DE19654067A1 - Verfahren zur Vermessung von Kanten an Werkstücken - Google Patents

Verfahren zur Vermessung von Kanten an Werkstücken

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DE19654067A1
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Karl-Hermann Dr Breyer
Klaus-Dieter Goetz
Rolf Beck
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Carl Zeiss SMT GmbH
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
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    • G01B11/002Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring two or more coordinates
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Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Kanten von zu vermessenden Werkstücken mit einem optischen Taster, der den Abstandswert zwischen dem Taster und der Werkstückoberfläche an einem einstellbaren Abtastpunkt mißt.
Ein besagtes Verfahren ist beispielsweise aus der DE 41 09 483 A1 bekannt. Dieses ist insbesondere dazu vorgesehen, um Kanten und Bohrungen bei zu vermessenden Werkstücken, wie beispielsweise Fahrzeugkarosserieteilen, zu ermitteln. Dazu wird in der Druckschrift ein optischer Triangulationstaster vorgeschlagen, der den Abstand des Tasters zur Werkstückoberfläche mißt und zur Messung eines Punktes der Kante über die zu vermessende Kante hinweggeführt wird. Ergibt sich in den hierbei gemessenen Abstandswerten ein plötzlicher Sprung, so deutet dies daraufhin, daß der optische Taster in diesem Moment eine Kante überfährt, so daß aus den entsprechenden Abstandswerten und den Maschinenpositionen die Position eines Punktes der Kante ermittelt werden kann.
Um den optischen Taster geeignet über die Oberfläche des Werkstückes bewegen zu können, ist dieser an einer Mimik eines Koordinatenmeßgerätes aufgehängt, über die dieser in drei aufeinander senkrecht stehenden Richtungen bewegt werden kann. Zusätzlich ist der optische Taster über eine Dreh-Schwenkeinheit mit der Mimik verbunden, so daß dieser zusätzlich um zwei aufeinander senkrecht stehende Achsen gedreht werden kann. Hierdurch kann der Abtaststrahl des Tasters immer geeignet auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes eingestellt werden.
Die Besonderheit des hierin gezeigten Verfahrens ist darin zu sehen, daß die Genauigkeit des bestimmten Punktes der Kante davon abhängt, wie dicht die nacheinander aufgenommenen Abtastpunkte beieinander liegen. Um hohe Genauigkeiten zu erzielen muß der optische Taster sehr dicht beieinander liegende Meßpunkte aufnehmen. Da der Zentralrechner des Koordinatenmeßgerätes die gesamte Auswertung der durch den Taster aufgenommenen Meßwerte übernimmt, sind bei hoher Meßgenauigkeit nur relativ geringe Meßgeschwindigkeiten möglich. Außerdem können Unregelmäßigkeiten in der Kante das Meßergebnis stark verfälschen. Wird die Bahn des Abtastpunktes beispielsweise über eine Stelle geführt, an der sich eine Unregelmäßigkeit in Form eines Grates befindet, so kann dies das Ergebnis des gemessenen Punktes der Kante stark verfälschen.
Es sind ferner aus dem Stand der Technik sogenannte Linientaster bekannt, die ähnlich dem aus der DE 41 09 483 A1 bekannten Triangulationstaster eingesetzt werden. Der Unterschied gegenüber dem Triangulationstaster ist bei diesen Linientastern darin zu sehen, daß der Abtastpunkt im Linientaster zusätzlich entlang einer Geraden kontinuierlich hin und her bewegt wird. Die Erfassung einer Kante erfolgt hierbei, indem der Abtastpunkt des Linientasters mit seiner Linienrichtung senkrecht über die Kante geführt wird. Analog wird die Kante detektiert, indem in den abgetasteten Abstandswerten erstmalig eine sprunghafte Änderung detektiert wird.
Für den gezeigten Linientaster gelten hierbei genau dieselben Besonderheiten, wie für den Triangulationstaster aus der DE 41 09 483 A1.
Ferner ist aus der DE 24 05 102 A1 ein Taster bekannt, mit dem ebenfalls Kanten vermessen werden können. Der Taster ist hierbei derart ausgelegt, daß ein Lichtstrahl auf einer Kreisbahn über die Kante des zu vermessenden Werkstückes hinweggeführt wird, wobei rückwärtig auf der gegenüberliegenden Seite des Werkstückes ein Photodetektor angeordnet ist. Aus den gemessenen Hell- und Dunkelzeiten des Photodetektors lassen sich die Schnittpunkte der Kreisbahn des Lichtpunktes mit der Kante und somit die Lage der Kante ermitteln.
Auch bei dem in der DE 24 05 102 A1 gezeigten Verfahren gelten die Besonderheiten, wie diese bereits im Zusammenhang mit der DE 41 09 483 A1 geschildert wurden.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es hiervon ausgehend ein Verfahren und ein Koordinatenmeßgerät zur Vermessung von Kanten an Werkstücken anzugeben, mit dem bei hoher Meßgeschwindigkeit exaktere Werte für gemessene Punkte der Kante bestimmt werden können.
Die Aufgabe wird gemäß den Merkmalen der Ansprüche 1 und 14 gelöst.
Der Grundgedanke der Erfindung ist darin zu sehen, daß der Abtastpunkt entlang einer Bahn derart über die Kante hinwegbewegt wird, so daß die Kante in einer Vielzahl von nebeneinander liegenden Punkten geschnitten wird, wobei aus der Vielzahl der Abstandswerte die Schnittpunkte zwischen der Bahn und der Kante ermittelt werden und hieraus über Interpolation ein Punkt der Kante ermittelt wird. Unter einer Vielzahl von Abstandswerten sollen hierbei wenigstens drei Abstandswerte verstanden werden.
Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, daß der Begriff "Bahn, die die Kante in einer Vielzahl von nebeneinander liegenden Punkten schneidet" identisch gleichbedeutend mit dem im folgenden verwendeten Begriff "flächige Bahn" zu sehen ist, und die Begriffe deshalb frei durcheinander ersetzbar sind.
Der besondere Vorteil dieses Verfahrens ist darin zu sehen, daß bei dem Verfahren des Abtastpunkt es in einer flächigen Bahn - über die Kante hinweg eine Vielzahl von Abstandswerten aufgenommen werden, die die Kante auch neben dem eigentlich zu vermessenden Punkt der Kante vermessen,- so daß Unregelmäßig­ keiten im eigentlich zu messenden Punkt der Kante gut ausgeglichen werden können.
Die flächige Bahn weist hierbei vorzugsweise eine gekrümmte Form auf, die geschlossene, sich periodisch wiederholende Muster zeigt. Eine Möglichkeit um die besagte gekrümmte Bahn zu erzeugen besteht beispielsweise darin, einen in der deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen DE 196 34 785.8 beschriebenen Ringtaster, auf den hiermit voll Bezug genommen wird, zu verwenden, dessen Abtastpunkt durch den Taster selbst kreisringförmig bewegt werden kann. Die Kontur eines vollständigen kreisförmigen Umlaufes des Abtastpunktes soll im folgenden mit Tastkreis bezeichnet werden. Die Abtastung kann hierbei derart erfolgen, daß der Taster an einer Stelle angeordnet wird und der Abtastpunkt einen vollständigen Umlauf auf seinem Tastkreis macht und hierbei die gemessenen Abstandswerte speichert. Nach einem vollständigen Umlauf wird der Taster dann um einen konstanten Versatz senkrecht auf die Kante zubewegt um hier wieder einen Umlauf zu machen usw. . Die Bahn weist dann eine Vielzahl von nacheinander senkrecht auf die Kante zu versetzten Kreisen auf. Natürlich kann der Ringtaster auch mit einer konstanten Geschwindigkeit auf die Kante zubewegt werden, so daß sich durch die Überlagerung der kreisförmigen Bewegung des Abtastpunktes im Taster und andererseits der translatorischen Bewegung des Tasters eine Zykloide ergibt.
Selbstverständlich muß die flächige Bahn nicht so ausgestaltet sein, wie dies eben beschrieben wurde. Beispielsweise wäre auch eine Bahn denkbar, bei der der Abtastpunkt in anderen geometrischen Figuren wie beispielsweise Dreiecken oder Vierecken über die Kante verfahren wird. Auch zur Erzeugung der flächigen Bahn kommen unterschiedliche Taster in Betracht. Beispielsweise sind natürlich auch Taster möglich, bei denen der zur Abtastung notwendige Abtaststrahl über einen Spiegel in der entsprechenden gewünschten geometrischen Form über die Oberfläche bewegt wird oder ein einfacher Triangulationstaster, wie er aus der DE 41 09 483 A1 bekannt ist, wobei hierbei die flächige Bahn durch entsprechende Steuerung der Mimik des Koordinatenmeßgerätes erzeugt wird.
Auch zur Ermittlung des zu messenden Punktes der Kante über Interpolation aus den gespeicherten Abständen gibt es unterschiedliche Möglichkeiten. So besteht eine Möglichkeit darin, aus den gespeicherten Abstandswerten unterschiedliche Positionen für die Kante zu ermitteln und über Mittelung der vielen Kantenpositionen einen Punkt der Kante zu bestimmen. Die Interpolation erfolgt hier durch die besagte Mittelung. Zur Bestimmung der Kantenpositionen kann hierbei derart vorgegangen werden, daß aus jeder sprunghaften Änderung der Abstandswerte auf das Überstreichen der Kante geschlossen wird. Hierdurch kann ein Zeitsignal abgeleitet werden, das festlegt, zu welchem Zeitpunkt die entsprechenden Maschinenpositionen, wie beispielsweise Position des Tasters in den drei aufeinander senkrecht stehenden Meßrichtungen (X, Y, Z), Winkel der Dreh-Schwenkeinheit (α, β) etc. übernommen werden sollen. Aus den Maschinenpositionen können dann die entsprechenden Kanten­ positionen ermittelt werden, über die dann gemittelt wird. Dies kann entweder in Echtzeit passieren oder aber im nachhinein, wobei die entsprechenden Maschinenpositionen dann über einen längeren Zeitraum in einem geeigneten Speicher gespeichert werden müssen.
Bei einer weiteren Möglichkeit zur Bestimmung des Punktes der Kante über Interpolation, bei der die Meßgeschwindigkeit gegenüber dem vorhergehend beschriebenen Verfahren stark erhöht werden kann, wird, wie weiter unten noch beschrieben wird, aus dem Verlauf der Abstandswerte über Interpolation ein einziges Zeitsignal abgeleitet, das einen Zeitpunkt festlegt, zu dem der Taster gegenüber der Kante eine festdefinierte Stellung einnimmt. Das Zeitsignal legt ebenfalls fest, zu welchem Zeitpunkt Maschinenpositionen zur Bestimmung des Punktes der Kante übernommen werden sollen. Bei einem Ringtaster beispielsweise kann die festdefinierte Stellung so aussehen, daß sich der Mittelpunkt des Tastkreises genau oberhalb der zu vermessenden Kante befindet. Die Verkürzung der Meßzeit ergibt sich dadurch, daß nur noch einmal pro Messung eines Punktes der Kante die Maschinenpositionen bestimmt werden müssen. Aus den betreffenden Maschinenpositionen und der bekannten Stellung des Tasters gegenüber der Kante kann dann einfach der Punkt der Kante bestimmt werden.
Die Meßgeschwindigkeit des eben beschriebenen Verfahrens kann weiter erhöht werden, indem das Zeitsignal bereits im Taster bestimmt wird. Der besondere Vorteil ergibt sich dadurch, daß sowohl die Schnittstelle zwischen dem Taster und einem Zentralrechner des Koordinatenmeßgerätes, sowie auch der Zentralrechner selber nicht mehr mit der Vielzahl an gemessenen Abstandswerte belastet werden, sondern statt dessen neben einigen wenigen anderen Signalen nur das Zeitsignal übermittelt wird.
In einer besonders Vorteilhaften Ausführungsform mit besonders hohen Meßgeschwindigkeiten wird das Koordinatenmeßgerät in einem festgelegten Zeittakt betrieben. Das Zeitsignal kann dann hierbei ein sogenanntes Taktabstandssignal umfassen, das angibt, wieviele Takte vorher der Taster die festdefinierte Stellung gegenüber der Kante eingenommen hat, und ein Triggersignal, das den Zeitpunkt festlegt, zu dem die Stellung um die Anzahl der Takte gemäß dem Taktabstandssignal zurückliegt. Durch ein derartiges Zeitsignal können im Zentralrechner sehr einfach die besagten Maschinenpositionen bestimmt werden, so daß auf zeitaufwendige Rechenoperationen verzichtet werden kann.
Das besagte Zeitsignal kann hierbei auf unterschiedlichste Art und Weise bestimmt werden. In einem besonders vorteilhaften Ausführungsbeispiel werden aus sprunghaften Änderungen der Abstandswerte Kantenübergänge detektiert, wobei aus den Kantenübergängen dann eine Vielzahl von zeitlich abhängigen Winkel ermittelt werden, die in Abhängigkeit von der Zeit angeben, welchen Winkel die gedachte Verbindung der Kanten­ übergänge mit einem festgelegten Referenzpunkt zu einer anderen Geraden einnimmt. Bei dem besagten Ringtaster kann dies beispielsweise der Winkel sein, der sich zwischen den detektierten Kantenübergängen eines Umlaufes und dem Mittelpunkt des Tastkreises ergibt. Selbstverständlich läßt sich dieses Prinzip auf sämtliche anderen Bahnen übertragen. Z.B. könnte bei einer Bahn die Dreiecke enthält als Winkel der Winkel zwischen den detektierten Kantenpositionen eines Umlaufes und dem Schwerpunkt des Dreieckes sein.
Aus den betreffenden zeitlich abhängigen Winkeln wird dann nachträglich zur Bestimmung des Punktes der Kante über Interpolation das besagte Zeitsignal abgeleitet, indem derjenige Zeitpunkt ermittelt wird, zu dem der zeitlich abhängige Winkel einen festdefinierten Wert einnimmt. Bei dem oben genannten Beispiel mit dem Ringtaster beträgt der Winkel 180° wenn sich der Mittelpunkt des Tastkreises über der Kante befindet.
Das besagte Zeitsignal kann insbesondere dann sehr genau bestimmt werden, wenn es aus dem Verlauf einer an die Winkel approximierten Funktion bestimmt wird, wobei durch die Approximation dann die Interpolation durchgeführt wird.
Weitere Vorteile und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Figuren. Hierin zeigen:
Fig. 1 ein erfindungsgemäßes Koordinatenmeßgerät, mit dem das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann;
Fig. 2 eine vergrößerte Schnittdarstellung des Tasters gemäß Fig. 1;
Fig. 3 ein Blockschaltbild wichtiger elektronischer Komponenten des Koordinatenmeßgerätes gemäß Fig. 1;
Fig. 4 eine Bahnbewegung des Abtastpunktes vom Taster gemäß Fig. 1 und 2;
Fig. 5 Darstellung der ermittelten Winkel mit einem Taster gemäß Fig. 1 und 2 beim Verfahren über eine Kante;
Fig. 6 eine Auswertung der Signale gemäß Fig. 5;
Fig. 7 eine Darstellung des Zeitsignals;
Fig. 8 ein Fourrierprofil der Abstandsmeßwerte des Tasters gemäß Fig. 1 und 2 vor der Überfahrt über die Kante;
Fig. 9 und 10 eine Einpassung zur Erkennung des vermessenen Kantentyps.
Fig. 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Koordinatenmeßgerät (10) zur Vermessung der Kanten (13) eines Werkstückes (5). Das Koordinatenmeßgerät umfaßt einen optischen Taster (4) der an unterschiedlichen Abtastpunkten (15) den Abstand (a) zwischen dem Taster (4) und der Werkstückoberfläche des Werkstückes (5) ermittelt. Zur Verstellung des Abtastpunktes (15) ist der Taster (4) über eine aus dem Stand der Technik bereits hinreichend bekannte Dreh-Schwenkeinheit (14) mit einem Meßarm (3) verbunden, wobei der optische Taster (4) gemäß dem Pfeil (β) um die Längsachse des Meßarms (3) rotiert werden kann sowie zusätzlich gemäß dem Pfeil (α) um eine zur Längsachse des Meßarmes (3) senkrecht stehende Querachse. Der Meßarm (3) ist über einen Schlitten (2) derart mit einem Ständer (1) verbunden, daß der Meßarm (3) gegenüber dem Ständer (1) sowohl in X-Richtung (X) wie auch in Z-Richtung (Z) bewegt werden kann. Der Ständer (1) seinerseits kann über eine Führung (45) in Y-Richtung (Y) bewegt werden. Um das zu vermessende Werkstück (5) vermessen zu können sind in dem besagten Koordinatenmeßgerät (10) für alle drei Meßrichtungen (X, Y, Z) Meßwerterfassungen (51) vorgesehen, über die sich die aktuelle Maschinenposition (X, Y, Z) des Tasters (4) in allen drei Meßrichtungen (X, Y, Z) ermitteln läßt. Dazu sind üblicherweise hier nicht näher gezeigte, aus dem Stand der Technik bereits hinreichend bekannte Glasmaßstäbe vorgesehen, die von entsprechenden Sensoren abgetastet werden. In ähnlicher Weise weist auch die Dreh-Schwenkeinheit (14) Meßwerterfassungen (51) auf, die einen Glasstab abtasten um hierdurch die Maschinenposition (α, β) des Tasters (4) in Bezug auf den Winkel (β), wie auch den Winkel (α) aufzunehmen. Die entsprechenden Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) werden über eine entsprechende Schnittstelle zur Weiterverarbeitung an den Steuerschrank (7) übermittelt, in dem sich unter anderem auch ein Zentralrechner des Koordinatenmeßgerätes (10) befindet.
Der optische Taster (4) seinerseits ist in Form eines sogenannten Ringtasters ausgestaltet, so daß der Tastpunkt (15) durch den Taster (4) kreisringförmig auf einem Tastkreis (36) bewegt werden kann. Ein derartiger Taster (4) ist in Fig. 2 dargestellt. Der Taster (4) umfaßt hierbei einen Diodenlaser (17) der einen Lichtstrahl (18) aussendet. Der Strahl (18) des Diodenlasers (17) wird durch eine schräg zum Strahl (18) stehende gläserne Ablenkplatte (19) versetzt und über eine Frontlinse (20) auf dem zu vermessenden Werkstück (5) abgebildet. Die vom Werkstück (5) reflektierten Strahlen (21) laufen durch die Frontlinse (20) wieder zurück und werden nach erneuter Versetzung über die Ablenkplatte (19) über eine Empfangslinse (22) auf einem Empfänger (23) abgebildet. Zur Ermittlung des Abstandes (a) zwischen der Werkstückoberfläche des Werkstückes (5) und dem Taster (4) wird hierbei vom Empfänger (23) der Durchmesser des abgebildeten Kreises gemessen, wobei der Durchmesser des abgebildeten Kreises in Abhängigkeit von der Größe des Abstandes (a) zwischen der Werkstückoberfläche des Werkstückes (5) und dem Taster (4) variiert. Um den Durchmesser des Kreises messen zu können ist der Empfänger (23) vorzugsweise als sogenannte Photolateral­ diode, auch PSD-Sensor genannt, ausgestaltet, die in Abhängigkeit vom Auftreffpunkt des abgebildeten Kreises ihre Spannung ändert. Der Empfänger (23) kann aber auch als segmentiertes CCD-Array ausgestaltet sein, das in Abhängigkeit von jeweils unterschiedlich beleuchteten Segmenten unterschiedliche Signale gibt. Ist der Durchmesser des abgebildeten Kreises relativ groß, und somit der Abstand (a) von der Werkstückoberfläche groß, so läßt sich von dem betreffenden Empfänger (23) eine große Spannung abgreifen. Ist der Durchmesser des abgebildeten Kreises klein und somit der Abstand (a) zur Oberfläche des Werkstückes (5) gering, so läßt sich nur eine geringe Spannung abgreifen.
Um den Antastpunkt (15) nun kreisringförmig auf dem Tastkreis (36) rotieren zu lassen, ist im Taster (4) zusätzlich ein Motor (16) vorgesehen, der das Gehäuse (24) mit der daran befestigten Ablenkplatte (19) und der Frontlinse (20) rotieren läßt, so daß die Strahlen (18, 21) bedingt durch die Drehung der Ablenkplatte (19) so abgelenkt werden, daß sie sich auf einer kreisförmigen Bahn, dem Tastkreis (36) bewegen. Das Gehäuse (24) ist hierzu über die Kugellager (43) drehbar an dem restlichen Taster (4) gelagert. Der tatsächliche Durchmesser des Tastkreises (36) beträgt hierbei üblicherweise etwa 1 mm. An den Empfänger (23) angeschlossen ist weiterhin ein Teil einer Auswerteeinheit (25a), die der Ermittlung des Punktes (P) der Kante dient.
Zur detaillierteren Beschreibung der elektronischen Komponenten des Koordinatenmeßgerätes (10) sind in Fig. 3 in einem Block­ schaltbild in rein schematischer Form die für die erfindungs­ gemäße Messung des Punktes (P) der Kante (13) notwendigen elektronischen Komponenten gezeigt. Ein wesentlicher Bestand­ teil der elektronischen Komponenten bildet die hier zweiteilig ausgeführte Verarbeitungseinheit (25a, 25b). Von der Verarbeitungseinheit (25a, b) werden die vom Taster (4) gemessenen Abstandswerte (a) aufgenommen und der besagte Punkt (P) der Kante (13) bestimmt. Ein Teil der Verarbeitungseinheit (25a) befindet sich hierbei im Taster (4), ein zweiter Teil im Steuerschrank (7) des Koordinatenmeßgerätes (10). Die beiden Teile der Verarbeitungseinheit (25a, 25b) sind über eine Schnittstelle (26) miteinander verbunden. Die Zweiteilung der Verarbeitungseinheit (25a, b) hat den besonderen Vorteil, daß Berechnungen, die zur Bestimmung des Punktes (P) der Kante (13) notwendig sind bereits im Taster (4) durchgeführt werden, so daß der zweite Teil der Verarbeitungseinheit (25b), der üblicherweise in Form eines Zentralrechners im Steuerschrank (7) untergebracht ist, weitgehend von derartigen Aufgaben entlastet ist.
Darüberhinaus ist im Steuerschrank (7) zusätzlich eine Steuerung (27) vorgesehen, die mit den Antrieben (28) des Koordinatenmeßgerätes (10) zur Veränderung der Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β), der Recheneinheit (29) in der Verarbeitungseinheit (25b) sowie über die Schnittstelle (26) mit dem Taster (4) verbunden ist. Die Steuerung (27) ist für die gesamte Koordination der Bewegung des Abtastpunktes (15) verantwortlich und veranlaßt, daß der Abtastpunkt (15) in einer durch die Steuerung (27) vorgebbaren flächigen Bahn über die Kante (13) des Werkstückes (5) hinwegbewegt wird. Dazu gibt die Steuerung (27) an die Antriebe (28) entsprechende Signale, durch die der Taster (4) senkrecht auf die zu vermessende Kante (13) zubewegt wird sowie ein entsprechendes Signal an den Motor (16) des Tasters (4), durch den die oben beschriebene Drehung des Abtastpunktes (15) auf dem Tastkreis (36) festgelegt wird.
Die Steuerung des Abtastpunktes (15) ist hierbei vorzugsweise derart ausgestaltet, daß der Abtastpunkt (15) einmal auf einem Tastkreis (36) umläuft, bevor der Taster (4) weiter auf die Kante (13) zubewegt wird, so daß die hierdurch entstehende flächige Bahn dann eine Vielzahl an Kreisen (36a, 36b, 36c. . .36n) umfaßt, wie dies in Fig. 4 dargestellt ist. Die Steuerung (27) kann die Antriebe (28) allerdings auch so ansteuern, daß der Taster (4) kontinuierlich durch die Antriebe (28) auf die Kante (13) des zu vermessenden Werkstückes (5) zubewegt wird, so daß dann durch die Überlagerung der Kreisbewegung und der geradlinigen Bewegung eine Zykloide entsteht.
Zur Ermittlung des Punktes (P) der Kante in der Verarbeitungs­ einheit (25a, 25b) werden während des Verfahrens des Abtast­ punktes (15) über die Kante (13) die vom Empfänger (23) des Tasters (4) gemessenen Abstandswerte (a) in einem in der Verarbeitungseinheit (25a) vorgesehenen Speicher (48) abgespeichert. Die Speicherung erfolgt hierbei derart, daß die Abstandswerte in einer festen Beziehung sowohl zum Drehwinkel des momentan durch den Motor (16) eingestellten Abtastpunktes (15) gegenüber einer Referenzstellung als auch in einer festen Beziehung zum aktuellen Zeitpunkt abgespeichert werden.
Direkt anschließend an den Speicher (48) ist eine Zeitbestimmungseinheit (30) vorgesehen, die nachträglich aus den gespeicherten Abstandswerten (a) ein Zeitsignal (t180) ableitet, zu dem der Taster (4) gegenüber der Kante (13) eine festdefinierte Stellung einnimmt. Als festdefinierte Stellung wird hierbei willkürlich derjenige Zeitpunkt (t180) gewählt, bei dem der Mittelpunkt (m) des Tastkreises (36) sich über der zu vermessenden Kante (13) befindet. Dazu ist in der Zeitbestimmungseinheit (30) eine Winkelberechnungseinheit (29) vorgesehen, die aus den gemessenen Abstandswerten (a) eine Vielzahl zeitlich abhängiger Winkel (τ) ermittelt, nämlich für jeden Umlauf des Tastpunktes (15) auf seinem Tastkreis (36a, 36b. . .36n) einen hier als Kantenwinkel (τ) bezeichneten Winkel.
Zum besseren Verständnis sei vorab auf Fig. 5 verwiesen. In Fig. 5a, b, c werden hierbei in zeitlicher Abfolge einige der aus Fig. 4 gezeigten Umläufe des Tastkreises (36a, d, n) gezeigt. Die Bewegungsrichtung wurde bei dem hier gezeigten Beispiel der Einfachheit halber so gewählt, daß die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) parallel zur Y-Z-Ebene ausgerichtet ist und daß die Kante (13) so gewählt ist, daß sich der Taster (4) zum Abtasten der Kante (13) in X-Richtung bewegt. Während sich der Tastkreis (36a) gemäß Fig. 5a zum Zeitpunkt (ta) noch vollständig auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befindet, ist der Tastkreis (36c) zum Zeitpunkt (td) bereits schon teilweise jenseits der Kante (13) des Werkstückes (5). Der Tastkreis (36n) ist zum Zeitpunkt (tn) ist bereits hinter der Kante (13).
Als Kantenwinkel (τ) soll nun hier derjenige Winkel verstanden werden, der sich aus der Verbindung der Kantenübergänge (38, 39, 49a, b) mit dem Mittelpunkt (m) des Tastkreises des jeweiligen Tastkreises (36a, d, n) zum betreffenden Zeitpunkt (ta, td, tn) ergibt. Für Fig. 5a beträgt der Kantenwinkel (τ) 0°. Für Fig. 5b beträgt er etwa 170°. Für Fig. 5c beträgt er 360°.
Die Ermittlung des Kantenwinkels (τ) kann in der Winkel­ berechnungseinheit (29) leicht vorgenommen werden, indem aus den im Speicher (48) gespeicherten Abstandswerten (a) für jeden Umlauf jeweils eines Tastkreises (36a, 36b,. . .36n) diejenigen Abstandswerte herausgesucht werden, bei denen sich der Abstandswert sprunghaft ändert. Für diese Werte wird angenommen, daß sich hier die Kantenübergänge (38, 39, 49a, b) befinden. Wie bereits oben erläutert, sind die Abstandswerte (a) in einer festen Beziehung sowohl zum Drehwinkel des momentan durch den Motor (16) eingestellten Abtastpunktes (15) gegenüber einer Referenzstellung als auch in einer festen Beziehung zum aktuellen Zeitpunkt (ta, tc, tn) abgespeichert. Aus den entsprechenden Drehwinkeln wird in der Winkel­ berechnungseinheit (29) dann der zwischen den ermittelten Kantenübergängen (38, 39, 49a, b) liegende Kantenwinkel (τ) in Abhängigkeit vom jeweiligen Zeitpunkt (ta, tc, tn) berechnet.
Zur Ermittlung des Zeitsignals (t180), bei dem sich der Mittelpunkt (m) des Tastkreises (36a, b, c. . .n) genau über der Kante (13) befindet, muß nun aus den zeitlich abhängigen Kantenwinkeln (τ) derjenige Zeitpunkt (t180) bestimmt werden, zu dem der Kantenwinkel (τ) genau 180° beträgt. Dazu wird in der Zeitbestimmungseinheit (30) in einem ersten Schritt an die zeitlich abhängigen Kantenwinkel (τ) eine Funktion (F) approximiert, wie dies Fig. 6 darstellt. Es sind hierzu die unterschiedlichsten Approximationen, wie beispielsweise eine lineare oder parabolische Approximation, eine Approximation über ein Polynom n-ten Grades, eine trigonometrische Approximation etc. denkbar. Daraufhin wird aus dem Verlauf der an die Winkel (τ) approximierten Funktion (F) das Zeitsignal (t180) bestimmt, indem derjenige Zeitpunkt (t180) der Funktion (F) bestimmt wird, dessen Wert genau 180° beträgt.
Das so im Taster (4) bestimmte Zeitsignal (t180) wird über die Schnittstelle (26) an die Recheneinheit (29) im zweiten Teil der Verarbeitungseinheit (25b) übermittelt. Die Recheneinheit (29) ihrerseits liest auf Basis des Zeitsignals (t180) aus einem Speicher (32) die entsprechenden Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) aus und ermittelt hieraus unter Kenntnis der Stellung des Tasters (4) gegenüber der Kante (13) den besagten Punkt (P) der Kante (13). Der Speicher (32) muß dazu so ausgestaltet sein, daß er in einer festen zeitlichen Beziehung die Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β), die durch die Meßwerterfassungen (51) geliefert werden, speichert. Dazu kann er als Ringpuffer ausgestaltet sein, der in einem durch die Takteinheit (31) vorgegebenen Takt (T) die Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) speichert.
Um das Ergebnis der Tasterstellung möglichst schnell ermitteln zu können, wird das Koordinatenmeßgerät und der Taster (4) durch eine Taktungseinheit (31) in einem festgelegten Takt (T) betrieben. Das von der Zeitbestimmungseinheit (30) generierte Zeitsignal (t180) umfaßt hierbei ein Taktabstandssignal (tab), das angibt, wieviele Takte vorher der Taster (4) die besagte Stellung gegenüber der Kante (13) eingenommen hat und ein Triggersignal (ttr), das den Zeitpunkt festlegt, zu dem die besagte Stellung des Tasters (4) gegenüber der Kante (13) um die Anzahl der Take gemäß dem Taktabstandssignal (tab) zurückliegt. Diese beiden Signale werden über die Schnittstelle (26) an die Verarbeitungseinheit (25b) übermittelt.
In der Verarbeitungseinheit (25b) werden, wie bereits oben erwähnt, in den Speicher (32) laufend die Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) im Systemtakt abgespeichert, wie dies beispielhaft Fig. 7 für die X-Werte (X1, X2, X3. . .X8) gezeigt ist. Zur Ermittlung der durch das Zeitsignal (t180) festgelegten Maschinenposition (X5) empfängt die Recheneinheit (29) das Taktabstandssignal (tab) über die Schnittstellenleitung (26) sowie das darauffolgende Triggersignal (ttr). Nachdem das Triggersignal (ttr) bei der Recheneinheit (29) eingetroffen ist, liest die Recheneinheit (29) zur Bestimmung der Maschinenposition in X-Richtung aus dem Speicher (32) diejenige Maschinenposition (X5) aus, die vom Zeitpunkt des Eintreffens des Triggersignals (ttr) aus gerechnet um die Anzahl der Takte gemäß dem Taktabstandsignals (tab) zurückliegt. Diese Maschinenposition (X5) repräsentiert dann die Maschinenposition in X-Richtung zu demjenigen Zeitpunkt, zu dem sich der Mittelpunkt (m) des Tastkreises über der Kante (13) befindet. Die restlichen Maschinenpositionen (Y, Z, α, β) werden analog ausgelesen.
Selbstverständlich kann das beschriebene Taktsignal (t180) variieren. So könnte beispielsweise das Triggersignal (ttr) zuerst geschickt werden und dann erst das Taktabstandssignal (tab). Darüberhinaus kann das Taktabstandssignal entweder konstant sein oder aber auch variieren. Selbstverständlich kann das Taktabstandssignal auch als Digitaler Zeitwert übermittelt werden, wobei dann zu Ermittlung der Maschinenpositionen in der Verarbeitungseinheit (25b) ein wesentlich höherer Rechenaufwand notwendig würde.
Aus den wie eben beschrieben ausgelesenen Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) kann bislang nur die genaue Position des Punktes (P) der Kante (13) in der Ebene der Oberfläche des Werkstückes (5) ermittelt werden. Soll zusätzlich auch noch die genaue räumliche Position des Punktes (P) der Kante ermittelt werden, so benötigt die Verarbeitungseinheit (25b) zusätzlich als Maschinenposition den aktuellen Abstandswert von der Oberfläche des Werkstückes (5). Dazu könnten prinzipiell alle Abstandswerte (a) des Tasters (4) vom Taster (4) an die Recheneinheit (29) übermittelt und hier ähnlich wie die anderen Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) zur Bestimmung des Punktes (P) der Kante (13) weiterverarbeitet werden.
Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn nur ein einziges Mal ein Abstandswert ermittelt wird, der von der Verarbeitungs­ einheit (25a) über die Schnittstelle (26) an die Verarbeitungs­ einheit (25b) übermittelt wird und dort bis zur Ermittlung des Punktes (P) der Kante (13) gespeichert wird. Eine derartige einmalige Ermittlung des Abstandswertes ist nur deshalb möglich, da der Abtaststrahl (18), wie weiter unten noch genauer ausgeführt, vor der Messung senkrecht auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) ausgerichtet wird, so daß bei einer in etwa ebenen Oberfläche des Werkstückes (5) nahezu konstante Abstandswerte (a) gemessen werden können. Um zusätzlich Fehler bei der einmaligen Bestimmung des Abstandswertes zur vermeiden weist die Verarbeitungseinheit (25a) zusätzlich eine Mittelungseinheit (33) auf, die über eine definierte Anzahl an Abstandswerten (a), nämlich jeweils einen kompletten Umlauf eines Tastkreises (36), mittelt, um hierdurch Mittelwerte (amit) in Form von gemittelten Abstandswerten des Tasters (4) zur Oberfläche des Werkstückes (5) zu erhalten. Die Mittelungseinheit (33) ist dazu so ausgestaltet, daß sie diesen Abstandswert (amit) zu einem Zeitpunkt ermittelt, zu dem sich noch alle Abtastpunkte (a) auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befinden. Der betreffende Abstandswert (amit) wird ebenfalls über die Schnittstelle (26) an die Verarbeitungseinheit (25b) übermittelt, und hier in der Recheneinheit (29) bis zur Berechnung des exakten Punktes (P) der Kante (13) zwischengespeichert.
Wie bereits oben erläutert, ist es bei der erfindungsgemäßen Kantenmessung notwendig, daß der Abtaststrahl (18) des Tasters (4) weitestgehend senkrecht auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) auftrifft und somit die Abstände (a) eines Umlaufes des Tastkreises (36) weitgehend konstant sind, solange sich der Tastkreis (36) auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befindet. Dazu wird der Taster (4) üblicherweise vor der eigentlichen Messung des Punktes (P) der Kante (13) entsprechend eingerichtet, indem beispielsweise willkürlich einige Abstandswerte (a) aufgenommen werden und der Taster (4) über die Dreh-Schwenkeinheit (14) so auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) ausgerichtet wird, daß die Abstandswerte (a) für einen Umlauf eines Tastkreises (36) in etwa gleich sind. Allerdings kann es nun sein, daß die Oberfläche Unebenheiten aufweist oder gewölbt ist, so daß eine seriöse Messung des Punktes (P) der Kante (13) nicht möglich ist. Deshalb kann zusätzlich in der Verarbeitungseinheit (25a) ein Analysator (35) vorgesehen sein, der unmittelbar mit dem Speicher (48) verbunden ist und Teile der gespeicherten Abstandswerte (a) fourrieranalysiert, um hierdurch Informationen über die Zuverlässigkeit der Kantenmessung zu erhalten.
Als Abstandswerte (a), die hierbei vom Analysator (35) analysiert werden, kommen nur diejenigen in Betracht, die aufgenommen wurden, während sich der Tastkreis (36) noch vollständig auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befand.
In Fig. 8 wird rein schematisch und beispielhaft ein durch den Analysator (35) berechnetes Fourierprofil gezeigt, mit dem sich die besagten Ungenauigkeiten leicht erfassen lassen. So gibt beispielsweise der mit f0 bezeichnete Fourierkoeffizient die Drehfrequenz des Tastpunktes wieder. Anhand der Größe des Koeffizienten f0 läßt sich deshalb genau ermitteln, ob und wie stark der Taster (4) gegenüber der Oberfläche des Werkstückes (5) geneigt ist. Der Koeffizient fTast hingegen gibt die Frequenz wieder, mit der die Abstandswerte (a) aufgenommen werden. Alle zwischen f0 und fTast liegenden Koeffizienten, mit Ausnahme von Oberschwingungen von f0, geben eine Aussage über die Güte der gemessenen Oberfläche. Je größer diese Koeffizienten sind, desto strukturierter ist die Oberfläche der zu vermessenden Werkstückes. Die Koeffizienten unterhalb von f0 geben hingegen Aufschluß über großflächigere Fehler wie beispielsweise Wölbungen.
Es kann ferner vorkommen, daß neben den üblicherweise rechtwinklig ausgebildeten Kanten auch andere Kanten vermessen werden sollen. Beispielsweise kommen Kanten mit unterschiedlichen Radien, Kanten mit einer Anfasung, gestufte Kanten etc. in Betracht. Es ist deshalb in solchen Fällen wünschenswert den Typus der Kante (13) zu bestimmen, um beispielsweise Korrekturen am ermittelten Punkt (P) der Kante (13) vorzunehmen. Dazu kann in der Verarbeitungseinheit (25a) weiterhin auch eine Kantentypisierungseinheit (34) vorgesehen sein, die die betreffende Form der Kante (13) zur Korrektur des Punktes (P) der Kante (13) ermittelt. Dazu kann die Kantentypisierungseinheit (34) mit der Mittelungseinheit (33) verbunden sein, wobei die Mittelungseinheit (33) der Kantentypisierungseinheit (34) kontinuierlich über jeweils einen Tastkreisumlauf gebildete Mittelwerte (amit) sendet. Die Kantentypisierungseinheit (34) kann den Typus der Kante (13) hierbei auf zwei Verschiedene Arten ermitteln.
Eine erste Möglichkeit besteht darin, daß in der Kantentypi­ sierungseinheit (34) der Verlauf der Mittelwerte (amit) mit bereits vorliegenden Referenzwertreihen (R) vergleicht und aufgrund der Ähnlichkeit des Verlaufes der Mittelwerte (amit) zu einer der Referenzwertreihen (R) qualitativ die Beschaffenheit der Kante (13) ermittelt. Hierzu werden die Mittelwerte (amit) einfach in eine Vielzahl von bereits abgespeicherten Referenzwertreihen (R), wie im Zusammenhang mit Fig. 9 gezeigt, eingepaßt. Hierzu werden in einem ersten Schritt die Referenzwertreihe (R) und die Mittelwerte (amit) in Richtung der Abszisse (t) derart übereinandergeschoben, bis die Summe der Abstände der Mittelwerte (amit) und der Punkte der Referenzwertreihe (R) minimal werden. In einem weiteren Schritt wird die Kurve der Mittelwerte (m) in Richtung der Ordinate solange gestreckt, bis sich hier ebenfalls minimale Abstände zwischen den Mittelwerten (amit) und den Punkten der Referenzwertreihe (R) ergeben. Die Summe der Abstände im Bereich des Kantenbereiches (K) werden dann als Maß für die Übereinstimmung mit der betreffenden Referenzwertreihe (R) gewertet. Es sei darauf hingewiesen, daß die Mittelwerte (amit) und die Referenzwertreihe (R) vor der Einpassung zeitlich abgeglichen werden müssen, so daß der zeitliche Abstand zwischen zwei Punkten der Referenzwertreihe (R) genau mit dem zeitlichen Abstand zwischen zwei Punkten der Mittelwerte (amit) übereinstimmt.
Die Kantentypisierungseinheit (34) kann in einer zweiten Ausführung gleichfalls derart ausgebildet sein, daß aus einer definierten Anzahl von Mittelwerten (amit) ein Fourierprofil errechnet wird und daß das errechnete Fourierprofil mit einer Vielzahl von bereits vorher gespeicherten Referenzprofilen verglichen wird und aufgrund der Ähnlichkeit des errechneten Fourierprofils mit einem der Referenzprofile die Beschaffenheit der Kante (13) ermittelt wird.
Zur Ermittelung des Fourrierprofils wird hierbei so vorgegangen, wie dies im folgenden im Zusammenhang mit Fig. 10 erläutert wird. So wird hierbei aus dem Verlauf der Mittelwerte (amit) in einem ersten Schritt über die Steigung der Mittelwerte (amit) der Kantenbereich (K) ermittelt. In einem weiteren Schritt werden die Mittelwerte (amit) im Bereich des Kantenbereich (K) auf die gestrichelte Kurve gespiegelt, so daß sich hierdurch eine achsensymmetrische Kurve (Z) ergibt. Da der Anfangspunkt (Q1) der Kurve (Z) und der Endpunkt (Q2) der Kurve (Z) achsensymmetrisch sind, kann über diese Kurve (Z) dann ein Fourrierprofil berechnet werden. Das Fourrierprofil kann dann in ähnlicher Weise, wie oben beschrieben, in eine Vielzahl von Referenzprofilen eingepaßt werden, um hierdurch die Beschaffenheit der Kante zu ermitteln.
Die beiden beschriebenen Verfahren zur Ermittlung der Beschaffenheit der Kante (13) können auch gleichzeitig in der Kantenerkennungseinheit (34) angewandt werden. Beispielsweise kann das erstbeschriebene Verfahren für Kanten mit einem Radius von kleiner als dem Tastkreisdurchmesser (36) verwendet werden, während das zweite Verfahren für Kanten eingesetzt werden kann, deren Durchmesser größer als der Tastkreis (36a) ist.
Es sei nun abschließend bemerkt, daß das hier beschriebene Verfahren keinesfalls auf die gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt ist. Selbstverständlich werden von der Erfindung auch abgewandelte Ausführungsformen miterfaßt. So kann anstelle des hier gezeigten Ständermeßgerätes auch ein Portalmeßgerät verwendet werden. Auch die genaue Anordnung der elektronischen Komponenten, wie beispielsweise der Verarbeitungseinheit (25a, b) kann variieren und unterschiedlich ausgeführt sein.

Claims (28)

1. Verfahren zur Messung der Kanten (13) von zu vermessenden Werkstücken (5) mit einem optischen Taster (4), der einen Abstandswert (a) zwischen dem Taster (4) und der Werkstückoberfläche an einem einstellbaren Abtastpunkt (15) mißt, umfassend folgende Verfahrensschritte:
  • - Verfahren des Abtastpunktes (15) entlang einer Bahn (36a, 36b. . .36n) derart, über die Kante (13) des zu vermessenden Werkstückes (5) hinweg, so daß die Kante in einer Vielzahl von nebeneinander liegenden Punkten geschnitten wird.
  • - Aufnahme der während des Verfahrens durch den Taster gemessenen Abstandswerte und Bestimmung eines Punktes (P) der Kante (13) indem aus der Vielzahl der Abstandswerte die Schnittpunkte zwischen der Bahn und der Kante ermittelt werden und hieraus über Interpolation der besagte Punkt der Kante ermittelt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, wobei zur Bestimmung des Punktes der Kante aus den Abstandswerten wenigstens ein Zeitsignal (t180) abgeleitet wird, das festlegt, zu welchem Zeitpunkt Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) zur Bestimmung des Punktes der Kante übernommen werden sollen.
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei genau ein Zeitsignal zur Ermittelung des Punktes abgeleitet wird, das einen Zeitpunkt festlegt, zu dem der Taster gegenüber der Kante eine festdefinierte Stellung einnimmt.
4. Verfahren nach Anspruch 3, wobei das Zeitsignal im Taster bestimmt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Koordinatenmeßgerät in einem festgelegten Takt (T) betrieben wird und daß das besagte Zeitsignal wenigstens ein Taktabstandssignal (tab) umfaßt, das angibt, wieviele Takte vorher der Taster die besagte Stellung eingenommen hat und ein Triggersignal (ttr) umfaßt, das den Zeitpunkt festlegt, zu dem die Stellung um die Anzahl der Takte gemäß dem Taktabstandssignal zurückliegt.
6. Verfahren nach Anspruch 3-5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung des Zeitsignals aus den gemessenen Abstandswerten eine Vielzahl zeitlich abhängiger Winkel (τ) ermittelt werden.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Zeitsignal aus dem Verlauf einer an die Winkel approximierten Funktion (F) ermittelt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Bahn eine gekrümmte Form aufweist.
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Bahn einen Kreis (36a) oder eine Zykloide umfaßt.
10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß über eine definierte Anzahl von Abstandswerten Mittelwerte (amit) gebildet werden.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Verlauf der Mittelwerte mit einer Vielzahl von bereits vorher abgespeicherten Referenzwertreihen (R) verglichen werden und daß aufgrund der Ähnlichkeit des Verlaufes der Mittelwerte zu einer der Referenzwertreihen die Beschaffenheit der Kante ermittelt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß aus einer definierten Anzahl an Mittelwerten ein Fourrierprofil errechnet wird und daß das errechnete Fourierprofil mit einer Vielzahl von vorher abgespeicherten Referenzprofilen verglichen wird und daß aufgrund der Ähnlichkeit des errechneten Fourierprofils mit einem der Referenzprofile qualitativ die Beschaffenheit der Kante ermittelt wird kann.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Teile der gespeicherten Abstandswerte fourieranalysiert werden, um hierdurch Informationen über die Zuverlässigkeit der Kantenmessung zu erhalten.
14. Koordinatenmeßgerät zur Vermessung der Kanten (13) von Werkstücken (5) umfassend
  • - einen optischen Taster (4) der einen Abstandswert (a) zwischen dem Taster und der Werkstückoberfläche an einem einstellbaren Abtastpunkt (15) mißt
  • - eine Steuerung (27), die den Abtastpunkt entlang einer Bahn über die Kante des Werkstückes derart hinweg verfährt, so daß die Kante in einer Vielzahl von nebeneinander liegenden Punkten geschnitten wird.
  • - eine mit dem optischen Taster verbundene Verarbeitungseinheit (25a, 25b) zur Aufnahme der während des Verfahrens vom Taster gemessenen Abstandswerte (a) und zur Bestimmung eines Punktes (P) der Kante indem aus der Vielzahl der Abstandswerte die Schnittpunkte zwischen der Bahn und der Kante ermittelt werden und hieraus über Interpolation der besagte Punkt der Kante ermittelt wird.
15. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in der Verarbeitungseinheit eine Zeitbe­ stimmungseinheit (30) vorgesehen ist, die zur Bestimmung des Punktes (P) der Kante aus den Abstandswerten wenigstens ein Zeitsignal (t180) ableitet, das festlegt, zu welchem Zeitpunkt Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) zur Bestimmung des Punktes der Kante übernommen werden sollen.
16. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 15, wobei in der Zeitbestimmungseinheit genau ein Zeitsignal abgeleitet wird, das einen Zeitpunkt festlegt, zu dem der Taster gegenüber der Kante eine festdefinierte Stellung einnimmt.
17. Koordinatenmeßgerät nach Ansprüchen 15 oder 16, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teil der Verarbeitungseinheit (25a) sich im Taster befindet.
18. Koordinatenmeßgerät nach Ansprüchen 15-17, dadurch gekennzeichnet, daß das Koordinatenmeßgerät durch eine Taktungseinheit (31) in einem festgelegten Takt (T) betrieben wird und daß das von der Zeitbestimmungseinheit vorgesehene Zeitsignal wenigstens ein Taktabstandssignal (tab) umfaßt, das angibt, wieviele Takte vorher der Taster die besagte Stellung eingenommen hat und ein Triggersignal (ttr) umfaßt, das den Zeitpunkt festlegt, zu dem die besagte Stellung um die Anzahl der Takte gemäß dem Taktabstandssignal zurückliegt.
19. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 14-18, dadurch gekennzeichnet, daß zur Ermittlung des Zeitsignals in der Zeitbestimmungseinheit zusätzlich eine Winkelberechnungs­ einheit (29) vorgesehen ist, die aus den gemessenen Abstandswerten eine Vielzahl zeitlich abhängiger Winkel (τ) ermittelt.
20. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 19, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Zeitsignal in der Zeitbestimmungseinheit aus dem Verlauf einer an die Winkel approximierten Funktion (F) ermittelt wird.
21. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Taster ein Ringtaster ist.
22. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 14 oder 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Taster über eine Dreh-Schwenkeinheit (14) mit dem Koordinatenmeßgerät verbunden ist.
23. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in der Verarbeitungseinheit eine Mittelungs­ einheit (33) vorgesehen ist, die über eine definierte Anzahl an Abstandswerten einen Mittelwert (amit) ermittelt.
24. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 23, dadurch gekenn­ zeichnet, daß in der Verarbeitungseinheit eine Kanten­ typisierungseinheit (34) vorgesehen ist, die die definierten Mittelwerte mit bereits vorliegenden Referenz­ wertreihen (R) vergleicht und aufgrund der Ahnlichkeit des Verlaufes der Mittelwerte zu einer der Referenzwertreihen qualitativ die Beschaffenheit der Kante ermittelt.
25. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 23, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Kantentypisierungseinheit (34) in der Verarbeitungseinheit vorgesehen ist, die aus einer definierten Anzahl von Mittelwerten ein Fourierprofil errechnet und die das errechnete Fourierprofil mit einer Vielzahl von bereits vorher gespeicherten Referenzprofilen vergleicht und aufgrund der Ähnlichkeit des errechneten Fourierprofils mit einem der Referenzprofile die Beschaffenheit der Kante ermittelt.
26. Koordinatenmeßgerät nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß ein Analysator (35) Teile der gespeicherten Abstandswerte fourieranalysiert um hierdurch Informationen über die Zuverlässigkeit der Kantenmessung zu erhalten.
27. Verfahren zur Messung der Kanten (13) von zu vermessenden Werkstücken (5) mit einem optischen Taster (4), der einen Abstandswert (a) zwischen dem Taster (4) und der Werkstückoberfläche an einem einstellbaren Abtastpunkt (15) mißt, umfassend folgende Verfahrensschritte:
  • - Verfahren des Abtastpunktes (15) entlang einer flächigen Bahn (36a, 36b . . . 36n), über die Kante (13) des zu vermessenden Werkstückes (5) hinweg
  • - Aufnahme der während des Verfahrens durch den Taster gemessenen Abstandswerte und Bestimmung eines Punktes (P) der Kante (13) aus dem Verlauf der Abstandswerte.
28. Koordinatenmeßgerät zur Vermessung der Kanten (13) von Werkstücken (5) umfassend
  • - einen optischen Taster (4) der einen Abstandswert (a) zwischen dem Taster und der Werkstückoberfläche an einem einstellbaren Abtastpunkt (15) mißt
  • - eine Steuerung (27), die den Abtastpunkt entlang einer flächigen Bahn über die Kante des Werkstückes hinweg verfährt
  • - eine mit dem optischen Taster verbundene Verarbeitungseinheit (25a, 25b) zur Aufnahme der während des Verfahrens vom Taster gemessenen Abstandswerte (a) und zur Bestimmung eines Punktes (P) der Kante aus dem Verlauf der Abstandswerte.
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