DE19709913C2 - Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen - Google Patents
Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Auslenkung von mikromechanischen SpiegelanordnungenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft Anordnungen zur Messung und Steuerung
oder Regelung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegel
anordnungen.
Meßaufnehmer zur Bestimmung der Auslenkung von drehbar gela
gerten Teilen sind durch mehrere Veröffentlichungen bekannt.
Mikromechanische Spiegelanordnungen an sich sind unter anderem
in der EP 692 729 veröffentlicht. Daraus ist ein Einzelspiegel
bekannt, der über Federn in einem Rahmen aufgehängt ist. Der
Rahmen, die Federn und der Einzelspiegel bestehen aus einem
Halbleitermaterial in Form von Silizium. Die Auslenkung des
Einzelspiegels erfolgt elektromagnetisch. Dazu sind Permanent
magneten auf dem Träger der Spiegelanordnung aufgebracht. Die
Auslenkung wird über jeweils eine Spulenanordnung auf dem
Träger gemessen, die Bestandteil einer Widerstandsmeßbrücke
sind.
Aus der DE 196 06 095 (Spiegelantriebsverfahren und -vorrich
tung für ein Mikrospiegelfeld) ist eine Anordnung zur An
steuerung von mikromechanischen Spiegelanordnungen, wobei
mehrere Einzelspiegel über mindestens zwei Federn mit einem die
Einzelspiegel umgebenden Rahmen verbunden sind, bekannt. Die
Auslenkung basiert auf permanentmagnetischer Kopplung zwischen
einer Spulenanordnung auf dem Spiegel und einem Permanent
magneten auf einem Träger. Die Größe der Auslenkung ist äqui
valent des Stromflusses durch die Spulenanordnung. Eine Messung
der Auslenkung erfolgt nicht.
In der DE 44 24 538 (Neigungswinkelsensor) wird die Kapazitäts
änderung zweier sich gegenüberliegender und plattenförmig aus
gebildeter Elektroden bei einer gegenseitigen Verdrehung und
einer damit verbundenen Flächenänderung zur Bestimmung des Nei
gungswinkels ausgenutzt.
Eine derartige Anordnung ist für eine Anwendung bei mikrome
chanischen Spiegelanordnungen durch die vorherrschenden Platz
bedingungen nicht geeignet.
Die DE 37 40 688 (Mikromechanischer Beschleunigungssensor mit
hoher Achsenselektivität) und die DE 195 23 171 (Halbleiterbe
schleunigungssensor) beschreiben Beschleunigungaufnehmer, bei
denen die Trägheit einer Masse zu einer Verformung der Aufhän
gungen der Masse führt. Diese Verformung in Form einer Dehnung
stellt ein Maß für die Beschleunigung dar und wird über Piezo
widerstände erfaßt. Es erfolgt nur eine Aufnahme der Verformung
während einer Beschleunigung. Ausschlaggebend ist nur die Er
fassung der Verformung. Für dynamische Anwendungen sind diese
Lösungen nicht ausgelegt. In der DE 37 40 688 ist ein Gebiet
der Feder selbst ein die elektrischen Eigenschaften bei einer
Deformation änderndes Element oder auf der Feder ist mindestens
ein die elektrischen Eigenschaften bei einer Deformation
änderndes Element angeordnet. Die Elemente sind Bestandteile
einer Widerstandsmeßbrücke, über die die Auslenkung der
Beschleunigungsplatte gemessen wird.
Aus der US 5 594 172 ist ein mikromechanischer Beschleunigungs
aufnehmer zur Erfassung der Auslenkung einer Platte bekannt.
Die Platte ist über mindestens eine Feder mit einem die Platte
umgebenden Rahmen verbunden. Die Messung der Auslenkung der
Platte erfolgt mittels eines eingebrachten Widerstandes oder
eines aufgebrachten Piezowiderstandes.
Die aufgeführten Lösungen zeichnen sich dadurch aus, daß die
Auslenkung einer Platte als Spiegelfläche oder Beschleunigungs
aufnehmer gemessen wird.
Der in den Patentansprüchen 1 bis 5 angegebenes Erfindung liegt
das Problem zugrunde, mikromechanische Spiegelanordnungen so
anzusteuern, daß deren periodische Auslenkung einstellbar und
dabei dynamisch amplituden- und phasentreu konstant gehalten
werden kann.
Dieses Problem wird mit den in den Patentansprüchen 1 bis 5
aufgeführten Merkmalen gelöst.
Die Anordnungen zur Messung und Steuerung oder Regelung der
Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen zeichnen
sich insbesondere dadurch aus, daß die Auslenkung des oder der
Einzelspiegel im statischen, quasistatischen und dynamischen
Betrieb ständig erfaßt werden kann. Die Bewegung des oder der
Einzelspiegel kann direkt in jeder Phase der Bewegung gemessen
werden. Die Meßergebnisse stellen insbesondere die Basis einer
programmierbaren Steuerung oder Regelung der Auslenkung des
oder der Einzelspiegel dar. Die Meßmittel sind direkt in die
Federn, die der Aufhängung des oder der Einzelspiegel in einem
Rahmen dienen, integriert oder auf diese unmittelbar aufge
bracht. Diese ändern ihre elektrischen Eigenschaften, so daß
diese direkt in eine elektrische Meßschaltung, die weiterhin
ein Bestandteil der Ansteuerung des oder der Einzelspiegel dar
stellt, integriert sind.
Dadurch ergeben sich verschieden Möglichkeiten der Erfassung
der Bewegung oder der Position des oder der Einzelspiegel.
Wird in einer ersten Variante bei einem quasistatischen oder
dynamischen Betrieb jeweils der Nulldurchgang, das heißt die
Ausgangsposition des oder der Einzelspiegel im nicht ange
steuerten Zustand, erfaßt, sind bei harmonischer Bewegung über
den zeitlichen Verlauf Rückschlüsse auf den gesamten Bewegungs
mechanismus des oder der Einzelspiegel möglich. Erfolgt eine
zeitliche Verschiebung in Form z. B. einer Änderung der Frequenz
oder Amplitude am Ausgang der Meßschaltung, so ist das auf eine
Änderung der Schwingungsamplitude des oder der Einzelspiegel
zurückzuführen. Diese Tatsache ist die Grundlage für eine Ände
rung der Ansteuerbedingungen, so daß eine Regelung möglich ist.
Damit werden Änderungen der Betriebsbedingungen unter anderem
hervorgerufen durch Temperaturschwankungen, die mit Fehlern bei
der Ablenkung von Lichtstrahlen einhergehen, weitestgehend aus
geglichen, so daß die Fehler bei der Ablenkung weitestgehend
vermieden werden.
In einer zweiten Variante wird jeweils die maximale Auslenkung
des oder der Einzelspiegel nach jeder Seite der Ablenkung er
faßt. Dieses Ergebnis ist wiederum der Ausgang für die Möglich
keit der Steuerung oder Regelung des oder der Einzelspiegel
entsprechend der ersten Variante, so daß wiederum Fehler bei
der Ablenkung von Lichtstrahlen weitestgehend vermieden werden.
In einer dritten Variante ist es mit der Anwendung der erfin
dungsgemäßen Anordnung möglich, die Amplitude des oder der
Einzelspiegel in jeder Postion zu erfassen. Dieser Tatbestand
ist besonders im statischen oder quasistatischen Betrieb des
oder der Einzelspiegel wichtig. Damit ergibt sich die Möglich
keit, einen Lichtstrahl oder mehrere Lichtstrahlen auf eine
bestimmte Position genau abzulenken.
Die Elemente, die die elektrischen Eigenschaften bei einer De
formation ändern, sind zu einer Widerstandsmeßbrücke zusammen
geschaltet. Das ist eine einfache und hinreichend bekannte Meß
schaltung, so daß ein elektrisches Maß der Deformationen her
vorgerufen durch die Bewegung des Einzelspiegels zur Verfügung
steht.
Durch die Einbindung eines Frequenzgenerators zum Betrieb des
Einzelspiegels, der Meßschaltung und einem Phasenregelkreis in
die Ansteuerung ist eine Ansteuerung einschließlich einer
Regelschleife gegeben. Toleranzen, die unter anderem durch
Temperaturschwankungen hervorgerufen werden, sind damit selb
ständig durch die Ansteuerung ausgleichbar. Der Fangbereich des
Phasenregelkreises wird durch die Betriebsbedingungen des Ein
zelspiegels bestimmt. Weiterhin ergibt sich mit dem Einsatz des
Phasenregelkreises die Möglichkeit, daß über einen programmier
baren Teiler im Phasenregelkreis die Schwingbewegung des Ein
zelspiegels digital beeinflußt werden kann.
Die Ansteuerung der vier Elektroden eines Einzelspiegels, der
zweidimensional bewegbar in einem Rahmen aufgehängt ist, führt
dazu, daß ein Lichtstrahl in Form eines geschlossenen Kegel
schnittes (Kreis, Ellipse) abgelenkt werden kann. Somit ist
jeder Punkt einer Fläche überschreibbar.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Patent
ansprüchen 6 bis 18 angegeben.
Die Federn sind entsprechend der Weiterbildung des Patentan
spruchs 6 als einstückige Torsionsbalken ausgebildet. Die Größe
der elektrischen Eigenschaftsänderungen der Elemente, die bei
einer Deformation ihre elektrischen Eigenschaften ändern,
steigt mit deren geometrischen Abmessungen in Richtung der
mechanischen Änderung. Um eine möglichst große Länge in Defor
mationsrichtung der Feder oder den Federn zu erzielen, ist das
Element oder sind die Elemente mit einem Winkel von ±45° zur
Federbandlängsachse angeordnet.
Die Realisierung der Feder in Form von vier O-förmig angeord
neten Balken entsprechend der Weiterbildungen der Patentan
sprüche 7 bis 12 führt dazu, daß der Balken, der sich parallel
zum Rahmen befindet und zur Messung der Auslenkung des Einzel
spiegels herangezogen wird, ein Biegebalken ist. Werden mehrere
aus vier O-förmig angeordneten Balken, die über Stege mitein
ander mechanisch verbunden sind, als Feder eingesetzt, wird die
notwendige Kraft zur Auslenkung des Einzelspiegels verringert.
Mit dem Einsatz derartiger Federn sind größere Geometrien der
Elemente, die bei einer Deformation die elektrischen Eigen
schaften ändern, realisierbar, so daß die Empfindlichkeit und
damit gleichbedeutend die Auflösung der Messung wesentlich er
höht wird.
Die am stärksten beanspruchten Abschnitte einer derartigen
Federgeometrie ergeben sich im Balken, der sich parallel zum
Rahmen befindet, unmittelbar neben dem Steg, mit dem der Balken
und damit die gesamte Feder einschließlich des Einzelspiegels
am Rahmen befestigt ist. In oder auf diesem Abschnitt sind die
Elemente, die bei einer Deformation ihre elektrischen Eigen
schaften ändern, entsprechend den Weiterbildungen der Patent
ansprüche 10 und 11 angeordnet. Dabei ist eine Anordnung sowohl
in Balkenlängsachse als auch in Steglängsachse entsprechend der
Weiterbildung des Patentanspruchs 11 möglich.
Mit der Anordnung von zwei Elementen, die bei einer Deformation
die elektrischen Eigenschaften ändern, je Feder nach der Wei
terbildung des Patentanspruchs 12 sind zwei Brückenzweige einer
Widerstandsmeßbrücke realisiert.
Durch die Anordnung eines Elementes, das die elektrischen Ei
genschaften bei einer Deformation ändern, auf oder in den Rah
men entsprechend der Weiterbildung des Patentanspruchs 13 ent
steht ein Referenzelement. Mit der Einbindung dieses Elementes
z. B. in eine Widerstandsmeßbrücke ergeben sich gleiche Be
triebsbedingungen sowohl für die Elemente der Feder als auch
des Rahmens. Dadurch werden Meßfehler, die auf unterschiedliche
Temperaturen der Elemente zurückzuführen sind, vermieden.
Die Weiterbildung des Patentanspruchs 14 führt zu Elementen,
die die gleichen elektrischen Eigenschaften besitzen. Eine Aus
wertung der dadurch ermittelten Daten ist leichter möglich, da
sonst notwendige Kompensationen entfallen.
Die Herstellung des oder der Einzelspiegel und des Rahmens aus
Silizium nach der Weiterbildung des Patentanspruchs 15 ermög
licht eine Integration der Elemente, die die elektrischen
Eigenschaften bei einer Deformation ändern, und der Leiter
bahnen direkt in die Federn, mit denen der oder die Einzel
spiegel im Rahmen bewegbar befestigt sind. Gleichzeitig stellt
Silizium ein nichtermüdendes Material dar, so daß eine lange
Lebensdauer der Anordnung gegeben ist.
Die Weiterbildung des Patentanspruchs 16 führt dazu, daß zwi
schen dem Einzelspiegel oder den Einzelspiegeln und den Elemen
ten, die bei einer Deformation ihre elektrischen Eigenschaften
ändern, nur geringe elektrische Potentialunterschiede vorhanden
sind. Dadurch ist ein sehr kleiner Abstand der Elemente und der
Leiterbahnen zum Einzelspiegel realisierbar.
Piezowiderstände als Elemente, die die elektrischen Eigenschaf
ten bei einer Deformation ändern, nach der Weiterbildung des
Patentanspruchs 17, ändern ihren elektrischen Widerstandswert,
so daß eine strom- als auch spannungsgespeiste Meßbrücke als
Meßschaltung eingesetzt werden kann.
In der Weiterbildung des Patentanspruchs 18 sind verschiedene
Realisierungsvarianten für die Piezowiderstände aufgeführt.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Zeichnungen dar
gestellt und werden im folgenden näher beschrieben.
Es zeigen:
Fig. 1 eine Anordnung der Gebiete der Widerstände, Kontaktstel
len und Leiterbahnen eines mit Torsionsbalken befestig
ten Einzelspiegels,
Fig. 2 eine prinzipielle Realisierung einer Widerstandsmeßbrüc
ke dazu,
Fig. 3 eine Anordnung der Gebiete der Widerstände bei O-ring
förmig ausgebildeten Federn,
Fig. 4a und 4b
Kontaktierungen der Widerstände und der herausgeführten
Leiterbahnen bei O-ringförmig ausgebildeten Federn,
Fig. 5 eine prinzipielle Realisierung einer Widerstandsmeßbrüc
ke dazu,
Fig. 6 eine prinzipielle Darstellung des Phasenregelkreises mit
programmierbaren Teiler
Fig. 7 eine prinzipielle Darstellung des Phasenregelkreises,
wobei die Änderungen der Amplitude gegenüber einer vor
gegebenen Größe überwacht und bei Änderungen automatisch
ausgeregelt werden,
Fig. 8 eine prinzipielle Darstellung des Phasenregelkreises,
wobei die Änderungen der Amplitude gegenüber einem vor
gegebenen Bereich überwacht und bei Änderungen automa
tisch ausgeregelt werden und
Fig. 9 eine Übersichtsdarstellung einer Regelung der Amplituden
eines über vier Federn in einem Rahmen befestigten Ein
zelspiegels.
Ein erstes Ausführungsbeispiel beinhaltet eine Anordnung zur
Messung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanordnun
gen 10, die insbesondere elektrostatisch angesteuert werden.
Die Spiegelanordnung 10 besteht aus einem plattenförmig ausge
bildeten Einzelspiegel 1, der von einem Rahmen 3 umgeben ist.
Der Einzelspiegel 1 ist über zwei Federn, die mittig an sich
gegenüberliegenden Seiten angeordnet sind, mit dem Rahmen 3
verbunden. Jede Feder stellt einen Balken dar, der bei einer
Auslenkung des Einzelspiegels 1 verdreht wird. Es handelt sich
damit um einen Torsionsbalken 2.
Die Spiegelanordnung 10 besteht aus Silizium.
In einer ersten Variante entsprechend der Darstellung in der
Fig. 1 ist jeweils ein Gebiet der Torsionsbalken 2 gegenüber
dem Silizium der Spiegelanordnung 10 anders dotiert. Dieses
dotierte Gebiet bildet einen piezoresistiven Widerstand R1 oder
R2 im Torsionsbalken 2. Das Gebiet besitzt eine rechteckförmige
Grundfläche und ist mit einem Winkel von 45° gegenüber der
Längsachse des Torsionsbalkens 2 angeordnet.
Der Rahmen 3 besitzt Kontaktstellen 4. Die Enden des Wider
standes R1 oder R2 sind über Leiterbahnen 5, die entweder aus
einem Metall z. B. Aluminium bestehen oder gegenüber den Wider
ständen R1 oder R2 höher dotierte Gebiete der Spiegelanordnung
10 darstellen, mit diesen Kontaktstellen 4 elektrisch leitend
verbunden. Damit ist der Widerstand R1 oder R2 der Spiegelan
ordnung 10 von außen elektrisch kontaktierbar. Die Widerstände
R1 und R2 besitzen die gleichen geometrischen Abmessungen und
sind Bestandteile mindestens einer Widerstandsmeßbrücke 11.
Somit sind entweder zwei Brückenzweige einer Widerstandsmeß
brücke 11 oder ein Brückenzweig zweier Widerstandsmeßbrücken 11
realisiert. Festwiderstände R3 und R4, die über die Kontakt
stellen 4 mit den Widerständen R1 und R2 zusammengeschaltet
sind, ergänzen diese Widerstandsmeßbrücke 11. Eine Brückendia
gonale ist mit einer Quelle 6 verbunden und die andere stellt den Ausgang
7 der Widerstandsmeßbrücke 11 dar. In der Fig. 2 ist eine
Realisierungsvariante dargestellt. Damit ist ein Wandler der
mechanischen Auslenkung in eine elektrische Größe in Form des
Stromes oder der Spannung gegeben.
In einer zweiten Variante sind mehrere Gebiete der Torsions
balken 2 gegenüber dem Silizium der Spiegelanordnung 10 anders
dotiert. Diese dotierten Gebiet stellen wiederum piezoresisizive
Widerstände R im Torsionsbalken 2 dar. Die Gebiete besitzen
eine rechteckförmige Grundfläche und sind parallel zueinander
mit einem Winkel von 45° gegenüber der Längsachse des Torsions
balkens 2 angeordnet. Leiterbahnen 5, die entweder aus einem
Metall z. B. Aluminium bestehen oder gegenüber den Widerständen
R höher dotierte Gebiete der Spiegelanordnung 10 darstellen,
verbinden diese Gebiete so, daß eine elektrische Reihenschal
tung dieser Gebiete vorhanden ist.
Der Rahmen 3 besitzt Kontaktstellen 4. Die Enden der Reihen
schaltung sind über äquivalent ausgeführte Leiterbahnen 5 mit
diesen Kontaktstellen 4 elektrisch leitend verbunden. Damit
sind die Widerstände R der Spiegelanordnung 10 von außen elek
trisch kontaktierbar. Die Widerstände R der Torsionsbalken 2
sind wiederum Bestandteile mindestens einer Widerstandsmeß
brücke 11. Somit sind entweder zwei Brückenzweige einer Wider
standsmeßbrücke 11 oder ein Brückenzweig von zwei Widerstands
meßbrücken 11 realisiert. Festwiderstände R ergänzen über die
Kontaktstellen 4 die Widerstandsmeßbrücke 11 oder die Wider
standsmeßbrücken 11. Mit der Realisierung einer Gleichstrom-
Meßbrücke nach Wheatstone ist ein Wandler der mechanischen
Auslenkung in eine elektrische Größe in Form der elektrischen
Spannung gegeben. Die elektrische Spannung ist damit ein Maß
für die Größe der Auslenkung des Einzelspiegels 1. Das Vor
zeichen der elektrischen Spannung ist der Kipprichtung des
Einzelspiegels 1 zuordenbar.
Damit sind die Amplituden der Auslenkung eines mikromechani
schen Einzelspiegels 1 erfaßbar.
Zum einen können diese elektrischen Größen direkt als Stell
größe für den der Ansteuerung 14 des mikromechanischen Einzel
spiegels 1 dienenden Frequenzgenerators genutzt werden. Zum
anderen können diese elektrischen Größen über einen Spannungs-
Frequenz-Wandler 15 in eine äquivalente Frequenz oder über
einen Analog-Digital-Umsetzer in äquivalente digitale Signale
gewandelt werden, die wiederum der Steuerung des den mikro
mechanischen Einzelspiegel 1 ansteuernden Frequenzgenerators
dient.
Ein zweites Ausführungsbeispiel beinhaltet eine Anordnung zur
Messung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanordnun
gen 10, die insbesondere elektrostatisch angesteuert werden.
Die Spiegelanordnung 10 besteht aus einem plattenförmig ausge
bildeten Einzelspiegel 1, der von einem Rahmen 3 umgeben ist.
Der Einzelspiegel 1 ist über zwei Federn, die mittig an sich
gegenüberliegenden Seiten angeordnet sind, mit dem Rahmen 3
verbunden.
Jede Feder besteht aus vier O-förmig angeordneten Balken 8a bis
8d, die dabei jeweils mit einem Winkel von 90° zueinander ange
ordnet sind (Darstellung der Fig. 3). Der Balken 8b parallel
zum Einzelspiegel 1 ist über einen Steg 9b mit diesem und der
Balken 8d parallel zum Rahmen 3 ist über einen weiteren Steg 9a
mit diesem verbunden. Die Länge dieser Balken 8b und 8d ist
dabei gleich der Seitenlänge des Einzelspiegels 1. Die beiden
anderen Balken 8a und 8c sind wesentlich kürzer ausgebildet.
Die Spiegelanordnung 10 besteht aus Silizium.
Der Balken 8d parallel zum Rahmen 3 besitzt zwei Gebiete, die
gegenüber dem Silizium der Spiegelanordnung anders dotiert
sind. Dieses dotierten Gebiete bilden piezoresistive Wider
stände R1 bis R4. Die Gebiete besitzen eine rechteckförmige
Grundfläche und grenzen unmittelbar an die gedachte Verlänge
rung des Steges 9a auf dem Balken 8d. Die geometrischen Abmes
sungen aller Gebiete sind gleich.
In einer ersten Variante entsprechend der Darstellung der Fig.
4a sind die Widerstände R1 bis R4 so angeordnet, daß deren
Längsachse parallel zur Längsachse des Steges 9a verläuft.
In einer zweiten Variante entsprechend der Darstellung der Fig.
4b sind die Widerstände R1 bis R4 derart angeordnet, daß deren
Längsachse parallel zur Längsachse des Balkens 9a verläuft.
Der Rahmen 3 weist elektrische Kontaktstellen 4 auf. Zwei Enden
der Widerstände R1 bis R4 sind mit je einer Kontaktstelle 4,
die beiden anderen Enden sind miteinander und diese Verbindung
ist mit einer Kontaktstelle 4 jeweils über elektrische Leiter
bahnen 5 verbunden.
Die Leiterbahnen 5 bestehen aus einem Metall z. B. Aluminium
oder stellen gegenüber den Widerständen R1 bis R4 höher do
tierte Gebiete der Spiegelanordnung 10 dar. Damit sind die
Widerstände R1 bis R4 der Spiegelanordnung 10 von außen elek
trisch kontaktierbar.
Die vier Widerstände R1 bis R4 der beiden Federn sind zu einer
Widerstandsmeßbrücke 11 entsprechend der Darstellung in der
Fig. 5 zusammengeschaltet. Dazu sind jeweils die Enden der
Widerstände R1 bis R4, die sich parallel gegenüber befinden
miteinander verbunden. Diese Verbindungsstellen stellen den
Ausgang 7 der Widerstandsmeßbrücke 11 dar, an der bei einer
Auslenkung des Einzelspiegels 1 eine dementsprechende Span
nungsänderung abnehmbar ist. Die Verbindungen der Widerstände
R1 bis R4 sind miteinander und mit je einem Ausgang einer
Spannungsquelle 6 verbunden. Damit ist eine Vollbrücke als
Widerstandsmeßbrücke 11 gegeben und die Spannungsänderung
stellt ein Maß für die Auslenkung des Einzelspiegels 1 dar.
Damit sind die Amplituden der Auslenkung eines Einzelspiegels
erfaßbar.
Die an der Widerstandsmeßbrücke 11 anstehende Spannung kann
eine Stellgröße für den der Ansteuerung 14 des mikromechani
schen Einzelspiegels 1 dienenden Frequenzgenerators darstellen.
Diese Spannung ist über einen Spannungs-Frequenz-Wandler 15 in
eine äquivalente Frequenz oder über einen Analog-Digital-Umset
zer in ein digitales Signal wandelbar, die wiederum der Steue
rung des den mikromechanischen Einzelspiegel 1 ansteuernden
Frequenzgenerators dienen können.
Ein drittes Ausführungsbeispiel beinhaltet eine Anordnung zur
Messung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanord
nungen 10, die insbesondere elektrostatisch angesteuert werden.
Die Spiegelanordnung 10 besteht aus einem plattenförmig ausge
bildeten Einzelspiegel 1, der von einem Rahmen 3 umgeben ist.
Der Einzelspiegel 1 ist über vier Federn, die mittig an den
Seiten angeordnet sind, mit dem Rahmen 3 verbunden.
Jede Feder besteht aus vier O-förmig angeordneten Balken 8a bis
8d, die dabei jeweils mit einem Winkel von 90° zueinander ange
ordnet sind. Der Balken 8b parallel zum Einzelspiegel 1 ist
über einen Steg 9b mit diesem und der Balken 8d parallel zum
Rahmen 3 ist über einen weiteren Steg 9a mit diesem verbunden.
Die Länge dieser Balken 8b und 8d ist dabei gleich dieser
Seitenlänge des Einzelspiegels 1. Die beiden anderen Balken 8a
und 8c sind wesentlich kürzer ausgebildet.
Die Spiegelanordnung 10 besteht aus Silizium.
Der Balken 8d parallel zum Rahmen 3 besitzt zwei Gebiete, die
gegenüber dem Silizium der Spiegelanordnung 10 anders dotiert
sind. Dieses dotierten Gebiete bilden piezoresistive Wider
stände R. Die Gebiete besitzen eine rechteckförmige Grundfläche
und grenzen unmittelbar an die gedachte Verlängerung des Steges
9a auf dem Balken 8d. Alle Gebiete besitzen die gleichen geo
metrischen Abmessungen.
In einer ersten Variante sind die Widerstände R so angeordnet,
daß deren Längsachse parallel zur Längsachse des Steges 9a
verläuft.
In einer zweiten Variante sind die Widerstände R derart ange
ordnet, daß deren Längsachse parallel zur Längsachse des Bal
kens 8d verläuft.
Der Rahmen 3 weist elektrische Kontaktstellen 4 auf. Zwei Enden
der Widerstände R sind mit je einer Kontaktstelle 4, die beiden
anderen Enden sind miteinander und diese Verbindung ist mit
einer Kontaktstelle 4 jeweils über elektrische Leiterbahnen 5
verbunden.
Die Leiterbahnen 5 bestehen aus einem Metall z. B. Aluminium
oder stellen gegenüber den Widerständen R höher dotierte Ge
biete der Spiegelanordnung 10 dar. Damit sind die Widerstände R
der Spiegelanordnung 10 von außen elektrisch kontaktierbar.
Die vier Widerstände R der sich gegenüberliegenden Federn sind
jeweils zu einer Widerstandsmeßbrücke 11 zusammengeschaltet.
Dazu sind jeweils die Enden der Widerstände R, die sich pa
rallel gegenüber befinden miteinander verbunden. Diese Verbin
dungsstellen stellen die Ausgänge 7 der Widerstandsmeßbrücken
11 dar, an denen bei einer Auslenkung des Einzelspiegels 1
dementsprechende Spannungsänderungen abnehmbar sind. Die sich
gegenüberliegenden Verbindungen der Widerstände R sind mit
einander und mit je einem Ausgang einer Spannungsquelle 6
verbunden. Damit sind zwei Vollbrücken als Widerstandsmeßbrücke
11 gegeben und die Spannungsänderungen stellen ein Maß für die
Auslenkung des Einzelspiegels 1 dar.
Der Einzelspiegel 1 wird über zwei unabhängige Frequenzgenera
toren angesteuert. Diese steuern den Einzelspiegel 1 so an, daß
dieser unabhängig in x- und y-Richtung gekippt werden kann.
Dadurch ist ein 2-D-Spiegel gegeben.
Die an den Widerstandsmeßbrücken 11 anstehenden Spannungen sind
den Amplituden des Einzelspiegels sowohl in x- als auch in y-
Richtung zuordenbar. Die Bewegungen des 2-D-Spiegels sind damit
erfaßbar.
Diese Meßergebnisse sind als Stellgrößen für die der Ansteue
rungen 14 des mikromechanischen Einzelspiegels dienenden Fre
quenzgeneratoren einsetzbar. Diese Spannungen sind über Span
nungs-Frequenz-Wandler 15 in äquivalente Frequenzen oder über
Analog-Digital-Umsetzer in digitale Signale wandelbar, so daß
wiederum die Möglichkeit der Steuerung der den mikromechani
schen Einzelspiegel 1 ansteuernden Frequenzgeneratoren gegeben
ist.
Ein Ausschnitt der Anordnung ist in den Fig. 4a und 4b darge
stellt. Die Fig. 5 zeigt eine Realisierungsvariante einer
Widerstandsmeßbrücke 11 der sich gegenüberliegenden Federn.
Ein viertes Ausführungsbeispiel beinhaltet eine Anordnung zur
Steuerung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanord
nungen 10.
Die Spiegelanordnungen 10 des ersten oder zweiten Ausführungs
beispiels sind ein Bestandteil des vierten Ausführungsbei
spiels, das prinzipiell in der Fig. 6 dargestellt ist.
Dabei ist der Einzelspiegel 1 insbesondere elektrostatisch an
gesteuert und mit zwei mittig an sich gegenüberliegenden Seiten
angeordneten Federn mit einem Rahmen 3 verbunden. Gebiete die
ser Federn stellen piezoresistive Widerstände R dar.
Die Ausgestaltung der Federn und die Ausführung und Plazierung
der Widerstände R entspricht denen des ersten und zweiten Aus
führungsbeispiels. Die Widerstände R des ersten und zweiten
Ausführungsbeispiels sind Bestandteile einer Widerstandsmeß
brücke 11, die eine Vollbrücke darstellt. Die durch die Auslen
kung des Einzelspiegels 1 hervorgerufene proportionale Änderung
der Brückenspannung stellt bei dynamischen Betrieb des Einzel
spiegels 1 eine äquivalente Spannungsfolge dar. Diese Span
nungsfolge wird über einen Spannungs-Frequenz-Wandler 15 in
eine der Spannungsfolge äquivalenten Frequenz umgesetzt.
Der Auslenkung des Einzelspiegels 1 dient ein eine Ansteuerung
14, die ein Wechselspannung liefernden Generator darstellt,
dessen Ausgänge mit den Elektroden der Spiegelanordnung 10
zusammengeschaltet sind. Dazu ist der Einzelspiegel 1 selbst
eine Elektrode und die Ansteuerung dieser und korrespondierend
angeordneten Elektroden mit einer Wechselspannung führen zu
einer Auslenkung des Einzelspiegels 1.
Weiterhin ist der Ausgang des Spannungs-Frequenz-Wandlers 15
mit dem Eingang eines programmierbaren Teilers 16, der Ausgang
des programmierbaren Teilers 16 mit einem Eingang eines Phasen
detektors 17, der Ausgang des Phasendetektors 17 mit dem Ein
gang eines spannungsgesteuerten Oszillators 18, der Ausgang des
spannungsgesteuerten Oszillators 18 mit dem Steuereingang der
Ansteuerung 14 der Spiegelanordnung 10 und ein zweiter Eingang
des Phasendetektors 17 mit dem Ausgang eines Oszillators 19,
der eine rechteckförmige Wechselspannung liefert, zusammenge
schaltet. Dieser Aufbau stellt einen Phasenregelkreis (PLL)
dar.
Dabei liefert der Phasendetektor 17 eine Ausgangsspannung, die
von der Phasenverschiebung zwischen der Spannungsfolge am Aus
gang des Spannungs-Frequenz-Wandlers 15 und der Wechselspannung
des Oszillators 19 bestimmt wird. Der Phasendetektor 17 ist ein
Multiplizierer. Es handelt sich dabei um einen digitalen Multi
plizierer, der insbesondere und im wesentlichen aus zwei flan
kengetriggerten D-Flip-Flops besteht.
An dessen Ausgang entsteht ein Fehlersignal, das die Frequenz
des spannungsgesteuerten Oszillators 18 so verändert, daß Dif
ferenzen zwischen der Frequenz des Spannungs-Frequenz-Wandlers
15 und der Frequenz des Oszillators 19 ausgeregelt werden. Der
"Haltebereich" des Phasenregelkreises wird durch die realisier
bare Frequenzänderung des spannungsgesteuerten Oszillators 18
bestimmt. Damit wird auch der "Fangbereich" des Phasenregel
kreises bestimmt, der kleiner oder gleichgroß dem Haltebereich
ist. Die Ausgangsspannung des spannungsgesteuerten Oszillators
18 dient der Steuerung der Ansteuerung 14 des Einzelspiegels 1.
Mit dem Einsatz dieses Phasenregelkreises können die Auslen
kungen des Einzelspiegels 1 im dynamischen Betrieb konstant ge
halten werden, so daß sich gleichbleibende Ablenkbedingungen
für den abgelenkten Lichtstrahl ergeben.
Der Einsatz des programmierbaren Teilers 16 führt zu einer pro
grammierbaren Frequenzsynthese. Durch das Programmieren der
Programmiereingänge läßt sich eine sehr große Anzahl unter
schiedlicher diskreter Frequenzen mit der gleichen Stabilität
und Genauigkeit wie die der Frequenz des Oszillators 19 er
zeugen. Dadurch ist die Frequenz der Ablenkung des Einzelspie
gels 1 von außen leicht digital programmierbar. Die Amplitude
der Auslenkung wird durch die Spannungsfolge am Ausgang der
Ansteuerung 14 des mikromechanischen Einzelspiegels 1 beein
flußt. Diese kann z. B. fest vorgegeben oder frei gewählt
werden.
Ein fünftes Ausführungsbeispiel beinhaltet eine Regelung der
Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen 10.
Grundlage des fünften Ausführungsbeispiels bildet der Aufbau
des vierten Ausführungsbeispiels. Der Ausgang der Widerstands
meßbrücke 11 wird sowohl mit dem Eingang des Spannungs-Fre
quenz-Wandlers 15 als auch entweder mit einem Eingang des Kom
parators 12 (Darstellung in der Fig. 7) oder einem Eingang des
Fensterdikriminators 13 (Darstellung in der Fig. 8) zusammen
geschaltet.
Die anderen Eingänge des Komparators 12 oder Fensterdiskrimi
nators 13 sind jeweils mit Spannungsquellen U oder U1 und U2
verbunden. Die Ausgänge sowohl des Komparators 12 als auch des
Fensterdiskriminators 13 stellen ein Maß für die Programmier
eingänge des programmierbaren Teilers 16 dar.
Damit entstehen Anordnungen, bei denen die Änderungen entweder
der Amplitude gegenüber einer vorgegebenen Größe oder der Am
plitude gegenüber einem vorgegebenen Bereich überwacht und bei
Änderungen automatisch über die Änderung der Frequenz der An
steuerung 14 ausgeregelt werden.
Die Spannungsfolge am Ausgang der Ansteuerung 14 ist durch die
Gestaltung der Ansteuerung 14 selbst vorgebbar. Diese ist nicht
Gegenstand der Erfindung und wird als bekannt vorausgesetzt.
Ein sechstes Ausführungsbeispiel beinhaltet eine Anordnung zur
Steuerung der Auslenkung von mikromechanischen Spiegelanord
nungen 10.
Die Spiegelanordnung 10 des dritten Ausführungsbeispiels ist
ein Bestandteil des sechsten Ausführungsbeispiels entsprechend
der Darstellung in der Fig. 9.
Dabei ist der Einzelspiegel 1 insbesondere elektrostatisch an
gesteuert und mit vier mittig an den Seiten angeordneten Federn
mit einem Rahmen 3 verbunden. Gebiete dieser Federn stellen
piezoresistive Widerstände R dar.
Die Ausgestaltung der Federn und die Ausführung und Plazierung
der Widerstände R entspricht dem des dritten Ausführungsbei
spiels. Die Widerstände R sind Bestandteile zweier Widerstands
meßbrücken 11a und 11b entsprechend einer Ablenkung in x- oder
y-Richtung, die Vollbrücken darstellen. Die durch die Auslen
kungen des Einzelspiegels 1 hervorgerufenen proportionalen
Änderungen der Brückenspannungen stellen bei dynamischen Be
trieb des Einzelspiegels 1 äquivalente Wechselspannungen dar.
Die Amplituden der Wechselspannungen sind den Winkeln der Aus
lenkungen des Einzelspiegels 1 äquivalent.
Die Ausgänge der Widerstandsmeßbrücken 11a und 11b sind über
einen programmierbaren Schalter 20 mit den Ansteuerungen 14a
und 14b des Einzelspiegels 1 verbunden. Mit diesem program
mierbaren Schalter 20 sind die Amplituden der Schwingungen des
Einzelspiegels 1 in x- und y- Richtung einstell- und steuerbar.
Dadurch ist der abzulenkende Lichtstrahl auf der Bahn eines
Kreises oder einer Ellipse ablenkbar.
Die Größe der Amplituden wird durch die Spannungsfolge an den
Ausgängen der Ansteuerungen 14a und 14b bestimmt. Diese sind
durch die Gestaltungen der Ansteuerung 14 selbst vorgebbar.
Diese werden als bekannt vorausgesetzt und sind nicht Gegen
stand der Erfindung.
In weiteren Ausführungsbeispielen sind die Merkmale der Aus
führungsbeispiele eins bis sechs auch auf Spiegelanordnungen
anwendbar, die aus mehreren Einzelspiegeln 1, die mit einem
Rahmen 3 verbunden sind, bestehen.
Claims (18)
1. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen, wobei ein
oder mehrere Einzelspiegel über mindestens zwei Federn mit
einem Rahmen verbunden sind, mindestens ein Gebiet der Feder
selbst ein die elektrischen Eigenschaften bei einer Deformation
änderndes Element darstellt oder auf der Feder mindestens ein
die elektrischen Eigenschaften bei einer Deformation änderndes
Element angeordnet ist und die Enden der Elemente über elek
trische Leiterbahnen miteinander, mit Gebieten des Rahmens (3)
als elektrisch leitfähigen Kontaktstellen (4) oder mit
Anschlüssen elektrischer Bauelemente, die Teil des Rahmens (3)
sind oder auf ihm angeordnet sind, verbunden sind, dadurch
gekennzeichnet, daß die Elemente Bestandteile mindestens einer
die Auslenkung des oder der Einzelspiegel (1) erfassenden
Meßschaltung sind und daß die Meßschaltung ein Bestandteil
einer Steuerung oder Regelung ist.
2. Anordnung zur Messung und Steuerung der Auslenkung von
mikromechanischen Spiegelanordnungen, wobei die in den Federn
integrierten oder auf den Federn angeordneten und die elek
trischen Eigenschaften bei einer Deformation ändernden Elemente
über elektrische Leiterbahnen zu einer Widerstandsmeßbrücke als
Meßschaltung zusammengeschaltet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß eine Brückendiagonale mit dem Eingang eines Spannungs-Fre
quenz-Wandlers (15), daß die andere Brückendiagonale mit einer
Quelle (6), daß der Ausgang eines Phasendetektors (17) mit dem
Eingang eines spannungsgesteuerten Oszillators (18), daß dessen
Ausgang mit einem die Frequenz steuerbaren Eingang der An
steuerung (14) des Einzelspiegels (1), daß der Ausgang des
Spannungs-Frequenz-Wandlers (15) über einen programmierbaren
Frequenzteiler (16) mit einem Eingang des Phasendetektors (17)
und daß der andere Eingang des Phasendetektors (17) mit dem
Ausgang eines Oszillators (19) zusammengeschaltet sind.
3. Anordnung zur Messung und Steuerung der Auslenkung von
mikromechanischen Spiegelanordnungen, wobei der Einzelspiegel
eine rechteckförmige Grundfläche besitzt, mittig je Seitenkante
eine Feder angeordnet ist, die in den Federn integrierten oder
auf den Federn angeordneten und die elektrischen Eigenschaften
bei einer Deformation ändernden Elemente über elektrische
Leiterbahnen zu zwei Widerstandsmeßbrücken als Meßschaltung
zusammengeschaltet sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Ecken
der rechteckförmigen Grundfläche des Einzelspiegels (1) abge
schrägt sind, daß die Widerstandsmeßbrücken (11a, 11b) als
Meßschaltungen über einen programmierbaren Schalter (20) mit
den Ansteuerungen (14a, 14b) des mikromechanischen Einzel
spiegels (1) zusammengeschaltet sind.
4. Anordnung zur Messung und Regelung der Auslenkung von mikro
mechanischen Spiegelanordnungen, wobei die in den Federn in
tegrierten oder auf den Federn angeordneten und die elek
trischen Eigenschaften bei einer Deformation ändernden Elemente
über elektrische Leiterbahnen zu einer Widerstandsmeßbrücke als
Meßschaltung zusammengeschaltet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß eine erste Brückendiagonale mit dem Eingang eines Span
nungs-Frequenz-Wandlers (15), daß die zweite Brückendiagonale
mit einer Quelle (6) oder einer Spannung (U), daß der Ausgang
eines Phasendetektors (17) mit dem Eingang eines spannungsge
steuerten Oszillators (18), daß dessen Ausgang mit einem die
Frequenz steuerbaren Eingang der Ansteuerung (14) des Einzel
spiegels (1), daß der Ausgang des Spannungs-Frequenz-Wandlers
(15) über einen programmierbaren Frequenzteiler (16) mit einem
Eingang des Phasendetektors (17), daß der andere Eingang des
Phasendetektors (17) mit dem Ausgang eines Oszillators (19),
daß die erste Brückendiagonale weiterhin mit dem ersten Eingang
eines Komparators (12), daß der zweite Eingang mit der Quelle
(6) oder der Spannung (U) oder einer weiteren Spannung und daß
der Ausgang des Komparators (12) mit den Progammeingängen des
programmierbaren Teilers (16) zusammengeschaltet sind.
5. Anordnung zur Messung und Regelung der Auslenkung von mikro
mechanischen Spiegelanordnungen, wobei die in den Federn inte
grierten oder auf den Federn angeordneten und die elektrischen
Eigenschaften bei einer Deformation ändernden Elemente über
elektrische Leiterbahnen zu einer Widerstandsmeßbrücke als
Meßschaltung zusammengeschaltet sind, dadurch gekennzeichnet,
daß eine erste Brückendiagonale mit dem Eingang eines Span
nungs-Frequenz-Wandlers (15), daß der Ausgang eines Phasen
detektors (17) mit dem Eingang eines spannungsgesteuerten
Oszillators (18), daß dessen Ausgang mit einem die Frequenz
steuerbaren Eingang der Ansteuerung (14) des Einzelspiegels
(1), daß der Ausgang des Spannungs-Frequenz-Wandlers (15) über
einen programmierbaren Frequenzteiler (16) mit einem Eingang
des Phasendetektors (17), daß der andere Eingang des Phasen
detektors (17) mit dem Ausgang eines Oszillators (19), daß die
erste Brückendiagonale weiterhin mit einem Eingang eines
Fensterdiskriminators (13), daß die zweite Brückendiagonale und
die anderen Eingänge des Fensterdiskriminators (13) jeweils mit
einer Quelle (6) oder den Spannungen (U1, U2) und daß der
Ausgang des Fensterdiskriminators (13) mit den Progammeingängen
des programmierbaren Teilers (16) zusammengeschaltet sind.
6. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Feder
ein einstückig ausgebildeter Torsionsbalken (2) ist, daß das
Element eine rechteck-, parallelogramm- oder trapezförmige
Grundfläche besitzt und daß das Element mit der parallel zur
längeren Seitenkante verlaufenden Symmetrieachse mit einem
Winkel von ±45° zur Federbandlängsachse angeordnet ist.
7. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Feder
aus vier O-förmig und rechtwinklig zueinander angeordneten
Balken (8a bis 8d) besteht und daß der parallel zum Einzel
spiegel (1) angeordnete Balken (8b) mit diesem und der parallel
zum Rahmen (3) angeordnete Balken (8d) mit diesem über jeweils
einen Steg (9a) und (9b) verbunden ist.
8. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Feder
aus mindestens zwei jeweils aus vier O-förmig und rechtwinklig
zueinander angeordneten Balken (8a bis 8d) besteht und daß
diese über einen Steg miteinander verbunden sind.
9. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß das
Element eine rechteck-, parallelogramm- oder trapezförmige
Grundfläche besitzt, daß das Element ein Gebiet des parallel
zum Rahmen angeordneten Balkens (8d) oder auf diesem angeordnet
ist und daß das Element mit der parallel zur längeren Seiten
kante verlaufenden Symmetrieachse parallel zur Balkenlängsachse
angeordnet ist.
10. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß das
Element eine rechteck-, parallelogramm- oder trapezförmige
Grundfläche besitzt und daß zwei dieser Elemente in unmittel
barer Nähe zu beiden Seiten des Steges (9a) entweder Gebiete
des parallel zum Rahmen angeordneten Balkens (8d) oder auf
diesem angeordnet sind.
11. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach Patent
anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente mit den
parallel zur längeren Seitenkante verlaufenden Symmetrieachsen
parallel zur Balkenlängsachse oder parallel zur Stegsymmetrie
achse angeordnet sind.
12. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach Patent
anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Elemente pro Feder
über elektrische Leiterbahnen (5) zu zwei Brückenzweigen einer
Widerstandsmeßbrücke (11) zusammengeschaltet sind.
13. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens
ein Gebiet des Rahmens (3) selbst ein die elektrischen Eigen
schaften bei einer Deformation änderndes Element darstellt oder
auf dem Rahmen (3) mindestens ein die elektrischen Eigenschaf
ten bei einer Deformation änderndes Element angeordnet ist.
14. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die geo
metrischen Abmessungen der Elemente gleich sind.
15. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der oder
die Einzelspiegel (1) und der Rahmen (3) aus Silizium bestehen.
16. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der oder
die Einzelspiegel (1) mit Massepotential verbunden sind.
17. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach einem der
Patentansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die die
elektrischen Eigenschaften bei einer Deformation ändernden
Elemente Piezowiderstände sind.
18. Anordnung zur Messung und Steuerung oder Regelung der Aus
lenkung von mikromechanischen Spiegelanordnungen nach Patent
anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Piezowiderstände
aus Polysilizium bestehen oder ein dotiertes Gebiet der Feder
oder Rahmens (3) sind.
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