DE19735094A1 - Anordnung zur geometrischen Umformung eines Strahlungsfelds - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Anordnung zur geometrischen Umformung ei­ nes Strahlungsfelds, insbesondere eines Strahlungsfelds eines Diodenlaserarrays, das sich in z-Richtung ausbreitet, mit einem Strahlungsquerschnitt, der in der einen Richtung, als x-Richtung definiert, senkrecht zu der z-Richtung verläuft, eine gegen­ über der dazu senkrecht stehenden Richtung, als y-Richtung definiert, eine größere Ausdehnung bei geringerer Strahlqualität aufweist, wobei x, y und z ein rechtwinkli­ ges Koordinatensystem bilden, wobei die Strahlung in Strahlungsanteile in x-Rich­ tung gruppiert ist oder wird und die Strahlungsanteile in Bezug auf ihre Strahlquer­ schnitte umorientiert werden, wobei die Anordnung mindestens zwei reflektive Ele­ mente umfaßt.

Eine solche Anordnung ist allgemein bekannt.

Die Anwendungsbereiche solcher Anordnungen, wie sie vorstehend angeführt sind, sind unter anderem die Geometrieumformung von Diodenlaserstrahlung, um defi­ nierte Strahlungsfelder aufzubauen, sowie die Umformung eines rechteckigen Strahlungsfelds eines Lasers mit einem zum Beispiel slab- bzw. stabförmigen Ver­ stärkungsmedium, um dadurch die Strahlqualität über den Querschnitt des Strahls zu homogenisieren bzw. an spezifische Anwendungen zu adaptieren.

Hochleistungs-Diodenlaserarrays bzw. -Feldanordnungen haben typischerweise ak­ tive Medien mit einem Querschnitt von 1 µm × 10 mm. Dadurch bedingt ist die Di­ odenlaserstrahlung unter anderem gekennzeichnet durch einen typischen, ellipti­ schen Strahlquerschnitt und dem großen Divergenzwinkel in der Fastrichtung (senk­ recht zum PN-Übergang) und einer relativ geringen Divergenz in der Slowrichtung (parallel zum PN-Übergang).

Ein solches Diodenlaserarray mit einem Strahlquerschnitt von 1 µm × 10 mm besitzt extrem unterschiedliche Strahlqualitäten in den beiden Richtungen senkrecht und parallel zu dem PN-Übergang. So ist die Strahlqualität in der Fastrichtung beu­ gungsbegrenzt und in der Slowrichtung ca. 1000- bis 2000-fach beugungsbegrenzt. Aus diesem Grund kann die von einem Diodenlaserarray emittierte Strahlung nicht mit zylindrischen und sphärischen Linsen in einen kleinen und kreisförmigen Fleck fokussiert werden. Dadurch werden die Anwendungen von Hochleistungs-Diodenla­ sern auf Einsatzgebiete beschränkt, wo nur geringe Intensitäten pro Flächeneinheit notwendig sind. Die Ausweitung der Anwendungen auf Gebiete wie die Medizintech­ nik und die Materialbearbeitung, die Fasereinkopplung und das End-On-Pumpen von Festkörperlasern und Faserlasern, erfordert eine Homogenisierung der Strahl­ qualität in beiden Richtungen.

Ausgehend von dem vorstehend angegebenen Stand der Technik und der vorste­ hend geschilderten Problematik, die sich bei dem Einsatz von Diodenlaserstrahlung stellt, liegt der vorliegenden Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung der eingangs angegebenen Art so auszubilden, daß die Strahlqualität senkrecht zur Ausbreitungsrichtung homogen ist.

Gelöst wird die Aufgabe bei einer Anordnung mit den eingangs angegebenen Merk­ malen dadurch, daß jedes reflektive Element ein Paar Reflexionsflächen aufweist, die annähernd unter 90° oder gleich zu 90° zueinander stehen, und dieser Öffnungswinkel entgegen der Ausbreitungsrichtung gerichtet ist und die mit ihrer Schnittlinie annähernd unter 45° zu der x-Richtung orientiert sind.

Mit einer solchen Anordnung kann das Strahlungsfeld von Diodenlaserarrays durch die Abbildung einzelner Emittergruppen gruppiert werden, indem das Strahlungsfeld auf die Anordnung mit den mindestens zwei reflektiven Elementen gerichtet wird. Da die einzelnen Reflexionsflächen jeweils paarweise unter 90° zueinander orientiert sind und die Strahlung unter 45° auf die Spiegelflächen geführt wird, wird jeder Strahlungsteil an den paarweise zugeordneten Reflexionsflächen jeweils zweifach reflektiert und dadurch um einen bestimmten Winkel, vorzugsweise um 90°, gedreht. Hierdurch werden die Teilstrahlen bzw. Gruppen in der Richtung senkrecht zur ur­ sprünglichen Gruppierung orientiert, d. h. die Gruppen, die zunächst in der x-Rich­ tung gruppiert wurden, stehen nun als einzelne Abschnitte in der y-Richtung nach der zweifachen Reflexion an den Reflexionsflächenpaaren der reflektiven Elemente übereinander. Durch diese geometrische Umformung und Umorientierung der einzel­ nen Strahlungsanteile kann die Strahlqualität über den Querschnitt homogenisiert werden. Die Schnittlinie der zwei ein Paar bildenden Reflexionsflächen jedes reflek­ tiven Elements kann unter einem Winkel ungleich 90° zu der z-Richtung orientiert werden, damit kein Polarisationsstrahlteiler benötigt wird.

Eine weitere bevorzugte Ausgestaltung der Anordnung ist derart, daß die Schnittlinie eines Paars zueinander zugeordneter Reflexionsflächen eines reflektiven Elements unter einem Winkel von 90° zu der z-Richtung orientiert ist und in Strahlausbrei­ tungsrichtung gesehen die Strahlung zunächst auf einen Polarisationsteiler fällt und nach Rückreflexion von dem Reflexionsflächenpaar mit gedrehter Polarisationsrich­ tung auf den Polarisationsteiler zurückgeführt und dort ausgekoppelt wird.

Zum Umformen von Strahlung eines Strahlungsfelds können mehrere reflektive Ele­ mente aneinandergefügt werden. So entsteht eine fortlaufend w-förmige Struktur der Reflexionsflächen, die wechselweise unter einem Winkel von 90° zueinander orien­ tiert sind, wobei dann die Gruppierung der Strahlungsanteile des Strahlungsfelds, das auf eine solche Anordnung auftrifft, durch die Schnittlinien der unmittelbar benachbarten Reflexionsflächen der jeweils benachbarten zwei Reflexionsflächen­ paare erfolgt.

Es wird ersichtlich werden, daß das Strahlungsfeld, das mit der erfindungsgemäßen Anordnung umorientiert wird, aus den Strahlungsanteilen mehrerer Strahlungsquel­ len zusammengesetzt sein kann. Die einzelnen Strahlungsquellen bzw. die Strah­ lungsanteile werden dann auf die jeweiligen Flächenpaare für die Gruppierung mit­ tels einer Abbildungsoptik abgebildet derart, daß dann jedem Strahlungsanteil je­ weils ein Reflexionsflächenpaar zugeordnet ist. An den Spiegelflächen eines Refle­ xionsflächenpaars erfolgt dann eine Zweifachreflexion unter Drehung des jeweiligen Strahlanteils, um diesen Strahlanteil in Bezug auf eine Beobachtungsebene aus­ gangsseitig der zweiten Reflexionsfläche, d. h. nach der zweiten Reflexion, in seiner Lage zu drehen.

Bei bevorzugten Ausführungen haben die einzelnen Strahlungs- bzw. Strahlanteile große Divergenzwinkel. Dies ist von Vorteil, da jedem von einem Reflexionsflächen­ paar reflektierten Strahlungsanteil eine Optik zugeordnet wird, die die Dimension des Strahlquerschnitts in der y-Richtung bzw. der Richtung der höheren Strahlquali­ tät vergrößert bzw. den Divergenzwinkel in dieser Richtung reduziert.

Weitere Einzelheiten und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgen­ den Beschreibung von Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung. In der Zeich­ nung zeigt

Fig. 1A eine Anordnung zur Umformung von Diodenlaserstrahlung, in der die Spiegelanordnung, wie sie in den Fig. 2A gezeigt ist, eingesetzt ist, wobei Fig. 1C und 1D zwei Beobachtungsebenen jeweils vor und nach der Reflexion zeigen, die die jeweiligen Strahlungsgruppen, entspre­ chend gruppiert und umgeformt, darstellen.

Fig. 1B eine Seitenansicht aus Richtung des Sichtpfeils IB in Fig. 1A auf die Spiegelanordnung, die Diodenlaserstrahlenquelle und eine Kollimationseinrichtung,

Fig. 2A eine Seitenansicht einer Spiegelanordnung, die ein wesentliches Bauteil der erfindungsgemäßen Anordnung darstellt,

Fig. 2B eine Draufsicht auf die Spiegelanordnung der Fig. 2A aus Richtung des Sichtpfeils IIB,

Fig. 3A eine Anordnung zur On-Axis-Umformung von polarisierter oder zumindest quasi-polarisierter Strahlung, wobei Fig. 3B die Gruppierung des Strah­ lungsfelds nach Gruppierung an der Spiegelanordnung, wie sie in Fig. 3A gezeigt ist, darstellt, und wobei Fig. 3C die Strahlungsgruppierung in einer Beobachtungsebene nach zweifacher Reflexion an der Spiegelanordnung darstellt,

Fig. 4A eine weitere Anordnung, die mit der Anordnung der Fig. 3A vergleichbar ist, die allerdings eine zusätzliche Abbildungsoptik aufweist, wobei Fig. 4B die Abbildung der Strahlungsgruppen auf die Spiegelanordnung zeigt und Fig. 4C die Umorientierung der Strahlungsquerschnitte der Strah­ lungsgruppen nach zweifacher Reflexion an der Spiegelanordnung zeigt,

Fig. 5A eine Anordnung, die dazu dient, den Füllfaktor zu erhöhen, wobei Fig. 5B das Eingangsstrahlenfeld und Fig. 5C das ausgangsseitige Strah­ lungsfeld der Anordnung der Fig. 5A darstellen,

Fig. 6A eine zweite Anordnung, mit der der Füllfaktor erhöht werden kann, mit dem eingangs- und ausgangsseitigen Laserstrahlungsfeld in der Fig. 6B gezeigt, und

Fig. 7 eine dritte Anordnung, mit der ebenfalls der Füllfaktor erhöht werden kann.

Die Fig. 1A und 1B zeigen eine Anordnung zur Umformung eines Strahlungs­ felds. Bei der Strahlungsquelle 1 handelt es sich um eine lineare Feldanordnung mit einzelnen Diodenlaseremittern 2, die ein in der x-Richtung langgestrecktes (linea­ res) Feld bilden. Die Abstrahlung der Strahlung erfolgt in der z-Richtung. Hierbei liegt die Slowrichtung der Diodenlaserstrahlung, d. h. die Richtung des elliptischen Strahlquerschnitts mit relativ geringem Divergenzwinkel (parallel zum PN-Übergang) in der x-Richtung, während die Fastrichtung, d. h. die Richtung des elliptischen Strahlquerschnitts mit großem Divergenzwinkel, in der y-Richtung (siehe Fig. 1B) orientiert ist. Die x-, y- und z-Richtung stellen hierbei ein rechtwinkliges Koordina­ tensystem dar. Die Diodenlaserstrahlung wird zunächst durch eine Kollimationslinse 3 kollimiert bzw. der Divergenzwinkel wird in dieser Richtung reduziert. Die Dioden­ laserstrahlung wird dann, durch den Strahlungspfeil 4 angedeutet, unter einem klei­ nen Winkel, d. h. einem Winkel im Bereich von etwa 10 Grad, wie auch in Fig. 1B zu erkennen ist, auf eine Spiegelanordnung 5 gestrahlt. Diese Spiegelanordnung 5, wie sie in einer vergrößerten Darstellung in Fig. 2A und in einer Draufsicht aus Richtung des Sichtpfeils IIB in Fig. 2B gezeigt ist, umfaßt eine Anzahl reflektiver Elemente, in der gezeigten Ausführungsform insgesamt vier solcher reflektiver Ele­ mente 6, von denen jedes aus einem Paar Reflexionsflächen 7, 8 zusammengesetzt ist. Die beiden Reflexionsflächen 7, 8 jedes reflektiven Elements 6 schließen einen Winkel von annähernd 90° ein, wobei dieser Öffnungswinkel 9 entgegen der Aus­ breitungsrichtung 4 der Diodenlaserstrahlung gerichtet ist. Die jeweiligen Schnittlinien der Reflexionsflächen-Paare sind unter einem Winkel von etwa 45° zu der x-Richtung ausgerichtet. Hierdurch ergibt sich eine w-förmige, fortlaufende Anordnung der Reflexionsflächen 7, 8. Die Strahlung 4, die auf die Spiegelanordnung 5 ge­ strahlt wird, wird an den Außenkanten, d. h. den Schnittlinien 10, die zu der Dioden­ laseranordnung 1 hin vorstehen, in einzelne Strahlungsanteile gruppiert, wie dies in der Fig. 1C dargestellt ist. Bei einem durchgehenden oder fortlaufenden Strah­ lungsfeld ergeben sich Teilstrahlen, die quer zur Ausbreitungsrichtung einen rauten­ förmigen Strahlungsquerschnitt besitzen. Von der einen Reflexionsfläche 7 bzw. 8 wird dann der jeweilige Strahlungsanteil zu der gegenüberliegenden Reflexionsflä­ che 8 bzw. 7 reflektiert und von dort abgestrahlt. Jeder Teilstrahl 11, der aus der Spiegelanordnung 5 austritt, wird anschließend in der Slowrichtung kollimiert, wozu in der in den Fig. 1A und 1B gezeigten Anordnung eine Kollimationslinse 12 ein­ gesetzt ist.

Eine On-Axis-Umformungsanordnung, d. h. eine Anordnung, bei der die Kanten 10 senkrecht zur z-Richtung stehen, ist in Fig. 3A dargestellt. Vorausgesetzt wird bei dieser Anordnung, daß die umzuformende Strahlung polarisiert oder zumindest quasi-polarisiert ist. Diese Bedingung wird beispielsweise durch ein Diodenlaserar­ ray 1, wie es auch in der Ausführungsform der Fig. 1A eingesetzt ist, erfüllt.

Soweit in Fig. 3A sowie in den weiteren Figuren Bauteile und Bauelemente darge­ stellt sind und erläutert werden, die mit Bauelementen der Fig. 1A und 1B ver­ gleichbar sind, so sind dieselben Bezugszeichen verwendet und eine Wiederholung der Beschreibung solcher Bauteile oder Bauelemente wird weggelassen.

Die Strahlung des Diodenlaserarrays 1 bzw. der Diodenlaseremitter 2 wird durch ei­ ne Kollimationslinse 3 in dieser Ausführungsform in der Fastrichtung kollimiert und somit wird der Divergenzwinkel reduziert. Die Diodenlaserstrahlung führt dann durch eine λ/2-Platte 13, die die p-Polarisation der Diodenstrahlung in eine s-Polarisation umwandelt. Die Strahlung trifft dann auf den Polarisator 14, der die Diodenstrahlung zu der Spiegelanordnung 5, die der Spiegelanordnung 5 entspricht, die in Fig. 2A und 2B dargestellt ist, führt. An den Außenkanten 10 der w-förmig angeordneten re­ flektiven Elemente 6 bzw. deren Reflexionsflächen 7, 8 wird das Strahlungsfeld so gruppiert, wie dies in Fig. 3B dargestellt ist, so daß rautenförmige Strahlungsgrup­ pen entstehen. Nach einer Zweifachreflexion an den jeweiligen Reflexionsflächen­ paaren 7, 8 werden die Teilstrahlen in sich sowohl bezüglich des Querschnitts als auch bezüglich der Polarisation um 90° gedreht, so daß sich ein Strahlungsbild aus den einzelnen Strahlungsquerschnitten ergibt, wie dies in Fig. 3C gezeigt ist. Die Strahlung bzw. die Strahlungsgruppen werden dann durch den Polarisator 14 aus­ gekoppelt, mit dem Pfeil 15 angedeutet, und die aus dem Polarisator 14 austretende Strahlung kann mit weiteren optischen Anordnungen 16 geformt werden, wobei zweckmäßigerweise eine Kollimation der Strahlung in der Slowrichtung erfolgt.

Bei den vorstehend anhand der Fig. 1 bis 3 diskutierten Ausführungsformen wird das Strahlungsfeld mittels der Außenkanten der reflektiven Elemente 6 der Spie­ gelanordnung 5 gruppiert. Dadurch bedingt sind die Teilstrahlen rautenförmig, wie dies anhand der Fig. 1C und 1D sowie 3B und 3C zu sehen ist. Dies stellt zwar ein einfaches Verfahren einer Gruppierung dar, allerdings wird als ein idealer, um­ geformter Strahlungsquerschnitt ein annähernd rechteckiger oder quadratischer Querschnitt gefordert.

Eine Anordnung, mit der die Forderung nach einem rechteckigen oder quadratischen Querschnitt erfüllt werden kann, ist in Fig. 4A gezeigt, die in ihrem grundsätzlichen Aufbau der Anordnung der Fig. 3A entspricht. Zusätzlich ist zwischen der λ/2-Platte 13 und dem Polarisator 14 eine Abbildungsoptik 17 eingefügt, die die Strahlung der Diodenlaseremitter 2 oder die aus der Strahlung der Diodenlaseremitter 2 gebildeten Strahlungsgruppen in der Breiten-Richtung, d. h. in der x-Richtung in Fig. 4A, auf die jeweiligen reflektiven Elemente 6 bzw. die Reflexionsflächen 7, 8 abbildet, wie dies in Fig. 4b dargestellt ist, wobei die vier etwa rechteckigen Strahlungsquer­ schnitte den vier reflektiven Elementen 6 der Spiegelanordnung 5 zuzuordnen sind. Nach der zweifachen Reflexion an den jeweiligen Reflexionsflächen 7, 8 besitzt dann, aufgrund der erfolgten Drehung der Strahlquerschnitte, das aus dem Polarisa­ tor 14 austretende Strahlungsfeld eine gegenüber der Fig. 4B gedrehte Orientie­ rung, wie dies in Fig. 4C gezeigt ist. Die einzelnen Strahlungsquerschnitte sind dann übereinander gestapelt und können durch weitere Abbildungsoptiken so zu­ sammengeschoben werden, daß sie übereinanderliegend ein geschlossenes Strah­ lungsfeld bilden.

In allen Ausführungsformen, wie sie vorstehend diskutiert sind, können die reflekti­ ven Elemente 6 der Spiegelanordnung 5 auch durch einzelne Dachkantenprismen, die zu einem entsprechenden Feld zusammengesetzt sind, ersetzt werden.

Bei der Umformung der Strahlung bzw. der Querschnitte der Strahlungsgruppen so­ wohl mit einer Abbildungsoptik als auch ohne eine Abbildungsoptik kann es von Vor­ teil sein, die Abmessung des Strahlungsfelds in der Richtung senkrecht zur Gruppie­ rung kleiner zu halten. Dies führt dazu, daß der Füllfaktor des Ausgangsstrahlungs­ felds wesentlich kleiner als 1 ist, wie sich dies aus den Fig. 1D, 3C und 4C un­ mittelbar ergibt. Dies hat zur Folge, daß die Strahlqualität verringert wird. Um diesen nachteiligen Effekt aufzuheben, sind zusätzliche, optische Abbildungsanordnungen von Vorteil, mit denen der Füllfaktor erhöht wird. Drei mögliche, bevorzugte Ausfüh­ rungsformen solcher Anordnungen sind in den Fig. 5, 6 und 7 dargestellt.

Die Ausführungsform, wie sie in Fig. 5A dargestellt ist, zeigt ein zylindrisches Teleskop-Array 18, bei dem die einzelnen eingangsseitigen Strahlungsanteile 19 (siehe Fig. 5) mittels negativen Zylinderlinsen 20 aufgeweitet werden, die dann in einer jeder Strahlungsgruppe zugeordneten positiven Zylinderlinse 21 parallelisiert werden, so daß aus den einzelnen Ausgangsstrahlungsanteilen 22 ein geschlosse­ nes, zusammenhängendes Strahlungsfeld mit dem Füllfaktor 1 entsteht, wie dies in Fig. 5C gezeigt ist.

In einer zweiten, bevorzugten Anordnung, die in Fig. 6A dargestellt ist, werden die jeweiligen eingangsseitigen Strahlungsanteile 19, wobei in dem Beispiel der Fig. 6A drei Strahlungsgruppen gebildet sind, in jeweils ein refraktives Element 23, des­ sen Eintrittsfläche 24 abgeschrägt ist, schräg unter einem Winkel eingestrahlt, und zwar so, daß die gesamte Eintrittsfläche 24 ausgeleuchtet wird. Ausgangsseitig der refraktiven Elemente 23 werden dann die Querschnitte der einzelnen Ausgangs­ strahlungsanteile 22 aufgeweitet und näher zusammengeschoben, so daß ein Füll­ faktor von annähernd 1 erzielt wird, wie dies auch der Vergleich der Eingangsstrah­ lungsanteile 19 mit den Ausgangsstrahlungsanteilen 22 entsprechend der Fig. 6 verdeutlicht.

Schließlich ist in Fig. 7 eine dritte Ausführungsform zur Erhöhung des Füllfaktors dargestellt, bei der, im Gegensatz zu der Ausführungsform der Fig. 6, reflektive Elemente verwendet werden. Hierbei fallen die einzelnen Strahlungsanteile 19 schräg auf jeweilige Reflexionsflächen 25 so auf, daß die einzelnen Strahlungsquer­ schnitte der Ausgangsstrahlungsanteile 22 näher zusammengeschoben werden, so daß ein erhöhter Füllfaktor erzielt werden kann. In Bezug auf die Eingangsstrah­ lungsanteile 19 werden die jeweiligen Koordinaten durch die Reflexionsflächen 25 entsprechend dem gewünschten ausgangsseitigen Strahlungsfeld geändert.

Claims (6)

1. Anordnung zur geometrischen Umformung eines Strahlungsfelds, insbesonde­ re eines Strahlungsfelds eines Diodenlaserarrays, das sich in z-Richtung aus­ breitet, mit einem Strahlungsquerschnitt, der in der einen Richtung, als x-Rich­ tung definiert, die senkrecht zu der z-Richtung verläuft, eine gegenüber der da­ zu senkrecht stehenden Richtung, als y-Richtung definiert, eine größere Aus­ dehnung bei geringerer Strahlqualität aufweist, wobei x, y und z ein rechtwinkli­ ges Koordinatensystem bilden, wobei die Strahlung in Strahlungsanteile in x-Richtung gruppiert ist oder wird und die Strahlungsanteile in Bezug auf ihre Strahlquerschnitte umorientiert werden, wobei die Anordnung mindestens zwei reflektive Elemente umfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß jedes reflektive Ele­ ment (6) ein Paar Reflexionsflächen (7, 8) aufweist, die annähernd unter 90° oder gleich zu 90° zueinander stehen, und dieser Öffnungswinkel (9) entgegen der Ausbreitungsrichtung gerichtet ist, und die mit ihrer Schnittlinie (10) annä­ hernd unter 45° zu der x-Richtung orientiert sind.

2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schnittlinie (10) jeweils unter einem Winkel ungleich 90° zu der z-Richtung orientiert ist.

3. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Schnittlinie (10) unter einem Winkel von 90° zu der z-Richtung orientiert ist, wobei in Strahlungsausbreitungsrichtung gesehen die Strahlung zunächst auf einen Po­ larisationsstrahlteiler (14) fällt und nach Rückreflexion von dem Reflexionsflä­ chenpaar (7, 8) auf den Polarisationsteiler (14) zurückgeführt und dort ausge­ koppelt wird.

4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Gruppierung der Strahlungsanteile durch die Schnittlinien (10) der unmittel­ bar benachbarten Reflexionsflächen (7, 8) der benachbarten zwei Reflexions­ flächenpaare erfolgt.

5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Strahlungsfeld aus den Strahlungsanteilen mehrerer Strahlungsquellen zu­ sammengesetzt ist und auf Reflexionsflächenpaare (7, 8) mittels einer Abbil­ dungsoptik (3) abgebildet wird derart, daß jedem Strahlungsanteil jeweils ein Reflexionsflächenpaar (7, 8) zugeordnet ist.

6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß jedem von einem Reflexionsflächenpaar (7, 8) reflektierten Strahlungsanteil ei­ ne Optik (12) zugeordnet ist, die die Dimension des Strahlquerschnitts in der y-Richtung bzw. der Richtung der höheren Strahlqualität vergrößert bzw. der Divergenzwinkel in dieser Richtung reduziert wird.