DE19738751A1 - Optischer Codierer - Google Patents
Optischer CodiererInfo
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 44
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 6
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 5
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 claims description 2
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 abstract description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 abstract description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 2
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 2
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 238000010125 resin casting Methods 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
Classifications
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03M—CODING; DECODING; CODE CONVERSION IN GENERAL
- H03M1/00—Analogue/digital conversion; Digital/analogue conversion
- H03M1/12—Analogue/digital converters
- H03M1/22—Analogue/digital converters pattern-reading type
- H03M1/24—Analogue/digital converters pattern-reading type using relatively movable reader and disc or strip
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
- G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
- G01P3/36—Devices characterised by the use of optical means, e.g. using infrared, visible, or ultraviolet light
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
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Description
Die Erfindung betrifft einen optischen Codierer, der zum Nachweisen
der Drehstellung, der Drehgeschwindigkeit und dergleichen einer
Motorwelle oder eines ähnlichen Bauelements dient. Ein solcher
optischer Codierer kann auch dazu eingesetzt werden, den
Momentanzustand einer Bewegung, die Bewegungsgeschwindigkeit und
dergleichen eines linearhin- und herbewegten Elements nachzuweisen.
Speziell betrifft die Erfindung eine Dreh-Schlitzscheibe und eine
bewegliche Schlitzplatte als Bauteile eines optischen Codierers mit einem
aus fotoempfindlichen Materialien gefertigten Schlitzmuster.
Aus dem Stand der Technik sind optische Codierer bekannt, die in zwei
Typen unterteilt werden können, abhängig von der zu ermittelnden
Bewegung eines Objekts. Bei dem einen Typ handelt es sich um einen
optischen Drehcodierer, bei dem anderen Typ um einen optischen
Linearcodierer. Ein optischer Drehcodierer bekannter Bauart ist so
aufgebaut, daß eine Dreh-Schlitzscheibe und eine feststehende
Schlitzscheibe einander gegenüberliegend Fläche gegen Fläche
angeordnet sind und eine Leuchtdiode sowie eine Fotodiode ebenfalls
einander gegenüberstehend angeordnet sind, wobei die Leuchtdiode und
die Fotodiode zwischen sich die Dreh-Schlitzscheibe und die feststehende
Schlitzscheibe aufnehmen. Wenn beispielsweise eine Drehwelle eines
Motors sich dreht, dreht sich die an der Drehwelle gelagerte Dreh-Schlitzscheibe
eines Drehcodierers zusammen mit der Welle, wobei sie
intermittierend einen optischen Weg von der Leuchtdiode durch die
Schlitze in der feststehenden Schlitzscheibe zu der Fotodiode hin
unterbricht. Demzufolge ändert sich die von der Fotodiode empfangene
Lichtmenge periodisch bei der Drehung der Dreh-Schlitzscheibe, wobei
das Ausgangssignal der Fotodiode dann einer Wellenformung unterzogen
wird, um Rechteckimpulssignale zu erhalten, welche Information über
die Drehrichtung, die Drehzahl, die Drehposition und dergleichen
beinhalten.
Fig. 3 zeigt einen Halbschnitt einer typischen Dreh-Schlitzscheibe eines
herkömmlichen optischen Drehcodierers. Die Dreh-Schlitzscheibe 100
besitzt einen Scheibenkörper 101 aus Glas oder Metall, einen als Nabe
102 bezeichneten zylindrischen Teil aus Metall und eine Metallpassung
103 zum Fixieren des Scheibenkörpers 101 an der Nabe 102, damit sich
die Teile gemeinsam drehen. Die Nabe 102 ist an der Drehwelle eines
Motors oder dergleichen fixiert.
Die Dreh-Schlitzscheibe trägt ein Schlitzmuster aus Schlitzen, die
entlang der Umfangsrichtung der Scheibe in gleichmäßigen Abständen
angeordnet sind. Hergestellt wird das Schlitzmuster auf der Dreh-Schlitzscheibe
folgendermaßen: eine aus einem fotoempfindlichen
Material gefertigte Abschattungsschicht wird auf der Oberfläche eines
transparenten Glassubstrats oder eines Kunststoffsubstrats ausgebildet,
und die Abschattungsschicht wird ihrerseits einem Fotoätz-Prozeß
unterzogen, um in ihr ein Schlitzmuster auszubilden. Dieses Verfahren
zum Herstellen des Schlitzmusters hat Vorteile im Hinblick auf Kosten
und weitere Faktoren gegenüber einem Verfahren, bei dem ein
Schlitzmuster in einer aufgedampften Metallschicht, beispielsweise einer
Chromschicht, auf einem Glassubstrat ausgebildet wird.
Das aus fotoempfindlichem Material gefertigte Schlitzmuster hat
allerdings den Nachteil, daß es weniger widerstandsfähig und fest ist als
ein Schlitzmuster aus einer aufgedampften Chromschicht oder
dergleichen. Wenn also die Oberfläche der Dreh-Schlitzscheibe die
Oberfläche der feststehenden, der Dreh-Schlitzscheibe
gegenüberliegenden Schlitzplatte berührt, beispielsweise im Zuge der
Montage oder im montierten Zustand aufgrund eines Montagefehlers der
Dreh-Schlitzscheibe, aufgrund einer Auslenkung der Drehwelle oder
dergleichen, so wird das Schlitzmuster beschädigt, und es kann kein
exaktes Nachweis-Ausgangssignal mehr gewährleistet werden.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung eines optischen Codierers mit
einem Aufbau, bei dem ein aus einem fotoempfindlichen Material
gefertigtes Schlitzmuster geschützt ist.
Die Erfindung ist in den Ansprüchen gekennzeichnet.
Bei einem optischen Codierer gemäß der Erfindung ist eine Schlitzplatte
in der Weise aufgebaut, daß eine aus einem fotoempfindlichen Material
gefertigte Abschattungsschicht auf der Oberfläche eines transparenten
Substrats gebildet ist, und in der Abschattungsschicht ein Schlitzmuster
zum Zweck der Codierung ausgebildet ist. Die Abschattungsschicht mit
dem darin ausgebildeten Schlitzmuster für die Codierung wird überzogen
von einer transparenten Schutzschicht. Eine transparente Schutzschicht
kann aus Acrylharz, Epoxyharz und dergleichen bestehen.
Da bei dem erfindungsgemäßen optischen Codierer das Schlitzmuster aus
fotoempfindlichem Material von einer Schutzschicht bedeckt ist, läßt sich
eine Beschädigung des Schlitzmusters selbst vermeiden. Da das
Schlitzmuster aus fotoempfindlichen Material von der Schutzschicht
bedeckt ist und nicht freiliegt, wird es darüberhinaus auch nicht durch
Einflüsse aus der Luft beeinträchtigt. Darüberhinaus wird die
Schutzschicht in ihren optischen Eigenschaften derart eingestellt, daß das
Schlitzmuster so gestaltet wird, daß es gewünschte optische
Eigenschaften zeigt. Wenn z. B. als Schutzschicht eine
Antireflexionsschicht eingesetzt wird, läßt sich ein optischer Codierer
mit hoher Genauigkeit realisieren.
Der optische Codierer gemäß der Erfindung kann ein Codierer vom
Drehtyp sein, bei dem das Schlitzmuster auf einer Dreh-Schlitzscheibe
ausgebildet ist, oder es kann ein Codierer vom Lineartyp sein, bei dem
das Schlitzmuster auf einer Schlitzplatte ausgebildet ist, die sich entlang
einer Geraden hin- und herbewegt.
Andererseits wird bei einem erfindungsgemäßen optischen Drehcodierer,
bei dem eine Dreh-Schlitzscheibe und eine aus fotoempfindlichem
Material bestehende Abschattungsschicht vorhanden sind und in der
Abschattungsschicht ein Codier-Schlitzmuster ausgebildet ist, an der
Dreh-Schlitzscheibe ein ringförmiger vorstehender Oberflächenabschnitt
vorgesehen, der an einem Außenumfang der Oberfläche der Dreh-Schlitzscheibe
ausgebildet ist, die der Schlitzplatte gegenüberliegt.
Gemäß dem erfindungsgemäßen optischen Codierer mit dem oben
erläuterten Aufbau verhindert der vorstehende Oberflächenabschnitt, daß
das Schlitzmuster auf der Oberfläche der Dreh-Schlitzscheibe durch die
Oberfläche der feststehenden Schlitzplatte oder dergleichen berührt wird.
Hierdurch kann das Schlitzmuster zuverlässig geschützt werden.
Anstatt den ringförmigen vorstehenden Oberflächenabschnitt an der
Dreh-Schlitzscheibe auszubilden, kann ein vorstehender
Oberflächenabschnitt am Außenumfang der Oberfläche der festen Platte
angeformt sein, welche der Dreh-Schlitzscheibe gegenübersteht.
Alternativ kann ein ringförmig vorstehender Oberflächenabschnitt an der
Dreh-Schlitzscheibe zusammen mit einem ringförmigen vorstehenden
Oberflächenteil an der feststehenden Schlitzplatte vorgesehen sein, so
daß beide vorstehenden Oberflächen einander gegenüberstehen.
Typischerweise besitzt die Dreh-Schlitzscheibe einen Scheibenkörper, auf
dem das Codierungs-Schlitzmuster ausgebildet ist, und eine zylindrische
Nabe, die in der Mitte des Scheibenkörpers fixiert ist, um den
Scheibenkörper an einer Drehwelle zu befestigen. In diesem Fall ist es
erwünscht, wenn der Scheibenkörper und die Nabe mit Hilfe eines
Harzmaterials einstückig ausgebildet sind. Wenn die Dreh-Schlitzscheibe
ein zusammenhängendes Harzgießprodukt ist, läßt es sich billiger
herstellen als eine konventionelle Dreh-Schlitzscheibe, deren
Scheibenkörper und Nabe getrennt hergestellt werden. Außerdem läßt
sich der Zusammenbau von Scheibenkörper und Nabe vermeiden, so daß
Montagefehler vermieden werden können.
Der vorstehende Oberflächenteil zum Schützen des Schlitzmusters ist
auch anwendbar bei optischen Linearcodierern. Bei einem optischen
Linearcodierer bewegt sich eine Schlitzplatte entlang einer Geraden, eine
aus fotoempfindlichem Material gefertigte Abschattungsschicht auf einer
Oberfläche der beweglichen Schlitzplatte beinhaltet ein Codierungs-Schlitzmuster,
ein vorstehender Oberflächenteil kann an einer Oberfläche
der beweglichen Schlitzplatte dort ausgebildet sein, wo die feststehende
Schlitzplatte gegenüberliegt, so daß er in Richtung der feststehenden
Schlitzplatte vorsteht.
Auch in diesem Fall kann anstelle des vorstehenden
Oberflächenabschnitts an der beweglichen Schlitzplatte ein vorstehender
Oberflächenteil an einer Oberfläche der feststehenden Schlitzplatte dort
ausgebildet sein, wo die bewegliche Schlitzplatte gegenüberliegt, so daß
der Abschnitt in Richtung der beweglichen Schlitzplatte vorsteht.
Alternativ können die bewegliche und die feststehende Schlitzplatte beide
einen vorstehenden Oberflächenabschnitt aufweisen, die einander
gegenüberstehen.
Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines optischen Codierers
vom Reflexionstyp gemäß der Erfindung;
Fig. 2A ist eine Teil-Schnittansicht einer Dreh-Schlitzscheibe und einer
feststehenden Schlitzplatte des optischen Codierers nach Fig. 1;
Fig. 2B ist eine Teil-Schnittansicht eines modifizierten Beispiels einer
Dreh-Schlitzscheibe und einer feststehenden Schlitzplatte; und
Fig. 3 ist eine Teil-Schnittansicht, die den Aufbau einer
konventionellen Dreh-Schlitzscheibe zeigt.
Im folgenden wird ein optischer Codierer gemäß der Erfindung anhand
der beigefügten Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt ein schematisches Diagramm eines optischen Drehcodierers,
bei dem die vorliegende Erfindung angewendet wird. Wie in der
Zeichnung dargestellt ist, besitzt der optische Codierer 1 eine Dreh-Schlitzscheibe
3, die an einer Drehwelle 2 befestigt ist, eine feststehende
Schlitzplatte 4, die der Dreh-Schlitzscheibe 3 gegenüberliegt, und ein
lichtemittierendes Element 5 sowie ein Lichtempfangselement 6, die
einander so gegenüberliegend angeordnet sind, daß sich zwischen ihnen
die Dreh-Schlitzscheibe 3 und die feststehende Schlitzplatte 4 befinden.
Die Dreh-Schlitzscheibe 3 besitzt einen Scheibenkörper 32, auf dem
entlang des Umfangs eine Reihe von Schlitzen 31 ausgebildet ist, und
eine zylindrische Nabe 33, die im Zentrum des Scheibenkörpers 32
fixiert ist, um den Scheibenkörper 32 an der Drehwelle 2 zu befestigen.
Bei diesem Beispiel sind der transparente Scheibenkörper 32 und die
Nabe 33 mit Harzmaterial einstückig ausgebildet. Die feststehende
Schlitzplatte 4 ist ebenfalls ein Harzgießteil.
Fig. 2A zeigt einen Halbschnitt der Dreh-Schlitzscheibe 3 und der
feststehenden Schlitzplatte 4. Wie hier zu sehen ist, ist eine aus
fotoempfindlichem Material gefertigte Abschattungsschicht 35 auf der
Oberfläche 32a des Scheibenkörpers 32 der Dreh-Schlitzscheibe 3
ausgebildet, und ein die Reihe von Schlitzen 31 bildendes Schlitzmuster
36 ist durch Fotolithografie in der Abschattungsschicht 35 ausgebildet.
Die gesamte Abschattungsschicht 35, in der das Schlitzmuster 36
ausgebildet ist, wird von einer Schutzschicht 39 bedeckt. Die
Schutzschicht 39 besteht aus einem transparenten Acrylharz, Epoxyharz
oder dergleichen.
Bei diesem Beispiel ist eine Abschattungsschicht 35 aus
fotoempfindlichen Material auch auf der Oberfläche 4a der feststehenden
Schlitzplatte 4 ausgebildet, und in der Abschattungsschicht 45 ist durch
Fotolithografie ein Schlitzmuster 46 ausgebildet. Die gesamte
Abschattungsschicht 45 ist außerdem von einer Schutzschicht 49
bedeckt.
Die Dreh-Schlitzscheibe 3 und die Festschlitzplatte 4 werden so gehalten
und gelagert, daß sich zwischen ihnen eine Lücke konstanter Breite
befindet. Um die Lücke richtig einstellen zu können, wird
beispielsweise, wie durch gestrichelte Linien in Fig. 2A angedeutet, eine
Lückeneinstell-Abstandslehre 8 zwischen die Dreh-Schlitzscheibe 3 und
die feststehende Schlitzplatte 4 eingefugt, und die Dreh-Schlitzscheibe 3
wird in Richtung der feststehenden Schlitzplatte 4 in axialer Richtung
gedrückt, um dadurch die Stellung der Dreh-Schlitzscheibe 3 zu
justieren, und in dieser Stellung wird die Schlitzscheibe 3 fixiert.
Anschließend wird die Abstandslehre 8 aus dem Zwischenraum zwischen
der Dreh-Schlitzscheibe und der feststehenden Platte entfernt.
Bei dem optischen Codierer 1 mit dem oben erläuterten Aufbau sind die
Schlitzmuster 36 und 37 aus fotoempfindlichen Material durch die
Schutzschichten 39 bzw. 49 bedeckt. Folglich ist es möglich, die
Schlitzmuster 36 und 46 vor einer Berührung mit anderen Teilen oder
durch andere Teile sowie vor einer gegenseitigen Berührung und mithin
vor einer Beschädigung zu bewahren. Da die Schlitzmuster von den
Schutzschichten bedeckt sind, werden außerdem die aus
fotoempfindlichem Material gefertigten Abschattungsschichten 35 und 45
nicht durch Lufteinfluß beeinträchtigt. Wenn außerdem eine
Schutzschicht mit einer gewissen optischen Eigenschaft eingesetzt wird,
können die Oberflächen der Dreh-Schlitzscheibe und der feststehenden
Schlitzplatte so beschaffen sein, daß sie gewünschte optische
Eigenschaften besitzt. Beispielsweise kann die Schutzschicht ein
Antireflexionsüberzug sein.
Der optische Codierer 1 gemäß dieser Ausführungsform weist folgende
Effekte zusätzlich zu den oben angegebenen Wirkungen auf: wenn die
Dreh-Schlitzscheibe 3 ein Harzgießteil ist, läßt sich der optische
Codierer billiger herstellen als ein konventioneller Codierer, bei dem der
Scheibenkörper und die Nabe getrennt gefertigt werden. Da der
Zusammenbau von Scheibenkörper und Nabe entfällt, könnten
Montagefehler vermieden werden. Wenn die Schlitzmuster auf die
Oberfläche der Dreh-Schlitzscheibe 3 mittels Fotolithografie übertragen
werden, kann das Material der Dreh-Schlitzscheibe, mit welchen die
Nabe einstückig ausgebildet ist, positioniert werden, indem man von
dem Mitteldurchgangsloch der Nabe Gebrauch macht. Folglich läßt sich
die Dreh-Schlitzscheibe einfacher positionieren, wenn die Schlitzmuster
hergestellt werden, und gleichzeitig können die Schlitzmuster mit
größerer Genauigkeit gefertigt werden.
Obschon die Schlitzmuster aus fotoempfindlichem Material sowohl auf
der Dreh-Schlitzscheibe als auch der feststehenden Schlitzplatte bei dem
obigen Beispiel ausgebildet sind, ist es auch möglich, daß das
Schlitzmuster aus fotoempfindlichen Material nur auf der Dreh-Schlitzscheibe
ausgebildet ist.
Fig. 2B zeigt ein modifiziertes Beispiel der oben erläuterten Dreh-Schlitzscheibe
3 und der feststehenden Schlitzplatte 4. Bei dem hier
gezeigten Beispiel ist anstelle der obigen Schutzschicht 39 und 49 ein
flacher vorstehender Oberflächenbereich am Außenumfangsabschnitt der
Dreh-Schlitzscheibe und der entsprechenden Oberfläche der
feststehenden Schlitzplatte ausgebildet.
Genauer gesagt, ist gemäß Fig. 2B ein ringförmiger vorstehender
Oberflächenabschnitt 37, der in Richtung der feststehenden Schlitzplatte
4A mit einer bestimmten Dicke vorsteht, am äußeren Umfangsrand eines
Scheibenkörpers 32 einer Dreh-Schlitzscheibe 3A ausgebildet. Ein
Schlitzmuster 36 ist auf der Oberfläche der Scheibe ausgebildet, die sich
im Inneren des ringförmigen vorstehenden Oberflächenabschnitts 37
befindet. In ähnlicher Weise ist ein vorstehender Oberflächenabschnitt
47, der in Richtung der ringförmigen vorstehenden Oberfläche 37 der
Dreh-Schlitzscheibe vorsteht, mit einer vorbestimmten vorstehenden
Dicke an der feststehenden Schlitzplatte 4A ausgebildet. Das
Schlitzmuster 46 ist im Inneren des vorstehenden Oberflächenabschnitts
47 ausgebildet.
Die Dreh-Schlitzscheibe 3A und die feststehende Schlitzplatte 4A werden
so positioniert, daß sie einander gegenüberliegen, während sich zwischen
ihnen eine konstante Lücke befindet. Beispielsweise werden die Dreh-Schlitzscheibe
3A und die feststehende Schlitzplatte 4A so gehalten, daß
der Abstand zwischen dem Bereich, wo das Schlitzmuster 36 ausgebildet
ist und dem Bereich, in welchem das Schlitzmuster 46 ausgebildet ist,
etwa 0,1 mm beträgt, während die Lücke zwischen der vorstehenden
Oberfläche 37 und der vorstehenden Oberfläche 47 am Außenumfang
etwa 0,05 mm beträgt.
Um die Lücke einzustellen, wird z. B. gemäß den gestrichelten Linien in
Fig. 2B eine Lückenjustier-Abstandslehre 8a zwischen die Dreh-Schlitzscheibe
3 und die feststehende Schlitzplatte 4 eingefügt, und die
Dreh-Schlitzscheibe 3 wird in Richtung der feststehenden Schlitzplatte 4
in axialer Richtung gedrückt und anschließend wird die Dreh-Schlitzscheibe
3 positioniert und fixiert. Anschließend wird die
Abstandslehre 8a herausgezogen.
Da die übrigen Komponenten identisch mit den entsprechenden Teilen
des optischen Codierers 1 gemäß Fig. 1 sind, wird hier auf ihre weitere
Erläuterung verzichtet.
Bei dem optischen Codierer mit der oben erläuterten Dreh-Schlitzscheibe
und der feststehenden Schlitzplatte kann der zwischen die vorstehenden
Oberflächen 37 und 43 an der Dreh-Schlitzscheibe 3A bzw. der
feststehenden Schlitzplatte 4A eingefügte Abstandshalter mühelos die
Lücke zwischen den beiden Teilen justieren. Selbst wenn die Dreh-Schlitzscheibe
3 sich exzentrisch dreht, gelangen die vorstehenden
Oberflächen 37 und 47 in Berührung miteinander und verhindern, daß
sich die Schlitzmuster 36 und 34 berühren. Folglich fungieren diese
vorstehenden Oberflächen 37 und 47 als Schutz der Schlitzmuster, die
aus fotoempfindlichem Material gefertigt sind. Da die aus
fotoempfindlichen Materialien gefertigten Schlitzmuster weniger
Festigkeit besitzen als konventionelle Schlitzmuster aus einer
aufgedampften Chromschicht oder dergleichen, ist ein derartiger Schutz
extrem vorteilhaft.
Bei dem obigen Beispiel sind die aus fotoempfindlichen Material
gefertigten Schlitzmuster sowohl auf der Dreh-Schlitzscheibe als auch
der feststehenden Schlitzplatte ausgebildet. Das Schlitzmuster aus
fotoempfindlichen Material kann aber auch bloß auf der Dreh-Schlitzscheibe
ausgebildet sein, während das Schlitzmuster auf der
feststehenden Schlitzplatte aus einem Abschattungsmaterial besteht, in
welchem lichtdurchlässige Schlitze gebildet sind.
Die obige Erläuterung betrifft den erfindungsgemäßen optischen
Drehcodierer. Allerdings kann die Erfindung auch bei einem optischen
Linearcodierer eingesetzt werden.
Im Fall des optischen Linearcodierers mit einer beweglichen
Schlitzplatte, die sich entlang einer Geraden bewegt, befindet sich eine
Abschattungsschicht aus fotoempfindlichem Material auf der beweglichen
Schlitzplatte, und in der Abschattungsschicht ist ein Codier-Schlitzmuster
ausgebildet. Es kann eine in Richtung der feststehenden Schlitzplatte
vorstehende Oberfläche auf der Oberfläche der beweglichen Schlitzplatte
ausgebildet sein, die der feststehenden Schlitzplatte gegenüberliegt.
Anstatt die vorstehende Oberfläche an der beweglichen Schlitzplatte
auszubilden, ist es möglich, eine vorstehende Oberfläche so auszubilden,
daß sie sich auf derjenigen Oberfläche der feststehenden Schlitzplatte
befindet, die der beweglichen Schlitzplatte zugewandt ist. Es besteht
ferner die Möglichkeit, vorstehende Oberflächen sowohl an der
beweglichen Schlitzplatte als auch an der feststehenden Schlitzplatte
vorzusehen, wobei die vorstehenden Oberflächen einander zugewandt
sind.
Gemäß obiger Beschreibung wird bei einem erfindungsgemäßen
optischen Codierer die Abschattungsschicht, in der das Schlitzmuster für
die Codierung ausgebildet ist, durch die transparente Schutzschicht
geschützt. Folglich läßt sich eine Beschädigung der Schlitzmuster selbst
vermeiden. Wenn die Schlitzmuster aus fotoempfindlichem Material von
der Schutzschicht bedeckt sind und nicht freiliegen, wirkt dies einer
Beeinträchtigung durch Lufteinflüsse entgegen. Wenn außerdem die
Schutzschicht eine gegebene optische Eigenschaft besitzt, kann die
optische Eigenschaft des Schlitzmusters entsprechend gewählt werden.
Bei dem erfindungsgemäßen optischen Codierer ist die vorstehende
Fläche, die in Richtung der feststehenden Schlitzplatte vorsteht, auf der
Dreh-Schlitzplatte oder der beweglichen Schlitzplatte ausgebildet, so daß
die Schlitzmuster aus fotoempfindlichem Material auf der Dreh-Schlitzscheibe
bzw. der beweglichen Schlitzplatte vor einer Berührung
durch andere Teile geschützt sind. Folglich läßt sich eine Beschädigung
der Schlitzmuster, die von sich aus keine ausreichende Festigkeit
besitzen, vermeiden.
Claims (11)
1. Optischer Codierer mit einer Schlitzplatte, bei der auf einem
transparenten Substrat eine Abschattungsschicht aus einem
fotoempfindlichen Material gebildet und in der Abschattungsschicht
zur Codierung ein Schlitzmuster ausgebildet ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Abschattungsschicht mit dem Codierungs-Schlitzmuster
durch eine transparente Schutzschicht bedeckt ist.
2. Codierer nach Anspruch 1, bei dem die Schutzschicht eine
Antireflexionsbeschichtung ist.
3. Codierer nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Schlitzplatte eine
Dreh-Schlitzplatte ist.
4. Codierer nach Anspruch 1 oder 2, bei dem die Schlitzplatte eine
sich entlang einer Geraden hin- und herbewegende bewegliche
Schlitzplatte ist.
5. Optischer Drehcodierer mit einer Dreh-Schlitzscheibe, einer aus
fotoempfindlichem Material gefertigten Abschattungsschicht, die auf
der Dreh-Schlitzscheibe ausgebildet ist, und in der zur Codierung
ein Schlitzmuster ausgeformt ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Dreh-Schlitzscheibe mit einer ringförmigen vorstehenden
Oberfläche ausgebildet ist, die an einem äußeren Umfangsbereich
der Schlitzscheibe dort in Richtung einer feststehenden Schlitzplatte
vorsteht, wo die feststehende Schlitzplatte gegenüberliegt.
6. Codierer nach Anspruch 5, bei dem anstelle der ringförmigen
vorstehenden Oberfläche der Dreh-Schlitzscheibe die feststehende
Schlitzplatte mit einer vorstehenden Oberfläche dort ausgebildet ist,
wo ein äußerer Umfangs-Oberflächenabschnitt der Dreh-Schlitzscheibe
gegenüberliegt, wobei die vorstehende Oberfläche in
Richtung der Dreh-Schlitzscheibe weist.
7. Codierer nach Anspruch 5, bei dem die feststehende Schlitzplatte
eine vorstehende Oberfläche enthält, die der Dreh-Schlitzscheibe
zugewandt ist und sich an einem Oberflächenbereich der
feststehenden Schlitzplatte befindet, wo die ringförmig vorstehende
Oberfläche der Dreh-Schlitzscheibe gegenüberliegt.
8. Codierer nach einem der Ansprüche 5 bis 7, bei dem die Dreh-Schlitzscheibe
einen Scheibenkörper enthält, in welchem das
Schlitzmuster für die Codierung ausgebildet ist, ferner eine
zylindrische Nabe, die in der Mitte des Scheibenkörpers fixiert ist,
um den Scheibenkörper an einer Drehwelle befestigen zu können,
wobei der Scheibenkörper und die Nabe mit Hilfe eines
Harzmaterials einstückig ausgebildet sind.
9. Optischer Linearcodierer mit einer beweglichen Schlitzplatte, die
sich entlang einer Geraden bewegt einer aus fotoempfindlichem
Material gefertigten Abschattungsschicht, die auf der beweglichen
Schlitzplatte ausgebildet ist, und mit einem Schlitzmuster, welches
zur Codierung in der Abschattungsschicht ausgebildet ist,
dadurch gekennzeichnet,
daß die bewegliche Schlitzplatte eine vorspringende Oberfläche
aufweist, die gegenüber und in Richtung einer feststehenden
Schlitzplatte vorsteht.
10. Codierer nach Anspruch 9, bei dem anstelle der vorstehenden
Oberfläche an der beweglichen Schlitzplatte die feststehende
Schlitzplatte auf einer zu der beweglichen Schlitzplatte hinweisenden
Oberfläche eine vorspringende Oberfläche aufweist, die in Richtung
auf die bewegliche Schlitzplatte vorsteht.
11. Codierer nach Anspruch 9, bei dem die feststehende Schlitzplatte
auf einer der vorstehenden Oberfläche der beweglichen Schlitzplatte
zugewandten Oberfläche eine vorstehende Fläche aufweist, die in
Richtung der beweglichen Schlitzplatte vorsteht.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23901696 | 1996-09-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19738751A1 true DE19738751A1 (de) | 1998-03-12 |
Family
ID=17038647
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19738751A Ceased DE19738751A1 (de) | 1996-09-10 | 1997-09-04 | Optischer Codierer |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5955727A (de) |
DE (1) | DE19738751A1 (de) |
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008292406A (ja) * | 2007-05-28 | 2008-12-04 | Mitsutoyo Corp | 光電式エンコーダ |
CN101561621B (zh) * | 2008-04-17 | 2010-12-08 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 遮光片及使用该遮光片的投影系统 |
JP5752221B2 (ja) * | 2013-12-19 | 2015-07-22 | ファナック株式会社 | 弾性構造部を備えた固定スリットを有する光学式エンコーダ |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2033576B (en) * | 1978-10-02 | 1983-02-02 | Integrated Photomatrix Ltd | Sensing assembly for a reflective position encoder |
CH669457A5 (de) * | 1986-02-18 | 1989-03-15 | Mettler Instrumente Ag | |
JPH07888Y2 (ja) * | 1988-02-22 | 1995-01-11 | 株式会社ミツトヨ | 光学式変位検出器 |
-
1997
- 1997-09-04 DE DE19738751A patent/DE19738751A1/de not_active Ceased
- 1997-09-04 US US08/923,400 patent/US5955727A/en not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10036769A1 (de) * | 2000-07-28 | 2002-02-14 | Kostal Leopold Gmbh & Co Kg | Geberscheibe für optoelektronische Drehwinkelsensoren |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US5955727A (en) | 1999-09-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8131 | Rejection | ||
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