteilung und beliebiger Divergenz neue Einsatzmög­ lichkeiten.

Durch die Erfindung wird damit unabhängig von der zeitli­ chen oder räumlichen Intensitätsverteilung oder der Diver­ genz oder der Modenstruktur eines Laserstrahls und unab­ hängig von etwaigen Justierfehlern über den Strahlquer­ schnitt eine Intensitätshomogenisierung besonderer Güte erzielt.

Eine bevorzugte Ausführungsform sieht vor, daß der Homoge­ nisator insgesamt gekrümmt ist. Dadurch läßt sich eine zur Strahlführung ohnehin benötigte optische Fläche des opti­ schen Systems als Homogenisier-Element gestalten, ohne daß zusätzliche Elemente in dem Strahlengang eingebaut werden müssen.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß der Homogeni­ sator ein Spiegel, insbesondere ein Hohlspiegel ist. Durch einen derartigen Facettenspiegel kann die auftreffende Strahlung rückgestreut werden oder um beispielsweise 10° bis 90° oder um jeden anderen Winkel umgelenkt werden, wo­ bei dann die erfindungsgemäß gleichmäßig beleuchtete Flä­ che im Strahlengang hinter dem Facettenspiegel liegt.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß das Homogeni­ sier-Element ein transmittierendes Element, wie beispiels­ weise eine Linse ist. Die dementsprechende Facettenlinse oder sonstige erfindungsgemäßes Transmissionsoptik bewirkt die Durchmischung des Strahls in einem gewissen Abstand hinter der Linse, ohne daß eine besondere Strahlumlenkung erforderlich ist.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß die Facet­ tenelemente konkave und/oder konvexe Verformungen opti­ scher Flächen wie etwa Vertiefungen und/oder Erhebungen sind. Im Falle einer ebenen optischen Fläche ebenso wie im Falle eines Facettenspiegels oder einer Facettenlinse, d. h. unabhängig von einer eventuellen Krümmung des Homoge­ nisators insgesamt ist dessen Oberfläche mit einer Viel­ zahl von Facettenelementen versehen, in deren Bereich die Oberfläche von ihrem Gesamtverlauf abweichend gestaltet ist. Im einfachsten Fall ist die Oberfläche des Homogeni­ sier-Elements dicht mit einer Vielzahl von Einbeulungen oder Wölbungen besetzt.

Solche Vertiefungen oder Erhebungen können beispielsweise wabenförmig oder auch in anderer Weise angeordnet sein. Grundsätzlich ist jedoch die Anordnung ebenso wie die Form der Facettenelemente bzw. ihrer Umrandung beliebig. Jedes einzelne Facettenelement verteilt aufgrund seiner speziel­ len Oberflächengestaltung auftreffendes Licht derart, daß es im weiteren Strahlengang aufgeweitet und in einem be­ stimmten Abstand auf eine für alle Facettenelemente zumin­ dest in etwa einheitliche Querschnittsfläche verteilt wird.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß die Facet­ tenelemente sphärisch oder im wesentlichen sphärisch ge­ formt sind. In diesem Fall ist die Oberfläche mit einer Vielzahl technisch einfach herstellbarer sphärischer Mi­ krohohlspiegel überzogen. Je nach Position des Facet­ tenelementes auf der Oberfläche kann ein anderer Aus­ schnitt einer Kugeloberfläche oder ein von der sphärischen Gestalt abweichender Oberflächenverlauf gewählt werden, um von dieser Position aus die Strahlung auf die gemeinsame Querschnittsfläche zu richten und zu verteilen.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß die Tiefe bzw. Höhe der Facettenelemente auf die Wellenlänge abgestimmt und insbesondere größer als diese ist. Durch einen ausrei­ chend großen Höhenunterschied der Facettenelemente über der Homogenisatoroberfläche wird sichergestellt, daß Strahlung aller Phasenlagen einschließlich der Maxima und Minima interferieren kann. Wird ein Laser verwendet, sind aufgrund der hohen Kohärenzlänge zwar in jedem Fall Beu­ gungsmuster feststellbar, bei einer ausreichend großen Hö­ henveränderung durch die Facettenelemente und der so be­ wirkten Interferenz von Wellenzügen und ausreichend großer Gangunterschiede wird erreicht, daß die durch konstruktive und destruktive Interferenzbereiche gebildeten Speckle- Muster verdichtet und daher praktisch nicht mehr auflösbar sind, so daß eine gleichmäßige Ablation sichergestellt ist.

Selbstverständlich ist es aber auch möglich, vollkommen anders ausgebildete Homogenisier-Elemente, wie beispiels­ weise holographische Elemente zu verwenden.

Dabei ist es selbstverständlich möglich, mehr als ein Ho­ mogenisier-Element einzusetzen. Die einzelnen Elemente müssen dabei nicht identisch ausgebildet sein. So ist es möglich, ein reflektierendes und ein transmittierendes Ho­ mogenisier-Element zu verwenden.

So kann die Homogenisierungswirkung beispielsweise durch aufeinanderfolgende Umlenkung des Strahls mit Hilfe zweier erfindungsgemäßer Facettenhohlspiegel verbessert werden. Ebenso ist es denkbar, zwei Homogenisier-Elemente zu ver­ wenden, die mit im wesentlichen streifenförmigen, um 90° verdreht angeordneten Facettenelementen versehen sind, und deren Homogenisierungseffekte sich gegenseitig ergänzen. Die Anordnung zweier Homogenisier-Elemente ist insbesonde­ re von Vorteil, um den durch das erste Homogenisier- Element elliptisch verformten Strahlquerschnitt durch das zweite Homogenisier-Element wieder auf einen kreissymme­ trischen Querschnitt zu bringen.

Eine weitere Ausführungsform sieht vor, daß die Vorrich­ tung einen Er:YAG-Laser aufweist. Wenngleich sich die Er­ findung grundsätzlich bei beliebigen Lasern und auch bei sonstigen Lichtquellen einsetzen läßt, so eignet sich die erfindungsgemäße Vorrichtung besonders, um den von Er:YAG- Lasern emittierten Infrarotstrahl von 3 µm für medizini­ sche Anwendungen und insbesondere für die Hornhautchirur­ gie zu homogenisieren.

Die Erfindung wird nachstehend ohne Beschränkung des all­ gemeinen Erfindungsgedankens anhand von Ausführungs­ beispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung exemplarisch beschrieben, auf die im übrigen hinsichtlich der Offenba­ rung aller im Text nicht näher erläuterten erfindungsgemä­ ßen Einzelheiten ausdrücklich verwiesen wird. Es zeigen als Prinzipskizze:

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel eines den Strahl umlenken­ den Facettenhohlspiegels,

Fig. 2 ein Ausführungsbeispiel eines den Strahl zurück­ lenkenden Facettenhohlspiegels,

Fig. 3 eine vergrößerte Detailansicht aus Fig. 2 und

Fig. 4 ein Ausführungsbeispiel einer Anordnung zweier den Strahl umlenkender Facettenhohlspiegel.

Fig. 1 stellt die Funktionsweise eines erfindungsgemäßen, d. h. mit Mikrofacetten versehenen Hohlspiegels, der als Homogenisier-Element dient, anhand des Verlaufs zweier Randstrahlen und der optischen Achse schematisch dar. Von einer Laserquelle 1 ausgehend trifft der Strahl auf einen Facettenhohlspiegel 2 und wird von diesem um 90° umge­ lenkt. In einer gewissen Entfernung vom Hohlspiegel befin­ det sich eine Ebene 4, die erfindungsgemäß ungeachtet et­ waiger Intensitätsinhomogenitäten über den Strahlquer­ schnitt zwischen der Laserquelle und dem Hohlspiegel gleichmäßig beleuchtet wird.

Die zunächst mit geringer Divergenz auseinanderlaufenden Randstrahlen werden ebenso wie der Mittelpunktstrahl durch die Form des Hohlspiegels insgesamt um 90° umgelenkt, wie in der Figur erkennbar.

Der erfindungsgemäße Hohlspiegel weist eine Vielzahl von Facetten auf, die in Fig. 1 andeutungsweise und klarer in Fig. 3 als kleine Unregelmäßigkeiten in der Hohlspiegel­ fläche erkennbar sind. Dadurch entstehen von den Facetten am Auftreffpunkt der Randstrahlung auf den Hohlspiegel ausgehende Lichtkegel, deren seitliche Begrenzungen in Fig. 1 im weiteren Strahlverlauf dargestellt sind. In gleicher Weise erzeugen die Facetten am Auftreffpunkt des Mittelpunktstrahls auf den Spiegel und auch auf der gesam­ ten beleuchteten Hohlspiegelfläche entsprechende Lichtke­ gel, die in Fig. 1 nicht näher dargestellt sind. All diese Lichtkegel passieren in einer Ebene 4, die sich in einem definierten Abstand zum Hohlspiegel, d. h. zum Auftreff­ punkt des Mittelpunktstrahls 3 auf dem Hohlspiegel 2 be­ findet, in etwa dieselbe Querschnittsfläche.

Dadurch, daß die verschiedenen Lichtkegel unabhängig von ihrer individuellen Gewichtung bzw. Intensität den gesam­ ten gemeinsamen Ausschnitt der Ebene 4 passieren, werden etwaige Inhomogenitäten der Strahlintensität nahezu voll­ ständig ausgeglichen.

Fig. 2 zeigt ein Beispiel eines die auftreffende Strahlung zurücklenkenden erfindungsgemäßen Hohlspiegels und dazu exemplarisch den Verlauf der von fünf Facettenelementen zurückreflektierten Lichtkegel. Der Durchmesser der fünf ausgewählten Facettenelemente ist durch die Breite der auf sie auftreffenden Strahlabschnitte angedeutet. In einem auf der Mittelachse 3 dargestellten Abstand f von dem Hohlspiegel 2 befindet sich die Ebene optimaler Homogeni­ tät 4. In Fig. 2 ist zu erkennen, daß sich in dieser Ebe­ ne, genauer ein wenig rechts davon, oberhalb und unterhalb der optischen Achse 3 die Randstrahlen der fünf rückre­ flektierten Lichtkegel schneiden und folglich die Lichtke­ gel in etwa denselben Ausschnitt der Ebene 4 beleuchten.

Fig. 3 zeigt vergrößert einen Ausschnitt des erfindungsge­ mäßen Hohlspiegels 2, dessen Oberfläche durch eine Viel­ zahl von Facettenelementen bzw. Vertiefungen 5 struktu­ riert ist. Für zwei Facetten sind die Randstrahlen der auf sie auftreffenden Teilbündel sowie die jeweiligen rückre­ flektierten Randstrahlen, d. h. die Randstrahlen der von den Facetten ausgehenden Lichtkegel, dargestellt. Aufgrund der zusätzlichen Krümmung der hier konkav gestalteten Fa­ cetten wird der jeweils oben auf die Facette auftreffende Strahl nach unten zurückgelenkt, während der jeweils unten auf die Facette auftreffende Strahl in einem kleineren Winkel nach oben zurückgelenkt wird. Die Winkelablenkung der zurückreflektierten Strahlen ist durch die konkrete Form der Facetten und durch ihre Lage bzw. Entfernung von der optischen Achse bestimmt. Sämtliche oben auf eine Fa­ cette auftreffende und nach unten zurückreflektierte Strahlen begrenzen in der außerhalb der Fig. 3 liegenden Ebene 4 den gleichmäßig beleuchteten Flächenabschnitt zu einer Seite hin. In gleicher Weise vereinigen sich sämtli­ che unten auf eine Facette auftreffenden Strahlen am ge­ genüberliegenden Rand des Lichtbündels in der Ebene 4. So­ mit verteilt jede Facettenvertiefung auftreffendes Licht auf denselben Ausschnitt dieser Ebene 4.

Fig. 4 zeigt eine Vorrichtung mit zwei aufeinanderfolgend angeordneten erfindungsgemäßen Facettenhohlspiegeln, durch die eine zweifache Durchmischung des Laserstrahls über seinen Querschnitt und damit eine noch weitergehende Homo­ genisierung erzielt wird. Der Abstand zwischen den Spie­ geln 2a und 2b entspricht näherungsweise dem halben Ab­ stand der Ebene 4 vom Auftreffpunkt des Mittelpunktstrahls 3 auf den Hohlspiegel 2 in Fig. 1, so daß jedes am Spiegel 2a erzeugte Lichtbündel den gesamten Spiegel 2b ausleuch­ tet.

Die Facetten des Spiegels 2b verursachen ihrerseits wie­ derum entsprechende Lichtbündel. Während in Fig. 4 von den beiden Rändern des Hohlspiegels 2b befindlichen Facetten ausgehend nur jeweils ein Strahlenkegel abgebildet ist, erzeugt jede Facette des Spiegels 2b in Wirklichkeit eine Vielzahl von Lichtkegeln, deren mittlere Ausbreitungsrich­ tung durch die Position derjenigen Facette des Spiegels 2a bestimmt ist, von der aus das Licht auf die Facette des Spiegels 2b auftrifft. Durch die Vielzahl erzeugter Sekun­ därlichtkegel leuchtet jede Facette des Spiegels 2b den­ selben einheitlichen Ausschnitt der Ebene 4b bester Homo­ genität aus, in der in an sich bekannter Weise weitere op­ tische Elemente wie beispielsweise Doppellinsen gleicher Brechzahl, aber unterschiedlicher Absorption vorgesehen sein können, um eine zusätzliche radiale Intensitätsmodu­ lation zu bewirken.

Wie insbesondere aus den Fig. 2 und 4 erkennbar ist, wird durch den erfindungsgemäßen Facettenträger außer der Stahlhomogenisierung auch eine Strahlaufweitung erreicht. In der Brennebene des Facettenträgers wie etwa des Hohl­ spiegels muß die durch die mikroskopischen Facettenspiegel erzeugte Strahlausweitung in der Größenordnung des gewähl­ ten Ablationsdurchmessers liegen. Bei einem typischen Hohlspiegel mit einem Durchmesser von 25 mm und einer Brennweite von 100 mm bedingt dies im Falle beispielsweise sphärischer Facetten einen Facettenkrümmungsradius von 5 mm. Um die Ausbildung grober Speckle-Muster durch Interfe­ renz zu vermeiden, müssen die Erhebungen oder Vertiefungen der Facetten tief gegenüber der verwendeten Wellenlänge sein. Bei einer Wellenlänge von beispielsweise 3 µm und einer Facettentiefe von 50 µm ergeben sich beispielsweise Facettendurchmesser von 600 µm.

Ungeachtet dieser beispielhaften Angaben erstreckt sich der allgemeine Erfindungsgedanke auf sämtliche in den Pa­ tentansprüchen genannten und daraus ableitbaren Ausfüh­ rungsformen und auf sämtliche Anwendungsgebiete, in denen sich die Homogenisierung eines elektromagnetischen Strah­ lenbündels erforderlich ist oder auch nur anbietet.

Claims (11)

1. Vorrichtung zur Beleuchtung und/oder zur Bearbeitung einer Fläche und insbesondere zur Formung der Cornea mittels Licht, mit

• - wenigstens einer Lichtquelle, die einen Licht- und insbesondere einem Laserstrahl emittiert, und
• - einem optischen System, das den Licht- bzw. Laser­ strahl auf die zu beleuchtende bzw. zu bearbeitende Fläche führt und das eine Einrichtung zur Strahlhomoge­ nisierung aufweist,

dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Strahl­ homogenisierung wenigstens ein Homogenisier-Element mit einer Vielzahl von Facettenelementen aufweist, von de­ nen jedes das auf dieses Facettenelement auftreffende Licht in etwa gleichmäßig auf zumindest eine Strahl­ querschnittsfläche mit einem bestimmten Abstand vom Ho­ mogenisier-Element verteilt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Homogenisier-Element wenigstens eine gekrümmte Fläche aufweist, auf der Fa­ cettenelemente vorgesehen sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Homogenisier-Element einen Spiegel und insbesondere einen Hohlspiegel auf­ weist, auf dessen Spiegelfläche Facettenelemente vorge­ sehen sind.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Homogenisier-Element ein das Licht transmittierendes Element aufweist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Homogenisier-Element we­ nigstens eine Linse aufweist, bei der mindestens eine Linsenfläche Facettenelemente aufweist.

6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Facettenelemente konka­ ve und/oder konvexe Verformungen optischer Flächen wie Vertiefungen und/oder Erhebungen sind.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Facettenelemente sphä­ risch ausgebildet sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefe bzw. Höhe der Fa­ cettenelemente auf die Wellenlänge des auftreffenden Lichts abgestimmt sind.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Tiefe bzw. Höhe der Fa­ cettenelemente größer als die Wellenlänge des Lichts ist.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens zwei Homogeni­ sier-Elemente vorgesehen sind.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung als Licht­ quelle einen Er:YAG-Laser aufweist.