DE19738480C1 - Verfahren und Einrichtung zur optischen Vermessung von Objekten - Google Patents
Verfahren und Einrichtung zur optischen Vermessung von ObjektenInfo
- Publication number
- DE19738480C1 DE19738480C1 DE1997138480 DE19738480A DE19738480C1 DE 19738480 C1 DE19738480 C1 DE 19738480C1 DE 1997138480 DE1997138480 DE 1997138480 DE 19738480 A DE19738480 A DE 19738480A DE 19738480 C1 DE19738480 C1 DE 19738480C1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- intensity
- images
- measurement
- generated
- filtering
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
- G01B11/25—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures by projecting a pattern, e.g. one or more lines, moiré fringes on the object
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft Verfahren und Einrichtung zur optischen Vermessung von Objek
ten. Es gibt mittlerweile eine Reihe von optischen Meßverfahren, die durch Projektion
von Lichtmustern, welche in der Regel mit einer Videokamera aufgezeichnet werden, die
flächenhafte Berechnung von 3 dimensionalen Verschiebungs- und Konturdaten ermögli
chen. Zu diesen Verfahren gehören beispielsweise die 3D Konturvermessung mittels pro
jizierter Streifen oder die Verschiebungs- und Dehnungsmessung mittels der Speckle
Interferometrie oder die Mehrfachpuls-Holografie. Zur Berechnung der 3-dimensionalen
Gestalt eines Objektes oder des Verschiebungs- bzw. Dehnungsfeldes wird hierbei ein
digitales Bildverarbeitungssystem verwendet, das aus ein oder mehreren Kamerabildern
die gewünschten Ergebnisdaten berechnet. Bei der Auswertung der aufprojizierten Strei
fen- bzw. Specklemuster wird dabei entweder unterschieden, ob die am gerade betrachte
ten Bildpunkt auftreffende Linie im gerade betrachteten Bild hell- oder dunkelgeschaltet
ist (Beispiel CLA-Verfahren (CLA: coded light approach)), oder es wird, unter Annahme
einer sinusförmigen Intensitätsmodulation der auftreffenden Linie oder des auftreffenden
Speckles, die im gerade betrachteten Bild vorliegende Phasenlage bestimmt (Beispiel
Phasenshiftverfahren). Als Rechenverfahren kommen Streifenidentifikationsverfahren
(T. G. Stahs, F. M. Wahl, "Close Range Photogrammetry Meets Machine Vision", SPIE
Vol. 1395 (1990) S. 496-503) oder Phasenshift-Verfahren (W. Osten, "Digitale Verar
beitung und Auswertung von Interferenzbildern", Kap. 6, Akademie Verlag ISBN 3-05-
501294-1) zum Einsatz. Die in den Kamerabildern, welche innerhalb einer Meßbildse
quenz aufgenommen werden, vorhandene Bildinformation setzt sich zusammen aus ei
nem Anteil an gleichbleibender Helligkeitsinformation durch hell/dunkel-Kontraste auf
der Objektoberfläche, Umgebungslicht usw., die als Hintergrundintensität bezeichnet
wird, und einem Anteil an gezielt modulierter Lichtintensität, die durch unterschiedliche
optische Gitter oder eine Phasenschiebeeinheit erzeugt wird. Die in den Bildern vorlie
gende Information über die Hintergrundintensität wird bei diesen Auswerteverfahren
ausnahmslos rechnerisch beseitigt und die Amplitude der Intensitätsmodulation normiert.
Folglich ist bei diesen Meßverfahren weder die Hintergrundintensität noch die Amplitude
der Intensitätsmodulation von Interesse.
Der Erfindung liegt das Problem zugrunde, daß bei den oben genannten Meßverfahren
die aufprojizierten Streifen- bzw. Specklemuster, aus denen die Meßdaten gewonnen
werden, über den gesamten Bildsensor betrachtet, häufig weder in ihrer Intensitätsampli
tude noch in ihrer Hintergrundintensität konstant sind. Als Ursachen hierfür sind die va
riablen Reflexionseigenschaften der beobachteten Objekte, die ungewollt ungleichmäßige
Ausleuchtung der Szenerie durch die Projektionseinheit und die Einflüsse des Umge
bungslichtes zu nennen. Je höher dabei die Dynamik der Hintergrundintensität ist, desto
geringer muß die Amplitude der überlagerten Intensitätsmodulation durch Streifen- bzw.
Specklemuster sein, damit das Kamerabild während der Aufnahme der Meßbildsequenz
weder Übersteuerungen noch Unterbelichtungen aufweist. Es ist offensichtlich, daß sich
mit relativ zur Hintergrundintensität kleiner werdender Amplitude der Intensitätsmodula
tion das Signal/Rausch-Verhältnis zunehmend verschlechtert. Mit anderen Worten: je un
gleichmäßiger die Helligkeitsverteilung auf dem mit der Kamera beobachteten Objekt ist,
desto schlechter ist die Qualität der Ergebnisdaten. Übersteigt die Dynamik der Hinter
grundintensität bereits den Dynamikbereich der Kamera, so ist eine lückenlose Auswer
tung bisher generell unmöglich.
Um eine möglichst gleichmäßige Helligkeit der zu vermessenden Objekte im Kamerabild
zu erzielen, werden diese üblicherweise weiß eingefärbt. Hiermit lassen sich die Probleme
beseitigen, die man sonst mit einem wie auch immer gearteten Farbmuster auf der Ob
jektoberfläche bei der Aufnahme der Meßwertbilder hätte. Diese Maßnahme kann jedoch
zur Beschädigung der Objektoberfläche führen und erfordert in jedem Fall eine nachträg
liche Reinigung, die insbesondere bei Serienprüfungen unzumutbar sein kann. Ferner
wird durch das Einfärben des Objektes eine in der Praxis fast immer vorhandene un
gleichmäßige Ausleuchtung des Objektes durch die Projektionseinheit nicht ausgeglichen.
Für viele Anwendungen (z. B. 3D-Vermessung von Gesichtern oder Kunstgegenständen)
ist außerdem der Erhalt der Originalfarbgebung des Objektes erwünscht, d. h. man will
die Originalfarbgebung zusammen mit den Meßdaten aufnehmen um später z. B. zu Ani
mationszwecken 3D Kontur und Farbe überlagern zu können.
Die Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Einrichtung zur intensitätsmo
dulierenden optischen Messung anzugeben, welche gegen Unterschiede der Hinter
grundintensität weitgehend unempfindlich sind. Diese Aufgabe wird durch das in Patent
anspruch 1 aufgeführte Verfahren und die in Anspruch 7 angegebene Einrichtung gelöst.
Es werden hiermit sowohl die örtlichen Schwankungen der Hintergrundintensität als
auch unterschiedlich hohe Intensitätsamplituden optisch eliminiert. Vorteilhafte Weiter
bildungen sind in den jeweiligen Unteransprüchen angegeben.
Erfindungsgemäß wird in den Strahlengang zwischen Objekt und der beobachtenden
Kamera ein Filter eingesetzt, um Bildbereiche, die zu hell sind, abzudunkeln während
dunkle Bildbereiche nicht oder nur geringfügig abgedunkelt werden. Durch diese Maß
nahme wird erreicht, daß sowohl die Hintergrundintensität als auch die Intensitätsampli
tude in hellen Bereichen abgeschwächt und damit denen in den dunkleren Bildbereichen
angeglichen werden. Hierdurch kann die Gesamthelligkeit bei der Ausleuchtung durch
die Projektionseinheit erhöht und / oder die Lichtempfindlichkeit der Kamera gesteigert
werden, ohne daß Übersteuerungen in den zuvor, d. h. bei voll lichtdurchlässigem Filter,
hellen Bildbereichen auftreten.
Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird das Filter in Form eines Lichtmodulators als
Matrix mit n × m in ihrer Lichtdurchlässigkeit unabhängig voneinander einstellbaren Ele
menten eingebracht. Dadurch kann das Intensitätenfilter dynamisch an die vorliegenden
Lichtverhältnisse angepaßt werden. Für die geometrische Anordnung von Bildsensor und
Lichtmodulator wurden bereits mehrere Lösungen beschrieben, z. B. in den Patentschrif
ten DE 43 05 807 A1 oder DE 44 20 637 A1, und sie muß daher nicht in allen Details
beschrieben werden. Neben der hier ausnahmslos vorgeschlagenen Verwendung von
LCD-Panels können auch Mikro-Spiegel-Modulatoren (MMD: micro-mirror-device)
verwendet werden, bei denen die unerwünscht hohen Lichtverluste der mit Polarisa
tionsfiltern arbeitenden LCD-Panels vermieden werden.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird die Berechnung der In
tensitätsabschwächung auf Basis eines Bildes durchgeführt, welches nur die Hinter
grundintensität enthält, so daß durch die Hintereinanderschaltung von Objekt und
Lichtmodulator eine vollständige Elimination der Schwankungen der Hintergrundintensi
tät auf dem Bildsensor der Kamera erfolgt. Hierdurch wird eine optimale Wirkung er
zielt.
Vorteilhafterweise wird die Aufnahme aller zur Messung gehörenden Intensitätsbilder
dann mit der zuvor berechneten und eingestellten Intensitätsabschwächung durchgeführt,
wobei diese nicht mehr verändert wird. Hierdurch wird die Einhaltung einer konstanten
Hintergrundintensität sichergestellt, die eine Grundbedingung für die Anwendbarkeit der
Eingangs erwähnten Berechnungsverfahren darstellt.
Mit der Erfindung ist somit eine Möglichkeit geschaffen, die unerwünschten örtlichen
Schwankungen der Hintergrundintensität optisch zu beseitigen und gleichzeitig die In
tensitätsamplitude der Projektionseinrichtung für alle untersuchten Bildpunkte anzuglei
chen. Dadurch kann die durch Streifenprojektion oder Phasenlagenänderung erzeugte
Intensitätsmodulation nun mit maximaler Amplitude aufgetragen werden, d. h. die Dy
namik der Kamera wird nun ausschließlich zur Messung der Intensitätsmodulation ge
nützt, womit eine lückenlose Auswertung bei gleichzeitig optimalem Signal/Rausch-Ver
hältnis erreicht wird.
Im Folgenden wird ein Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Fig. 1 erläutert.
Die Fig. 1 zeigt eine vereinfachte schematische Darstellung einer Einrichtung zur opti
schen Vermessung von Objekten gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung. Eine
Einrichtung zur optischen Vermessung eines Objektes 3 enthält eine Projektionseinrich
tung 1, mit der ein Lichtmuster 2 auf dem zu vermessenden Objekt 3 erzeugt wird. Mit
tels einer Optik 9 wird eine Abb. 4 des auf das Objekt projizierten Lichtmusters auf
einem Bildsensor 5 erzeugt. Optik 9 und Bildsensor 5 können Bestandteile einer Kamera
bzw. Videokamera sein. Mittels einer Auswerteeinheit 6 wird aus der Abbildung des
projizierten Lichtmusters 2 die Oberflächenkontur des zu vermessenden Objekts 3 be
rechnet. Die Auswerteeinheit 6 kann in einem Mikrocomputer eines optischen Bildverar
beitungssystems bestehen.
Ein als optisches Filterelement 7 dienender Lichtmodulator ist als Array von intensitäts
abschwächenden Elementen ausgebildet und zwischen das Objekt 3 und dem Bildsensor
5 geschaltet und läßt eine möglichst feinstufige, voneinander unabhängige und gegebe
nenfalls voneinander verschiedene Abschwächung der von verschiedenen Oberflächen
punkten des betrachteten Objektes ausgehenden Strahlenbündel zu. Die Ansteuerung des
Lichtmodulators 7 erfolgt mittels einer elektronischen Schaltung 8, welche die Erzeu
gung bzw. Anzeige von beliebigen Abblendmustern mittels des Lichtmodulators 7 er
möglicht und in der Lage ist, diese während der Aufnahme beliebig vieler Kamerabilder
ununterbrochen unverändert beizubehalten. Hierzu ist beispielsweise die Verwendung
einer zur Auflösung des Lichtmodulators 7 passenden Computer-Grafikkarte denkbar.
Ist der Lichtmodulator 7, wie in Fig. 1 dargestellt, als Mikro-Spiegel-Modulator aus
gebildet, so wird ferner eine Optik 10 zur Erzeugung einer Zwischenabbildung des Ob
jektes 3 auf dem Lichtmodulator 7 verwendet.
Die Aufnahme des Referenzbildes zur Berechnung des mit dem Lichtmodulator 7 zu er
zeugenden Abblendmusters erfolgt zweckmäßigerweise bei voll durchlässigem Modu
lator. Dabei wird bei der Wahl der Objektivblende und der Belichtungszeit bzw. der
Ausleuchtung der Szenerie so vorgegangen, daß die dunkelsten Bereiche ausreichend
hell abgebildet werden. Danach kann ein zum Referenzbild negatives Abblendmuster
berechnet und mit dem Lichtmodulator 7 dargestellt werden, das die Dynamik des Hin
tergrundbildes vollständig kompensiert oder zumindest unter einen bestimmten Schwell
wert verkleinert. Zur Berechnung des mittels des Lichtmodulators 7 zu erzeugenden
Abblendmusters bedient man sich zweckmäßigerweise der zur Meßdatenerfassung und -
auswertung ohnehin erforderlichen Kamera und des daran angeschlossenen Bildverar
beitungssystems.
Claims (11)
1. Verfahren zur optischen Vermessung von Objekten, bei dem Lichtmuster auf das zu
vermessende Objekt projiziert werden, Abbildungen von den auf das zu vermessende Ob
jekt projizierten Lichtmustern erzeugt werden, und aus den erzeugten Abbildungen die
Oberflächenkontur, die Verschiebung oder der Spannungs-/Dehnungszustand des Objek
tes berechnet wird, dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen dem aufzunehmenden Objekt und den Abbildungen eine optische Filterung
vorgenommen wird, welche die von verschiedenen Objektpunkten ausgehenden Strah
lenbündel unabhängig und gegebenenfalls verschieden voneinander in ihrer Intensität so
abschwächt, daß die örtliche Schwankung der resultierenden Hintergrundintensität ge
genüber Abbildungen ohne diese Filterung verkleinert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die optische Filterung während der Messung nicht verändert wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß die Filterung durch ein Array von unabhängig voneinander einstellbaren Intensitäts
abschwächern oder Mikroblenden erfolgt, welches über eine elektronische Steuerung
dynamisch an die vorliegenden Lichtverhältnisse angepaßt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet,
daß die Berechnung der mit der Filterung zu erzeugenden bündelweisen Intensitätsab
schwächung auf Basis der mit einer Meßbildkamera aufgenommenen Bilder und unter
Verwendung eines digital arbeitenden Bildverarbeitungssystems erfolgt.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
daß die Berechnung der mit der Filterung zu erzeugenden bündelweisen Intensitätsab
schwächung mithilfe desselben Bildverarbeitungssystems erfolgt, das auch zur Messung
verwendet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Filterung mittels einer Matrix von Miniaturspiegeln (micro mirror device) erfolgt.
7. Einrichtung zur optischen Vermessung von Objekten mit einer Projektionseinrichtung
(1) zur Erzeugung von Lichtmustern (2) auf dem zu vermessenden Objekt (3), einer
Optik (9) zur Erzeugung von Abbildungen (4) der auf das Objekt projizierten Lichtmu
ster (2) auf einen Bildsensor (5), und einer Auswerteeinrichtung (6) zur Berechnung der
Oberflächenkontur, der Verschiebung oder des Spannungs-/Dehnungszustandes des zu
vermessenden Objektes (3) aus den erzeugten Abbildungen (4), dadurch gekennzeichnet,
daß ein optisches Filterelement (7) zwischen dem aufzunehmenden Objekt und dem Bild
sensor (5) eingefügt ist, welches die von verschiedenen Objektpunkten ausgehenden
Strahlenbündel unabhängig und gegebenenfalls verschieden voneinander in ihrer Intensi
tät so abschwächt, daß die örtliche Schwankung der resultierenden Hintergrundintensität
auf dem Bildsensor (5) gegenüber Aufnahmen ohne dieses Filterelement (7) verkleinert
wird.
8. Einrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet,
daß das optische Filterelement (7) als Array von unabhängig voneinander einstellbaren
Intensitätsabschwächern oder Mikroblenden ausgebildet ist, welches über eine elektro
nische Steuerung (8) dynamisch an die vorliegenden Lichtverhältnisse angepaßt wird.
9. Einrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,
daß die Berechnung der mit dem Filterelement (7) zu erzeugenden bündelweisen Intensi
tätsabschwächung auf Basis der mit einer Meßbildkamera aufgenommenen Bilder und
unter Verwendung eines digital arbeitenden Bildverarbeitungssystems erfolgt.
10. Einrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet,
daß die Berechnung der mit dem Filterelement (7) zu erzeugenden bündelweisen Intensi
tätsabschwächung mithilfe derselben Auswerteeinrichtung (6) des Bildverarbeitungs
systems erfolgt, das auch zur Auswertung der Meßbilder verwendet wird.
11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 7 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß das Filterelement (7) in Form einer Matrix von Miniaturspiegeln (micro mirror de
vice) ausgebildet ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997138480 DE19738480C1 (de) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | Verfahren und Einrichtung zur optischen Vermessung von Objekten |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1997138480 DE19738480C1 (de) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | Verfahren und Einrichtung zur optischen Vermessung von Objekten |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19738480C1 true DE19738480C1 (de) | 1998-11-26 |
Family
ID=7841059
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1997138480 Expired - Fee Related DE19738480C1 (de) | 1997-09-03 | 1997-09-03 | Verfahren und Einrichtung zur optischen Vermessung von Objekten |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19738480C1 (de) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10019387C2 (de) * | 2000-04-19 | 2003-05-15 | Bernward Maehner | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Reifen |
EP1431803A2 (de) * | 2002-12-19 | 2004-06-23 | Olympus Corporation | Bildaufnahemegerät zur dreidimensionalen Formvermessung und entsprechende Methode |
WO2014000738A2 (de) | 2012-06-29 | 2014-01-03 | Inb Vision Ag | Verfahren zur bilderfassung einer vorzugsweise strukturierten oberfläche eines objekts und vorrichtung zur bilderfassung |
CN103900489A (zh) * | 2014-03-11 | 2014-07-02 | 苏州江奥光电科技有限公司 | 一种线激光扫描三维轮廓测量方法及装置 |
DE102005043070B4 (de) * | 2005-09-07 | 2017-01-26 | Jenoptik Robot Gmbh | Verfahren zur hochgenauen dreidimensionalen Vermessung und/oder Rekonstruktion von Objekten mit Hilfe digitaler Bildaufnahmen, beispielsweise zur Bildauswertung von Verkehrsstrecken |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4212073A (en) * | 1978-12-13 | 1980-07-08 | Balasubramanian N | Method and system for surface contouring |
US4991968A (en) * | 1988-07-20 | 1991-02-12 | Robotic Vision Systems, Inc. | Three dimensional object surface determination with automatic sensor control |
-
1997
- 1997-09-03 DE DE1997138480 patent/DE19738480C1/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4212073A (en) * | 1978-12-13 | 1980-07-08 | Balasubramanian N | Method and system for surface contouring |
US4991968A (en) * | 1988-07-20 | 1991-02-12 | Robotic Vision Systems, Inc. | Three dimensional object surface determination with automatic sensor control |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
NL-Z.: LEHMANN, M.: Optimization of wavefield intensities in phase-shifting speckle interfero- metry, in: Optics Communications 118(1995)199-206 * |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10019387C2 (de) * | 2000-04-19 | 2003-05-15 | Bernward Maehner | Verfahren und Vorrichtung zur Untersuchung von Reifen |
EP1431803A2 (de) * | 2002-12-19 | 2004-06-23 | Olympus Corporation | Bildaufnahemegerät zur dreidimensionalen Formvermessung und entsprechende Methode |
EP1431803A3 (de) * | 2002-12-19 | 2004-11-17 | Olympus Corporation | Bildaufnahemegerät zur dreidimensionalen Formvermessung und entsprechende Methode |
DE102005043070B4 (de) * | 2005-09-07 | 2017-01-26 | Jenoptik Robot Gmbh | Verfahren zur hochgenauen dreidimensionalen Vermessung und/oder Rekonstruktion von Objekten mit Hilfe digitaler Bildaufnahmen, beispielsweise zur Bildauswertung von Verkehrsstrecken |
WO2014000738A2 (de) | 2012-06-29 | 2014-01-03 | Inb Vision Ag | Verfahren zur bilderfassung einer vorzugsweise strukturierten oberfläche eines objekts und vorrichtung zur bilderfassung |
DE102013212409A1 (de) | 2012-06-29 | 2014-03-13 | Inb Vision Ag | Verfahren zur Bilderfassung einer vorzugsweise strukturierten Oberfläche eines Objekts und Vorrichtung zur Bilderfassung |
US10869020B2 (en) | 2012-06-29 | 2020-12-15 | Inb Vision Ag | Method for capturing images of a preferably structured surface of an object and device for image capture |
CN103900489A (zh) * | 2014-03-11 | 2014-07-02 | 苏州江奥光电科技有限公司 | 一种线激光扫描三维轮廓测量方法及装置 |
CN103900489B (zh) * | 2014-03-11 | 2016-05-04 | 苏州江奥光电科技有限公司 | 一种线激光扫描三维轮廓测量方法及装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP1898245B1 (de) | Anordnung zur Erhöhung der Tiefendiskriminierung optisch abbildender Systeme | |
DE3889986T2 (de) | Anordnung eines Spannungsdetektors. | |
DE69721167T2 (de) | Verfahren zur Bilderfassung bei konfokaler Mikroskopie | |
DE2934038C2 (de) | Rißfortschritts-Meßeinrichtung | |
DE4204857C2 (de) | Verfahren zur Untersuchung einer Oberflächenform mit einem Interferometer | |
DE4007502A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur beruehrungslosen vermessung von objektoberflaechen | |
DE19859725A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Objektuntersuchung | |
EP2863167B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Ablenkung von Lichtstrahlen durch eine Objektstruktur oder ein Medium | |
DE112017001464B4 (de) | Abstandsmessvorrichtung und Abstandsmessverfahren | |
DE69231269T2 (de) | Vorrichtung zum ermitteln der automatischen fokussierung | |
DE19738480C1 (de) | Verfahren und Einrichtung zur optischen Vermessung von Objekten | |
EP0466979B1 (de) | Anordnung zur simultanen konfokalen Bilderzeugung | |
EP1290485B1 (de) | Verfahren zur quantitativen optischen messung der topographie einer oberfläche | |
DE3435059C2 (de) | ||
DE3222915C1 (de) | Helligkeitsregelung fuer Mikroskopieeinspiegelung | |
DE19859801A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur echtzeitfähigen Verformungsdarstellung | |
DE4036120A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung der wegaenderung von strahlen, vorzugsweise lichtstrahlen | |
WO2022053189A1 (de) | Operationsmikroskop mit mindestens zwei kameraeinrichtungen | |
DE19524498B4 (de) | Bildverarbeitungssystem | |
DE102004004115A1 (de) | Mikroskopsystem und Verfahren zur Shading-Korrektur der im Mikroskopsystem vorhandenen Optiken | |
DE19716785A1 (de) | Shearing-Speckle-Interferometrie III: Shearing-Speckle-Interferometrie zur Messung der Verformungsgradienten an Freiformflächen | |
DE102011055967A1 (de) | Messverfahren und Vorrichtung zur Durchführung des Messverfahrens | |
DE102023104081B3 (de) | Verfahren zum Bestimmen der Modulationstransferfunktion eines optischen Prüflings sowie Modulationstransferfunktions-Messgerät | |
DE102013104710A1 (de) | Verfahren zur lichtabhängigen Grauwertkorrektur | |
DE2413690A1 (de) | Optischer diffraktometer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |