DE19654067A1

DE19654067A1 - Method for measuring edges on workpieces

Info

Publication number: DE19654067A1
Application number: DE19654067A
Authority: DE
Inventors: Karl-Hermann Dr Breyer; Klaus-Dieter Goetz; Rolf Beck
Original assignee: Carl Zeiss SMT GmbH; Carl Zeiss AG
Current assignee: Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH
Priority date: 1996-10-21
Filing date: 1996-12-23
Publication date: 1998-04-23
Also published as: DE59710409D1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung der Kanten von zu vermessenden Werkstücken mit einem optischen Taster, der den Abstandswert zwischen dem Taster und der Werkstückoberfläche an einem einstellbaren Abtastpunkt mißt.The invention relates to a method for measuring the edges of Workpieces to be measured with an optical button that the Distance value between the probe and the workpiece surface an adjustable sampling point.

Ein besagtes Verfahren ist beispielsweise aus der DE 41 09 483 A1 bekannt. Dieses ist insbesondere dazu vorgesehen, um Kanten und Bohrungen bei zu vermessenden Werkstücken, wie beispielsweise Fahrzeugkarosserieteilen, zu ermitteln. Dazu wird in der Druckschrift ein optischer Triangulationstaster vorgeschlagen, der den Abstand des Tasters zur Werkstückoberfläche mißt und zur Messung eines Punktes der Kante über die zu vermessende Kante hinweggeführt wird. Ergibt sich in den hierbei gemessenen Abstandswerten ein plötzlicher Sprung, so deutet dies daraufhin, daß der optische Taster in diesem Moment eine Kante überfährt, so daß aus den entsprechenden Abstandswerten und den Maschinenpositionen die Position eines Punktes der Kante ermittelt werden kann.Said method is, for example, from the DE 41 09 483 A1 known. This is especially so provided in order to measure edges and bores Workpieces, such as vehicle body parts determine. For this purpose, an optical Triangulation button suggested the distance of the button to the workpiece surface and to measure a point of Edge is passed over the edge to be measured. Results a sudden change in the distance values measured here Jump, this indicates that the optical button in passes an edge at this moment, so that from the corresponding distance values and the machine positions Position of a point on the edge can be determined.

Um den optischen Taster geeignet über die Oberfläche des Werkstückes bewegen zu können, ist dieser an einer Mimik eines Koordinatenmeßgerätes aufgehängt, über die dieser in drei aufeinander senkrecht stehenden Richtungen bewegt werden kann. Zusätzlich ist der optische Taster über eine Dreh-Schwenkeinheit mit der Mimik verbunden, so daß dieser zusätzlich um zwei aufeinander senkrecht stehende Achsen gedreht werden kann. Hierdurch kann der Abtaststrahl des Tasters immer geeignet auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes eingestellt werden.To make the optical button suitable over the surface of the To be able to move the workpiece is a facial expression of one Coordinate measuring device suspended over which this in three directions perpendicular to each other can be moved. In addition, the optical button is via a rotary swivel unit associated with the facial expressions so that this additionally around two mutually perpendicular axes can be rotated. This allows the scanning beam of the Always suitable on the surface of the surface to be measured Workpiece can be adjusted.

Die Besonderheit des hierin gezeigten Verfahrens ist darin zu sehen, daß die Genauigkeit des bestimmten Punktes der Kante davon abhängt, wie dicht die nacheinander aufgenommenen Abtastpunkte beieinander liegen. Um hohe Genauigkeiten zu erzielen muß der optische Taster sehr dicht beieinander liegende Meßpunkte aufnehmen. Da der Zentralrechner des Koordinatenmeßgerätes die gesamte Auswertung der durch den Taster aufgenommenen Meßwerte übernimmt, sind bei hoher Meßgenauigkeit nur relativ geringe Meßgeschwindigkeiten möglich. Außerdem können Unregelmäßigkeiten in der Kante das Meßergebnis stark verfälschen. Wird die Bahn des Abtastpunktes beispielsweise über eine Stelle geführt, an der sich eine Unregelmäßigkeit in Form eines Grates befindet, so kann dies das Ergebnis des gemessenen Punktes der Kante stark verfälschen.The peculiarity of the method shown here is too see that the accuracy of the particular point of the edge depends on how dense the consecutively taken Sampling points are close together. To high accuracy the optical button must achieve very close to each other Record horizontal measuring points. Since the central computer of the Coordinate measuring device the entire evaluation by the Button takes over the measured values are high Measuring accuracy only relatively low measuring speeds possible. Irregularities in the edge can also cause this Falsify the measurement result. The path of the scanning point for example over a point where there is a Irregularity is in the form of a ridge, so this can the result of the measured point of the edge strongly distort.

Es sind ferner aus dem Stand der Technik sogenannte Linientaster bekannt, die ähnlich dem aus der DE 41 09 483 A1 bekannten Triangulationstaster eingesetzt werden. Der Unterschied gegenüber dem Triangulationstaster ist bei diesen Linientastern darin zu sehen, daß der Abtastpunkt im Linientaster zusätzlich entlang einer Geraden kontinuierlich hin und her bewegt wird. Die Erfassung einer Kante erfolgt hierbei, indem der Abtastpunkt des Linientasters mit seiner Linienrichtung senkrecht über die Kante geführt wird. Analog wird die Kante detektiert, indem in den abgetasteten Abstandswerten erstmalig eine sprunghafte Änderung detektiert wird.They are also known from the prior art Line buttons are known, which are similar to that from DE 41 09 483 A1 known triangulation buttons can be used. Of the There is a difference compared to the triangulation button Line buttons to see that the sampling point in Line buttons also continuously along a straight line is moved back and forth. An edge is captured here, by the scanning point of the line sensor with its Line direction is guided vertically over the edge. Analogous the edge is detected by scanning in the A sudden change was detected for the first time becomes.

Für den gezeigten Linientaster gelten hierbei genau dieselben Besonderheiten, wie für den Triangulationstaster aus der DE 41 09 483 A1.The same applies to the line push button shown Special features, such as for the triangulation button from the DE 41 09 483 A1.

Ferner ist aus der DE 24 05 102 A1 ein Taster bekannt, mit dem ebenfalls Kanten vermessen werden können. Der Taster ist hierbei derart ausgelegt, daß ein Lichtstrahl auf einer Kreisbahn über die Kante des zu vermessenden Werkstückes hinweggeführt wird, wobei rückwärtig auf der gegenüberliegenden Seite des Werkstückes ein Photodetektor angeordnet ist. Aus den gemessenen Hell- und Dunkelzeiten des Photodetektors lassen sich die Schnittpunkte der Kreisbahn des Lichtpunktes mit der Kante und somit die Lage der Kante ermitteln. Furthermore, a button is known from DE 24 05 102 A1 with which edges can also be measured. The button is here designed such that a light beam on a Circular path over the edge of the workpiece to be measured is led away, rearward on the opposite A photodetector is arranged on the side of the workpiece. From the leave measured light and dark times of the photodetector the intersection of the circular path of the light point with the Determine the edge and thus the position of the edge.

Auch bei dem in der DE 24 05 102 A1 gezeigten Verfahren gelten die Besonderheiten, wie diese bereits im Zusammenhang mit der DE 41 09 483 A1 geschildert wurden.Also apply to the method shown in DE 24 05 102 A1 the peculiarities, like these already in connection with the DE 41 09 483 A1 have been described.

Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es hiervon ausgehend ein Verfahren und ein Koordinatenmeßgerät zur Vermessung von Kanten an Werkstücken anzugeben, mit dem bei hoher Meßgeschwindigkeit exaktere Werte für gemessene Punkte der Kante bestimmt werden können.Proceeding from this, it is an object of the present invention Method and a coordinate measuring machine for measuring edges to be specified on workpieces with a high measuring speed more exact values for measured points of the edge can be determined can.

Die Aufgabe wird gemäß den Merkmalen der Ansprüche 1 und 14 gelöst.The object is achieved according to the features of claims 1 and 14 solved.

Der Grundgedanke der Erfindung ist darin zu sehen, daß der Abtastpunkt entlang einer Bahn derart über die Kante hinwegbewegt wird, so daß die Kante in einer Vielzahl von nebeneinander liegenden Punkten geschnitten wird, wobei aus der Vielzahl der Abstandswerte die Schnittpunkte zwischen der Bahn und der Kante ermittelt werden und hieraus über Interpolation ein Punkt der Kante ermittelt wird. Unter einer Vielzahl von Abstandswerten sollen hierbei wenigstens drei Abstandswerte verstanden werden.The basic idea of the invention is that the Sampling point along a path in such a way over the edge is moved away so that the edge in a variety of adjacent points is cut, with the A large number of distance values are the intersections between the web and the edge can be determined and from this via interpolation a point of the edge is determined. Among a variety of Distance values should be at least three distance values be understood.

Es sei an dieser Stelle darauf hingewiesen, daß der Begriff "Bahn, die die Kante in einer Vielzahl von nebeneinander liegenden Punkten schneidet" identisch gleichbedeutend mit dem im folgenden verwendeten Begriff "flächige Bahn" zu sehen ist, und die Begriffe deshalb frei durcheinander ersetzbar sind.It should be noted at this point that the term "Web that the edge in a variety of side by side intersecting points "identically synonymous with that can be seen in the term "flat web" used below, and the terms are therefore freely interchangeable.

Der besondere Vorteil dieses Verfahrens ist darin zu sehen, daß bei dem Verfahren des Abtastpunkt es in einer flächigen Bahn - über die Kante hinweg eine Vielzahl von Abstandswerten aufgenommen werden, die die Kante auch neben dem eigentlich zu vermessenden Punkt der Kante vermessen,- so daß Unregelmäßig keiten im eigentlich zu messenden Punkt der Kante gut ausgeglichen werden können. The particular advantage of this process can be seen in the fact that when moving the sampling point it in a flat path - a variety of distance values across the edge are recorded, which the edge next to the actually too measure the measuring point of the edge - so that irregular in the point of the edge that is actually to be measured can be compensated.

Die flächige Bahn weist hierbei vorzugsweise eine gekrümmte Form auf, die geschlossene, sich periodisch wiederholende Muster zeigt. Eine Möglichkeit um die besagte gekrümmte Bahn zu erzeugen besteht beispielsweise darin, einen in der deutschen Patentanmeldung mit dem Aktenzeichen DE 196 34 785.8 beschriebenen Ringtaster, auf den hiermit voll Bezug genommen wird, zu verwenden, dessen Abtastpunkt durch den Taster selbst kreisringförmig bewegt werden kann. Die Kontur eines vollständigen kreisförmigen Umlaufes des Abtastpunktes soll im folgenden mit Tastkreis bezeichnet werden. Die Abtastung kann hierbei derart erfolgen, daß der Taster an einer Stelle angeordnet wird und der Abtastpunkt einen vollständigen Umlauf auf seinem Tastkreis macht und hierbei die gemessenen Abstandswerte speichert. Nach einem vollständigen Umlauf wird der Taster dann um einen konstanten Versatz senkrecht auf die Kante zubewegt um hier wieder einen Umlauf zu machen usw. . Die Bahn weist dann eine Vielzahl von nacheinander senkrecht auf die Kante zu versetzten Kreisen auf. Natürlich kann der Ringtaster auch mit einer konstanten Geschwindigkeit auf die Kante zubewegt werden, so daß sich durch die Überlagerung der kreisförmigen Bewegung des Abtastpunktes im Taster und andererseits der translatorischen Bewegung des Tasters eine Zykloide ergibt.The flat web preferably has a curved one Form, the closed, periodically repeating Pattern shows. One way to get around the curved path For example, generate one in German Patent application with the file number DE 196 34 785.8 described ring switch, to which reference is hereby made in full will use its sampling point by the button itself can be moved in a ring. The contour of a complete circular circulation of the sampling point should be in are referred to as a tactile circuit. The scan can This is done in such a way that the button is at one point is arranged and the sampling point is a complete revolution on his tactile circuit and the measured ones Saves distance values. After a full circulation the button then has a constant offset perpendicular to the Edge moved to make a round here again etc.. The The web then has a plurality of vertically one after the other the edge to offset circles. Of course he can Ring switch also with a constant speed on the Edge are moved so that the overlapping of the circular movement of the scanning point in the button and on the other hand, the translational movement of the push button Cycloid results.

Selbstverständlich muß die flächige Bahn nicht so ausgestaltet sein, wie dies eben beschrieben wurde. Beispielsweise wäre auch eine Bahn denkbar, bei der der Abtastpunkt in anderen geometrischen Figuren wie beispielsweise Dreiecken oder Vierecken über die Kante verfahren wird. Auch zur Erzeugung der flächigen Bahn kommen unterschiedliche Taster in Betracht. Beispielsweise sind natürlich auch Taster möglich, bei denen der zur Abtastung notwendige Abtaststrahl über einen Spiegel in der entsprechenden gewünschten geometrischen Form über die Oberfläche bewegt wird oder ein einfacher Triangulationstaster, wie er aus der DE 41 09 483 A1 bekannt ist, wobei hierbei die flächige Bahn durch entsprechende Steuerung der Mimik des Koordinatenmeßgerätes erzeugt wird. Of course, the flat web does not have to be designed in this way be as just described. For example, too a path conceivable where the sampling point is in another geometric figures such as triangles or Quadrilaterals is moved over the edge. Also to generate the different buttons are possible. For example, pushbuttons are also possible, of course the scanning beam necessary for scanning via a mirror in the corresponding desired geometric shape via the Surface is moved or a simple triangulation button, as it is known from DE 41 09 483 A1, in which case the flat web by appropriate control of the facial expressions of the Coordinate measuring device is generated.

Auch zur Ermittlung des zu messenden Punktes der Kante über Interpolation aus den gespeicherten Abständen gibt es unterschiedliche Möglichkeiten. So besteht eine Möglichkeit darin, aus den gespeicherten Abstandswerten unterschiedliche Positionen für die Kante zu ermitteln und über Mittelung der vielen Kantenpositionen einen Punkt der Kante zu bestimmen. Die Interpolation erfolgt hier durch die besagte Mittelung. Zur Bestimmung der Kantenpositionen kann hierbei derart vorgegangen werden, daß aus jeder sprunghaften Änderung der Abstandswerte auf das Überstreichen der Kante geschlossen wird. Hierdurch kann ein Zeitsignal abgeleitet werden, das festlegt, zu welchem Zeitpunkt die entsprechenden Maschinenpositionen, wie beispielsweise Position des Tasters in den drei aufeinander senkrecht stehenden Meßrichtungen (X, Y, Z), Winkel der Dreh-Schwenkeinheit (α, β) etc. übernommen werden sollen. Aus den Maschinenpositionen können dann die entsprechenden Kanten positionen ermittelt werden, über die dann gemittelt wird. Dies kann entweder in Echtzeit passieren oder aber im nachhinein, wobei die entsprechenden Maschinenpositionen dann über einen längeren Zeitraum in einem geeigneten Speicher gespeichert werden müssen.Also to determine the point of the edge to be measured via There is interpolation from the stored distances different possibilities. So there is a possibility different from the stored distance values Determine positions for the edge and averaging the many edge positions to determine a point of the edge. The Interpolation takes place here by said averaging. For The edge positions can be determined in this way that from every sudden change in the distance values concludes that the edge has been swept over. Hereby a time signal can be derived, which determines at what time Time the corresponding machine positions, such as for example position of the button in the three on top of each other vertical measuring directions (X, Y, Z), angle of the rotary swivel unit (α, β) etc. should be adopted. From the Machine positions can then have the corresponding edges positions are determined, which are then averaged. This can either happen in real time or afterwards, the corresponding machine positions then over a stored in a suitable memory for a longer period of time Need to become.

Bei einer weiteren Möglichkeit zur Bestimmung des Punktes der Kante über Interpolation, bei der die Meßgeschwindigkeit gegenüber dem vorhergehend beschriebenen Verfahren stark erhöht werden kann, wird, wie weiter unten noch beschrieben wird, aus dem Verlauf der Abstandswerte über Interpolation ein einziges Zeitsignal abgeleitet, das einen Zeitpunkt festlegt, zu dem der Taster gegenüber der Kante eine festdefinierte Stellung einnimmt. Das Zeitsignal legt ebenfalls fest, zu welchem Zeitpunkt Maschinenpositionen zur Bestimmung des Punktes der Kante übernommen werden sollen. Bei einem Ringtaster beispielsweise kann die festdefinierte Stellung so aussehen, daß sich der Mittelpunkt des Tastkreises genau oberhalb der zu vermessenden Kante befindet. Die Verkürzung der Meßzeit ergibt sich dadurch, daß nur noch einmal pro Messung eines Punktes der Kante die Maschinenpositionen bestimmt werden müssen. Aus den betreffenden Maschinenpositionen und der bekannten Stellung des Tasters gegenüber der Kante kann dann einfach der Punkt der Kante bestimmt werden.Another way to determine the point of Edge over interpolation at which the measuring speed greatly increased compared to the previously described method can, as will be described below, from the course of the distance values via interpolation one Derived time signal that determines a time at which the Push button opposite the edge a fixed position occupies. The time signal also determines which one Time machine positions to determine the point of the Edge should be adopted. With a ring switch for example, the fixed position can look like this that the center of the touch circle is just above the measuring edge. The shortening of the measuring time results the fact that only once per measurement of a point the Edge the machine positions must be determined. From the relevant machine positions and the known position of the The button opposite the edge can then simply be the point of Edge can be determined.

Die Meßgeschwindigkeit des eben beschriebenen Verfahrens kann weiter erhöht werden, indem das Zeitsignal bereits im Taster bestimmt wird. Der besondere Vorteil ergibt sich dadurch, daß sowohl die Schnittstelle zwischen dem Taster und einem Zentralrechner des Koordinatenmeßgerätes, sowie auch der Zentralrechner selber nicht mehr mit der Vielzahl an gemessenen Abstandswerte belastet werden, sondern statt dessen neben einigen wenigen anderen Signalen nur das Zeitsignal übermittelt wird.The measuring speed of the method just described can can be increased further by the time signal already in the button is determined. The particular advantage results from the fact that both the interface between the button and one Central computer of the coordinate measuring machine, as well as the Central computer itself no longer with the multitude of measured Distance values are charged, but instead next to a few other signals only the time signal transmitted becomes.

In einer besonders Vorteilhaften Ausführungsform mit besonders hohen Meßgeschwindigkeiten wird das Koordinatenmeßgerät in einem festgelegten Zeittakt betrieben. Das Zeitsignal kann dann hierbei ein sogenanntes Taktabstandssignal umfassen, das angibt, wieviele Takte vorher der Taster die festdefinierte Stellung gegenüber der Kante eingenommen hat, und ein Triggersignal, das den Zeitpunkt festlegt, zu dem die Stellung um die Anzahl der Takte gemäß dem Taktabstandssignal zurückliegt. Durch ein derartiges Zeitsignal können im Zentralrechner sehr einfach die besagten Maschinenpositionen bestimmt werden, so daß auf zeitaufwendige Rechenoperationen verzichtet werden kann.In a particularly advantageous embodiment with special the coordinate measuring machine is in high measuring speeds operated at a specified time. The time signal can then include a so-called pitch signal, which specifies how many bars before the button the fixed Has taken position opposite the edge, and a Trigger signal that determines the time at which the position by the number of clocks according to the pitch signal back. By such a time signal in Central computer very simply said machine positions be determined so that time-consuming arithmetic operations can be dispensed with.

Das besagte Zeitsignal kann hierbei auf unterschiedlichste Art und Weise bestimmt werden. In einem besonders vorteilhaften Ausführungsbeispiel werden aus sprunghaften Änderungen der Abstandswerte Kantenübergänge detektiert, wobei aus den Kantenübergängen dann eine Vielzahl von zeitlich abhängigen Winkel ermittelt werden, die in Abhängigkeit von der Zeit angeben, welchen Winkel die gedachte Verbindung der Kanten übergänge mit einem festgelegten Referenzpunkt zu einer anderen Geraden einnimmt. Bei dem besagten Ringtaster kann dies beispielsweise der Winkel sein, der sich zwischen den detektierten Kantenübergängen eines Umlaufes und dem Mittelpunkt des Tastkreises ergibt. Selbstverständlich läßt sich dieses Prinzip auf sämtliche anderen Bahnen übertragen. Z.B. könnte bei einer Bahn die Dreiecke enthält als Winkel der Winkel zwischen den detektierten Kantenpositionen eines Umlaufes und dem Schwerpunkt des Dreieckes sein.Said time signal can be of various types and ways to be determined. In a particularly advantageous Embodiment are from sudden changes in Distance values edge transitions detected, from the Edge transitions then a variety of time-dependent Angles can be determined as a function of time specify which angle the imaginary connection of the edges transitions with a fixed reference point to another Straight lines. With the said ring switch, this can for example, the angle between the detected edge transitions of a revolution and the The center of the touch circle results. Of course leaves this principle is applied to all other railways. E.g. could contain the triangles as the angle of a path Angle between the detected edge positions of a Orbit and the center of gravity of the triangle.

Aus den betreffenden zeitlich abhängigen Winkeln wird dann nachträglich zur Bestimmung des Punktes der Kante über Interpolation das besagte Zeitsignal abgeleitet, indem derjenige Zeitpunkt ermittelt wird, zu dem der zeitlich abhängige Winkel einen festdefinierten Wert einnimmt. Bei dem oben genannten Beispiel mit dem Ringtaster beträgt der Winkel 180° wenn sich der Mittelpunkt des Tastkreises über der Kante befindet.The relevant time-dependent angles then become subsequently to determine the point of the edge via Interpolation derived the said time signal by the point in time is determined at which the time dependent angle takes a fixed value. In which The example above with the ring switch is the angle 180 ° if the center of the touch circle is above the edge located.

Das besagte Zeitsignal kann insbesondere dann sehr genau bestimmt werden, wenn es aus dem Verlauf einer an die Winkel approximierten Funktion bestimmt wird, wobei durch die Approximation dann die Interpolation durchgeführt wird.The said time signal can then be very accurate in particular be determined if it is from the course of a to the angle approximated function is determined by the Approximation then the interpolation is performed.

Weitere Vorteile und Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Figuren. Hierin zeigen:Further advantages and developments of the invention result from the figures. Show here:

Fig. 1 ein erfindungsgemäßes Koordinatenmeßgerät, mit dem das erfindungsgemäße Verfahren durchgeführt werden kann; Fig. 1 shows an inventive coordinate measuring, with which the inventive method can be performed;

Fig. 2 eine vergrößerte Schnittdarstellung des Tasters gemäß Fig. 1; Fig. 2 is an enlarged sectional view of the button shown in FIG. 1;

Fig. 3 ein Blockschaltbild wichtiger elektronischer Komponenten des Koordinatenmeßgerätes gemäß Fig. 1; FIG. 3 shows a block diagram of important electronic components of the coordinate measuring machine according to FIG. 1;

Fig. 4 eine Bahnbewegung des Abtastpunktes vom Taster gemäß Fig. 1 und 2; Fig. 4 is a path of movement of the scanning by the probe of FIG. 1 and 2;

Fig. 5 Darstellung der ermittelten Winkel mit einem Taster gemäß Fig. 1 und 2 beim Verfahren über eine Kante; Fig. 5 showing the angles determined with a button according to Figures 1 and 2 in the process over an edge.

Fig. 6 eine Auswertung der Signale gemäß Fig. 5; FIG. 6 an evaluation of the signals according to FIG. 5;

Fig. 7 eine Darstellung des Zeitsignals; Fig. 7 is a representation of the time signal;

Fig. 8 ein Fourrierprofil der Abstandsmeßwerte des Tasters gemäß Fig. 1 und 2 vor der Überfahrt über die Kante; Fig. 8 is a Fourrierprofil the distance measurements of the probe of Figure 1 and 2 before crossing over the edge.

Fig. 9 und 10 eine Einpassung zur Erkennung des vermessenen Kantentyps. FIGS. 9 and 10, a fitting for the detection of the measured edge type.

Fig. 1 zeigt ein erfindungsgemäßes Koordinatenmeßgerät (10) zur Vermessung der Kanten (13) eines Werkstückes (5). Das Koordinatenmeßgerät umfaßt einen optischen Taster (4) der an unterschiedlichen Abtastpunkten (15) den Abstand (a) zwischen dem Taster (4) und der Werkstückoberfläche des Werkstückes (5) ermittelt. Zur Verstellung des Abtastpunktes (15) ist der Taster (4) über eine aus dem Stand der Technik bereits hinreichend bekannte Dreh-Schwenkeinheit (14) mit einem Meßarm (3) verbunden, wobei der optische Taster (4) gemäß dem Pfeil (β) um die Längsachse des Meßarms (3) rotiert werden kann sowie zusätzlich gemäß dem Pfeil (α) um eine zur Längsachse des Meßarmes (3) senkrecht stehende Querachse. Der Meßarm (3) ist über einen Schlitten (2) derart mit einem Ständer (1) verbunden, daß der Meßarm (3) gegenüber dem Ständer (1) sowohl in X-Richtung (X) wie auch in Z-Richtung (Z) bewegt werden kann. Der Ständer (1) seinerseits kann über eine Führung (45) in Y-Richtung (Y) bewegt werden. Um das zu vermessende Werkstück (5) vermessen zu können sind in dem besagten Koordinatenmeßgerät (10) für alle drei Meßrichtungen (X, Y, Z) Meßwerterfassungen (51) vorgesehen, über die sich die aktuelle Maschinenposition (X, Y, Z) des Tasters (4) in allen drei Meßrichtungen (X, Y, Z) ermitteln läßt. Dazu sind üblicherweise hier nicht näher gezeigte, aus dem Stand der Technik bereits hinreichend bekannte Glasmaßstäbe vorgesehen, die von entsprechenden Sensoren abgetastet werden. In ähnlicher Weise weist auch die Dreh-Schwenkeinheit (14) Meßwerterfassungen (51) auf, die einen Glasstab abtasten um hierdurch die Maschinenposition (α, β) des Tasters (4) in Bezug auf den Winkel (β), wie auch den Winkel (α) aufzunehmen. Die entsprechenden Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) werden über eine entsprechende Schnittstelle zur Weiterverarbeitung an den Steuerschrank (7) übermittelt, in dem sich unter anderem auch ein Zentralrechner des Koordinatenmeßgerätes (10) befindet. Fig. 1 shows a coordinate measuring machine ( 10 ) according to the invention for measuring the edges ( 13 ) of a workpiece ( 5 ). The coordinate measuring device comprises an optical probe ( 4 ) which determines the distance (a) between the probe ( 4 ) and the workpiece surface of the workpiece ( 5 ) at different scanning points ( 15 ). To adjust the scanning point ( 15 ), the button ( 4 ) is connected to a measuring arm ( 3 ) via a rotary / swivel unit ( 14 ) that is already well known from the prior art, the optical button ( 4 ) being shown by the arrow (β) can be rotated about the longitudinal axis of the measuring arm ( 3 ) and additionally according to the arrow (α) about a transverse axis perpendicular to the longitudinal axis of the measuring arm ( 3 ). The measuring arm ( 3 ) is connected to a stand ( 1 ) via a carriage ( 2 ) in such a way that the measuring arm ( 3 ) is opposite the stand ( 1 ) both in the X direction (X) and in the Z direction (Z) can be moved. The stand ( 1 ) in turn can be moved in the Y direction (Y) via a guide ( 45 ). In order to be able to measure the workpiece ( 5 ) to be measured, said coordinate measuring device ( 10 ) for all three measuring directions (X, Y, Z) provides measured value recordings ( 51 ) by means of which the current machine position (X, Y, Z) of the Button ( 4 ) can be determined in all three measuring directions (X, Y, Z). For this purpose, glass scales, which are not sufficiently shown here and are already well known from the prior art, are usually provided and are scanned by corresponding sensors. In a similar way, the rotary-swivel unit ( 14 ) also has measured value recordings ( 51 ) which scan a glass rod in order to thereby determine the machine position (α, β) of the button ( 4 ) with respect to the angle (β), as well as the angle ( α) to record. The corresponding machine positions (X, Y, Z, α, β) are transmitted to the control cabinet ( 7 ) via a corresponding interface for further processing, in which there is also a central computer of the coordinate measuring machine ( 10 ).

Der optische Taster (4) seinerseits ist in Form eines sogenannten Ringtasters ausgestaltet, so daß der Tastpunkt (15) durch den Taster (4) kreisringförmig auf einem Tastkreis (36) bewegt werden kann. Ein derartiger Taster (4) ist in Fig. 2 dargestellt. Der Taster (4) umfaßt hierbei einen Diodenlaser (17) der einen Lichtstrahl (18) aussendet. Der Strahl (18) des Diodenlasers (17) wird durch eine schräg zum Strahl (18) stehende gläserne Ablenkplatte (19) versetzt und über eine Frontlinse (20) auf dem zu vermessenden Werkstück (5) abgebildet. Die vom Werkstück (5) reflektierten Strahlen (21) laufen durch die Frontlinse (20) wieder zurück und werden nach erneuter Versetzung über die Ablenkplatte (19) über eine Empfangslinse (22) auf einem Empfänger (23) abgebildet. Zur Ermittlung des Abstandes (a) zwischen der Werkstückoberfläche des Werkstückes (5) und dem Taster (4) wird hierbei vom Empfänger (23) der Durchmesser des abgebildeten Kreises gemessen, wobei der Durchmesser des abgebildeten Kreises in Abhängigkeit von der Größe des Abstandes (a) zwischen der Werkstückoberfläche des Werkstückes (5) und dem Taster (4) variiert. Um den Durchmesser des Kreises messen zu können ist der Empfänger (23) vorzugsweise als sogenannte Photolateral diode, auch PSD-Sensor genannt, ausgestaltet, die in Abhängigkeit vom Auftreffpunkt des abgebildeten Kreises ihre Spannung ändert. Der Empfänger (23) kann aber auch als segmentiertes CCD-Array ausgestaltet sein, das in Abhängigkeit von jeweils unterschiedlich beleuchteten Segmenten unterschiedliche Signale gibt. Ist der Durchmesser des abgebildeten Kreises relativ groß, und somit der Abstand (a) von der Werkstückoberfläche groß, so läßt sich von dem betreffenden Empfänger (23) eine große Spannung abgreifen. Ist der Durchmesser des abgebildeten Kreises klein und somit der Abstand (a) zur Oberfläche des Werkstückes (5) gering, so läßt sich nur eine geringe Spannung abgreifen.The optical button ( 4 ) in turn is designed in the form of a so-called ring button, so that the touch point ( 15 ) can be moved in an annular manner on a button circle ( 36 ) by the button ( 4 ). Such a button ( 4 ) is shown in Fig. 2. The button ( 4 ) comprises a diode laser ( 17 ) which emits a light beam ( 18 ). The beam ( 18 ) of the diode laser ( 17 ) is displaced by a glass deflection plate ( 19 ) which is at an angle to the beam ( 18 ) and is imaged on the workpiece ( 5 ) to be measured via a front lens ( 20 ). The rays ( 21 ) reflected by the workpiece ( 5 ) run back through the front lens ( 20 ) and, after being moved again, are imaged on a receiver ( 23 ) via the deflection plate ( 19 ) via a receiving lens ( 22 ). To determine the distance (a) between the workpiece surface of the workpiece ( 5 ) and the button ( 4 ), the diameter of the circle depicted is measured by the receiver ( 23 ), the diameter of the circle depicted depending on the size of the distance (a ) between the workpiece surface of the workpiece ( 5 ) and the button ( 4 ) varies. In order to be able to measure the diameter of the circle, the receiver ( 23 ) is preferably designed as a so-called photolateral diode, also called a PSD sensor, which changes its voltage depending on the point of impact of the circle shown. The receiver ( 23 ) can, however, also be designed as a segmented CCD array, which emits different signals depending on differently illuminated segments. If the diameter of the circle shown is relatively large, and thus the distance (a) from the workpiece surface is large, a large voltage can be picked up by the receiver ( 23 ) in question. If the diameter of the circle shown is small and thus the distance (a) to the surface of the workpiece ( 5 ) is small, only a slight tension can be tapped.

Um den Antastpunkt (15) nun kreisringförmig auf dem Tastkreis (36) rotieren zu lassen, ist im Taster (4) zusätzlich ein Motor (16) vorgesehen, der das Gehäuse (24) mit der daran befestigten Ablenkplatte (19) und der Frontlinse (20) rotieren läßt, so daß die Strahlen (18, 21) bedingt durch die Drehung der Ablenkplatte (19) so abgelenkt werden, daß sie sich auf einer kreisförmigen Bahn, dem Tastkreis (36) bewegen. Das Gehäuse (24) ist hierzu über die Kugellager (43) drehbar an dem restlichen Taster (4) gelagert. Der tatsächliche Durchmesser des Tastkreises (36) beträgt hierbei üblicherweise etwa 1 mm. An den Empfänger (23) angeschlossen ist weiterhin ein Teil einer Auswerteeinheit (25a), die der Ermittlung des Punktes (P) der Kante dient.In order to allow the contact point ( 15 ) to rotate in a circular manner on the contact circle ( 36 ), an additional motor ( 16 ) is provided in the push button ( 4 ), which drives the housing ( 24 ) with the baffle plate ( 19 ) and the front lens ( 20 ) can rotate, so that the beams ( 18 , 21 ) are deflected by the rotation of the baffle plate ( 19 ) so that they move on a circular path, the sensing circle ( 36 ). For this purpose, the housing ( 24 ) is rotatably mounted on the remaining pushbutton ( 4 ) via the ball bearings ( 43 ). The actual diameter of the sensing circle ( 36 ) is usually about 1 mm. Part of an evaluation unit ( 25 a), which serves to determine the point (P) of the edge, is also connected to the receiver ( 23 ).

Zur detaillierteren Beschreibung der elektronischen Komponenten des Koordinatenmeßgerätes (10) sind in Fig. 3 in einem Block schaltbild in rein schematischer Form die für die erfindungs gemäße Messung des Punktes (P) der Kante (13) notwendigen elektronischen Komponenten gezeigt. Ein wesentlicher Bestand teil der elektronischen Komponenten bildet die hier zweiteilig ausgeführte Verarbeitungseinheit (25a, 25b). Von der Verarbeitungseinheit (25a, b) werden die vom Taster (4) gemessenen Abstandswerte (a) aufgenommen und der besagte Punkt (P) der Kante (13) bestimmt. Ein Teil der Verarbeitungseinheit (25a) befindet sich hierbei im Taster (4), ein zweiter Teil im Steuerschrank (7) des Koordinatenmeßgerätes (10). Die beiden Teile der Verarbeitungseinheit (25a, 25b) sind über eine Schnittstelle (26) miteinander verbunden. Die Zweiteilung der Verarbeitungseinheit (25a, b) hat den besonderen Vorteil, daß Berechnungen, die zur Bestimmung des Punktes (P) der Kante (13) notwendig sind bereits im Taster (4) durchgeführt werden, so daß der zweite Teil der Verarbeitungseinheit (25b), der üblicherweise in Form eines Zentralrechners im Steuerschrank (7) untergebracht ist, weitgehend von derartigen Aufgaben entlastet ist.For a more detailed description of the electronic components of the coordinate measuring machine ( 10 ) are shown in Fig. 3 in a block diagram in a purely schematic form, the necessary for the fiction, contemporary measurement of the point (P) of the edge ( 13 ) electronic components. An essential part of the electronic components is the processing unit ( 25 a, 25 b). The distance values (a) measured by the button ( 4 ) are recorded by the processing unit (25a, b) and said point (P) of the edge ( 13 ) is determined. A part of the processing unit ( 25 a) is located in the button ( 4 ), a second part in the control cabinet ( 7 ) of the coordinate measuring machine ( 10 ). The two parts of the processing unit ( 25 a, 25 b) are connected to one another via an interface ( 26 ). The division of the processing unit (25a, b) has the particular advantage that calculations necessary for determining the point (P) of the edge ( 13 ) are already carried out in the button ( 4 ), so that the second part of the processing unit ( 25 b), which is usually housed in the form of a central computer in the control cabinet ( 7 ), is largely relieved of such tasks.

Darüberhinaus ist im Steuerschrank (7) zusätzlich eine Steuerung (27) vorgesehen, die mit den Antrieben (28) des Koordinatenmeßgerätes (10) zur Veränderung der Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β), der Recheneinheit (29) in der Verarbeitungseinheit (25b) sowie über die Schnittstelle (26) mit dem Taster (4) verbunden ist. Die Steuerung (27) ist für die gesamte Koordination der Bewegung des Abtastpunktes (15) verantwortlich und veranlaßt, daß der Abtastpunkt (15) in einer durch die Steuerung (27) vorgebbaren flächigen Bahn über die Kante (13) des Werkstückes (5) hinwegbewegt wird. Dazu gibt die Steuerung (27) an die Antriebe (28) entsprechende Signale, durch die der Taster (4) senkrecht auf die zu vermessende Kante (13) zubewegt wird sowie ein entsprechendes Signal an den Motor (16) des Tasters (4), durch den die oben beschriebene Drehung des Abtastpunktes (15) auf dem Tastkreis (36) festgelegt wird.In addition, a control ( 27 ) is provided in the control cabinet ( 7 ), which with the drives ( 28 ) of the coordinate measuring machine ( 10 ) for changing the machine positions (X, Y, Z, α, β), the computing unit ( 29 ) in the Processing unit ( 25 b) and via the interface ( 26 ) with the button ( 4 ). The control ( 27 ) is responsible for the overall coordination of the movement of the scanning point ( 15 ) and causes the scanning point ( 15 ) to move over the edge ( 13 ) of the workpiece ( 5 ) in a flat path which can be predetermined by the control ( 27 ) becomes. For this purpose, the control unit ( 27 ) sends appropriate signals to the drives ( 28 ), by means of which the button ( 4 ) is moved vertically towards the edge ( 13 ) to be measured, and a corresponding signal to the motor ( 16 ) of the button ( 4 ). by which the above-described rotation of the scanning point ( 15 ) on the scanning circle ( 36 ) is determined.

Die Steuerung des Abtastpunktes (15) ist hierbei vorzugsweise derart ausgestaltet, daß der Abtastpunkt (15) einmal auf einem Tastkreis (36) umläuft, bevor der Taster (4) weiter auf die Kante (13) zubewegt wird, so daß die hierdurch entstehende flächige Bahn dann eine Vielzahl an Kreisen (36a, 36b, 36c. . .36n) umfaßt, wie dies in Fig. 4 dargestellt ist. Die Steuerung (27) kann die Antriebe (28) allerdings auch so ansteuern, daß der Taster (4) kontinuierlich durch die Antriebe (28) auf die Kante (13) des zu vermessenden Werkstückes (5) zubewegt wird, so daß dann durch die Überlagerung der Kreisbewegung und der geradlinigen Bewegung eine Zykloide entsteht.The control of the scanning point ( 15 ) is preferably designed in such a way that the scanning point ( 15 ) rotates once on a scanning circle ( 36 ) before the button ( 4 ) is moved further towards the edge ( 13 ), so that the resulting flat surface Path then includes a plurality of circles (36a, 36b, 36c ... 36n) as shown in FIG . The controller ( 27 ) can also control the drives ( 28 ) so that the button ( 4 ) is continuously moved by the drives ( 28 ) to the edge ( 13 ) of the workpiece ( 5 ) to be measured, so that the Superposition of the circular movement and the linear movement creates a cycloid.

Zur Ermittlung des Punktes (P) der Kante in der Verarbeitungs einheit (25a, 25b) werden während des Verfahrens des Abtast punktes (15) über die Kante (13) die vom Empfänger (23) des Tasters (4) gemessenen Abstandswerte (a) in einem in der Verarbeitungseinheit (25a) vorgesehenen Speicher (48) abgespeichert. Die Speicherung erfolgt hierbei derart, daß die Abstandswerte in einer festen Beziehung sowohl zum Drehwinkel des momentan durch den Motor (16) eingestellten Abtastpunktes (15) gegenüber einer Referenzstellung als auch in einer festen Beziehung zum aktuellen Zeitpunkt abgespeichert werden.To determine the point (P) of the edge in the processing unit ( 25 a, 25 b), the distance values measured by the receiver ( 23 ) of the button ( 4 ) are measured via the edge ( 13 ) during the movement of the scanning point ( 15 ) ( a) stored in a memory ( 48 ) provided in the processing unit ( 25 a). The storage takes place in such a way that the distance values are stored in a fixed relationship both to the angle of rotation of the sampling point ( 15 ) currently set by the motor ( 16 ) with respect to a reference position and also in a fixed relationship to the current time.

Direkt anschließend an den Speicher (48) ist eine Zeitbestimmungseinheit (30) vorgesehen, die nachträglich aus den gespeicherten Abstandswerten (a) ein Zeitsignal (t₁₈₀) ableitet, zu dem der Taster (4) gegenüber der Kante (13) eine festdefinierte Stellung einnimmt. Als festdefinierte Stellung wird hierbei willkürlich derjenige Zeitpunkt (t₁₈₀) gewählt, bei dem der Mittelpunkt (m) des Tastkreises (36) sich über der zu vermessenden Kante (13) befindet. Dazu ist in der Zeitbestimmungseinheit (30) eine Winkelberechnungseinheit (29) vorgesehen, die aus den gemessenen Abstandswerten (a) eine Vielzahl zeitlich abhängiger Winkel (τ) ermittelt, nämlich für jeden Umlauf des Tastpunktes (15) auf seinem Tastkreis (36a, 36b. . .36n) einen hier als Kantenwinkel (τ) bezeichneten Winkel.Directly after the memory ( 48 ) is a time determination unit ( 30 ) which subsequently derives a time signal (t ₁₈₀ ) from the stored distance values (a), at which the button ( 4 ) has a fixed position opposite the edge ( 13 ) . The time (t ₁₈₀ ) at which the center point (m) of the sensing circle ( 36 ) is located above the edge ( 13 ) to be measured is arbitrarily chosen as the fixed position. For this purpose, an angle calculation unit ( 29 ) is provided in the time determination unit ( 30 ), which determines a plurality of time-dependent angles (τ) from the measured distance values (a), namely for each revolution of the touch point ( 15 ) on its touch circle (36a, 36b). .36n) an angle referred to here as the edge angle (τ).

Zum besseren Verständnis sei vorab auf Fig. 5 verwiesen. In Fig. 5a, b, c werden hierbei in zeitlicher Abfolge einige der aus Fig. 4 gezeigten Umläufe des Tastkreises (36a, d, n) gezeigt. Die Bewegungsrichtung wurde bei dem hier gezeigten Beispiel der Einfachheit halber so gewählt, daß die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) parallel zur Y-Z-Ebene ausgerichtet ist und daß die Kante (13) so gewählt ist, daß sich der Taster (4) zum Abtasten der Kante (13) in X-Richtung bewegt. Während sich der Tastkreis (36a) gemäß Fig. 5a zum Zeitpunkt (t_a) noch vollständig auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befindet, ist der Tastkreis (36c) zum Zeitpunkt (t_d) bereits schon teilweise jenseits der Kante (13) des Werkstückes (5). Der Tastkreis (36n) ist zum Zeitpunkt (t_n) ist bereits hinter der Kante (13).For a better understanding, reference is made to FIG. 5 in advance. In Fig. 5a, b, c in this case in a time sequence some of the revolutions of the scanning circle shown in FIG. 4 (36a d, n) are shown. For the sake of simplicity, the direction of movement in the example shown here was chosen such that the surface of the workpiece ( 5 ) to be measured is aligned parallel to the YZ plane and that the edge ( 13 ) is selected such that the button ( 4 ) is turned Scanning the edge ( 13 ) moved in the X direction. While the scanning circle (a 36) of the is shown in Fig. 5a at the time (t _a) fully on the surface of workpiece to be measured (5) of the scanning circle (36 c) at the time (t _d) already been partially beyond the Edge ( 13 ) of the workpiece ( 5 ). The sensing circle ( 36 n) is at the time (t _n ) is already behind the edge ( 13 ).

Als Kantenwinkel (τ) soll nun hier derjenige Winkel verstanden werden, der sich aus der Verbindung der Kantenübergänge (38, 39, 49a, b) mit dem Mittelpunkt (m) des Tastkreises des jeweiligen Tastkreises (36a, d, n) zum betreffenden Zeitpunkt (t_a, t_d, t_n) ergibt. Für Fig. 5a beträgt der Kantenwinkel (τ) 0°. Für Fig. 5b beträgt er etwa 170°. Für Fig. 5c beträgt er 360°.The edge angle (τ) is to be understood here as the angle resulting from the connection of the edge transitions (38, 39, 49a, b) with the center (m) of the sensing circle of the respective sensing circle (36a, d, n) at the relevant point in time (t _a , t _d , t _n ) results. For Fig. 5a, the edge angle (τ) is 0 °. For Fig. 5b it is approximately 170 °. For Fig. 5c it is 360 °.

Die Ermittlung des Kantenwinkels (τ) kann in der Winkel berechnungseinheit (29) leicht vorgenommen werden, indem aus den im Speicher (48) gespeicherten Abstandswerten (a) für jeden Umlauf jeweils eines Tastkreises (36a, 36b,. . .36n) diejenigen Abstandswerte herausgesucht werden, bei denen sich der Abstandswert sprunghaft ändert. Für diese Werte wird angenommen, daß sich hier die Kantenübergänge (38, 39, 49a, b) befinden. Wie bereits oben erläutert, sind die Abstandswerte (a) in einer festen Beziehung sowohl zum Drehwinkel des momentan durch den Motor (16) eingestellten Abtastpunktes (15) gegenüber einer Referenzstellung als auch in einer festen Beziehung zum aktuellen Zeitpunkt (t_a, t_c, t_n) abgespeichert. Aus den entsprechenden Drehwinkeln wird in der Winkel berechnungseinheit (29) dann der zwischen den ermittelten Kantenübergängen (38, 39, 49a, b) liegende Kantenwinkel (τ) in Abhängigkeit vom jeweiligen Zeitpunkt (t_a, t_c, t_n) berechnet.The edge angle (τ) can easily be determined in the angle calculation unit ( 29 ) by using the distance values (a) stored in the memory ( 48 ) for each cycle of a scanning circuit (36a, 36b, ... 36n) can be selected in which the distance value changes suddenly. For these values it is assumed that the edge transitions (38, 39, 49a, b) are located here. As already explained above, the distance values (a) are in a fixed relationship both to the angle of rotation of the sampling point ( 15 ) currently set by the motor ( 16 ) with respect to a reference position and also in a fixed relationship to the current time (t _a , t _c , t _n ) saved. From the corresponding angles of rotation, the edge angle (τ) lying between the determined edge transitions (38, 39, 49a, b) is then calculated in the angle calculation unit ( 29 ) as a function of the respective point in time (t _a , t _c , t _n ).

Zur Ermittlung des Zeitsignals (t₁₈₀), bei dem sich der Mittelpunkt (m) des Tastkreises (36a, b, c. . .n) genau über der Kante (13) befindet, muß nun aus den zeitlich abhängigen Kantenwinkeln (τ) derjenige Zeitpunkt (t₁₈₀) bestimmt werden, zu dem der Kantenwinkel (τ) genau 180° beträgt. Dazu wird in der Zeitbestimmungseinheit (30) in einem ersten Schritt an die zeitlich abhängigen Kantenwinkel (τ) eine Funktion (F) approximiert, wie dies Fig. 6 darstellt. Es sind hierzu die unterschiedlichsten Approximationen, wie beispielsweise eine lineare oder parabolische Approximation, eine Approximation über ein Polynom n-ten Grades, eine trigonometrische Approximation etc. denkbar. Daraufhin wird aus dem Verlauf der an die Winkel (τ) approximierten Funktion (F) das Zeitsignal (t₁₈₀) bestimmt, indem derjenige Zeitpunkt (t₁₈₀) der Funktion (F) bestimmt wird, dessen Wert genau 180° beträgt. To determine the time signal (t ₁₈₀ ) at which the center point (m) of the sensing circle (36a, b, c... N) is exactly above the edge ( 13 ), the time-dependent edge angle (τ) must be used Time (t ₁₈₀ ) can be determined at which the edge angle (τ) is exactly 180 °. For this purpose, a function (F) is approximated in the time determination unit ( 30 ) in a first step to the time-dependent edge angle (τ), as shown in FIG. 6. A wide variety of approximations are conceivable, such as a linear or parabolic approximation, an approximation over an nth degree polynomial, a trigonometric approximation, etc. The time signal (t ₁₈₀ ) is then determined from the course of the function (F) approximated to the angles (τ) by determining that time (t ₁₈₀ ) of the function (F) whose value is exactly 180 °.

Das so im Taster (4) bestimmte Zeitsignal (t₁₈₀) wird über die Schnittstelle (26) an die Recheneinheit (29) im zweiten Teil der Verarbeitungseinheit (25b) übermittelt. Die Recheneinheit (29) ihrerseits liest auf Basis des Zeitsignals (t₁₈₀) aus einem Speicher (32) die entsprechenden Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) aus und ermittelt hieraus unter Kenntnis der Stellung des Tasters (4) gegenüber der Kante (13) den besagten Punkt (P) der Kante (13). Der Speicher (32) muß dazu so ausgestaltet sein, daß er in einer festen zeitlichen Beziehung die Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β), die durch die Meßwerterfassungen (51) geliefert werden, speichert. Dazu kann er als Ringpuffer ausgestaltet sein, der in einem durch die Takteinheit (31) vorgegebenen Takt (T) die Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) speichert.The time signal (t ₁₈₀ ) determined in the button ( 4 ) is transmitted via the interface ( 26 ) to the computing unit ( 29 ) in the second part of the processing unit ( 25 b). The computing unit ( 29 ) in turn reads the corresponding machine positions (X, Y, Z, α, β) from a memory ( 32 ) on the basis of the time signal (t ₁₈₀ ) and uses this to determine the position of the button ( 4 ) relative to the Edge ( 13 ) said point (P) of the edge ( 13 ). For this purpose, the memory ( 32 ) must be designed in such a way that it stores the machine positions (X, Y, Z, α, β), which are provided by the measured value recordings ( 51 ), in a fixed temporal relationship. For this purpose, it can be designed as a ring buffer which stores the machine positions (X, Y, Z, α, β) in a cycle (T) specified by the clock unit ( 31 ).

Um das Ergebnis der Tasterstellung möglichst schnell ermitteln zu können, wird das Koordinatenmeßgerät und der Taster (4) durch eine Taktungseinheit (31) in einem festgelegten Takt (T) betrieben. Das von der Zeitbestimmungseinheit (30) generierte Zeitsignal (t₁₈₀) umfaßt hierbei ein Taktabstandssignal (t_ab), das angibt, wieviele Takte vorher der Taster (4) die besagte Stellung gegenüber der Kante (13) eingenommen hat und ein Triggersignal (t_tr), das den Zeitpunkt festlegt, zu dem die besagte Stellung des Tasters (4) gegenüber der Kante (13) um die Anzahl der Take gemäß dem Taktabstandssignal (t_ab) zurückliegt. Diese beiden Signale werden über die Schnittstelle (26) an die Verarbeitungseinheit (25b) übermittelt.In order to be able to determine the result of the button setting as quickly as possible, the coordinate measuring machine and the button ( 4 ) are operated by a clocking unit ( 31 ) in a fixed cycle (T). The time signal (t ₁₈₀ ) generated by the time determination unit ( 30 ) in this case comprises a cycle distance signal (t _ab ) which indicates how many cycles previously the button ( 4 ) had assumed the said position opposite the edge ( 13 ) and a trigger signal (t _tr ), which defines the point in time at which the said position of the push button ( 4 ) with respect to the edge ( 13 ) lies behind the number of take according to the pitch signal (t _ab ). These two signals are transmitted to the processing unit ( 25 b) via the interface ( 26 ).

In der Verarbeitungseinheit (25b) werden, wie bereits oben erwähnt, in den Speicher (32) laufend die Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) im Systemtakt abgespeichert, wie dies beispielhaft Fig. 7 für die X-Werte (X1, X2, X3. . .X8) gezeigt ist. Zur Ermittlung der durch das Zeitsignal (t₁₈₀) festgelegten Maschinenposition (X5) empfängt die Recheneinheit (29) das Taktabstandssignal (t_ab) über die Schnittstellenleitung (26) sowie das darauffolgende Triggersignal (t_tr). Nachdem das Triggersignal (t_tr) bei der Recheneinheit (29) eingetroffen ist, liest die Recheneinheit (29) zur Bestimmung der Maschinenposition in X-Richtung aus dem Speicher (32) diejenige Maschinenposition (X5) aus, die vom Zeitpunkt des Eintreffens des Triggersignals (t_tr) aus gerechnet um die Anzahl der Takte gemäß dem Taktabstandsignals (t_ab) zurückliegt. Diese Maschinenposition (X5) repräsentiert dann die Maschinenposition in X-Richtung zu demjenigen Zeitpunkt, zu dem sich der Mittelpunkt (m) des Tastkreises über der Kante (13) befindet. Die restlichen Maschinenpositionen (Y, Z, α, β) werden analog ausgelesen.In the processing unit ( 25 b), as already mentioned above, the machine positions (X, Y, Z, α, β) are continuously stored in the memory ( 32 ) in the system cycle, as exemplified in FIG. 7 for the X values ( X1, X2, X3 ... X8) is shown. In order to determine the machine position (X5) determined by the time signal (t ₁₈₀ ), the computing unit ( 29 ) receives the cycle interval signal (t _ab ) via the interface line ( 26 ) and the subsequent trigger signal (t _tr ). After the trigger signal (t _tr ) has arrived at the arithmetic unit ( 29 ), the arithmetic unit ( 29 ) reads from the memory ( 32 ) that machine position (X5) from the memory ( 32 ) for determining the machine position that is from the time the trigger signal arrives (t _tr ) calculated from the number of clock cycles according to the clock interval signal (t _ab ). This machine position (X5) then represents the machine position in the X direction at the time at which the center point (m) of the scanning circle is located above the edge ( 13 ). The remaining machine positions (Y, Z, α, β) are read out analogously.

Selbstverständlich kann das beschriebene Taktsignal (t₁₈₀) variieren. So könnte beispielsweise das Triggersignal (t_tr) zuerst geschickt werden und dann erst das Taktabstandssignal (t_ab). Darüberhinaus kann das Taktabstandssignal entweder konstant sein oder aber auch variieren. Selbstverständlich kann das Taktabstandssignal auch als Digitaler Zeitwert übermittelt werden, wobei dann zu Ermittlung der Maschinenpositionen in der Verarbeitungseinheit (25b) ein wesentlich höherer Rechenaufwand notwendig würde.Of course, the clock signal (t ₁₈₀ ) described can vary. For example, the trigger signal (t _tr ) could be sent first and only then the pitch signal (t _ab ). In addition, the pitch signal can either be constant or vary. Of course, the cycle distance signal can also be transmitted as a digital time value, in which case a significantly higher computing effort would be necessary to determine the machine positions in the processing unit ( 25 b).

Aus den wie eben beschrieben ausgelesenen Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) kann bislang nur die genaue Position des Punktes (P) der Kante (13) in der Ebene der Oberfläche des Werkstückes (5) ermittelt werden. Soll zusätzlich auch noch die genaue räumliche Position des Punktes (P) der Kante ermittelt werden, so benötigt die Verarbeitungseinheit (25b) zusätzlich als Maschinenposition den aktuellen Abstandswert von der Oberfläche des Werkstückes (5). Dazu könnten prinzipiell alle Abstandswerte (a) des Tasters (4) vom Taster (4) an die Recheneinheit (29) übermittelt und hier ähnlich wie die anderen Maschinenpositionen (X, Y, Z, α, β) zur Bestimmung des Punktes (P) der Kante (13) weiterverarbeitet werden.From the machine positions (X, Y, Z, α, β) read out as just described, only the exact position of the point (P) of the edge ( 13 ) in the plane of the surface of the workpiece ( 5 ) can be determined so far. If the exact spatial position of the point (P) of the edge is also to be determined, the processing unit ( 25 b) additionally requires the current distance value from the surface of the workpiece ( 5 ) as the machine position. In principle, all distance values (a) of the button ( 4 ) could be transmitted from the button ( 4 ) to the arithmetic unit ( 29 ) and here, like the other machine positions (X, Y, Z, α, β), to determine the point (P) the edge ( 13 ) can be processed further.

Besonders vorteilhaft ist es jedoch, wenn nur ein einziges Mal ein Abstandswert ermittelt wird, der von der Verarbeitungs einheit (25a) über die Schnittstelle (26) an die Verarbeitungs einheit (25b) übermittelt wird und dort bis zur Ermittlung des Punktes (P) der Kante (13) gespeichert wird. Eine derartige einmalige Ermittlung des Abstandswertes ist nur deshalb möglich, da der Abtaststrahl (18), wie weiter unten noch genauer ausgeführt, vor der Messung senkrecht auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) ausgerichtet wird, so daß bei einer in etwa ebenen Oberfläche des Werkstückes (5) nahezu konstante Abstandswerte (a) gemessen werden können. Um zusätzlich Fehler bei der einmaligen Bestimmung des Abstandswertes zur vermeiden weist die Verarbeitungseinheit (25a) zusätzlich eine Mittelungseinheit (33) auf, die über eine definierte Anzahl an Abstandswerten (a), nämlich jeweils einen kompletten Umlauf eines Tastkreises (36), mittelt, um hierdurch Mittelwerte (a_mit) in Form von gemittelten Abstandswerten des Tasters (4) zur Oberfläche des Werkstückes (5) zu erhalten. Die Mittelungseinheit (33) ist dazu so ausgestaltet, daß sie diesen Abstandswert (a_mit) zu einem Zeitpunkt ermittelt, zu dem sich noch alle Abtastpunkte (a) auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befinden. Der betreffende Abstandswert (a_mit) wird ebenfalls über die Schnittstelle (26) an die Verarbeitungseinheit (25b) übermittelt, und hier in der Recheneinheit (29) bis zur Berechnung des exakten Punktes (P) der Kante (13) zwischengespeichert.However, it is particularly advantageous if a distance value is determined only once, which is transmitted from the processing unit ( 25 a) via the interface ( 26 ) to the processing unit ( 25 b) and there until the point (P ) the edge ( 13 ) is saved. Such a one-time determination of the distance value is only possible because the scanning beam ( 18 ), as will be explained in more detail below, is oriented perpendicularly to the surface of the workpiece ( 5 ) to be measured before the measurement, so that the surface is approximately flat of the workpiece ( 5 ) almost constant distance values (a) can be measured. In order to additionally avoid errors in the one-time determination of the distance value, the processing unit ( 25 a) additionally has an averaging unit ( 33 ) which averages a defined number of distance values (a), namely in each case a complete revolution of a scanning circuit ( 36 ), in order to obtain mean values (a _with ) in the form of averaged distance values of the probe ( 4 ) from the surface of the workpiece ( 5 ). For this purpose, the averaging unit ( 33 ) is designed such that it determines this distance value (a _with ) at a point in time at which all the scanning points (a) are still on the surface of the workpiece ( 5 ) to be measured. The relevant distance value (a _mit ) is also transmitted via the interface ( 26 ) to the processing unit ( 25 b), and is temporarily stored in the computing unit ( 29 ) until the exact point (P) of the edge ( 13 ) is calculated.

Wie bereits oben erläutert, ist es bei der erfindungsgemäßen Kantenmessung notwendig, daß der Abtaststrahl (18) des Tasters (4) weitestgehend senkrecht auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) auftrifft und somit die Abstände (a) eines Umlaufes des Tastkreises (36) weitgehend konstant sind, solange sich der Tastkreis (36) auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befindet. Dazu wird der Taster (4) üblicherweise vor der eigentlichen Messung des Punktes (P) der Kante (13) entsprechend eingerichtet, indem beispielsweise willkürlich einige Abstandswerte (a) aufgenommen werden und der Taster (4) über die Dreh-Schwenkeinheit (14) so auf die Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) ausgerichtet wird, daß die Abstandswerte (a) für einen Umlauf eines Tastkreises (36) in etwa gleich sind. Allerdings kann es nun sein, daß die Oberfläche Unebenheiten aufweist oder gewölbt ist, so daß eine seriöse Messung des Punktes (P) der Kante (13) nicht möglich ist. Deshalb kann zusätzlich in der Verarbeitungseinheit (25a) ein Analysator (35) vorgesehen sein, der unmittelbar mit dem Speicher (48) verbunden ist und Teile der gespeicherten Abstandswerte (a) fourrieranalysiert, um hierdurch Informationen über die Zuverlässigkeit der Kantenmessung zu erhalten.As already explained above, it is necessary for the edge measurement according to the invention that the scanning beam ( 18 ) of the probe ( 4 ) strikes the surface of the workpiece ( 5 ) to be measured as far as possible perpendicularly and thus the distances (a) of one revolution of the sensing circle ( 36 ) are largely constant as long as the sensing circle ( 36 ) is on the surface of the workpiece ( 5 ) to be measured. For this purpose, the button ( 4 ) is usually set up accordingly before the actual measurement of the point (P) of the edge ( 13 ), for example by arbitrarily recording some distance values (a) and the button ( 4 ) via the rotary-swivel unit ( 14 ) is aligned on the surface of the workpiece ( 5 ) to be measured such that the distance values (a) for one revolution of a scanning circle ( 36 ) are approximately the same. However, it may now be that the surface has bumps or is curved, so that a serious measurement of the point (P) of the edge ( 13 ) is not possible. Therefore, an analyzer ( 35 ) can also be provided in the processing unit ( 25 a), which is connected directly to the memory ( 48 ) and Fourier analyzes parts of the stored distance values (a) in order to obtain information about the reliability of the edge measurement.

Als Abstandswerte (a), die hierbei vom Analysator (35) analysiert werden, kommen nur diejenigen in Betracht, die aufgenommen wurden, während sich der Tastkreis (36) noch vollständig auf der Oberfläche des zu vermessenden Werkstückes (5) befand.Only distance values (a), which are analyzed by the analyzer ( 35 ), are those that were recorded while the scanning circle ( 36 ) was still completely on the surface of the workpiece ( 5 ) to be measured.

In Fig. 8 wird rein schematisch und beispielhaft ein durch den Analysator (35) berechnetes Fourierprofil gezeigt, mit dem sich die besagten Ungenauigkeiten leicht erfassen lassen. So gibt beispielsweise der mit f₀ bezeichnete Fourierkoeffizient die Drehfrequenz des Tastpunktes wieder. Anhand der Größe des Koeffizienten f₀ läßt sich deshalb genau ermitteln, ob und wie stark der Taster (4) gegenüber der Oberfläche des Werkstückes (5) geneigt ist. Der Koeffizient f_Tast hingegen gibt die Frequenz wieder, mit der die Abstandswerte (a) aufgenommen werden. Alle zwischen f₀ und f_Tast liegenden Koeffizienten, mit Ausnahme von Oberschwingungen von f₀, geben eine Aussage über die Güte der gemessenen Oberfläche. Je größer diese Koeffizienten sind, desto strukturierter ist die Oberfläche der zu vermessenden Werkstückes. Die Koeffizienten unterhalb von f₀ geben hingegen Aufschluß über großflächigere Fehler wie beispielsweise Wölbungen.In Fig. 8, a Fourier profile calculated by the analyzer ( 35 ) is shown purely schematically and by way of example, with which the said inaccuracies can be easily detected. For example, the Fourier coefficient designated f _{0 represents} the rotational frequency of the touch point. On the basis of the size of the coefficient f ₀ , it can therefore be determined exactly whether and to what extent the probe ( 4 ) is inclined with respect to the surface of the workpiece ( 5 ). The coefficient f _Tast, on the other hand, represents the frequency with which the distance values (a) are recorded. All coefficients between f ₀ and f _Tast , with the exception of harmonics of f ₀ , provide information about the quality of the measured surface. The greater these coefficients, the more structured the surface of the workpiece to be measured. The coefficients below f ₀ , on the other hand, provide information about larger-scale errors, such as bulges.

Es kann ferner vorkommen, daß neben den üblicherweise rechtwinklig ausgebildeten Kanten auch andere Kanten vermessen werden sollen. Beispielsweise kommen Kanten mit unterschiedlichen Radien, Kanten mit einer Anfasung, gestufte Kanten etc. in Betracht. Es ist deshalb in solchen Fällen wünschenswert den Typus der Kante (13) zu bestimmen, um beispielsweise Korrekturen am ermittelten Punkt (P) der Kante (13) vorzunehmen. Dazu kann in der Verarbeitungseinheit (25a) weiterhin auch eine Kantentypisierungseinheit (34) vorgesehen sein, die die betreffende Form der Kante (13) zur Korrektur des Punktes (P) der Kante (13) ermittelt. Dazu kann die Kantentypisierungseinheit (34) mit der Mittelungseinheit (33) verbunden sein, wobei die Mittelungseinheit (33) der Kantentypisierungseinheit (34) kontinuierlich über jeweils einen Tastkreisumlauf gebildete Mittelwerte (a_mit) sendet. Die Kantentypisierungseinheit (34) kann den Typus der Kante (13) hierbei auf zwei Verschiedene Arten ermitteln.It may also happen that other edges should also be measured in addition to the edges which are usually rectangular. For example, edges with different radii, edges with a chamfer, stepped edges, etc. come into consideration. It is therefore desirable in such cases to determine the type of edge ( 13 ), for example to make corrections to the determined point (P) of the edge ( 13 ). For this purpose, an edge typing unit ( 34 ) can also be provided in the processing unit ( 25 a), which determines the shape of the edge ( 13 ) in question to correct the point (P) of the edge ( 13 ). For this purpose, the edge typing unit ( 34 ) can be connected to the averaging unit ( 33 ), the averaging unit ( 33 ) sending the edge typing unit ( 34 ) continuously via averages formed in each case by a scanning circuit (a _mit ). The edge typing unit ( 34 ) can determine the type of the edge ( 13 ) in two different ways.

Eine erste Möglichkeit besteht darin, daß in der Kantentypi sierungseinheit (34) der Verlauf der Mittelwerte (a_mit) mit bereits vorliegenden Referenzwertreihen (R) vergleicht und aufgrund der Ähnlichkeit des Verlaufes der Mittelwerte (a_mit) zu einer der Referenzwertreihen (R) qualitativ die Beschaffenheit der Kante (13) ermittelt. Hierzu werden die Mittelwerte (a_mit) einfach in eine Vielzahl von bereits abgespeicherten Referenzwertreihen (R), wie im Zusammenhang mit Fig. 9 gezeigt, eingepaßt. Hierzu werden in einem ersten Schritt die Referenzwertreihe (R) und die Mittelwerte (a_mit) in Richtung der Abszisse (t) derart übereinandergeschoben, bis die Summe der Abstände der Mittelwerte (a_mit) und der Punkte der Referenzwertreihe (R) minimal werden. In einem weiteren Schritt wird die Kurve der Mittelwerte (m) in Richtung der Ordinate solange gestreckt, bis sich hier ebenfalls minimale Abstände zwischen den Mittelwerten (a_mit) und den Punkten der Referenzwertreihe (R) ergeben. Die Summe der Abstände im Bereich des Kantenbereiches (K) werden dann als Maß für die Übereinstimmung mit der betreffenden Referenzwertreihe (R) gewertet. Es sei darauf hingewiesen, daß die Mittelwerte (a_mit) und die Referenzwertreihe (R) vor der Einpassung zeitlich abgeglichen werden müssen, so daß der zeitliche Abstand zwischen zwei Punkten der Referenzwertreihe (R) genau mit dem zeitlichen Abstand zwischen zwei Punkten der Mittelwerte (a_mit) übereinstimmt. A first possibility is that in the edge typing unit ( 34 ) compares the course of the mean values (a _with ) with existing reference value series (R) and qualitatively due to the similarity of the course of the mean values (a _with ) to one of the reference value series (R) the nature of the edge ( 13 ) determined. For this purpose, the mean values (a _with ) are simply _fitted into a multiplicity of reference value series (R) which have already been stored, as shown in connection with FIG. 9. For this purpose, in a first step, the reference value series (R) and the mean values (a _mit ) are pushed over each other in the direction of the abscissa (t) until the sum of the distances between the mean values (a _mit ) and the points of the reference value series (R) become minimal. In a further step, the curve of the mean values (m) is stretched in the direction of the ordinate until there are also minimal distances between the mean values (a _with ) and the points of the reference value series (R). The sum of the distances in the area of the edge area (K) are then evaluated as a measure of the agreement with the relevant reference value series (R). It should be noted that the mean values (a _with ) and the reference value series (R) must be compared in time before the fitting, so that the time interval between two points of the reference value series (R) exactly with the time interval between two points of the mean values ( a _with) matches.

Die Kantentypisierungseinheit (34) kann in einer zweiten Ausführung gleichfalls derart ausgebildet sein, daß aus einer definierten Anzahl von Mittelwerten (a_mit) ein Fourierprofil errechnet wird und daß das errechnete Fourierprofil mit einer Vielzahl von bereits vorher gespeicherten Referenzprofilen verglichen wird und aufgrund der Ähnlichkeit des errechneten Fourierprofils mit einem der Referenzprofile die Beschaffenheit der Kante (13) ermittelt wird.In a second embodiment, the edge typing unit ( 34 ) can also be designed such that a Fourier profile is calculated from a defined number of mean values (a _with ) and that the calculated Fourier profile is compared with a large number of previously stored reference profiles and because of the similarity of the calculated Fourier profile with one of the reference profiles, the nature of the edge ( 13 ) is determined.

Zur Ermittelung des Fourrierprofils wird hierbei so vorgegangen, wie dies im folgenden im Zusammenhang mit Fig. 10 erläutert wird. So wird hierbei aus dem Verlauf der Mittelwerte (a_mit) in einem ersten Schritt über die Steigung der Mittelwerte (a_mit) der Kantenbereich (K) ermittelt. In einem weiteren Schritt werden die Mittelwerte (a_mit) im Bereich des Kantenbereich (K) auf die gestrichelte Kurve gespiegelt, so daß sich hierdurch eine achsensymmetrische Kurve (Z) ergibt. Da der Anfangspunkt (Q1) der Kurve (Z) und der Endpunkt (Q2) der Kurve (Z) achsensymmetrisch sind, kann über diese Kurve (Z) dann ein Fourrierprofil berechnet werden. Das Fourrierprofil kann dann in ähnlicher Weise, wie oben beschrieben, in eine Vielzahl von Referenzprofilen eingepaßt werden, um hierdurch die Beschaffenheit der Kante zu ermitteln.To determine the Fourrier profile, the procedure is as described below in connection with FIG. 10. Thus, the mean values _(A,) in a first step on the slope of the mean values _(A,) of the edge portion (K) is in this case determined from the course. In a further step, the mean values (a _with ) in the area of the edge area (K) are reflected on the dashed curve, so that this results in an axisymmetric curve (Z). Since the start point (Q1) of the curve (Z) and the end point (Q2) of the curve (Z) are axisymmetric, a Fourier profile can then be calculated using this curve (Z). The Fourrier profile can then be fitted into a multiplicity of reference profiles in a manner similar to that described above, in order thereby to determine the nature of the edge.

Die beiden beschriebenen Verfahren zur Ermittlung der Beschaffenheit der Kante (13) können auch gleichzeitig in der Kantenerkennungseinheit (34) angewandt werden. Beispielsweise kann das erstbeschriebene Verfahren für Kanten mit einem Radius von kleiner als dem Tastkreisdurchmesser (36) verwendet werden, während das zweite Verfahren für Kanten eingesetzt werden kann, deren Durchmesser größer als der Tastkreis (36a) ist.The two methods described for determining the nature of the edge ( 13 ) can also be used simultaneously in the edge detection unit ( 34 ). For example, the first method described can be used for edges with a radius smaller than the probe circle diameter ( 36 ), while the second method can be used for edges whose diameter is larger than the probe circle ( 36 a).

Es sei nun abschließend bemerkt, daß das hier beschriebene Verfahren keinesfalls auf die gezeigten Ausführungsbeispiele beschränkt ist. Selbstverständlich werden von der Erfindung auch abgewandelte Ausführungsformen miterfaßt. So kann anstelle des hier gezeigten Ständermeßgerätes auch ein Portalmeßgerät verwendet werden. Auch die genaue Anordnung der elektronischen Komponenten, wie beispielsweise der Verarbeitungseinheit (25a, b) kann variieren und unterschiedlich ausgeführt sein.Finally, it should be noted that the one described here The method does not apply to the exemplary embodiments shown is limited. Of course, the invention also includes modified embodiments. So instead of the column measuring device shown here also a portal measuring device be used. Even the exact arrangement of the electronic Components such as the processing unit (25a, b) can vary and can be designed differently.

Claims

1. A method for measuring the edges ( 13 ) of workpieces ( 5 ) to be measured with an optical probe ( 4 ), which measures a distance value (a) between the probe ( 4 ) and the workpiece surface at an adjustable scanning point ( 15 ) following process steps:

- Moving the scanning point ( 15 ) along a path (36a, 36b ... 36n) in such a way, over the edge ( 13 ) of the workpiece ( 5 ) to be measured, so that the edge is cut in a plurality of adjacent points.
- Recording of the distance values measured by the button during the method and determination of a point (P) of the edge ( 13 ) by determining the intersection points between the path and the edge from the multiplicity of distance values and determining the said point of the edge from this by interpolation .

2. The method according to claim 1, wherein for determining the Point of the edge from the distance values at least one Time signal (t180) is derived, which specifies which time machine positions (X, Y, Z, α, β) for Determination of the point of the edge should be adopted.

3. The method according to claim 2, wherein exactly one time signal for Determining the point that is derived Determines when the button opposite the edge occupies a fixed position.

4. The method according to claim 3, wherein the time signal in the button is determined.

5. The method according to claim 4, characterized in that the coordinate measuring machine is operated in a fixed cycle (T) and in that the said time signal comprises at least one cycle interval signal (t _ab ) which indicates how many cycles previously the button has taken the said position and comprises a trigger signal (t _tr ) which defines the point in time at which the position lies behind the number of clocks in accordance with the pitch signal.

6. The method according to claim 3-5, characterized in that to determine the time signal from the measured Distance values a variety of time-dependent angles (τ) can be determined.

7. The method according to claim 6, characterized in that the Time signal from the course of an to the angle approximated function (F) is determined.

8. The method according to claim 1, characterized in that the Web has a curved shape.

9. The method according to claim 8, characterized in that the track comprises a circle ( 36 a) or a cycloid.

10. The method according to claim 1, characterized in that mean values (a _with ) are formed over a defined number of distance values.

11. The method according to claim 10, characterized in that the course of the averages with a variety of already previously stored reference value series (R) compared and that due to the similarity of the course of the Mean values for one of the reference value series The nature of the edge is determined.

12. The method according to claim 10, characterized in that from a defined number of mean values Fourrier profile is calculated and that the calculated Fourier profile with a variety of previously stored reference profiles is compared and that due to the similarity of the calculated Fourier profile with one of the reference profiles qualitatively the The nature of the edge can be determined.

13. The method according to claim 1, characterized in that Parts of the stored distance values Fourier analyzed to get information about the Obtain reliability of edge measurement.

14. Coordinate measuring device for measuring the edges ( 13 ) of workpieces ( 5 ) comprising

- An optical button ( 4 ) which measures a distance value (a) between the button and the workpiece surface at an adjustable scanning point ( 15 )
- A controller ( 27 ) which traverses the scanning point along a path over the edge of the workpiece such that the edge is cut at a plurality of points lying side by side.
- A processing unit ( 25 a, 25 b) connected to the optical button for recording the distance values (a) measured by the button during the method and for determining a point (P) of the edge by dividing the intersection between the path and from the plurality of distance values of the edge can be determined and from this the said point of the edge is determined via interpolation.

15. Coordinate measuring device according to claim 14, characterized in that a processing unit ( 30 ) is provided in the processing unit, which derives at least one time signal (t ₁₈₀ ) for determining the point (P) of the edge from the distance values, which specifies at what point in time machine positions (X, Y, Z, α, β) are to be adopted to determine the point of the edge.

16. Coordinate measuring device according to claim 15, wherein in the Time determination unit derived exactly one time signal which determines a point in time at which the button assumes a fixed position opposite the edge.

17. Coordinate measuring device according to claims 15 or 16, characterized in that part of the processing unit ( 25 a) is located in the button.

18. Coordinate measuring device according to claims 15-17, characterized in that the coordinate measuring device is operated by a clocking unit ( 31 ) in a fixed cycle (T) and that the time signal provided by the time determination unit comprises at least one cycle interval signal (t _ab ) which indicates how many cycles before the button has taken up the said position and includes a trigger signal (ttr), which defines the time at which the said position is back by the number of clocks according to the pitch signal.

19. Coordinate measuring device according to claim 14-18, characterized in that an angle calculation unit ( 29 ) is additionally provided for determining the time signal in the time determination unit, which determines a plurality of time-dependent angles (τ) from the measured distance values.

20. Coordinate measuring device according to claim 19, characterized records that the time signal in the time determination unit from the course of an approximation to the angle Function (F) is determined.

21. Coordinate measuring device according to claim 14, characterized shows that the button is a ring button.

22. Coordinate measuring device according to claim 14 or 21, characterized in that the button is connected to the coordinate measuring device via a rotary swivel unit ( 14 ).

23. Coordinate measuring device according to claim 14, characterized in that an averaging unit ( 33 ) is provided in the processing unit which determines an average value (a _with ) over a defined number of distance values.

24. Coordinate measuring device according to claim 23, characterized in that in the processing unit an edge typing unit ( 34 ) is provided which compares the defined mean values with existing reference value series (R) and qualitatively due to the similarity of the course of the mean values to one of the reference value series the nature of the edge determined.

25. Coordinate measuring device according to claim 23, characterized in that an edge typing unit ( 34 ) is provided in the processing unit, which calculates a Fourier profile from a defined number of mean values and which compares the calculated Fourier profile with a plurality of previously stored reference profiles and on the basis of Similarity of the calculated Fourier profile with one of the reference profiles determines the nature of the edge.

26. Coordinate measuring device according to claim 14, characterized in that an analyzer ( 35 ) Fourier analyzes parts of the stored distance values in order thereby to obtain information about the reliability of the edge measurement.

27. A method for measuring the edges ( 13 ) of workpieces to be measured ( 5 ) with an optical probe ( 4 ), which measures a distance value (a) between the probe ( 4 ) and the workpiece surface at an adjustable scanning point ( 15 ) following process steps:

- Moving the scanning point ( 15 ) along a flat path ( 36 a, 36 b... 36 n), over the edge ( 13 ) of the workpiece ( 5 ) to be measured
- Recording the distance values measured by the button during the method and determining a point (P) of the edge ( 13 ) from the course of the distance values.

28. Coordinate measuring device for measuring the edges ( 13 ) of workpieces ( 5 ) comprising

- An optical button ( 4 ) which measures a distance value (a) between the button and the workpiece surface at an adjustable scanning point ( 15 )
- A controller ( 27 ) which moves the scanning point along a flat path over the edge of the workpiece
- A processing unit ( 25 a, 25 b) connected to the optical button for recording the distance values (a) measured by the button during the method and for determining a point (P) of the edge from the course of the distance values.