DE19703382A1 - Scanner und Verfahren zum Erfassen eines Objekts unter Verwendung eines Scanners - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Flachbettscanner mit einem zeilenförmigen, eine Vielzahl pixelförmiger optoelektronischer Wandlereinheiten umfassenden Sensor, der quer zur Zeilenrichtung in der Ebene eines zu erfassenden Objekts verfahrbar ist und dessen Wandlereinheiten dabei periodisch auslesbar sind.

Flachbettscanner der vorstehend beschriebenen Art sind bekannt. Beim Erfassen eines zweidimensionalen Objekts wird wenigstens ein zeilenförmiger Sensor mit möglichst konstanter Geschwindigkeit zumeist unterhalb des zu erfassenden, auf eine Glasplatte aufgelegten Objekts hindurch bewegt, wobei im Auflicht- oder Durchlichtverfahren optische Signale von den zeilenförmig angeordneten Wandlereinheiten aufgenommen und in elektrische Signale im weitesten Sinne umgewandelt werden. Die elektrischen Signale werden an einen Rechner gegeben und dort aufbereitet und in digitaler Form unter Verwendung geeigneter Software zu zweidimensionalen Dokumenten weiterverarbeitet. Hierbei wird angenommen, daß der zeilenförmige Sensor bestimmungsgemäß ideal geradlinig und mit exakter Geschwindigkeit verfahren wurde, so daß die vom Sensor erfaßte Objektfläche vollkommen rechteckig umrandet ist. Es wird also angenommen, daß die von den zeilenförmig angeordneten Wandlereinheiten des Sensors ausgelesenen Signale oder Informationen in exakt äquidistanten Schritten, d. h. unter exakt gleichförmiger Scanbewegung des Zeilensensors, aufgenommen wurden.

Die Auflösung von Flachbettscannern ist in Zeilenrichtung des Sensors durch die Anzahl bzw. den Abstand der lichtempfindlichen Wandlereinheiten (Pixel) pro Längen- oder Flächeneinheit des Sensors vorgegeben; sie kann durch spätere Interpolationen der Signale jedoch erhöht werden. In Verfahrrichtung oder Scanrichtung des Sensors ist die Auflösung durch die Anzahl der ausgelesenen Zeilen bezogen auf die zurückgelegte Strecke gegeben. Die Auflösung bewegt sich bei handelsüblichen Scannern im Bereich von 300 bis 1200 dpi. Die tatsächliche Genauigkeit bekannter Scanner ist jedoch weitgehend unbekannt und liegt unterhalb der vorstehend genannten Auflösung, da der Scanvorgang nicht unter den vorstehend genannten idealen Annahmen durchgeführt werden kann. In Folge von Verschleiß oder anderen Umwelteinflüssen sowie aufgrund von herstellungsbedingten Fertigungstoleranzen ist die Verfahrbewegung des zeilenförmigen Sensors nicht gleichmäßig, der Sensor kann in Zeilenrichtung versetzt sein, oder er kann in sich gekrümmt oder zur Verfahrrichtung geringfügigst geneigt sein. Hierdurch erfährt das anhand der aufgezeichneten Signale gewonnene Bild des Objekts eine Verzerrung gegenüber dem tatsächlichen Objekt, da die Signale nicht - wie bei der Verarbeitung angenommen - an exakt gitterförmig angeordneten Punkten sondern - zumindest bei einem Teil der Punkte - an gegenüber der idealen Gitterform verzerrten Positionen aufgezeichnet wurden.

Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Flachbettscanner der eingangs beschriebenen Art bzw. ein Verfahren zum Erfassen eines Objekts unter Verwendung eines solchen Scanners dahingehend zu verbessern, daß die Absolutgenauigkeit bzw. die Übereinstimmung der gewonnenen Bilder mit dem Objekt erhöht bzw. verbessert wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch einen Flachbettscanner der genannten Art gelöst, der gekennzeichnet ist durch optoelektronisch erfaßbare Marken, die im Randbereich eines Objektauflagebereichs des Scanners angeordnet sind und somit nur den Randbereich des von dem Sensor überstrichenen Objektauflagebereichs außerhalb des Objekts abdecken und deren Lage und Geometrie genau bekannt und in einen Rechner eingebbar oder eingegeben sind.

Das erfindungsgemäße Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, daß beim optoelektronischen Erfassen des Objekts außerhalb des Objekts vorgesehene Marken mit erfaßt werden, daß durch Vergleich der Daten der erfaßten Marken mit vorbekannten Daten über Lage und Geometrie der Marken Positionsabweichungen des Sensors von seinen beim Scanprozeß zu durchlaufenden Sollpositionen festgestellt werden und anhand dieser Abweichungen die erfaßten Objektbilddaten entsprechend korrigiert werden.

Die vorzugsweise in Form eines zweidimensionalen Musters an wenigstens einem Randbereich einer durchleuchtbaren Glasfläche vorgesehenen Marken oder Markierungen werden während des Scanprozesses miterfaßt. Unter Verwendung einer Aufbereitungssoftware wird nun die meßtechnisch erfaßte Geometrie der Marken mit der bekannten Lage und Geometrie der Marken verglichen, und anhand der hierbei ermittelten Positionsabweichungen wird auf die tatsächliche Bewegung des zeilenförmigen Sensors geschlossen. Die Ortsdaten der meßtechnisch erfaßten ortsabhängigen Informationen werden dann dementsprechend korrigiert. Das so entstehende Bild des Objekts entspricht mit höherer Genauigkeit bzw. Auflösung dem tatsächlichen Objekt. Mit der Erfindung ist die Möglichkeit gegeben, mit handelsüblichen Scannern, die erfindungsgemäß ausgebildet werden, Genauigkeiten einfacher optischer Koordinatenmeßgeräte zu erreichen.

Aus der DE 38 11 837 C2 ist ein Verfahren sowie eine Vorrichtung zur Erfassung eines statischen Aufnahmeobjekts mit Hilfe eines optoelektronischen Festkörper-Flächensensors bekannt. Das zu erfassende Objekt wird jedoch nicht im Zuge einer scannenden Bewegung eines zeilenförmigen Sensors aufgezeichnet, sondern der Flächensensor wird an eine erwünschte Position verfahren, um dort statisch einen erwünschten Bereich des Objekts zu erfassen. Um die genaue Position des Flächensensors bezüglich des Koordinatensystems der Aufnahmevorrichtung zu bestimmen, wird in einem weiteren, von dem Objekterfassungsvorgang unabhängigen Schritt unter Verwendung einer zusätzlichen Beleuchtungsquelle ein den gesamten Aufnahmebereich flächenhaft überziehendes Markierungsmuster aufgenommen. Objekt und Markierungsmuster, werden also in zwei aufeinanderfolgenden Schritten erfaßt, wobei in technisch aufwendiger Weise jeweils das eine oder andere Bild ausgeblendet wird.

Entsprechende Vorrichtungen bzw. Verfahren sind in der WO 90/10 355 und aus der US-PS 4,809,066 bekannt. Bei diesen Druckschriften sind die Marken in Form von kreuzförmig verlaufenden Ritzen in einer Objektträgerplatte vorgesehen. Zum Erfassen dieser Marken ist eine Beleuchtungsquelle vorgesehen, welche Lichtstrahlen von der Seite und in der Ebene der Objektträgerplatte in diese einleitet, so daß das Licht an den Ritzen quer zur Objektträgerebene reflektiert und ausgestrahlt wird, so daß die Lage der Ritzen bzw. Marken von dem Flächensensor erfaßt werden kann.

Die erfindungsgemäße Anordnung der Marken außerhalb des zu erfassenden Objekts im Randbereich eines Objektauflagebereichs des Scanners ermöglicht die gleichzeitige Erfassung des Objekts und der Marken beim Scanvorgang. Hierdurch kann die Vorrichtung effizienter eingesetzt werden, und es können auch zufällig auftretende Fehler und Ungenauigkeiten des Sensors erfaßt werden, die nicht bei jedem Scanvorgang auftreten.

Gemäß der Erfindung kann eine einzige Beleuchtungsquelle zum Erfassen des Objekts und zum Erfassen der Marken verwendet werden.

Wenn die Marken bzw. Markierungen eine im Wesentlichen in Verfahrrichtung erstreckte Linie oder einen Streifen umfassen, so kann ein Versatz bzw. eine Positionsungenauigkeit oder -abweichung des zeilenförmigen Sensors in Zeilenrichtung erfaßt werden. Tritt eine solche Ungenauigkeit auf, so wird die meßtechnisch aufgenommene Geometrie der Linie oder des Streifens von der bekannten tatsächlichen Geometrie abweichen. Es wird beispielsweise in Verfahrrichtung eine Schlangenlinie oder eine Stufe o. dgl. auftreten. Durch Vergleich dieser gemessenen oder erfaßten Geometrie mit der bekannten Geometrie kann die Positionsabweichung des Sensor festgestellt werden, und die gemessenen Objektbilddaten können entsprechend korrigiert werden.

Desweiteren erweist es sich als vorteilhaft, wenn die Marken quer zur Verfahrrichtung des Sensors verlaufende Querbalken oder -streifen umfassen. Durch Verwendung derartiger Marken kann während des Scanvorgangs eine Ungenauigkeit in Scanrichtung, d. h. senkrecht zur Sensorzeile erfaßt werden, die auf eine Ungenauigkeit der Führungen bzw. auf eine Ungleichmäßigkeit des Antriebs der Scanbewegung zurückzuführen ist. Bei einer gleichmäßigen Scanbewegung müßten die optoelektronisch erfaßten Querbalken im Bild gleichen Abstand voneinander aufweisen. Ist dies nicht der Fall, so liegt eine Ungenauigkeit in Scanrichtung vor, d. h. das Bild des Objekts ist gegenüber der tatsächlichen Objektgeometrie in Scanrichtung entweder gestreckt oder komprimiert, weil der Sensor teilweise zu langsam oder zu schnell bewegt wurde.

Gemäß einer ganz besonders bevorzugten Ausführungsform der Erfindung sind die Querbalken zur Zeilenrichtung des Sensors und auch zur Scanrichtung geneigt. Durch die Neigung kann der Verlauf der Bewegung auch in Scanrichtung kontinuierlich, d. h. an jeder Position durch Auswertung der Marken erfaßt werden. Handelt es sich beispielsweise um einen rechteckförmigen zur Zeilenrichtung geneigten Streifen mit geradem Rand, so wird bei Auftreten einer Ungenauigkeit beim Überstreichen dieses Streifens durch die Sensorzeile eine Abweichung von dem linearen Streifenverlauf festgestellt. Dies wäre nicht möglich, wenn diese Ungenauigkeit in Scanrichtung in dem Bereich zwischen zwei in Zeilenrichtung verlaufenden Querbalken auftreten würde. Deshalb erweist es sich als vorteilhaft, durch entsprechende Neigung der Querbalken den Abstand der Marken zu minimieren.

Die Querbalken sind zur Zeilenrichtung des Sensors vorzugsweise derart geneigt und weisen eine solche Länge auf, daß sie sich in Zeilenrichtung gesehen überlappen.

Vorteilhafter Weise werden die Querbalken so angeordnet, daß sie sich von der in Verfahrrichtung erstreckten Linie oder dem Streifen wegerstrecken. Es kann dann von der Linie bzw. dem Streifen eine Ungenauigkeit in Zeilenrichtung des Sensors erfaßt werden, und über die querbalkenförmigen Marken kann eine Ungenauigkeit in Scanrichtung erfaßt werden.

Als ganz besonders vorteilhaft erweist es sich, wenn die Marken in Verfahrrichtung des Sensors an beiden Randbereichen vorgesehen sind, da solchenfalls auch eine Verkippung des zeilenförmigen Sensors in der Objektebene meßtechnisch erfaßt und zur Korrektur des Objektbilds benutzt werden kann.

Wenn die Marken entlang der Verfahrrichtung eine periodische Geometrie aufweisen, vereinfacht sich der rechnerische Aufwand zum Detektieren von Positionsabweichungen.

Die in einem Randbereich außerhalb des Sensors vorgesehenen Marken werden vorzugsweise von den optoelektronischen Wandlereinheiten des zeilenförmigen Sensors erfaßt, so daß keine zusätzlichen Sensoren vorgesehen werden müssen. Auf diese Weise wird auch sichergestellt, daß die Wandlereinheiten zur Erfassung der Marken den selben Ungenauigkeiten unterworfen sind, wie der zeilenförmige Sensor selbst.

Es versteht sich, daß das erfindungsgemäße Konzept bzw. die erfindungsgemäßen Markierungen auch bei Trommelscannern Verwendung finden können. Die Marken bzw. die Markierung erstrecken sich solchenfalls in Umfangsrichtung der Trommel außerhalb des Objekts.

Weitere Merkmale, Einzelheiten und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den beigefügten Patentansprüchen sowie aus der zeichnerischen Darstellung und der nachfolgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. In der Zeichnung zeigen:

Fig. 1 eine Draufsicht auf einen Objektauflagebereich eines erfindungsgemäßen Flachbettscanners; und

Fig. 2a bis e verschiedene bevorzugte Ausführungsformen von erfindungsgemäßen Marken.

Fig. 1 zeigt eine Draufsicht auf einen Objektauflagebereich 2 eines erfindungsgemäßen Flachbettscanners. Der Auflagebereich 2 ist von einer durchleuchtbaren Glasplatte gebildet. Mit dem Bezugszeichen 4 ist ein eine Vielzahl von pixelförmiger optoelektronischer Wandlereinheiten 6 aufweisender zeilenförmiger Sensor bezeichnet. Der Sensor 4 ist in Richtung des Pfeils 8 unterhalb des Objektauflagebereichs 2 verfahrbar. Hierbei wird ein auf den Objektauflagebereich 2 aufgelegtes Objekt 10 von den pixelförmigen Wandlereinheiten 6 erfaßt, die während des Scannens periodisch ausgelesen werden.

An den in Scanrichtung 8 verlaufenden Randbereichen 12, 14 des Objektauflagebereichs 2 sind als Linien angedeutete Marken oder Markierungen 16, 18 vorgesehen. Zusätzlich ist eine Markierung 20 an einem der zwei in Zeilenrichtung 21 verlaufenden Randbereiche 22 und 24 vorgesehen. In seiner Ausgangsstellung befindet sich der zeilenförmige Sensor 4 im Bereich der Markierung 20.

Die Fig. 2a bis 2e zeigen verschiedene beispielhafte Ausführungsformen von Marken oder Markierungen. Fig. 2a zeigt eine Markierung in Form einer Linie oder eines Streifens 24. Wenn dieser Streifen 24 an einem Randbereich eines Objektauflagebereichs außerhalb des zu erfassenden Objekts in Scanrichtung 8 vorgesehen ist, bspw. in Form einer Schwärzung einer durchleuchtbaren Glasplatte, so kann eine Ungenauigkeit des zeilenförmigen Sensors 4 quer zur Scanrichtung 8 entdeckt werden. Tritt eine solche Ungenauigkeit auf, so wird das von den pixelförmigen Wandlereinheiten 6 aufgezeichnete Bild des Streifens 24 Krümmungen, Stufen o. dgl. aufweisen.

Fig. 2b zeigt Marken in Form von Querbalken 26, die sowohl zur Scanrichtung 8 als auch zur Zeilenrichtung 21 des Sensors 4 geneigt sind. Ihre Neigung und Länge ist derart gewählt, daß sie einander in Zeilenrichtung 21 des Sensors 4 betrachtet überlappen, so daß kein Zwischenraum zwischen den einzelnen Querbalken 26 existiert, innerhalb dessen eine Ungenauigkeit der Bewegung der Sensorzeile 4 in Scanrichtung 8 unbemerkt bleiben könnte.

Fig. 2c zeigt eine Ausführungsform, wonach sich Querbalken 28 von einer linienförmigen Markierung 30 wegerstrecken. Über die bekannte und einem Rechner eingegebene oder eingebbare Lage und Geometrie der linienförmigen Markierung 30 wird bei dieser Ausführungsform eine etwaige Positionsungenauigkeit beim Verfahren des Sensors 4 in Zeilenrichtung 21 erfaßt. Durch die periodische Aufeinanderfolge der Querbalken 28 wird eine in Scanrichtung 8 auftretende Ungenauigkeit erfaßt. Durch die Neigung der Querbalken 28 wird die zur Verfügung stehende Auflösung in Scanrichtung 8 erhöht, sie ist jedoch geringfügig geringer als bei der Ausführungsform nach Fig. 2b, da aufgrund der linienförmigen Marke 30 keine vollständige Überlappung der Querbalken 28 in Zeilenrichtung des Sensors 4 gesehen erreicht wird.

Weitere Ausführungsbeispiele, zeigen die Fig. 2d und e mit sägezahnförmigen Marken 32 bzw. 34. Auch bei diesen Ausführungsformen entsteht zwischen den einzelnen Zähnen kein Totraum, innerhalb dessen eine Positionsabweichung in Scanrichtung 8 nicht erkennbar wäre.

Die Lage und die Geometrie der einzelnen Marken müssen hinreichend genau bekannt sein. Die hierfür erforderliche Ortsinformation kann durch hochgenaue Fertigungsverfahren oder auch durch Vermessung der angebrachten Marken mittels einer sehr genauen Messeinrichtung, wie z. B. ein Koordinatenmeßgerät, ermittelt und einem zur Auswertung benutzten Rechner eingegeben werden.

Die geometrische Form der Marken wird so gewählt, daß mit Hilfe geeigneter Auswerteverfahren Ortskoordinaten der Marken aus den erfaßten Sensordaten ermittelt werden können. Diese Ortskoordinaten werden dann mit den tatsächlichen vorbekannten Ortsinformationen (Lage und Geometrie) der Marken verglichen. Aus den hierbei bestimmten Unterschieden können Positionsabweichungen des Sensors von zu erwartenden Sollpositionen während der scannenden Bewegung ermittelt werden. Die erfaßten Bilddaten des Objekts können dann entsprechend den Positionsabweichungen korrigiert werden.

Aufgrund der Funktionsweise des Scanners sind parallel und senkrecht zur Sensorrichtung verschiedenartige Fehler zu erwarten. Die Genauigkeit parallel zur Sensorzeile hängt im Allgemeinen allein von der bei der Fertigung der Zeile erzielten Genauigkeit ab, da die Positionen der einzelnen Sensorelemente bzw. Wandlereinheiten während eines Scanvorgangs nicht verändert werden. Es können daher Korrekturfaktoren für die Positionen der einzelnen Bildpunkte in Richtung der Sensorzeile 4 einmalig mit Hilfe eines speziellen Kalibrierteils, das nicht fester Bestandteil des Scanners zu sein braucht, bestimmt werden. Es kann hierfür aber auch eine Markierung auf der Glasplatte des Scanners aufgebracht werden.

Im Unterschied hierzu ist die Genauigkeit in Scanrichtung 8, d. h. senkrecht zur Sensorzeile u. a. von der Genauigkeit der Führungen und von der Gleichmäßigkeit der Scanbewegung abhängig. Diese Genauigkeit unterliegt jedoch umwelt- und alterungsbedingten Schwankungen, so daß die dadurch verursachten Fehler bei jedem Scanvorgang erfaßt und individuell korrigiert werden, indem sowohl das Objekt als auch die Marken gleichzeitig während eines Scanvorgangs erfaßt werden. Im Gegensatz zur Werkstückposition sind die genauen Positionen der Markierungen bekannt, so daß das erfaßte Bild in Abhängigkeit von der Position der Sensorzeile gedehnt oder gestaucht werden kann. Von diesen Auswerteoperationen sind sowohl das erfaßte Bild der Marken wie auch das Bild des zu erfassenden Objekts in gleichem Maße betroffen, so daß das schlußendlich erhaltene Objektbild die maßlichen Eigenschaften des Objekts sehr genau beschreibt. - Dies eröffnet die Möglichkeit, einfache Dokumentenscanner für die Meßtechnik und Qualitätssicherung zu verwenden. Hierfür wird am Rand der zumeist gläsernen Auflagefläche des Scanners eine Markierung der vorstehend beschriebenen Art aufgebracht.

Wenn beispielsweise die geometrische Abmessung einer Durchgangsöffnung in einer Flachdichtung zur Qualitätssicherung ermittelt werden soll, so ist es möglich, eine solche Flachdichtung mittels eines erfindungsgemäßen Dokumentenscanners zu erfassen. Sofern lediglich die Durchgangsöffnung von Interesse ist, braucht bei der erfindungsgemäßen Datenaufbereitung nicht das gesamte Bild erfindungsgemäß korrigiert, also gedehnt oder gestaucht zu werden, sondern es erweist sich als hinreichend, nur den Bildausschnitt, welcher die interessierende Öffnung beinhaltet, erfindungsgemäß zu korrigieren.

Die Korrektur des erfaßten Bildes kann im Anschluß an den Scanvorgang stattfinden. Im Unterschied hierzu ist es jedoch auch möglich, die Bilddaten bereits während des Scanvorgangs auszuwerten und einen Vergleich der mit Hilfe der Marken ermittelten Ist-Position der Sensorzeile 4 und der aufgrund des Bewegungsablaufs zu erwartenden Soll-Position durchzuführen. Die dabei ermittelte Abweichung kann dann zu einer Korrektur, d. h. zu einer Regelung der scannenden Bewegung der Sensorzeile verwendet werden.

Claims (20)

1. Flachbettscanner mit einem zeilenförmigen, eine Vielzahl pixelförmiger optoelektronischer Wandlereinheiten (6) umfassenden Sensor (4), der quer zur Zeilenrichtung in der Ebene eines zu erfassenden Objekts (10) verfahrbar ist und dessen Wandlereinheiten (6) dabei periodisch auslesbar sind, gekennzeichnet durch optoelektronisch erfaßbare Marken (16, 18, 20, 24, 26, 28, 30, 32, 34) die im Randbereich (12, 14, 22) eines Objektauflagebereichs (2) des Scanners angeordnet sind und somit nur den Randbereich (12, 14, 22) des von dem Sensor überstrichenen Objektauflagebereichs (2) außerhalb des Objekts (10) abdecken und deren Lage und Geometrie genau bekannt und in einen Rechner eingebbar sind.

2. Flachbettscanner nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken (16, 18, 20, 24, 26, 28, 30, 32, 34) in der Objektebene des Scanners angeordnet sind.

3. Flachbettscanner nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektauflagebereich (2) eine durchleuchtbare Glasfläche aufweist, an der die Marken (16, 18, 20, 24, 26, 28, 30, 32, 34) vorgesehen sind.

4. Flachbettscanner nach Anspruch 1, 2 oder 3, gekennzeichnet durch eine einzige Beleuchtungsquelle zum Erfassen des Objekts (10) und zum Erfassen der Marken (16, 18, 20, 24, 26, 28, 30, 32, 34).

5. Flachbettscanner nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken eine im wesentlichen in Verfahrrichtung erstreckte Linie oder einen Streifen (24, 30) umfassen.

6. Flachbettscanner nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken quer zur Verfahrrichtung (8) verlaufende Querbalken oder -streifen (26, 28) umfassen.

7. Flachbettscanner nach Anspruch 5 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Querbalken (28) von der in Verfahrrichtung erstreckten Linie oder dem Streifen (30) wegerstrecken.

8. Flachbettscanner nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Querbalken (26, 28) zur Zeilenrichtung des Sensors (4) geneigt sind.

9. Flachbettscanner nach Anspruch 6, 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Querbalken (26) zur Zeilenrichtung des Sensors (4) derart geneigt sind und eine solche Länge aufweisen, daß sie sich in Zeilenrichtung gesehen überlappen.

10. Flachbettscanner nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken (16, 18, 24, 26, 28, 30, 32, 34) in Verfahrrichtung (8) des Sensors (4) an beiden Randbereichen (12, 14) vorgesehen sind.

11. Flachbettscanner nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken (16, 18, 24, 26, 28, 30, 32, 34) entlang der Verfahrrichtung (8) eine periodische Geometrie aufweisen.

12. Flachbettscanner nach wenigstens einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken über optische Verfahren hergestellt sind.

13. Verfahren zum Erfassen eines Objekts unter Verwendung eines Scanners mit einem zeilenförmigen, eine Vielzahl pixelförmiger, optoelektronischer Wandlereinheiten umfassenden Sensor, der dabei quer zur Zeilenrichtung in der Ebene eines zu erfassenden Objekts verfahren wird und dessen Wandlereinheiten dabei periodisch ausgelesen werden, dadurch gekennzeichnet, daß beim optoelektronischen Erfassen des Objekts außerhalb des Objekts vorgesehene Marken mit erfaßt werden, daß durch Vergleich der Daten der erfaßten Marken mit vorbekannten Daten über Lage und Geometrie der Marken Positionsabweichungen des Sensors von seinen beim Scanprozeß zu durchlaufenden Sollpositionen festgestellt werden und anhand dieser Abweichungen die erfaßten Objektbilddaten entsprechend korrigiert werden.

14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken mit optoelektronischen Wandlereinheiten des zeilenförmigen Sensors erfaßt werden.

15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erfassung des Objekts und der Marken dieselbe Beleuchtungsquelle verwendet wird.

16. Verfahren nach Anspruch 13, 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken zur Ermittlung der in allen Richtungen tatsächlich durchlaufenen Sensorpositionen verwendet werden.

17. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 13-16, dadurch gekennzeichnet, daß die Marken zum Regeln der Verfahrbewegung des Sensors verwendet werden.

18. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 13-17, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erfassen einer Positionsabweichung in Zeilenrichtung des Sensors in Verfahrrichtung des Sensors erstreckte Marken verwendet werden.

19. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 13-18, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erfassen einer Positionsabweichung aufgrund Verdrehens oder Krümmens des zeilenförmigen Sensors in der Verfahr- bzw. Objektebene an beiden Randbereichen des Objektauflagebereichs in Verfahrrichtung erstreckte Marken verwendet werden.

20. Verfahren nach wenigstens einem der Ansprüche 13-19, dadurch gekennzeichnet, daß zum Erfassen einer Positionsabweichung in Verfahrrichtung des Sensors Marken verwendet werden, die quer zur Verfahrrichtung erstreckt und in Verfahrrichtung aufeinander folgend angeordnet sind.