DE19646947A1 - Einrichtung zur Bestimmung des Absorptionsvermögens einer Probe - Google Patents
Einrichtung zur Bestimmung des Absorptionsvermögens einer ProbeInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Bestimmung des
Absorptionsvermögens einer Probe. Dabei wird elektromagnetische
Strahlung auf eine Probe geleitet und durch teilweise
Absorption der Strahlung die Probe und ein an die Probe
angrenzendes Medium durch Wärmediffusion erwärmt. Mit zwei
weiteren Strahlen, die durch das Medium geleitet werden, wird
die Erwärmung des Mediums detektiert. Die Erwärmung ist ein Maß
für das Absorptionsvermögen der Probe. Die Erfindung ist ein
Gerät zur direkten und berührungsfreien Bestimmung des
Absorptionsvermögens einer Probe für elektromagnetische
Strahlung.
Es existieren verschiedene Geräte zur direkten berührungslosen
Bestimmung des Absorptionsvermögens einer Probe bzw. eines
Mediums. Es gibt Geräte, die den Mirage-Effekt nutzen zur
Bestimmung des Absorptionsvermögens einer Probe (Deflektions
spektrometer), und Geräte, die photoakustisch ein Signal
gewinnen, das die Bestimmung der Absorptivität einer Probe
ermöglicht. Das fotothermische Interferenzspektrometer
(Patentschrift DE 41 11 774 C2) verwendet ein Zweistrahl
interferometer, um die durch Absorption in einem Medium
hervorgerufenen Temperaturänderung zu erfassen.
Das fotothermische Interferenzspektrometer ist ein Gerät zur
Messung der Absorption von Strahlung in einer Probe. Das
fotothermische Interferenzspektrometer detektiert mit hoher
Empfindlichkeit die Brechungsindexänderung eines Mediums
aufgrund einer Temperaturerhöhung. Im Gegensatz zum
photoakustischen Gerät und zum Deflektionsspektrometer ist es
weitgehend unempfindlich gegen Temperaturschwankungen,
mechanischen Erschütterungen oder Untergrundsignalen,
hervorgerufen etwa durch Absorption von Strahlung in optischen
Fenstern.
Strahlung mit einer Frequenz, bei der die Absorption einer
Probe bestimmt werden soll, wird auf die Probenoberfläche
zumindest teilweise geleitet, vorzugsweise fokussiert und
periodisch amplitudenmoduliert. Durch zumindest teilweise
Absorption erwärmt sich die Probe und durch Wärmediffusion ein
an die Probenoberfläche angrenzendes Medium periodisch. Daraus
resultiert eine periodische Änderung des optischen
Brechungsindexes. Ein Zweistrahlinterferometer, bei dem ein
Teilstrahl durch das erwärmte Medium, ein zweiter Teilstrahl
durch ein Referenzmedium mit konstanter Temperatur, geleitet
werden, mißt die Änderung des optischen Brechungsindexes des
Mediums. Dazu werden beide Teilstrahlen auf vorzugsweise einer
Photodiode zur Interferenz gebracht, wobei ein periodisches
Detektorsignal entsteht, welches vorzugsweise elektronisch
registriert wird. Ändert sich der Brechungsindex durch
Temperaturänderung, so ändert sich die optische Weglänge
zumindest eines Teilstrahles und somit der Gangunterschied
zwischen beiden Teilstrahlen. Durch Interferenz beider
Teilstrahlen ändert sich nun die Intensität und damit das
Signal am Detektor. Die Signaländerung ist maximal, wenn die
optische Weglängendifferenz zwischen beiden Teilstrahlen ohne
Erwärmung auf ein ungeradzahliges Vielfaches eines Viertels der
Wellenlänge (λ/4) der Interferometerstrahlen, vorzugsweise
Laserstrahlen, wobei λ die Wellenlänge der Strahlen im
Interferometer darstellt, eingestellt wird.
Das bislang eingesetzte Jamin-Zweistrahlinterferometer hat
durch die Verwendung von planparallelen Glasplatten als Spiegel
große Strahlungsverluste durch Mehrfachreflexion, die zu einer
Einschränkung der Empfindlichkeit führen, d. h. das Signal-
Rausch-Verhältnis stark reduzieren. Die Empfindlichkeit ist
definiert durch das Verhältnis von Signalgröße und
Phasendifferenz zwischen beiden Teilstrahlen, wobei die
Phasendifferenz hervorgerufen wird durch die
Brechungsindexänderung im erwärmten Medium. Die Erwärmung des
Mediums ist die Folge von absorbierter Strahlungsenergie in der
Probe. Bei geringen Leistungen des auf die Probe geleiteten und
dort teilweise absorbierten Strahles oder durch ein niedriges
Absorptionsvermögen der Probe sind die Signale klein und vom
Detektorrauschen nicht zu unterscheiden, so daß das
Absorptionsvermögen der Probe nicht mehr bestimmt werden kann.
Dem fotothermische Interferenzspektrometer sind insbesondere
dann entscheidende Grenzen gesetzt, wenn die Absorption von
Proben mit geringstem Absorptionsvermögen bestimmt werden soll.
Ein weitere Schwierigkeit des bisherigen Gerätes ist die
Abhängigkeit der Empfindlichkeit von der Umgebungstemperatur
und der Probengeometrie, da die Empfindlichkeit von
temperaturabhängigen thermischen Eigenschaften der Probe und
des Mediums bestimmt wird. Damit ist die Eichung des Gerätes
und die Bestimmung des Absolutwertes der Absorption einer Probe
ungenau. Insbesondere führen Intensitätsschwankungen der
Interferometerstrahlen zu zusätzlichem Signalrauschen. Hierfür
vorzugsweise eingesetzte Laserstrahlen können durch
Leistungsschwankungen des Lasers starke Fluktuationen der
Intensität aufweisen.
Wünschenswert wäre daher ein Gerät mit einer deutlich höheren
Empfindlichkeit, um selbst geringstes Absorptionsvermögen von
Proben zu bestimmen, wobei Intensitätsschwankungen der
Interferometerstrahlen möglichst kein zusätzliches
Signalrauschen hervorrufen sollten. Weiterhin ist eine
Möglichkeit zur genauen Eichung des Gerätes erforderlich, um
das Absorptionsvermögen einer Probe quantitativ bestimmen zu
können.
Die erfindungsgemäße Einrichtung zur Bestimmung des
Absorptionsvermögens einer Probe stellt eine wesentliche
Verbesserung des fotothermischen Interferenzspektrometers
bezüglich dessen experimentelle Grenzen dar:
Die Erfindung basiert auf dem fotothermischen Interferenzspektrometer (Patentschrift DE 41 11 774 C2), wobei das Zweistrahlinterferometer durch ein Ellipsometer ersetzt wird, wodurch die Empfindlichkeit und in Folge das Signal- Rausch-Verhältnis stark verbessert wird. So ist auch die Bestimmung der Absorption von Proben mit geringstem Absorptionsvermögen durchführbar. Eine besondere Eigenschaft des Ellipsometers ist die Tatsache, daß bei der Voreinstellung des optischen Weglängenunterschieds zwischen den beiden Teilstrahlen des Ellipsometers auf λ/4, das ist die Voreinstellung auf maximale Empfindlichkeit, ein Nullsignal am Photodetektor vorliegt.
Die Erfindung basiert auf dem fotothermischen Interferenzspektrometer (Patentschrift DE 41 11 774 C2), wobei das Zweistrahlinterferometer durch ein Ellipsometer ersetzt wird, wodurch die Empfindlichkeit und in Folge das Signal- Rausch-Verhältnis stark verbessert wird. So ist auch die Bestimmung der Absorption von Proben mit geringstem Absorptionsvermögen durchführbar. Eine besondere Eigenschaft des Ellipsometers ist die Tatsache, daß bei der Voreinstellung des optischen Weglängenunterschieds zwischen den beiden Teilstrahlen des Ellipsometers auf λ/4, das ist die Voreinstellung auf maximale Empfindlichkeit, ein Nullsignal am Photodetektor vorliegt.
Im Ellipsometer wird ein linear polarisierter Laserstrahl mit
Hilfe eines doppelbrechenden Materials, vorzugsweise einem
Kalzit-Kristall, in zwei parallele und zueinander senkrecht
polarisierte Teilstrahlen aufgespalten. Einer der Teilstrahlen
wird durch das erwärmte Medium geleitet, und der zweite durch
einen Bereich des Mediums, der nicht erwärmt wird. Beide
Strahlen werden durch ein doppelbrechendes Medium, vorzugsweise
einen zweiten Kalzit-Kristall, räumlich wieder vereint.
Aufgrund der relativen Phasendifferenz ist dieser kombinierte
Laserstrahl elliptisch polarisiert. Dieser elliptisch
polarisierte Strahl trifft auf eine Anordnung aus einem
doppelbrechendem Medium, vorzugsweise einem Wollastonprisma,
das den Strahl symmetrisch in zwei senkrecht zueinander linear
polarisierte Teilstrahlen spaltet. Im Falle eines
Wollastonprismas wird die elliptische Polarisation des
Laserstrahles wie folgt analysiert: Wird das Wollastonprisma so
orientiert, daß die Polarisationsrichtungen der durch das
Wollastonprisma getrennten Teil strahlen mit den Richtungen der
Halbachsen der Polarisationsellipse übereinstimmen, erhält man
eine Aufspaltung des elliptisch polarisierten Laserstrahles in
zwei linear polarisierte Teilstrahlen, deren Intensitäten
proportional zu der Länge der Halbachsen der
Polarisationsellipse sind. Ändert sich nun die
Weglängendifferenz zwischen beiden Strahlen, so ändert sich die
Polarisationsellipse und damit die Intensitäten der zwei
Teilstrahlen. Eine Elektronik registriert nun die Differenz der
Intensitäten der Teilstrahlen. Die Differenz der Intensitäten
wird zudem durch die Summe der Intensitäten, welche durch die
Leistung des Lasers gegeben ist, geteilt, wodurch ein Signal
gewonnen wird, daß von Leistungsschwankungen des
Ellipsometerlasers nicht beeinflußt wird. Die größte
Empfindlichkeit erhält man bei einer Weglängendifferenz
zwischen beiden Teilstrahlen des Ellipsometers von einem
ungeradzahligem Vielfachen von λ/4. Der räumlich vereinte
Laserstrahl ist zirkular polarisiert und wird von dem
Wollastonprisma in zwei Teilstrahlen gleicher Intensität
aufgespalten. Jede Phasendifferenz führt zu elliptischer
Polarisation und damit zu unterschiedlichen Intensitäten der
Teilstrahlen. Für den Abgleich, d. h. bei zirkular polarisiertem
Licht, ergibt sich ein Nullsignal. Durch Erwärmung des Medium
ergibt sich eine Intensitätsverschiebung und damit ein von Null
verschiedenes Signal.
Wenn sämtliche Oberflächen der Kalzitkristalle und des
Wollastonprismas vorzugsweise optisch vergütet sind, werden
Strahlungsverluste weitestgehend vermieden. Theoretisch ergibt
sich durch die Differenzbildung ein doppelt großes Signal im
Vergleich mit dem idealen Jamin-Interferometer, d. h. einem
Jamin-Interferometer ohne Strahlungsverluste. Insgesamt ergibt
sich eine Verbesserung des Signal-Rausch-Verhältnis um
mindestens einen Faktor vier, mit Berücksichtigung von
Strahlungsverlusten kann dieser Wert nochmals deutlich
verbessert werden. Daraus resultiert eine Steigerung der
Empfindlichkeit um mindestens eine Größenordnung im Vergleich
mit dem Jamin-Interferometer.
Mit dem Ellipsometer kann nun durch Variation der Frequenz der
Strahlung jedes Absorptionsspektrum bestimmt werden. Durch
Variation der Temperatur der Probe und des Mediums kann die
Temperaturabhängigkeit der Absorptivität exakt bestimmt werden.
Um die Temperaturabhängigkeit der Empfindlichkeit und die
Abhängigkeit der Signale von der Probengeometrie zu
eliminieren, wird zugleich ein zweiter Strahl mit einer
Wellenlänge, bei der die Absorptivität der Probe bekannt ist,
auf die Probenoberfläche fokussiert. Dieser Strahl wird mit
einer Modulationsfrequenz, die verschieden ist zur
Modulationsfrequenz des ersten Strahles, periodisch
amplitudenmoduliert. Mit Hilfe von vorzugsweise Lock-In-Ver
stärkern, die mit den entsprechenden Modulationsfrequenzen
getriggert werden, erhält man zwei Signale. Durch Vergleich der
Signale kann dabei die experimentelle Empfindlichkeit des
Spektrometers bestimmt und somit die Eichung des Gerätes
während des Betriebs durchgeführt werden.
Die Erfindung ist vorzugsweise dazu geeignet, die geringe
Restabsorption von Hochtemperatursupraleitern bei tiefen
Temperaturen, weit unter der Sprungtemperatur, bei Frequenzen
im Submillimeter-, Millimeter- und Mikrowellenbereich zu
bestimmen. Diese Methode ermöglicht berührungslos die
Hochfrequenzeigenschaften der Hochtemperatursupraleiter oder
auch anderer konventioneller Supraleiter bei Temperaturen
zwischen 4 K und 300 K zu bestimmen und die Qualität dieser
Materialien insbesondere auch für den Einsatz für
Hochfrequenzanwendungen zu beurteilen.
Die Erfindung eignet sich besonders auch zur Bestimmung des
Absorptionsvermögens von Halbleitermaterialien bei Frequenzen
im Mikrowellen- und Submillimeterwellenbereich, um die
Materialien für Anwendungen in der Hochfrequenztechnik zu
charakterisieren und zu optimieren. Mit dem fotothermischen
Ellipsometrie-Spektrometer kann die Mikrowellenabsorption von
Materialien wie z. B. LaAlO3, Saphir, ZrO2, TiO2 bestimmt werden,
um über die Eignung dieser Materialien für die Entwicklung von
Hochfrequenzresonatoren zu entscheiden. Eine andere Anwendung
des erfindungsgemäßen Ellipsometrie-Spektrometers ist die
Bestimmung des Absorptionsvermögens von Siliziumlinsen für
Frequenzen im Mikrometerwellenbereich.
Eine Ausführung der Erfindung wird nachfolgend beispielhaft
unter Bezugnahme auf die Zeichnung in Fig. 1 näher beschrieben.
Fig. 1 zeigt eine Schemaskizze eines Aufbaus eines
Ellipsometers.
In der Fig. 1 ist eine Einrichtung zur Bestimmung des
Absorptionsvermögens einer Probe schematisch gezeigt, das
nachfolgend einfach als Spektrometer oder Ellipsometer 14
bezeichnet wird. Dieses Ellipsometer oder Spektrometer 14
enthält einen Interferometerlaser 1, der einen linear
polarisierten Lichtstrahl S aussendet. Der Lichtstrahl S wird
mit Hilfe eines Strahlteilers 2 aufgespalten in zwei parallele
und zueinander senkrecht linear polarisierte Strahlen SM und
SR. Der Strahl SM wird durch den erwärmten Teil des Mediums,
nahe der Probenoberfläche der Probe 7, geleitet, und der Strahl
SR durch das nicht erwärmte Medium. Das Medium 12 und die Probe
7 befinden sich in einem Behälter 13. Einer der Teilstrahlen SM
oder SR passiert einen Kompensator 5, womit die optische
Weglängendifferenz zwischen den Strahlen SM und SR eingestellt
werden kann. Die Strahlen SM und SR werden durch einen
Strahlteiler 3 räumlich wieder vereint und bilden einen
elliptisch polarisierten Strahl SE. Dieser Strahl SE trifft auf
ein Wollastonprisma 4 und wird symmetrisch in die
Analysestrahlen S1 und S2 aufgespalten, wobei die Intensitäten
proportional zu den Halbachsen der Polarisationsellipse sind
und beide Strahlen zueinander senkrecht und linear polarisiert
sind. Mit den Fotodioden 6a und 6b werden die Intensitäten der
Analysestrahlen S1 und S2 detektiert und über einen
Differenzverstärker 10 ein Differenzsignal gewonnen. Das
Differenzsignal des Verstärkers wird einem Lock-In-Verstärker
11 zugeführt.
Die Erwärmung des Teiles des Mediums, durch das der Strahl SM
geleitet wird, erfolgt durch Absorption der Strahlung SA einer
Strahlenquelle 8 in der Probe 7 und Wärmeübertrag in das Medium
durch Wärmediffusion. Die Strahlung SA wird mit einem Chopper 9
periodisch amplitudenmoduliert. Die periodische Temperatur
änderung führt zu einer periodischen Variation der Phasen
differenz zwischen den Strahlen SM und SR. In Folge verändert
sich die Polarisationsellipse des Strahls SE. Dadurch werden
die Intensitäten der Analysestrahlen S1 und S2 periodisch
variiert und der Verstärker 10 erzeugt ein
Wechselspannungsignal mit der Modulationsfrequenz des Choppers
9. Der Chopper liefert das Referenzsignal zur Triggerung des
Lock-In-Verstärkers.
Das Ausgangssignal des Lock-In-Verstärkers ist proportional zum
Absorptionsvermögen der Probe 7. Durch Eichung kann dabei das
Absorptionsvermögen der Probe quantitativ bestimmt werden.
Durch die Erfindung wird somit allgemein eine Einrichtung zur
Bestimmung des Absorptionsvermögens einer Probe geschaffen,
wobei ein Strahl SA, bestehend aus elektromagnetischer
Strahlung zumindest teilweise, vorzugsweise fokussiert auf eine
Probenoberfläche geleitet wird, und durch teilweise Absorption
in der Probe ein die Probe umgebendes Medium erwärmt, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Strahl SM das erwärmte Medium 12, ein
dritter Strahl SR das nichterwärmte Medium 12 durchstrahlt, und
beide Strahlen SM und SR in einem Ellipsometer 14 verlaufen, um
ellipsometrisch die Brechungsindexänderung des teilweise
erwärmten Mediums 12 zu bestimmen.
Bei diesem Ellipsometer kann der zweite Strahl SM und der
dritte Strahl SR erzeugt werden, durch Aufspaltung eines linear
polarisierten Laserstrahls S mit Hilfe eines doppelbrechenden
Mediums 2, vorzugsweise einem Kalzitkristall, wobei die
Polarisation des Strahls SM senkrecht steht zur Polarisation
des Strahls SR.
Bei diesem Ellipsometer kann, weiterhin, der Strahl SM und der
Strahl SR des Ellipsometers 14 mit einem doppelbrechendem
Medium 3, vorzugsweise einem Kalzitkristall, räumlich wieder
vereint werden und der vereinte Strahl SE auf Grund einer
relativen Phasendifferenz, entsprechend einer optischen
Weglängendifferenz beider Teilstrahlen, elliptisch polarisiert
ist.
Bei diesem Ellipsometer kann der vereinte Strahl SE mit einem
doppelbrechendem Medium oder einer Anordnung 4 aus
doppelbrechenden Medien, vorzugsweise einem Wollastonprisma, in
zwei zueinander senkrecht linear polarisierte Analysestrahlen
S1 und S2 aufgespalten werden, wobei deren Intensitäten
proportional zur Länge der Halbachsen der Polarisationsellipse
sind.
Bei diesem Ellipsometer kann die Intensitätsdifferenz der
Analysestrahlen S1 und S2 mit einem normierenden
Differenzphotodetektor 6a, 6b erfaßt werden, um
Leistungsschwankungen des Ellipsometerlasers 1 zu
berücksichtigen.
Bei diesem Ellipsometer kann die Probe 7 und das Medium 12
gekühlt werden durch eine Kühlvorrichtung 13.
Bei diesem Interferometer können zwei erste Strahlen S
unterschiedlicher Frequenz gleichzeitig oder nacheinander
verwendet werden, die mit unterschiedlichen
Modulationsfrequenzen moduliert sind.
Bei diesem Ellipsometer kann das Medium 12 aus Luft bestehen.
Bei diesem Interferometer kann das Medium 12 aus Heliumgas
bestehen.
Bei diesem Ellipsometer kann das Medium 12 eine Flüssigkeit
sein.
Bei diesem Ellipsometer kann das Medium 12 ein Festkörper sein.
Bei diesem Ellipsometer kann die Probe 7 gasförmig, flüssig
oder ein Festkörper sein.
Bei diesem Ellipsometer können die Strahlen SM und SR des
Ellipsometers 14 durch ein doppelbrechendes Medium 2,
vorzugsweise einem Kalzikristall aufgespalten, die Strahlen SM
und SR durch die Verwendung eines Spiegels unter 180°
zurückreflektiert werden und bei dem zweiten Durchgang durch
dasselbe doppelbrechende Medium 2 räumlich wieder vereint
werden, so daß der Strahl SM des Ellipsometers 14 das erwärmte
Medium 12 zweifach durchstrahlt.
Claims (14)
1. Einrichtung zur Bestimmung des Absorptionsvermögens einer
Probe, wobei ein Strahl (SA), bestehend aus elektromagnetischer
Strahlung, zumindest teilweise, vorzugsweise fokussiert, auf
eine Probenoberfläche geleitet wird und durch teilweise
Absorption in der Probe ein die Probe umgebendes Medium (12)
teilweise erwärmt, dadurch gekennzeichnet, daß ein zweiter
Strahl (SM) das teilweise erwärmte Medium, ein dritter Strahl
(SR) einen nicht erwärmten Teil des Mediums durchstrahlen und
beide Strahlen (SM, SR) in einem Ellipsometer (14) verlaufen, um
ellipsometrisch die Brechungsindexänderung des teilweise
erwärmten Mediums zu bestimmen.
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der
zweite Strahl (SM) und der dritte Strahl (SR) erzeugt werden
durch Aufspaltung eines linear polarisierten Laserstrahls (S)
mit Hilfe eines doppelbrechenden Mediums (2), vorzugsweise
einem Kalzitkristall, wobei die Polarisation des zweiten
Strahles (SM) senkrecht steht zur Polarisation des dritten
Strahles (SR).
3. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche dadurch
gekennzeichnet, daß der zweite Strahl (SM) und der dritte
Strahl (SR) des Ellipsometers (14) mit Hilfe eines
doppelbrechenden Medium (3), vorzugsweise einem Kalzitkristall,
räumlich wieder vereint werden und der vereinte Strahl (SE)
aufgrund einer relativen Phasendifferenz, entsprechend einer
optischen Weglängendifferenz beider Teilstrahlen, elliptisch
polarisiert ist.
4. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der vereinte Strahl (SE) mit einem
doppelbrechenden Medium oder einer Anordnung (4) aus
doppelbrechenden Medien, vorzugsweise einem Wollastonprisma, in
zwei zueinander senkrecht linear polarisierte Analysestrahlen
(S1) und (S2) aufgespalten wird, wobei deren Intensitäten
proportional zur Länge der Halbachsen der Polarisationsellipse
sind.
5. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Intensitätsdifferenz der
Analysestrahlen (S1) und (S2) mit einem normierenden
Differenzphotodetektor (6a, 6b) erfaßt werden, um
Leistungsschwankungen des Ellipsometerlasers (1) zu
berücksichtigen.
6. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Probe (7) und das Medium (12) gekühlt
werden mit Hilfe eines Behälters (13), der als Kühlvorrichtung
aufgebaut ist.
7. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß zumindest zwei erste Strahlen
unterschiedlicher Frequenz anstelle eines einzelnen Strahles
(S), die mit unterschiedlichen Modulationsfrequenzen
amplitudenmoduliert sind, gleichzeitig oder nacheinander
verwendet werden.
8. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß das Medium (12) aus Luft besteht.
9. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das Medium (12) aus Helium-Gas besteht.
10. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das Medium (12) eine Flüssigkeit ist.
11. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch
gekennzeichnet, daß das Medium (12) ein Festkörper ist.
12. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Probe (7) gasförmig, flüssig
oder ein Festkörper ist.
13. Einrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlen (SM) und (SR) des
Ellipsometers (14) durch ein doppelbrechendes Medium (2),
vorzugsweise einem Kalzitkristall, aufgespalten, die Strahlen
(SM) und (SR) durch die Verwendung eines Spiegels unter 180
Grad rückreflektiert werden und bei dem zweiten Durchgang durch
dasselbe doppelbrechende Medium (2) räumlich wieder vereint
werden, so daß der Strahl (SM) des Ellipsometers (14) das
erwärmte Medium (12) zweifach durchstrahlt.
14. Verfahren zur Bestimmung des Absorptionsvermögens, dadurch
gekennzeichnet, daß eine Einrichtung nach einem der
vorhergehenden Ansprüche verwendet wird.
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| Country | Link |
|---|---|
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1996
- 1996-11-13 DE DE1996146947 patent/DE19646947A1/de not_active Withdrawn
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