DE19641349A1 - Beleuchtungsanordnung zur visuellen und automatisierten Inspektion von Oberflächenfehlern - Google Patents
Beleuchtungsanordnung zur visuellen und automatisierten Inspektion von OberflächenfehlernInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf Beleuchtungsanordnungen zur Erkennung von
Oberflächenfehlern auf matten metallischen Oberflächen mit Feinstruktur oder auf
matten Oberflächen mit sehr geringem Anteil gerichteter Reflexion.
Fehlerhafte Verformungen der Oberfläche z. B. Beulen, Erhebungen, die sich durch
allmähliche oder sprunghafte Abweichungen vom fehlerfreien, gewünschten Verlauf der
Krümmung von Oberflächen ergeben, lassen sich nach dem Stand der Technik an
matten Oberflächen visuell nicht erkennen.
Zur Erkennung derartiger Fehler werden Oberflächen mit großem Glanzanteil benötigt.
Benutzt man hochglänzende Oberflächen als Spiegel um eine gitter- oder
streifenförmige Beleuchtungsstruktur zu beobachten, so zeigen sich Fehler als
Verzerrungen, Lichtinseln oder dunkle Flecke und können somit leicht erkannt werden.
Aus diesem Grunde werden matte Oberflächen, z. B. Rohbauteile an Autokarosserien
zur Inspektion mit einem stark glänzenden Überzug durch Spezialöl versehen.
Dadurch werden die zu einer Erkennung der Beleuchtungsstruktur benötigten
Reflexionseigenschaften auf der Oberfläche erzeugt und eine visuelle Fehler
erkennung ermöglicht.
Dieses Verfahren ist jedoch aufwendig und deshalb unwirtschaftlich.
Erfindungsaufgabe ist es deshalb, eine Beleuchtungs- und Beobachtungsgeometrie zu
finden, welche die Fehlererkennung an matten Oberflächen ermöglicht.
Weiterhin soll eine Leuchtdichtestruktur der Beleuchtung gefunden werden, die
auftretende Fehler besonders deutlich macht.
Erfindungsgemäß wird eine Beleuchtungs- bzw. Leuchtdichtestruktur unter flachen
Winkeln für Beobachter mit der zu inspizierenden Oberfläche als Spiegel präsentiert.
Typisch sind Winkel größer als etwa 60° zur Normalen, optimal jedoch Winkel größer
als etwa 75° zur Normalen der Oberfläche.
Dieser Erfindungsgedanke ist anwendbar, weil sich durch Untersuchungen und
theoretische Ermittlungen überraschend ergeben hat, daß eine Vielzahl matter
Oberflächen unter flachen Lichteinfallswinkeln einen sehr hohen Grad der gerichteten
Reflexion besitzen. Dieser hohe Anteil der gerichteten Reflexion wird erfindungsgemäß
um Spiegelungen zu erzeugen, die einen Rückschluß auf Oberflächenfehler erlauben,
die sich durch allmähliche oder sprunghafte Abweichungen vom fehlerfreien,
gewünschten Verlauf der Krümmung von Oberflächen ergeben also z. B. Beulen und
Erhebungen.
Nach Fresnel nimmt der Grad der Reflexion an gerichtet reflektierender Oberflächen
mit dem Lichteinfallswinkel zu.
Ein typischer Verlauf des Reflexionsgrades ist in Bild 1 dargestellt.
Betrachtet man nun den Überzug der Oberfläche als Grenzfläche zu einem Material mit
gegenüber der Luft vergrößerter Brechzahl so sind diese Gesetzmäßigkeiten für die
hier betrachteten Oberflächen anwendbar.
Elektrisch leitende Materialien besitzen auch ohne Überzug durch ein glänzendes
Medium den Effekt der Erhöhung der gerichteten Reflexion bis zur Totalreflexion unter
sehr flachen Winkeln, also nahezu 90° zur Normalen.
Betrachtet man deshalb Bleche mit einer sehr feinen Struktur der Oberfläche, so
schwanken im Feinbereich die Normalen um einen Mittelwert, so daß sich in einem
gewissen von der Feinstruktur abhängigenen Winkelbereich flacher Lichteinstrahlung
ausreichend große gerichtete Reflexionen ergeben, die erfindungsgemäß für eine
Fehlererkennung ausgenutzt werden können.
Oberflächen für die der Erfindungsgedanke anwendbar ist können demnach
beispielsweise Bleche mit feiner Struktur sein, insbesondere solche die durch den
Verarbeitungsprozeß einen dünnen Belag an Schmiermitteln erhalten, so daß ein
geringer Anteil an Glanz entsteht.
Die zugrundegelegte erfindungsgemäße geometrische Zuordnung von
Beleuchtungsstandort, Oberfläche und Beobachterstandort ist in Bild 2 dargestellt.
Eine Oberfläche wird unter dem Winkel i < 60° möglichst jedoch größer als 75° von
einem Beobachter 3 betrachtet. Eine Beleuchtungsvorrichtung 2 ist im Spiegelwinkel
angeordnet.
Entscheidend für die Möglichkeit der Fehlererkennung ist neben der geometrischen
Zuordnung von Beleuchtungsvorrichtung, Oberfläche und Beobachter die
Leuchtdichtestruktur der Beleuchtungsvorrichtung.
Gemäß der Erfindungsaufgabe sollen durch die Art der Leuchtdichtestruktur der
Beleuchtung Fehler in einem großen Bereich möglicher Beobachterstandorte sowohl
für Planer als auch für einachsig oder zweiachsig gekrümmte Oberflächen erkennbar
werden.
Erfindungsgemäß wird eine Hell-Dunkel-Kante unter Winkeln von ca. 60° besser ca.
15° oder kleiner zur Normalen der fehlerfreien Oberfläche einem Beobachter
präsentiert, der die Oberfläche unter dem entsprechenden Spiegelwinkel betrachtet.
Die dadurch ermöglichte Fehlererkennung ist in Bild 3 dargestellt.
Eine Oberfläche 1 wird von einem Beobachter unter flachen Winkeln beobachtet. Die
einen Fehler F umgebende Oberfläche erscheint hell, weil der Spiegelwinkel zur hellen
Fläche 5 führt. Auf Grund der Oberflächenkrümmung am Fehler F erscheint ein Teil
des Fehlers dunkel, weil der Spiegelwinkel zur dunklen Fläche 4 führt.
Für einachsig gekrümmte Flächen ist erfindungsgemäß vorgesehen die Hell-Dunkel-
Kante dem Verlauf der Krümmung der Oberfläche folgt.
Dies ist in Bild 4 dargestellt. Die Hell-Dunkel-Kante 6 folgt der Krümmung der
Oberfläche 1. Dadurch findet ein Beobachter der die Oberfläche quer zur Krümmung
betrachtet in allen drei Standorten die gleichen lichttechnischen Verhältnisse vor.
Besonders vorteilhaft ist es, die Hell-Dunkel-Kante parallel zur ersten Kante zu
wiederholen, so daß ein heller oder dunkler Streifen auf der Beleuchtungsanordnung
entsteht.
Die Breite des Streifens ist experimentell zu ermitteln und so groß zu wählen, daß die
gewünschte Erkennung der kleinsten vorkommenden Fehler möglich ist.
Die geometrischen Zusammenhänge sind in Bild 5 dargestellt.
Ein Fehler F im Vergleich zu Bild 3 erscheint nunmehr an zwei Stellen dunkel, weil
sowohl weniger als auch mehr ausgelenkte Strahlen im Fehlerbereich zu dunklen
Flächen 4 führen.
Um sehr große Flächen inspizieren zu können, ist es vorteilhaft mehrere Streifen
übereinander anzuordnen.
Dies ist in Bild 6 dargestellt in dem zwei Beobachterstandorte 3.1 und 3.2 mit zwei
übereinander angeordneten hellen und dunklen Streifen 4/5 korrespondieren.
Ähnliche Effekte wie oben dargestellt können auch erreicht werden durch eine
erfindungsgemäße Beleuchtungsstruktur aus Streifen, die senkrecht oder schräg zu
den betrachteten Oberflächen angeordnet sind.
In Bild 7 ist ein Beispiel für senkrechte Streifen dargestellt. Ein Fehler F markiert sich
wiederum durch dunkle Flecke in heller Umgebung oder umgekehrt, bzw. durch eine
Verzerrung der Leuchtdichtestruktur der Beleuchtungsvorrichtung 2.
Vorteile können auch erreicht werden, wenn waagerechte Hell-Dunkel-Kanten mit
schrägen oder senkrechten kombiniert werden, so daß helle und dunkle Felder
miteinander abwechseln. Dies ist besonders vorteilhaft für zweiachsig gekrümmte
Flächen.
Dies ist in Bild 8 dargestellt, bei der die Leuchtdichtestruktur der Beleuchtungs
vorrichtung 2 sich aus hellen und dunklen Feldern 4/5 darstellt.
In allen Anordnungen werden Fehler durch Verzerrungen der Hell-Dunkel-Kante
erkennbar oder durch das Entstehen heller Flecken in dunkler Umgebung, bzw. dunkler
Flecken in heller Umgebung.
Durch den Abstand der Hell-Dunkel-Kanten können Fehlstellen mit nur geringen
Abweichungen der Normalen von der regulären Ausrichtung getarnt werden und sind
ohne Veränderung des Beobachterstandortes nicht erkennbar.
Besonders gilt dies für gekrümmte, besonders zweiachsig gekrümmte Flächen z. B. an
Fahrzeugkarossen.
In solchen Fällen ist es besonders vorteilhaft, wenn in einer Weiterbildung der
Erfindung die Hell-Dunkel-Kanten bewegt werden.
Eine solche zeitliche und örtliche Veränderung der dargebotenen Struktur bewirkt, daß
Fehler über das gesamte Sehfeld aufblinken und wieder unauffällig werden, so eine
Dynamik der Fehlererkennung entsteht die einerseits die Fehlererkennung unterstützt
und andererseits Tarnzonen in denen Fehler nicht erkannt werden, vermeidet.
Die Bewegung der Hell-Dunkel-Kanten kann beliebig erreicht werden, z. B. durch
mechanisch bewegliche Blenden.
Weiterhin ist es möglich, bewegte Muster auf Projektionswände zu projektieren oder
die Durchlässigkeit von Leuchtflächen elektronisch, z. B. mittels LCD zu steuern.
Besonders interessante Ausführungen bewegter Hell-Dunkel-Kanten sind Dreh
scheiben mit Spiralmustern oder rotierende Zylinder mit umlaufenden schräg
angeordneten Streifen.
Auch Abbildungen derartiger bewegter Strukturen an hochglänzenden Spiegeln können
genutzt werden.
Vorteilhaft können auch Kombination zwischen feststehenden z. B. streifenförmigen
Hell-Dunkel-Kanten und bewegten Hell-Dunkel-Kanten sein.
Bild 9 und 10 zeigen eine bewegte Hell-Dunkel-Kante in Spiralform, Bild 11 und 12 in
Form spiralförmiger Streifen auf einem rotierenden Zylinder.
Bild 13 zeigt einer rotierenden Zylinder, der im Sehfeld durch eine Reflektoroptik
abgebildet wird.
In Bild 9 dreht sich eine leuchtende Scheibe 7 um den Mittelpunkt M. Zwei parallele
Kontrastkanten bilden die Spirale 8. Je nach Drehposition der Scheibe 7 haben die
Kontrastkanten eine andere Position.
In Bild 10 ist die Beobachtungsgeometrie dargestellt.
Bild 11 zeigt einen Zylinder 9 der sich um die Achse M dreht. Parallele Hell-Dunkel-
Kanten erzeugen eine Schraubenlinie 10, mit der sich die Hell-Dunkel-Kanten je nach
Drehposition des Zylinders bewegen.
Eine mögliche Beobachtungsgeometrie ist in Bild 12 dargestellt.
Bild 13 zeigt die Beobachtungsgeometrie für einen Zylinder, dessen Leucht
dichtestruktur mit Hilfe der Reflektoroptik 11 von einem Beobachter 3 betrachtet wird.
Der Beobachterstandort kann mit Hilfe einer Umlenkung des Beobachter
strahlenganges durch einen umlenkenden Hilfsspiegel verändert werden. Dies ist in
Bild 14 dargestellt, in dem ein Beobachter die in der Oberfläche 1 gespiegelte Hell-
Dunkel-Kante 6, bzw. die hellen und dunklen Flächen 4/5 über einen Umlenkspiegel 12
betrachtet.
Eine erfinderische Variante ist es weiterhin wenn bei beweglicher oder statischer
Leuchtdichtestruktur der Beleuchtungsvorrichtung die zu inspizierende Oberfläche
bewegt wird. Dies kann je nach Anforderungen eine transversale (Transport-)
Bewegung, eine kreisende oder schaukelnde Bewegung sein.
Die Bewegung der Oberfläche erlaubt es auf großen Oberflächen die Fehler sukzessiv
zu betrachten.
Bild 15 zeigt ein Beispiel für eine transversale Bewegung der Oberfläche 1 unter einer
Beleuchtungsvorrichtung 2 bestehend aus hellen 5 und dunklen Streifen 4. Ein
Beobachter 3 sieht die Fehler nunmehr in zeitlicher Folge.
Die dargebotenen Abbildungen der Hell-Dunkel-Kanten sind für eine visuelle
Abmusterung vorgesehen, jedoch ist es auch möglich, diese Abbildungen mit einer
Kamera aufzunehmen und mit einer entsprechenden Software auszuwerten.
Die hellen und dunklen Felder der Beleuchtungsvorrichtung können miteinander
vertauscht werden, so daß eine Umkehrung der Hell-Dunkel-Bilder entsteht.
Die Schwarz/weiß Kontraste können erfindungsgemäß unterstützt oder ersetzt werden
durch Farbkontraste.
Claims (22)
1. Beleuchtungsanordnung zur Inspektion auf matten, elektrisch leitenden oder matt
glänzenden zumindest in Teilabschnitten kontinuierlich verlaufenden Oberflächen zur
Erkennung von Fehlern, die mit einer Änderung des Verlaufs der Oberfläche verbunden
sind,
dadurch gekennzeichnet, daß
eine oder mehrere Hell-Dunkel-Kanten mindestens zeitweise in einem Winkel größer
60°, vorzugsweise 75° zur Normalen der zu inspizierenden Oberfläche als Spiegel für
einen Beobachter oder eine Kamera angeordnet sind.
2. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Hell-Dunkel-Kante Teil einer Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung
ist.
3. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Hell-Dunkel-Kante der Krümmung der zu inspizierenden Oberfläche folgt.
4. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung aus einem streifenförmigen
Feld besteht, das aus zwei im wesentlichen parallel zueinander ausgerichteten
Hell-Dunkel-Kanten besteht.
5. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 3,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung aus mehreren Hell-Dunkel-
Kanten besteht.
6. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung aus Hell-Dunkel-Kanten
senkrecht zur zu inspizierenden Oberfläche besteht.
7. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung aus Hell-Dunkel-Kanten
schräg zu der zu inspizierenden Oberfläche besteht.
8. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung aus einer Kombination
unterschiedlich angeordneter waagerechter, senkrechter oder schräger Hell-Dunkel-
Kanten besteht.
9. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 8,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung während der Inspektion
bewegt wird.
10. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung auf einer sich drehenden
Scheibe angeordnet ist.
11. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der sich drehenden Scheibe eine Spirale ist, die aus
mindestens zwei im wesentlichen zueinander parallel ausgerichteten Hell-Dunkel-
Kanten besteht.
12. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf einem sich drehenden Zylinder angeordnet ist.
13. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf dem sich drehenden Zylinder aus mindestens zwei im
wesentlichen zueinander parallel angeordneten Hell-Dunkel-Kanten besteht, die in
Schraublinien angeordnet sind.
14. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur der Beleuchtungsvorrichtung durch ein optisches System aus
Linsen und/oder Reflektoren auf die zu inspizierende Oberfläche gespiegelt wird.
15. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 14,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung durch Projektion auf eine
Bildwand erzeugt wird.
16. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 15,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur auf der Beleuchtungsvorrichtung sich aus einer Vielzahl in der
Leuchtdichte steuerbarer kleiner Flächen zusammensetzt.
17. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet, daß
die in der Leuchtdichte steuerbaren kleinen Flächen durch eine Anordnung
hinterleuchteter LCD′s bestehen.
18. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 1 bis 17,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zu inspizierende Oberfläche bewegt wird.
19. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zu inspizierende Oberfläche transversal bewegt wird.
20. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zu inspizierende Oberfläche rotierend bewegt wird.
21. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 18,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zu inspizierende Oberfläche schaukelnd bewegt wird.
22. Beleuchtungsanordnung nach Anspruch 18 bis 21,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Leuchtdichtestruktur der Beleuchtungsvorrichtung der Form des jeweils inspizierten
Flächenteils der bewegten Oberfläche angepaßt wird.
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996141349 DE19641349A1 (de) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | Beleuchtungsanordnung zur visuellen und automatisierten Inspektion von Oberflächenfehlern |
PCT/DE1997/002364 WO1998015815A1 (de) | 1996-10-08 | 1997-10-07 | Anordnung zur inspektion von matten ebenen und/oder gekrümmten oberflächen |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996141349 DE19641349A1 (de) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | Beleuchtungsanordnung zur visuellen und automatisierten Inspektion von Oberflächenfehlern |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19641349A1 true DE19641349A1 (de) | 1998-04-09 |
Family
ID=7808094
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1996141349 Withdrawn DE19641349A1 (de) | 1996-10-08 | 1996-10-08 | Beleuchtungsanordnung zur visuellen und automatisierten Inspektion von Oberflächenfehlern |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP0931255A1 (de) |
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WO (1) | WO1998015815A1 (de) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |