DE19749990B4 - Signal-Preshaping - Google Patents

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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02NELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N2/00Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
    • H02N2/0005Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing non-specific motion; Details common to machines covered by H02N2/02 - H02N2/16
    • H02N2/0075Electrical details, e.g. drive or control circuits or methods
    • H02N2/008Means for controlling vibration frequency or phase, e.g. for resonance tracking

Abstract

Signal-Preshaping zur Verbesserung des Frequenzverhaltens eines repetierenden Positioniersystems bestehend aus einem Positionierer (7) mit Positionierantrieb einer digitalen oder analogen Controller Elektronik und einem Sensor (8), das mit einem Schaltwerk ausgestattet ist, das eine Lernphase und eine Ausführungsphase für die Lernphase zulässt, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ausführung einer ersten Phase der Lernphase am Sensor (8) ein A/D Wandler (9) angeordnet ist, der synchron zur Soll-Position (4) die Ist-Position erfasst, dessen Ausgangsdaten mit einem zweiten Block (10) fourier-transformiert werden, in einem dritten Block (11) die Amplitude auf 1/Amplitude umgerechnet wird und die Phase negiert wird, der mit einem vierten Block (12) zur Multiplikation mit den Soll-Daten, welche zuvor in einem Block (14b) fourier-transformiert werden, verbunden ist, an den sich ein fünfter Block (13) anschließt, in dem eine Fourier-Rücktransformation der Daten erfolgt, die anschließend als entzerrte Solldaten (1) dem System zugeführt werden.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Signalvorverarbeitung an Positioniersystemen, mit deren Hilfe die Arbeitsfrequenz um ein Vielfaches erhöht werden kann. Die Einrichtung kann vor analog arbeitende Systeme geschaltet werden, aber auch direkt in Digitalcontrollern implementiert werden.
  • Bekannte Positioniersysteme auf Basis von Piezoaktorik oder magnetischen Aktoren besitzen aufgrund der bewegten Massen, der Zeitkonstanten in den Aktoren und der Übertragungscharakteristik des Reglers für unterschiedliche Eingangsfrequenzen Unterschiede in der Amplitude der Bewegung und in der Phasenlage zwischen Signaleingang und Bewegungsausgang. Der negative Einfluss der physikalisch bedingte Trägheit kann hur zu einem bestimmten Teil mit regelungstechnischen Vorkehrungen verringert werden.
  • Wird also ein Positionierer mit einer bestimmten Grenzfrequenz eingesetzt, dann kann mit diesem Positionierer nur bis zu einer bestimmten Grenzfrequenz gearbeitet werden, weil ansonsten die Verzerrungen am Ausgang, zum Beispiel an der bewegten Plattform, am Drehmeißel oder in der Kippbewegung eines Spiegels zu groß werden. Diese Verzerrungen sind Verzerrungen im Sinne einer Signalverformung aber auch einer Phasenverschiebung. Die Verzerrung ist oft amplitudenabhängig und die Phasenverschiebung frequenzabhängig. Mit einer konstanten, einmal eingestellten Entzerrung kann deshalb nicht gearbeitet werden.
  • Bei Piezoaktorik ist beispielsweise bekannt, mit Feedforward Termen im Regler den Phasengang weit zurück zu biegen. Das geht jedoch auf Kosten der Amplituden-Treue. Die Bewegung des Positionierers erfährt damit starke Überschwinger. (Karl 3. Aström Computer – Controlled Systems, Predice-Hall International Editions, ISBN 0-13-172784-2, S150 'Reduction by Feedforward).
  • Auch ist bekannt, mit einem nichtlinearen Modell den Regler zu linearisieren, was oft zu Verbesserungen des Frequenzverhaltens von 50% führen kann. (Modelling Hysteresis in Piezoceramic Actuators University of Rhode Island, Kingston USA von Ping Ge und Musa Jouaneh in Precision Engineering 17: 211–221, 1995).
  • Phasen-Rückdrehungen werden vielfältig eingesetzt, um den großen zeitlichen Versatz zwischen kommandiertem Eingang und wirklich erreichter Bewegung zu minimieren. Nichtlinearitäten werden damit nicht erfasst und korrigiert.
  • Bei magnetischen Antrieben ist bekannt, mittels Kurzschlussringen die Zeitkonstante des Antriebes zu minimieren. Die regelungstechnischen Beschränkungen werden damit aber nicht beseitigt.
  • In der DE 43 03 125 C1 ist beispielsweise ein Schaltungsanordnung offenbart, bei der die Verknüpfung der Stellbewegung eines Stellgliedes mit einer elektrischen Spannung und damit die Linearität verbessert ist, sodass von der Spannung genauer auf die tatsächlich erfolgte Bewegung des Stellgliedes geschlossen werden kann. Hierfür ist ein zweiter Stellantrieb vorgesehen, der mit dem gleichen Speisesignal wie der erste Stellantrieb beaufschlagt ist und somit die gleichen Bewegungen ausführt wie der erste Stellantrieb. Die Bewegungen dieses zweiten Stellantriebes werden mit einer elektrischen Längemesseinrichtung gemessen, deren Ausgangsspannung linear von der Bewegungslage des Stellgliedes des zweiten Stellantriebes abhängig ist. Damit ist sie auch mit der Stellbewegung des ersten Stellantriebes verknüpft. Sie kann daher als entsprechende Bezugsspannung dienen.
  • Aus dem Gebrauchsmuster DE 92 09 151 U1 ist bekannt, zur genauen Positionierung eines zu positionierenden Gegenstands einen Piezoantrieb in einem Regelkreis zu betreiben. Als Detektor bzw. Messglied des Regelkreises kann z. B. ein Laserinterferometer dienen, das ständig die Position des zu bewegenden Gegenstandes feststellt und ein Rückkoppelsignal erzeugt, das einem Vergleicher zugeführt wird. Der Vergleicher vergleicht das rückgekoppelte Messsignal mit einem Positionsvorgabesignal und erzeugt ein Fehlersignal, das die Abweichung zwischen dem rückgekoppelten Messsignal und dem Positionsvorgabesignal angibt. Auf der Basis des Fehlersignals wird der Piezoantrieb angesteuert, um den zu positionierenden Gegenstand auf die vorgegebenen Koordinaten zu positionieren. Außerdem ist vorgesehen dass eine Antriebsvorrichtung einen Elektroantrieb zur Grobpositionierung des zu positionierenden Gegenstandes aufweist. Die Feinpositionierung wird durch den Piezoantrieb ausgeführt.
  • Gemäß der Lehre nach EP 0 559 397 A2 ist es möglich, einen Positionierer mit einer Antriebsvorrichtung zum Bewegen eines Elementes gemäß einem Steuerbefehlsignal auszubilden, wobei außerdem eine erste Steuervorrichtung vorgesehen ist, welche ein Steuersignal als Reaktion auf die Differenz zwischen einem Sollpositionssignal und einem Signal, das die Istposition des bewegbaren Elements darstellt, ausgibt. Des Weiteren ist eine zweite Steuervorrichtung angedacht, welche eine Störungskraft ermittelt, welche das bewegte Element beeinflusst, wobei die Ermittlung auf der Grundlage mindestens entweder eines Signals ausgeführt wird, das die Position des bewegbaren Elements darstellt, oder eines Signals, das die Bewegungsgeschwindigkeit des bewegbaren Elements darstellt. Die zweite Steuervorrichtung gibt außerdem ein entsprechendes Korrektursignal aus. Letztendlich ist ferner eine Vorrichtung zum Erzeugen des Steuerbefehlssignals vorgesehen, welches aus dem Steuersignal der ersten Steuervorrichtung und dem Korrektursignal der zweiten Steuervorrichtung erzeugt wird.
  • Ein ähnliches Korrektursystem für elektrisch betriebene Positionsmotoren wird in der US 5,155,422 A beschrieben.
  • Der aufgezeigte Stand der Technik sieht es vor, die auszuführenden Korrekturen bzgl. der Position des zu bewegenden Elements nur während des Bearbeitungsprozesses durchzuführen. Dies kann jedoch dazu führen, dass nur ungenügende Korrekturwerte vorliegen und ein zu bewegendes Element bereits ab Beginn des Arbeitsprozesses starke Positionsschwankungen zum eigentlichen Sollwert aufzeigt.
  • Aus dem Vorgenannten ist es daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Einrichtung zur Signalverarbeitung an Positioniersystemen bereitzustellen, welche einerseits eine Erhöhung der Arbeitsfrequenz des Positioniersystems und andererseits eine exaktere Positionierungskorrektur nach sich zieht.
  • Erfindungsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, dass vor die erste Ausführungsphase mit dem Positionierer eine Lernphase gelegt wird. In dieser Lernphase wird das Steuersignal analysiert, in seine spektralen Bestandteile zerlegt, entzerrt und in geeigneter Weise wieder so zusammengesetzt, dass die Ausgangsbewegung der Vorgabe am Eingang entspricht. Das entzerrte Signal, das an den direkten Eingang des Positionierers angelegt wird, unterscheidet sich dann oft sehr stark von dem am Ausgang gewünschten mechanischen Bewegungsverlauf.
  • Im folgenden wird eine erfindungsgemäße Einrichtung beschrieben, die das Signal Preshaping realisiert.
  • Die Lernphase für das System wird in zwei Stufen realisiert. Die erste Stufe ist in 1 dargestellt. Sie dient der Phasen- und Amplituden-Korrektur ohne Korrektur der durch das System verursachten nichtlinearen Verzerrungen.
  • Die beabsichtigte Bewegung am Positionierer 7 wird mit dem Block 4 vorgegeben. Das sind Zeit äquidistante Amplitudenwerte. Zum Beispiel das Profil einer Konturlinie bei einer gewollten Unrundbearbeitung an einer Drehmaschine. Die Punktzahl sollte vorzugsweise eine Potenz von 2 sein z. B. 128, 256, 512 u. s. w..
  • Die Werte liegen als Digitalwerte vor.
  • Der Schalter 5 wird geschlossen und damit ist das Eingangssignal mit dem Positionierer 7 verbunden. In dieser Phase kann noch keine Bearbeitung erfolgen, das Werkzeug führt frei Bewegungen aus.
  • Oft sind der Prozess, in dem der Positionierer 7 angeordnet ist, und der Steuerprozess mit einem Phasenversatz miteinander verbunden Deshalb wurde der Block Phasenverschiebung 6 zwischen Soll-Signal und Positionierereingang gelegt.
  • Das Steuersignal nach Block 6 wird digital abgegriffen (z. B. mit einem A/D Wandler) und Block 14a zugeführt. In Block 14a werden die Daten fourier-transformiert und mit Realteil {Re} und Imaginärteil {Im} zwischengespeichert.
  • Der Positionierer 7 führt während dieser Phase die Bewegung aus. Mit dem eingebauten oder einem getrennten Sensor 8 wird die Bewegung gemessen und einem A/D Wandler 9 zugeführt. Die so gewonnen Daten werden mit dem Block 10 fourier-transformiert ({Re} und {Im}) und zwischengespeichert. Beide zwischengespeicherten Daten aus Block 14a und Block 10 werden nun dem Block 11 zugeführt, in dem eine Berechnung der Amplitude und Phase erfolgt. Von der Amplitude wird der Kehrwert gebildet, d. h. es wird jeder Wert mit der Formel A[i]:= 1/A[i] überschrieben, die Phase wird invertiert Phase[i]:= – Phase[i]. Die so gewonnenen Daten werden im Block 12 mit den fourier-transformierten Soll Daten complex multipliziert. Dazu werden die Soll-Daten Block 14b zugeführt, in dem die Fourier-Transformation erfolgt. Als Ergebnis erhält man einen Vektor mit Realteil und Imaginärteil.
  • Dieser Vektor wird dem Block 13 zugeführt, in dem eine Fourier-Rücktransformation erfolgt. Mit derzeitig verfügbaren Prozessoren kann z. B. für 256 Sollwerte die gesamte Berechnung im Mikrosekundenbereich erfolgen.
  • Für die Korrektur der Phase und Amplitude des Positioniersystems kann nun die am Block 1 vorhandenen Daten dem Positionierer 7 als entzerrtes Soll-Signal zugeführt werden.
  • Für die Korrektur der Oberwellen muss noch ein zweite Phase durchlaufen werden. In 2 ist die Einrichtung zur Korrektur der Oberwellen dargestellt. Aufgrund von Nichtlinearitäten im Positioniersystem entstehen in der Bewegung des Positionierers Oberwellen. Wenn beispielsweise am Eingang eines Piezo-Positionierers eine Sinus-Funktion angelegt wird, dann ergibt sich die Bewegung zu einer Sinusform überlagert mit vorzugsweise der zweiten und dritten Oberwelle. Die Oberwellen sind in der Amplitude typisch um den Faktor 15 bis 100 kleiner als die Grundwelle. Die Oberwellen kann man nun kompensieren, indem am Eingang sinusförmige Signale addiert werden, die am Ausgang des Positionierers genau gegenphasige Bewegungen zu den Oberwellen erzeugen würden. Sind die Amplituden gleich groß, löschen sich die spektralen Anteile aus. Die von den Steuerspannungen ebenfalls wieder erzeugten Oberwellen werden vernachlässigt, weil sich die Amplitude potentiell verringert.
  • In Phase zwei (2) wird das vorkorrigierte Steuersignal von Block 1 bei geschlossenen Schaltern S2 und S4 dem Positionierer 7 zugeführt. Sobald das System eingeschwungen ist und die Daten vom A/D Wandler Block 9 erfasst sind, werden die Schalter S2 und S4 wieder geöffnet. Es werden die gleichen Funktionsgruppen (Block 8, Block 9, Block 10) aus 1 benutzt, um schließlich das Fourierspektrum des Signals zu erhalten. Nun wird das Spektrum von Block 10 im Realteil und Imaginärteil invertiert {Re}:= – {Re}, {im}:= – {Im}.
  • Über eine getrennte Messung ist in Block 15 die Übertragungsfunktion des Positionierers zwischengespeichert. Diese Übertragungsfunktion kann auch mit dem System aus 1 ermittelt werden, indem einmal vor allen Lernfunktionen ein Frequenzgemisch (z. B. 25 Hz, 50 Hz, 75 Hz usw.) als Soll-Signal angelegt wird und in Block 16 keine Amplituden- und Phasen-Invertierung erfolgt. Die Transferfunktion von Block 15 wird einer Fourier-Transformation in Block 16 zugeführt. In einem Block 12 werden nun die Spektren von Block 16 und Block 17 complex multipliziert und anschließend in Block 13 fourier-rücktransformiert.
  • Ist das System synchron mit unbekannter Phase (Block 6) an die Steuerung angeschlossen, dann ist mit Block 13 ein Block 18 zu verbinden, in dem eine Phasenshift erfolgt. Die Phase wird aus der Korrelation der Signale an Block 2 und Block 3 gewonnen. Eine einfache Möglichkeit, die Phase zu bestimmen ist die Multiplikation der konjugiert komplexen Spektren von Block 2 und Block 3, einer Fourier-Rücktransformation und anschließender Suche nach dem Extremwert. Die Lage des Extremwertes im Vektor gibt die erforderliche Shift an. Der so ermittelte Korrektur Vektor wird zum Vektor aus Block 1 addiert.
  • Dieser Vektor stellt nun die entzerrte Soll-Kurve dar, die am Ausgang des Positionierers eine amplituden- und phasentreues Nachfahren der ursprünglichen Soll-Kurve (Block 4) erlaubt.
  • In 3 bis 5 ist die Wirkung des Signal Preshaping im Vergleich zum unkorrigierten Soll-Signal und zu einem nur Phasen korrigierten dargestellt.
  • 3 zeigt das Soll Signal 20, die Zeitfunktion einer aufgewickelten Ellipse mit 175 μm Hub und die Bewegung des normierten Positionierweges, Kurve 21. Die Differenz (den Fehler) zwischen beiden Kurven zeigt Kurve 22 in zeitäquidistanten Schritten. Der Fehler liegt maximal bei ca. +/–80 μm.
  • In 4 ist der Fehler dargestellt der sich nach einer Korrektur der Phase des Steuersignals ergibt. Kurve 23 zeigt wieder die Soll-Kurve, Kurve 24 zeigt das phasenverschobene Steuersignal und Kurve 25 die normierte Positionierbewegung. Die Differenz ist in Kurve 26 dargestellt. Es ergeben sich ca. +–9 μm Fehler.
  • In 5 ist nun der Restfehler mit der erfindungsgemäßen Einrichtung des Signal Preshaping dargestellt. Kurve 27 zeigt die Soll-Kurve, Kurve 28 das entzerrte Soll-Signal. Die normierte Positionierbewegung in Kurve 29 ist optisch vom Soll-Signal kaum zu unterscheiden. Kurve 30 stellt wieder die Differenz zwischen Soll-Signal und Positionierbewegung dar. Der Fehler liegt noch bei +–2 μm.

Claims (6)

  1. Signal-Preshaping zur Verbesserung des Frequenzverhaltens eines repetierenden Positioniersystems bestehend aus einem Positionierer (7) mit Positionierantrieb einer digitalen oder analogen Controller Elektronik und einem Sensor (8), das mit einem Schaltwerk ausgestattet ist, das eine Lernphase und eine Ausführungsphase für die Lernphase zulässt, dadurch gekennzeichnet, dass zur Ausführung einer ersten Phase der Lernphase am Sensor (8) ein A/D Wandler (9) angeordnet ist, der synchron zur Soll-Position (4) die Ist-Position erfasst, dessen Ausgangsdaten mit einem zweiten Block (10) fourier-transformiert werden, in einem dritten Block (11) die Amplitude auf 1/Amplitude umgerechnet wird und die Phase negiert wird, der mit einem vierten Block (12) zur Multiplikation mit den Soll-Daten, welche zuvor in einem Block (14b) fourier-transformiert werden, verbunden ist, an den sich ein fünfter Block (13) anschließt, in dem eine Fourier-Rücktransformation der Daten erfolgt, die anschließend als entzerrte Solldaten (1) dem System zugeführt werden.
  2. Signal-Preshaping gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass in einer zweiten Phase der Lernphase das Fourierspektrum des zweiten Blocks (10) mit einem darauf folgenden Block (17) im Realteil und Imaginärteil invertiert wird und die in einem anderen Block (15) zwischengespeicherte Übertragungsfunktion des Positionierers (7) einer Fouriertransformation mit einem darauf folgenden Block (16) unterzogen wird und die fouriertransformierte Übertragungsfunktion des Positionierers (7) und das im Realteil und Imaginärteil invertierte Fourierspektrum des zweiten Blocks (10) im vierten Block (12) multipliziert werden und nachfolgend dem fünften Block (13) zur Fourier-Rücktransformation zugeführt wird, dessen Ausgang zum Vektor der entzerrten Soll-Daten (1) nach Anspruch 1 addiert wird und als entgültiger Oberwellen entzerrter Soll-Vektor für die Steuerung des Systems dient.
  3. Signal-Preshaping nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass es sich um einen digitalen Controller handelt, in dem die Blöcke Fouriertransformation, Amplituden- und Phasen- Umrechnung und Multiplikation mit den Eingangsdaten durch Software programmiert sind.
  4. Signal-Preshaping nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass zwei Analog/Digital Wandler enthalten sind, die Eingangsdaten und die Sensordaten synchron aufnehmen.
  5. Signal-Preshaping nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass bei einem System mit synchronem Phasenversatz in einem Block (18) die Phase zwischen Soll-Daten und Eingangs-Analog/Digitaldaten durch Korrelation ermittelt wird, der zwischen rücktransformierten Daten der zweiten Lernphase (13) und Summierpunkt (19) angeordnet ist.
  6. Signal-Preshaping nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Amplituden- und Phasengang des Sensors durch ein externes Messverfahren aufgenommen wird und in einem Block, der direkt nach dem Block (10) der Fouriertransformation der Sensor Daten angeordnet ist, die Korrektur erfolgt.
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ge P., Jouaneh M.: Modelling hysteresis in piezoceramic actuators Precision Engineering Inc 17, 1995, S. 211-221 *

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