DE1964649A1 - Ionenquelle der Magnetron-Type,insbesondere fuer Gasanalysatoren - Google Patents

Ionenquelle der Magnetron-Type,insbesondere fuer Gasanalysatoren

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DE1964649A1
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DE
Germany
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anode
ion source
gas analyzers
magnetron type
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Pending
Application number
DE19691964649
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German (de)
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Inventor
Jack Moreau
Gerard Vassal
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Cegelec SA
Original Assignee
Cegelec SA
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Publication date
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
    • H01J49/02—Details
    • H01J49/10—Ion sources; Ion guns
    • H01J49/102—Ion sources; Ion guns using reflex discharge, e.g. Penning ion sources
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J5/02—Vessels; Containers; Shields associated therewith; Vacuum locks

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0012838A1 (de) * 1978-12-22 1980-07-09 International Business Machines Corporation Ionenquelle, insbesondere für Ionenimplantationsanlagen

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0012838A1 (de) * 1978-12-22 1980-07-09 International Business Machines Corporation Ionenquelle, insbesondere für Ionenimplantationsanlagen

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