DE19637131A1 - Einrichtung zum Beurteilen von Reflexionsverhalten - Google Patents

Einrichtung zum Beurteilen von Reflexionsverhalten

Info

Publication number
DE19637131A1
DE19637131A1 DE19637131A DE19637131A DE19637131A1 DE 19637131 A1 DE19637131 A1 DE 19637131A1 DE 19637131 A DE19637131 A DE 19637131A DE 19637131 A DE19637131 A DE 19637131A DE 19637131 A1 DE19637131 A1 DE 19637131A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
focal plane
test
optics
light
reflection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19637131A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19637131C2 (de
Inventor
Michael Dr Becker
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
AUTRONIC MELCHERS GmbH
Original Assignee
AUTRONIC MELCHERS GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by AUTRONIC MELCHERS GmbH filed Critical AUTRONIC MELCHERS GmbH
Priority to DE19637131A priority Critical patent/DE19637131C2/de
Priority to PCT/EP1997/004000 priority patent/WO1998011424A1/de
Priority to EP97918942A priority patent/EP0925496B1/de
Priority to DE59708834T priority patent/DE59708834D1/de
Publication of DE19637131A1 publication Critical patent/DE19637131A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19637131C2 publication Critical patent/DE19637131C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/55Specular reflectivity
    • G01N2021/555Measuring total reflection power, i.e. scattering and specular

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Eine derartige Einrichtung ist aus der US-PS 5313542 bekannt. Sie dient insbesondere zur Qualitätsprüfung von Meßobjekten mit möglichst idealem Spiegelverhalten. Dafür wird dort ein Flä­ chenelement in der Spiegelfläche unter einem gewissen Einfalls­ winkel (gegenüber der Normalen in diesem Punkt) mit einem depo­ larisierten und teleskopisch fokussierten leistungsgeregelten Laserstrahl, also mit einem kollimierten (parallelen) Strahl kohärenten (gleichfrequenten) Lichts beleuchtet. Die Einfalls­ richtung dieses Teststrahles relativ zum Meßobjekt muß genau definiert sein und präzise eingestellt werden können, was er­ heblichen apparativen Aufwand für die geforderte mechanische Präzision und Reproduzierbarkeit des Meßvorganges bedingt.
Der unter dem Spiegelwinkel austretende Spiegelstrahl wird bei jenem System in einer Lichtfalle absorbiert. Bei nicht-idealem Spiegelverhalten im Reflexionspunkt verbleibt Streustrahlung unter verschiedenen vom (durch den Einfallswinkel definierten) Spiegelwinkel abweichenden Richtungen. Solches Streulicht wird mittels einer hohlkugelkappen-ähnlichen Detektor-Aufnahmeoptik erfaßt, die außerhalb des Spiegelstrahles, neben der Lichtfalle angeordnet ist und mit ihrem Hohlkugel-Mittelpunkt im Reflexi­ onspunkt liegt. Normal zu der Kugelinnenfläche enden Lichtleit­ fasern, die unter räumlich gegeneinander versetzten Winkeln ebenfalls alle auf jenen Reflexionspunkt gerichtet sind. Die anderen Enden der Fasern dienen einer Abbildung der aufgenomme­ nen Strahlungsverteilung auf einem Sensor-Array aus einigen in einer Ebene angeordneten Detektorelementen, so daß eine eindeu­ tige Zuordnung zwischen der Position des von mehreren einander benachbarten Fasern angeregten Detektorelementes und der Rich­ tung relativ zur optischen Achse jener Faseroptik besteht. Da­ durch wird das Array zu einem Empfänger mit großer Apertur. Die an sich möglichst groß anzustrebende Detektor-Apertur ist in der Praxis allerdings durch technische Gegebenheiten bei der Bearbeitung der Glasfasern begrenzt.
In den Detektorelementen wird die in der jeweiligen Richtung vor der Spiegelfläche auftretende Streulichtintensität in elek­ trische Energie umgesetzt, die meßtechnisch erfaßt und weiter­ verarbeitet werden kann. Das Ergebnis ist eine "zweidimensiona­ le" Streucharakteristik, weil Streulichtanteile sowohl in der wie auch außerhalb der Einfallsebene (definiert durch den be­ leuchtenden Strahl und die Normale zum beleuchteten Flächenele­ ment) erfaßt werden.
Für reproduzierbare Messungen muß also nicht nur eine sehr de­ finierte Ausrichtung des Teststrahl-Lasers erfolgen, sondern relativ dazu auch der Lichtfalle und der Detektoroptik auf ex­ akt den selben Punkt; und das auch noch bei aufeinanderfolgen­ dem Anfahren einer möglichst dichten Staffelung von über die nutzbare Spiegelfläche verteilten Reflexions-Testpunkten.
Zwar kann mit der gattungsbildenden Einrichtung ohne zusätzli­ che mechanische Verstell-Maßnahmen, allein durch die große Apertur des Empfängersystems, die Richtungsverteilung des re­ flektierten Lichtes in einem gewissen Raumwinkel auch außerhalb der Einfallsebene gemessen und zur quantitativen Beziehung zwi­ schen eingestrahlter und gestreut reflektierter Energie für die Beurteilung der Qualität des fast idealen Spiegels ausgewertet werden. Jedoch ist dieser Bereich, über den dort die Licht­ streuung durch das Meßobjekt ohne mechanische Verstellung der Detektor-Optik gemessen werden kann, für die Anforderungen etwa der Anzeigentechnologie immer noch zu begrenzt, da viele elek­ trooptische Anzeigesysteme und insbesondere Flüssigkristall-An­ zeigeelemente ihre wesentlichen Reflexionsanteile nicht nur vom Deckglas sondern auch von hinter einer transparenten Deckebene gelegenen streuenden Strukturen erhalten. Sie sind deshalb vom Verhalten idealer Spiegel weit entfernt. Solche Display-Objekte weisen vielmehr gewollt einen erheblichen diffusen Reflexions­ anteil auf, und deren visuelle Performance ist als am besten zu bewerten, wenn eine derart diffuse Reflexion auftritt, daß eine aus der Umgebung störend einstrahlende (Punkt-)-Lichtquelle hinreichend gestreut wird, ohne die räumliche Definition des gerade dargestellten Zeichens zu sehr zu verwischen. Das gilt besonders bei transmissiv betriebenen Flüssigkristall-Anzeigen, da bei denen die im allgemeinen unvermeidlichen Streulichtan­ teile vor allem durch die gewollte Streuung an einer mikrosko­ pisch rauhen Entspiegelungsschicht auf der obersten Anzeige­ schicht und an winzigen Strukturen innerhalb der Flüssigkri­ stallschicht, also erst unterhalb des Deckglases entstehen. Je­ ne Reflexionsanteile reduzieren bei transmissiven Anzeigen stets den Nutzkontrast. Auch können die mittels des transmissi­ ven Lichtes vermittelten Nutzinformationen in ihrer räumlichen Auflösung leiden, wenn z. B. eine zu starke Streuung an einem Anti-Glare-Belag auftritt, wie er in der Anzeigepraxis häufig zur Unterdrückung von Spiegelreflexen aufgebracht wird.
Ein Erfassen von solchen (Streu-)-Reflexionen über einen weite­ ren Bereich von Austrittswinkeln für jeden gerade vorgegebenen Einfallswinkel erfordert unterschiedliche Orientierungen der Detektor-Optik, also trotz der hohen Apertur dieser Empfänger­ optik noch zusätzlich eine mechanische Winkelabtastung über den reflex-bestrahlten Halbraum. Dabei ist eine Bewegung der Optik um den Spiegelstrahl herum ohne Abschattung des einfallenden Teststrahles nur bei großen Einfallswinkeln möglich.
Auch ist das Spiegelverhalten auf Laser-Bestrahlung, selbst wenn sie wie erwähnt nach Möglichkeit depolarisiert wurde, we­ nig repräsentativ für die ergonomische Qualität etwa einer nicht hinreichend entspiegelten Oberfläche vor einer visuell aufzunehmenden (Bildschirm-)-Informationsdarstellung im weißen (unkohärenten) Umgebungslicht, dem sich in der Praxis je nach Abstand und Ausdehnung einer realen Störlichtquelle Bündel aus diffusen bis kollimierten Elementarstrahlen überlagern.
Gerade bei der Diskussion um ergonomische Sichtgeräte-Standards (vgl. M. Menozzi und H. Krüger "Reflexionen am Bildschirm - Be­ urteilung der Oberflächeneigenschaften"; Seiten 240 bis 245 in ZEITSCHRIFT FÜR ARBEITSWISSENSCHAFT 1990/4) geht es nämlich um die ermüdenden Einflüsse der vielfältigen Raumlicht-Reflexe auf dem Sichtschirm. Denn die visuelle und somit die ergonomische Leistungsfähigkeit insbesondere von Anzeige-Elementen, wie sie für elektro-optische Bildschirme eingesetzt werden (z. B. Katho­ denstrahlröhren oder Flüssigkristallanzeigenelemente), ist er­ fahrungsgemäß wesentlich davon abhängig, wie parasitäre Weiß­ lichtquellen (z. B. der Raumbeleuchtung, der Fenstereinstrah­ lung, etc.) von diesen Bildschirmen reflektiert werden.
Wie in der kürzlich vorgestellten Arbeit des NIST (National In­ stitute of Standards and Technology) ausführlich dargestellt ist (siehe: Specular and Diffuse Reflection Measurements of Electronic Displays, G. R. Jones, E. F. Kelley and T. A. Germer in SID96 Digest, Seite 203), sind aber die gegenwärtig bekann­ ten integralen Verfahren nicht ausreichend, um die komplexen Reflexionen insbesondere von Bildschirmen in LCD-Technik bei unterschiedlichen Beleuchtungsverhältnissen zu messen und zu bewerten. Qualitätsanforderungen sind sinnvollerweise jedoch nur dann und insoweit formulierbar, als einfach anwendbare Me­ thoden zur meßtechnischen Vergleichsbeurteilung konkurrierender Produkte verfügbar sind.
Deshalb liegt vorliegender Erfindung die technische Problematik zugrunde, Verfahren bzw. Einrichtungen anzugeben, die rasch und reproduzierbar eine quantitative Beurteilung der ergonomischen Qualität von Objekten wie insbesondere von elektro-optischen Anzeige-Elementen erlauben.
Diese Aufgabe ist erfindungsgemäß im wesentlichen durch die Maßnahmen gemäß dem Hauptanspruch gelöst. Die führen bei hand­ habungstechnisch leicht und in weiten Winkelbereichen einstell­ baren Beleuchtungsbedingungen zur schnellen und reproduzier­ baren, aussagekräftigen meßtechnischen Bewertung von diffusen Reflexionsanteilen neben dem regulären Reflexionsanteilen über einen weiten Bereich von Reflexionswinkeln. Dabei erübrigen sich nun die bisherigen, apparativ aufwendigen mechanischen Winkel-Positioniererfordernisse mittels Drehverstellern hin­ sichtlich Lichtquelle und Empfängersystem relativ zum Meßob­ jekt. Jene Dreh-Positioniermittel sind jetzt ersetzt durch ein optisch abbildendes System nach dem Prinzip einer invers betriebenen kollimierenden Optik. Mittels der wird ein, in die bildseitige (hintere) Brennebene eingekoppelter, divergierender Strahl in einen parallelen Teststrahl - bzw. ein paralleler Strahl in einen konvergierenden Teststrahl - zur Beleuchtung des Meßobjektes umgewandelt. Eine Variation der Bestrahlungs­ richtung (also des Teststrahl-Einfallswinkels) erfolgt nun durch bloße Linear-Verschiebung der Anregung (Lichtquelle) in jener Brennebene. Durch die Lage des Testpunktes in der vorde­ ren Brennebene der kollimierenden Optik ist bereits sicherge­ stellt, daß der einfallende wie auch der austretende Strahl beide das gleiche Flächenelement auf dem Testobjekt betreffen, so daß nun auch der Aufwand für eine individuelle Einstellung und Justage von einfallenden und gespiegelten Strahlen ent­ fallen ist.
Zwar ist es aus der JP-A 5/288638 schon als solches bekannt, einen umgelenkten fokussierten Strahl zur Beleuchtung für einen LCD-Test einzusetzen. Dort wird die zweidimensionale Luminanz­ verteilung gemessen - wobei es regelmäßig darum geht, aus zwei Luminanzverteilungen die entsprechende Kontrastverteilung zwi­ schen zwei unterschiedlichen Ansteuerungszuständen zu ermit­ teln, typisch bei eingeschaltetem und bei ausgeschaltetem (dort nicht transmissiv sondern reflektiv betriebenem) Display. Die dabei meßtechnisch erfaßten Effekte sind jedoch durch die kri­ stalloptischen Eigenschaften verursacht, nicht durch beabsich­ tigte und/oder parasitäre Streueffekte auf der Oberfläche und im Innern der Anzeige.
Es geht bei vorliegender Erfindung also nicht um eine, von den jeweiligen kristalloptischen Eigenschaften bestimmte, Kontrast­ beurteilung, sondern um die sich überlagernden Streueigenschaf­ ten unterschiedlicher optischer Grenzflächen (einschließlich der Anzeige-Oberfläche) bei optoelektronischen Anzeigen, insbe­ sondere bei Flüssigkristall-Displays. Über deren (nicht-idea­ les) Streuverhalten, oder gar über dessen meßtechnische Erfas­ sung, ist in jener JP-Publikation aber noch garnichts offen­ bart; auch nichts über eine unmittelbare Teststrahl-Einkoppe­ lung eines divergierenden Strahles bzw. eines umgelenkten par­ allelen Strahles (ohne Erfordernis einer Fokussieroptik) mit variabler Strahl-Geometrie.
Für eine klare, visuell ermüdungsfrei aufzunehmende Informati­ onsdarstellung beim Betrachten eines aktiven oder passiven elektrooptischen Bildschirmes als dem Meß-Objekt ist nämlich anzustreben, daß der gesamte einfallende Lichtstrom möglichst gleichmäßig diffus gestreut wird und dadurch der Spiegelstrahl in seiner Wirkung möglichst abgeschwächt oder gar wirkungslos gemacht wird. Eine parasitäre Lichteinstrahlung aus der Umge­ bung soll bei ihrer Reflexion auf dem Display nämlich möglichst derart zerstreut werden, daß nur ein geringer Anteil in das Au­ ge des Betrachters gelangt, der überwiegende Anteil der einge­ strahlten Störenergie aber in alle anderen Richtungen abgelenkt wird. Die Störeinstrahlung wird durch einen Teststrahl simu­ liert.
Der Teststrahl stammt nun vorzugsweise aus einer Weißlicht-Quelle in der bildseitigen Brennebene der kollimierenden Optik. Er führt je nach seiner einstellbaren Strahlgeometrie gezielt zu einer parallelen bzw. zu einer variabel konvergierenden Punktbeleuchtung. Die Einfallsrichtung des Teststrahles ist nach Maßgabe der Position der Lichteinkopplung in die bildsei­ tige Brennebene der kollimierenden Optik des konoskopischen Sy­ stemes veränderbar. Der Durchmesser des beleuchtenden Strahls und damit die Größe des beleuchteten Flächenelementes (des Re­ flexionsfleckes) ergeben sich aus dem veränderbaren Öffnungs­ winkel eines divergierenden Quellstrahls. Dafür ist eine mecha­ nische oder elektrooptische Blende, welche die Divergenz und Querschnittsform des Strahles falls nötig begrenzt, bzw. eine Linse oder ein anderes optisches System zum Erhöhen der Strahl­ divergenz vorgesehen. Der Raumwinkel, den der beleuchtende Teststrahl überstreicht, wird durch die Größe der Teststrahl-Quer­ schnittsfläche in der bildseitigen Brennebene eingestellt.
Das zur Beleuchtung verwendete kollimierende Objektiv dient auch gleich noch dazu, die parallelen Elementarstrahlenbündel, die vom Meßfleck reflektiert werden, aufzunehmen und über ein weiteres optisches System auf eine zweidimensionale Detektoran­ ordnung abzubilden. Dargestellt wird dabei die zweidimensionale Intensitätsverteilung in der hinteren (bildseitigen) Brennebene des kollimierenden Objektives. Mittels einer einstellbaren Pu­ pille kann der Durchmesser des parallelen Meßstrahlbündels ein­ gestellt werden. Damit dabei nicht nur das zentrale Strahlen­ bündel parallel zur optischen Achse erfaßt wird, sondern die Gesamtheit der Strahlenbündel, ist noch eine Feldlinse hinzuge­ fügt.
Statt des in sich parallelen, definiert auf die Oberfläche ge­ richteten Teststrahles (entsprechend einer dezidierten, klein­ flächigen Störlichtquelle aus großem Abstand) kann im Rahmen vorliegender Erfindung also auch eine zwischen gerichtet und diffus einstellbare konische Beleuchtung mit zweidimensionaler Richtungsverteilung über die kollimierende Optik erfolgen (ent­ sprechend einer allgemein hellen Arbeitsplatz-Umgebung oder entsprechend großflächiger Störlichtquellen wie im Falle des Lichteinfalles durch ein Fenster, von einer hell reflektieren­ den Wand oder von einer größeren Deckenbeleuchtung). Dafür wird nun ein kollimierter Lichtstrahl über einen großflächigen nicht polarisierenden Strahlteiler (d. h. Strahlteiler-Würfel oder Strahlteilerplatte) in die hintere Brennebene der Optik des ko­ noskopischen Systems eingekoppelt und durch dieses in einen nun konisch konvergierenden Teststrahl transformiert. Die Einfalls­ richtung dieses beleuchtenden Lichts wird wieder über die Posi­ tion der Lichteinkopplung in der hinteren Brennebene und die Größe des beleuchteten Flecks über den Öffnungswinkel des be­ leuchtenden Strahls eingestellt. Denn eine Divergenz des ein­ fallenden Strahls macht sich als eine Vergrößerung des damit ausgeleuchteten Flächenelements bemerkbar. Da wieder durch Aus­ blenden von Teilen des kollimierten Quellstrahles nach Posi­ tion, Form und Größe eine beliebige Beleuchtung für den Meß­ fleck erzeugt werden kann, sind alle möglichen Beleuchtungssi­ tuationen, einschließlich der Extremfälle diffus und gerichtet konisch, durch entsprechendes Formen des Lichtstrahles reali­ sierbar. Diese Formgebung kann sehr flexibel durch mechanische (z. B. absorbierende dünne Schichten bzw. Filme oder mechanische Lochblenden, die motorisch ausgetauscht bzw. in ihrer Lage und Form verändert werden) oder durch elektro-optische Elemente (z. B. LCDs) im Strahlengang erfolgen. Leuchtet der kollimierte (parallele) Quell-Lichtstrahl die hintere (bildseitige) Brenn­ ebene vollständig aus, so wird der gesamte, von der Linsenoptik überdeckte Öffnungswinkelbereich ausgeleuchtet, d. h. eine dif­ fuse Beleuchtung für das gerade reflektierende Flächenelement erzeugt. So sind prinzipiell alle möglichen Beleuchtungssitua­ tionen einschließlich der Extremfälle diffus und gerichtet ko­ nisch durch entsprechendes Formen des Quell-Lichtstrahles zu realisieren.
Wenn das Reflexlicht von einem Objekt, das auf seiner Oberflä­ che eine Polarisatorfolie trägt (wie im Falle aller kommerziell interessanten TN- und STN-Flüssigkristallanzeigen) über den er­ wähnten einen großflächigen Strahlteiler auf den Detektor fällt, dann sollte das Licht vor dem Strahlteiler depolarisiert werden, um eine Abhängigkeit des Meßergebnisses von der azimu­ talen Orientierung des Meßobjektes (also von einer Drehung um die Flächennormale im Meßpunkt) zu vermeiden. Diese störende Abhängigkeit kürzt sich zwar im Zuge einer Kontrastmessung bei der Quotientenbildung wieder heraus, aber in einer gemessenen Luminanzverteilung würde sie sonst als Fehler enthalten blei­ ben. Zur Depolarisierung kann aber auch in der hinteren (bild­ seitigen) Brennebene der kollimierenden Optik eine faseropti­ sche Lichtleiterplatte angebracht sein.
Bei anisotrop reflektierenden Meßobjekten (z. B. LCDs mit Pola­ risatorfolien) sollten aber auf jeden Fall vorsorglich zwei voneinander unabhängige Messungen durchgeführt werden: Die Einfallsebene sollte einmal senkrecht und einmal parallel zur Anisotropieachse (z. B. zur Transmissionsrichtung der oberen Po­ larisationsfilterfolie) des Meßobjekts eingestellt werden.
Gemessen und aufgezeichnet wird entweder die Leuchtdichte (Lu­ minance L) oder die Lichtstärke (luminous Intensity I) des auf­ genommenen Reflex- und Streulichts über dessen Orientierung, mit dem Einstrahlwinkel des Teststrahles als Parameter. Zur Messung der Lichtstärke ist dabei darauf zu achten, daß der Durchmesser des vom einfallenden Teststrahl ausgeleuchteten Fleckes kleiner ist als der Meßfleck der Empfängeroptik, so daß für alle Einfallsrichtungen des Teststrahles der gesamte be­ leuchtete Fleck (Flächenelement auf dem Meßobjekt) vom Empfän­ ger erfaßt wird. Zur Messung der Leuchtdichte (Luminanz) dage­ gen sollte für alle Einfallsrichtungen des Teststrahles der vom einfallenden Strahl gleichmäßig ausgeleuchtete Fleck auf dem Meßobjekt größer sein, als der dann vom Empfänger erfaßte Be­ reich, der durch die Pupille der zweiten Optik bestimmt wird. Dadurch entfällt bei dieser Messung eine sonst störende Abhän­ gigkeit vom Teststrahl-Durchmesser.
Für die numerischen Auswertungen bei den beiden Meßmethoden werden zusätzlich zum Meßobjekt (z. B. einem Bildschirm auf CRT- oder auf LCD-Basis) noch mindestens zwei Referenzobjekte ausgemessen und als Bezug für die Auswertung herangezogen, näm­ lich ein kalibrierter ideal-diffuser Reflektor (z. B. ein weißer Papierschirm, möglichst jedoch eine Fläche aus MgO, BaSO4) so­ wie als kalibrierter ideal-spiegelnd reflektierender Standard ein poliertes schwarzes Glas (z. B. Schottglas ND1) mit hoher Absorption und bekannter Brechzahl. Mittels dieser beiden Refe­ renzobjekte können aber auch Nichtidealitäten der Meßanordnung zur Kompensation erfaßt werden, wie etwa die Abhängigkeit der winkelabhängigen Intensitätsverteilung vom Durchmesser des Teststrahles im Falle der Lichtstärke-Messung, bei welcher die Größe des beleuchteten Fleckes geringer ist als die des Meß­ fleckes. Solche die Meßergebnisse verfälschenden Störeinflüsse mußten bei den bisher bekannten Verfahren stillschweigend in Kauf genommen werden; gemäß den erfindungsgemäßen Vergleichs­ messungen kompensieren sie sich nun, wodurch wesentlich allge­ meiner gültige Aussagen erzielt werden.
Die Berechnung des diffusen Reflexionsfaktors (gemäß DIN 5036) und des gerichteten Reflexionsgrades erfolgt also aus den ge­ messenen ein- oder zweidimensionalen bidirektionalen Reflexver­ teilungs-Funktionen (BRDF) durch Vergleich mit jeweils einem möglichst ideal diffusen und einem möglichst ideal spiegelnden Standard. Durch den Bezug auf kalibrierte Standard-Meßobjekte ist das in dieser Erfindung beschriebene Verfahren, im Gegen­ satz zu den in der gattungsbildenden Publikation als bisher be­ kannt beschriebenen und untersuchten Verfahren, extrem stabil und reproduzierbar. Auch Nichtidealitäten des Meßgerätes ein­ schließlich der Empfängeroptik können durch Messung von bekann­ ten und kalibrierten Standards (z. B. ideal diffus reflektie­ render Reflektor) ermittelt und rechnerisch kompensiert werden.
Zur weiteren Offenbarung der Erfindung und ihrer Abwandlungen wird auf die weiteren Ansprüche und auf nachstehende Zeich­ nungs-Beschreibung samt ihrer Zusammenfassung am Ende ausdrück­ lich verwiesen, auch was die anwendungsorientierten Vorteile der stark vereinfacht symbolisch skizzierten Meßanordnungen be­ trifft. In der Zeichnung zeigt, schematisch auf das Prinzipi­ elle reduziert und nicht maßstabsgerecht,
Fig. 1 einen Meßaufbau mit im wesentlichen parallelem Test-Strahl,
Fig. 2 einen entsprechenden Meßaufbau mit gerichtet-konischem bis diffusem Test-Strahl und
Fig. 3 eine detailliertere und allgemeiner gültige Darstellung eines Linsensystemes zur Abbildung auf ein Detektor-Array für die Anordnungen nach Fig. 1 oder nach Fig. 2.
Der in der Zeichnung dargestellte Aufbau symbolisiert eine Ein­ richtung zum meßtechnischen Erfassen des Reflexionsverhaltens eines reflektierenden Objektes 14, das auf Beleuchtung durch einen Teststrahl 15 mit Streustrahlen 11 (diffuse Reflexi­ ons-Komponenten) sowie mit einem Spiegelstrahl 12 (reguläre oder spekulare Komponente) reagiert. Die Brauchbarkeit einer elektrooptischer Anzeige als dem Objekt 14, und dabei insbeson­ dere die Perfomance von Flüssigkristalldisplays oder von Katho­ denstrahlanzeigen, hängt, wie oben schon dargelegt, vom Inten­ sitätsverhältnis jener Komponenten ab. Eine Optimierung ver­ langt eine leicht zu handhabende und zuverlässige Meßeinrich­ tung für die Beurteilung der allgemeinen Bildschirm-Streueigen­ schaften.
Das Meßobjekt 14 ist ein Displayelement oder ein repräsentati­ ver Ausschnitt aus einem sonstigen Bildschirm, bzw. ein Ver­ gleichs-Normreflektor mit ideal spiegelndem bzw. ideal diffus reflektierendem Verhalten. Das Meßobjekt 14 wird in der Bei­ spielsdarstellung der Fig. 1 und Fig. 2 geneigt gegenüber der Normalen mit einem Teststrahl 15 beaufschlagt, dessen Durchmes­ ser die Größe des beleuchteten Flächenelementes 18 bestimmt und deshalb variabel (definiert einstellbar) ist. Der Strahl-Ein­ fallswinkel w1 ist bekanntlich gleich dem Austrittswinkel w2 seines in der Einfallsebene liegenden Spiegelstrahles 12, je­ weils gemessen gegenüber der Normalen 16 auf den aktuellen Re­ flexionspunkt (dem genannten Flächenelement 18) des Meßobjektes 14. Wie eingangs schon näher dargelegt gilt für derzeit ge­ bräuchliche Bildschirmtechniken, daß eine vergleichsweise mög­ lichst schwache spekulare Reflexion (in Form des regulären Spiegelstrahles 12) inmitten kräftiger diffuser Streustrahlen 11 angestrebt wird, die auch außerhalb der (hier in der Zei­ chenebene liegenden) Strahl ebene und unter verschiedenen vom Austrittswinkel w2 abweichenden Winkeln w′ auftretenden. Des­ halb ist ein Detektor-Array 17 zur optoelektrischen Umsetzung der darauf einfallenden Strahlung zweidimensional (also auch quer zur Zeichenebene) mit Detektorelementen bestückt, um als Reaktion auf die Einstrahlung eines definiert geneigten Test­ strahles 15 gegen die Objekt-Oberfläche 13 sowohl die Vertei­ lung des primär interessierenden Streulichtes wie auch der un­ vermeidlich überlagerten Reflexionskomponente aus reflektieren­ den Schichten unter der Objekt-Oberfläche 13 zu erfassen.
Wegen der Nichtidealitäten des optischen Systems ist es wie schon erwähnt praktisch nicht möglich, die Größe des Meßfleckes unabhängig vom gerade gewählten Einfallswinkel w1 konstant zu halten. Für die Messungen gemäß vorliegender Erfindung ist eine Variation des Flächenelementes 18 letztlich nun aber ohne Aus­ wirkung, da für jeden erfaßten Einfallswinkel w1 auch Kalibra­ tionsmessungen mit ideal reflektierenden und mit ideal streu­ enden Reflektoren aufgezeichnet werden. Ohnehin sind Größe und Form des beleuchteten Flächenelementes 18 in Abhängigkeit vom Einfallswinkel w1 nur für die Lichtstärke-Messung relevant, da hierbei der Meßfleck größer sein soll, als das beleuchtete Flä­ chenelement 18.
Für die Messung erfolgt die Beleuchtung des Meßobjektes 14 mit dem Teststrahl 15 über den inversen Strahlengang eines konosko­ pischen Systems 19 mit kollimierender Optik 20. Bei dieser han­ delt es sich bekanntlich um ein aufwendiges Linsensystem, des­ sen grundsätzliches Verhalten in der Zeichnung mittels des geo­ metrischen Strahlenganges durch eine symmetrisch-bikonvexe Lin­ se veranschaulicht ist. In ihrer objektseitigen Brennebene F20 ist das Meßobjekt 14 angeordnet; vorzugsweise derart, daß seine Normale 16 auf das bestrahlte Flächenelement 18 mit der opti­ schen Achse 21 des Systems 19 zusammenfällt. In der bildseiti­ gen Brennebene F′20 liegt wenigstens eine gegen die Optik 20 gerichtete, möglichst unpolarisiertes Licht abstrahlende Quelle 22. Wegen der endlichen Ausdehnung der Lichtquelle 22 verlaufen die Randstrahlen parallel zum divergierenden Haupt-Strahl 23. Dessen Licht ist im allgemeinen weiß; vorzugsweise weist es aber eine spektrale Verteilung auf, die für die aktuelle Meß­ aufgabe individuell den realen Einsatzbedingungen des Objektes 14 angepaßt ist. Ein gemäß Fig. 1 divergierender Lichtstrahl 23 wird von der Optik 20 nach der Gesetzmäßigkeit des konoskopi­ schen Systems 20 in ein paralleles Strahlenbündel umgesetzt, das hier als Teststrahl 15 dient. Da dessen Einfallswinkel w1 nur bei einer infinitesimal kleinen Lichtquelle 22 über dem Strahl-Querschnitt Q konstant ist, sind in der Zeichnung auch die in der Praxis einer Lichtquelle endlicher Ausdehnung davon abweichenden Strahlrichtungen gestrichelt angedeutet.
Für den ausgezogen dargestellten regulären Strahlengang ergibt sich aus der Zeichnung ohne weiteres die geometrische Beziehung zwischen dem Einfallswinkel w1 des prinzipiell parallelen Test­ strahles 15 und dem Querabstand der wirksamen Lichtquelle 22 von der Achse 21 der Optik 20. Somit läßt sich über eine unpro­ blematisch realisierbare Linear-Verlagerung des Licht-Strahlers 22 in der bildseitigen Brennebene F′20 der mittlere Einfalls­ winkel w1 des Teststrahles 15 präzise und reproduzierbar ein­ stellen. Das ist besonders einfach durchführbar, wenn der Strahler 22 durch das abstrahlseitige Stirnende eines flexiblen Lichtleiters 24 realisiert ist, der seinerseits aus einer ab­ seits installierten optischen Quelle 25 gespeist werden kann, wie in der Zeichnung berücksichtigt. Eine (gegebenenfalls ver­ stellbare) Blende 26 dient der Durchmesser-Einschränkung bzw. Formgebung des divergierenden Quell-Strahles 23 und somit der Querschnittsbestimmung (Q) des Teststrahles 15. Denn die Diver­ genz des eingekoppelten Lichtstrahls 23 in der hinteren Brenn­ ebene F′20 bestimmt den Durchmesser des Teststrahls 15, der das Meßobjekt 14 beleuchtet, und damit die Größe des darauf ausge­ leuchteten Fleckes (Element 18).
Statt einer körperlichen (z. B. motorischen) Verschiebung eines einzigen Strahlers 22 kann aber grundsätzlich auch (nicht ge­ zeichnet) eine Mehrzahl von möglichst punktförmigen weißen Lichtquellen als Strahlern hinter Blenden in der Brennebene F′20 fest installiert und selektiv direkt elektrisch speisbar sein. Die Strahler (22) müssen nicht selbst direkt und koaxial zum auf die Optik 20 treffenden Lichtstrahl 23 in der bildsei­ tigen Kollimations-Brennebene F′20 positioniert sein, es ist auch eine winklige Einspiegelung über abgebogene Lichtlei­ ter-Enden oder über eine Umlenkoptik möglich.
Das von der Quelle 25 gelieferte (praktisch) weiße Licht bedarf keiner Depolarisierung vor seiner Einstrahlung in das zu testende Objekt 14. Dagegen ist das reflektierte Streulicht po­ larisiert, was zu Verfälschungen der Meßergebnisse führen kann.
Zur Depolarisierung des vom Meßobjekt 14 reflektierten Lichts (Strahlen 11, 12) wird deshalb zweckmäßigerweise in oder bei der hinteren Brennebene F′20 z. B. eine faseroptische Bild­ leiterplatte 38 angeordnet (die aus einer Vielzahl einzelner Lichtleitfasern besteht; nicht gezeichnet).
Das in der objektseitigen Brennebene F20 der kollimierenden Op­ tik 20 liegende ebene Flächenelement 18 erzeugt gemäß der ge­ zeichneten Strahlengeometrie in deren bildseitiger Brennebene F′20 (der sogenannten Fourier-Ebene) über die konvergierenden Bildstrahlen 27 eine winkelabhängige zweidimensionale Intensi­ tätsverteilung der reflektierten Komponenten, die bei der Mes­ sung der Richtungsabhängigkeit der optischen Eigenschaften etwa eines Flüssigkristall-Display z. B. durch kristalloptische In­ terferenzeffekte bestimmt ist. Jeder Bildpunkt 28, 29 in diesem Muster entspricht folglich einer Richtung des reflektierten Lichts; wobei die Umgebung des dem Spiegelstrahl 12 zugeordne­ ten Bildpunktes 28 überlagert ist von Bildpunkten 29 der vom Spiegelstrahl 12 um die Streuwinkel w′ abweichenden Streustrah­ len 11 gleicher Teststrahl-Herkunft.
Das vergleichsweise großflächige zweidimensionale Intensitäts­ muster in der hinteren Brennebene F′20 wird (gemäß den zeichne­ risch skizzierten Projektionsstrahlen 31) auf eine Detektorebe­ ne 32 abgebildet. Dazu dient eine (für gute Abbildungsqualität aus mehreren Linsen kombinierte, hier aber vereinfacht skiz­ zierte) Optik 30, deren Gegenstandsabstand zur Interferenz-Ebe­ ne (F′20) ein großes Vielfaches der Brennweite der Abbildungs-Linse 30 ist, damit ein verkleinertes Bild nahe der hinteren Brennebene F′30 entsteht, weil das Array 17 nur in kleineren Flächenabmessungen kommerziell verfügbar ist. Die Lagen der Brennebenen F, F′ stellen bei Fig. 1 und bei Fig. 2 Sonderfälle dar, die zwar vorteilhaft aber nicht zwingend sind; Fig. 3 dage­ gen berücksichtigt diesbezüglich einen allgemeiner gültigen Strahlengang. Aber auch die Koinzidenz der Brennebenen F40=F′20 ist nicht zwingend. Die tatsächliche Lage der Feldlinse 40 ergibt sich aus dem zur Verfügung stehenden Platz. Ebenfalls aus Platzgründen kann die Blende 37 auch vor der Brennebene F′20 angeordnet sein.
In der vereinfachten Darstellung der Zeichnung stimmt der be­ leuchtete Fleck (Flächenelement 18) mit dem Meßfleck überein. Wie in Fig. 3 noch einmal detaillierter dargestellt gilt ganz allgemein im Rahmen vorliegender Erfindung, daß das vom Meßob­ jekt 14 reflektierte Licht von der kollimierenden Optik 20 über den gesamten Bereich des Öffnungswinkels gesammelt und in die hintere Brennebene F′20 abgebildet wird. Dabei entspricht jedem Punkt in der Brennebene F′20 eine Ausbreitungsrichtung des vom Meßfleck (Element 18) kommenden Lichtes (Strahlen 11, 12). Die örtliche Intensitätsverteilung in der Brennebene F′20 ent­ spricht deshalb der Richtungsverteilung (w2, w′) des reflektier­ ten und des gestreuten Lichtes (12, 11). Durch ein Linsensystem 30/40 wird die örtliche Intensitätsverteilung verkleinert in der Detektorebene 32 auf das zweidimensionales Detektorarray 17 (z. B. eine Videokamera) abgebildet. Deren elektrischen Aus­ gangs-Signale 34 können dann einer elektronischen Schaltung zur Auswertung zugeführt werden.
Gemäß Fig. 3 weist jenes verkleinernde Abbildungs-Linsensystem eine Abbildungs-Optik 30 einschließlich einer einstellbaren Pupille (Irisblende 39) zur Festlegung des Durchmessers der Strahlen 11, 12 auf. Damit die Pupillen-Wirkung sich nicht auf das zentrale Strahlenbündel beschränkt, sondern für die Abbildung auch die davon abweichenden Strahlenbündel durch die Blende 39 hindurch erfaßt werden, ist vor der Pupillen-Blende 39 noch eine Feldlinse 40 relativ nahe bei der hinteren Brenn­ ebene F′20 angeordnet.
Die Anordnung der Detektorelemente 33 werden also in Abhängig­ keit von der Intensitätsverteilung in der hinteren Brennebene F′20 der kollimierenden Optik 20 (unmittelbar; oder über ein hier beginnendes faseroptisches Lichtleitsystem zu abseits po­ sitionierten Detektoren 33) angeregt. Die elektrischen Detek­ tor-Ausgangssignale 34 geben somit die Intensitätswerte der aus der momentanen Test-Bestrahlung resultierenden Reflexionsantei­ le wieder.
Um auch besonders hoch auftretende Dynamik zwischen Spiegel­ lichtanteilen und Streulichtanteilen (28, 29) zu beherrschen, ist für das Array 17 der Einsatz von CCD-Kameras mit Anti-Bloo­ ming-Verhalten zu bevorzugen. Denn bei denen wird ein überspre­ chen von übersteuerten Detektorelementen auf benachbarte (noch nicht voll ausgesteuerte) Elemente vermieden, wie es vorkommt, wenn die geringen Intensitäten diffuser Anteile zum Absetzen vom Hintergrund-Rauschen mit vergrößerter Empfindlichkeit (z. B. mit verlängerter Belichtungszeit) aufgenommen werden. Dabei wird eine Übersteuerung derjenigen Elemente in Kauf genommen, die vom Spiegelanteil (Strahl 12) angeregt werden; durch eine zusätzliche Messung mit reduzierter Empfindlichkeit wird dann die Intensitätsverteilung jenes Spiegelanteiles gesondert er­ faßt.
Um jedoch auch mit preiswerteren Kameras als Detektor-Arrays 17 arbeiten zu können, kann in Weiterbildung vorliegender Erfin­ dung vorgesehen sein, in der hinteren Brennebene F′20 der kol­ limierenden Optik 20 mit einer mechanisch linear-positionierba­ ren Blende 37 den Anteil (28) des Spiegel-Strahls 12 wahlweise auszublenden. Die Größe der parallel zur Brennebene F′20 verla­ gerbaren Blende 37 hängt in der Praxis von der Streucharakteri­ stik des Objektes 14 ab. Dann wird zunächst eine Messung bei relativ geringer Empfindlichkeit durchgeführt, bei der auch die Spiegelkomponente 28 erfaßt wird, die aber nun noch nicht zur Übersteuerung führt; woraufhin eine zweite Messung mit hoher Empfindlichkeit - aber bei zum Abschatten des Spiegelanteiles 28 positionierter Blende 37 - folgt, so daß die Streukomponen­ ten 29 voll zur Wirkung kommen. Dabei kann, um die Dynamik der Messung zu erhöhen, auch noch über ein Stellglied 35 die An­ steuerung der Teststrahl-Quelle 25 intensiviert werden.
Beim dargestellten Meßaufbau ergibt sich dort ein "blinder Fleck" für die aufgezeichnete Richtungsverteilung (Austritts­ winkel w′) des reflektierten Lichtes 11, wo der beleuchtende Quellstrahl 23 in die hintere Brennebene F′20 der Optik 20 ein­ gespeist wird. Dieser "blinde Fleck" entsteht jedoch an der Stelle der Lichteinspeisung und ist somit im Bild der zweidi­ mensionalen Reflexionsverteilung nicht in der näheren Umgebung der interessierenden spekularen (regulär spiegelnden) Reflexion angesiedelt. Außerdem können numerische Methoden zur Interpola­ tion und damit zur "Beseitigung" dieses blinden Flecks heran­ gezogen werden. Letztlich fällt dieser "blinde Fleck" in der Retro-Position aber beim erfindungsgemäßen konoskopischen Meß­ system garnicht ins Gewicht, weil es hier nicht um ein Ausmes­ sen eines Retro-Reflektors geht.
Bei der gerätetechnischen Abwandlung gemäß Fig. 2 gelten die vorstehenden Ausführungen zu Fig. 1 sinngemäß; jedoch erfolgt die Bestrahlung des reflektierenden Flächenelementes 18 nun nicht mehr mit einem Teststrahl 15 aus parallelen, sondern aus im Brennpunkt konisch zusammenlaufenden Elementarstrahlen, wes­ halb das erfaßte Flächenelement an sich wesentlich kleiner wird. Die konvergierenden Strahlen entstehen, wenn im konosko­ pischen System 19 ein paralleler Lichtstrahl 23 in die bildsei­ tige Brennebene F′20 der kollimierenden Optik 20 eingekoppelt wird. In der Zeichnung ist gestrichelt angedeutet, daß in der Praxis aber auch Abweichungen von der ideal-parallelen Beleuch­ tung 23 in der hinteren Brennebene F′20 auftreten. Solche Di­ vergenz wirkt sich dahingehend aus, daß das im Objekt 14 be­ strahlte Flächenelement 18 tatsächlich kein infinitesimal klei­ ner Lichtpunkt ist, sondern wieder endliche Ausdehnung zeigt, weil der Teststrahl 15 sich aus gerichtet-konischen Elementar­ strahlbündeln mit leicht unterschiedlichen Ausbreitungsrichtun­ gen und leicht unterschiedlichem Kegelöffnungswinkel zusammen­ setzt.
Je größer der Durchmesser (Querschnitt Q) des parallelen Licht­ strahles 23 ist, desto stärker ist die Konizität des Teststrah­ les 15 im Objekt 14 und somit die Annäherung an diffuse (unge­ richtete, gleichzeitig aus verschiedenen Richtungen einstrah­ lende) Beleuchtung, wie sie üblicherweise im Arbeitsalltag vor­ kommt.
Die Einkopplung des Lichtstrahles 23 für einen konischen Test­ strahl 15 erfolgt nun aus einer Parallellicht-Quelle 25 über eine Umlenkoptik 36, etwa wie skizziert über einen, hier aus zwei Prismen zusammengesetzten, nicht polarisierenden Strahl­ teilerwürfel. Zur Depolarisierung des durchfallenden Lichts (nun in beiden Richtungen) kann wieder eine faseroptische Bild­ leiterplatte 38 in oder bei der hinteren Brennebene F′20 ange­ ordnet sein. Eine beispielsweise unproblematisch motorisch rea­ lisierbare Linear-Verschiebung der Quellen-Blende 26 (nun pa­ rallel zur optischen Achse 21 des Systems 19) führt wieder (entsprechend der Wirkung bei Fig. 1) zur Verlagerung des Licht­ strahls 23 längs der Brennebene F′20 und somit zu einer Varia­ tion des mittleren Teststrahl-Einfallswinkels w1, wie aus der Zeichnung ersichtlich.
Auch hier ist also die vorbekannte, apparativ aufwendige mecha­ nische Dreh-Positionierung, von Lichtquelle und Empfängersystem relativ zum Meßobjekt zur Richtungsänderung, des Teststrahles 15 durch ein einfach zu handhabendes und gut reproduzierbares optisch abbildendes System ersetzt, bei dem die Position des Strahles 23 in der Brennebene F′20 den Einfallswinkel w1 auf das Meßobjekt 14 bestimmt. Und wieder wird die Gesamtheit al­ ler im Halbraumausschnitt, der durch die Apertur des Objektives gegeben ist, auftretender Reflexionsanteile vom nachfolgenden Detektor-Array 17 erfaßt.
Auch gilt für beide Meßanordnungen (nach Fig. 1 und nach Fig. 2), daß eine eindimensionale Meßkurve ermittelt wird durch Messung der Lichtstärke oder der Leuchtdichte in der Einfallsebene des beleuchtenden Strahl es. Das Meßergebnis hängt somit nur von ei­ ner einzigen Variablen ab, nämlich von Neigungswinkel. Der Spiegelreflexionsgrad des Meßobjekts 14 wird durch den direkten Vergleich der Amplituden der Reflexions-Meßkurve (über dem Ein­ fallswinkel w1) des Objekts 14 mit derjenigen des kalibrierten Spiegels bei gegebener Einfallsrichtung w1 des Teststrahles 15 erhalten. Das Produkt aus dem Spiegel-Reflexionsfaktor und dem Verhältnis der Meßkurven-Maxima für das Meßobjekt und für den Referenz-Spiegel ist der Spiegelreflexionsgrad des Meßobjektes 14.
Der diffuse Reflektionsfaktor kann sogar schon aus einer eindi­ mensionalen Meßkurve bestimmt werden, wenn hinreichende Rotati­ onssymmetrie der Intensität des gestreuten Lichts um die Spie­ gelrichtung vorliegt. Denn dann können die nicht gemessenen, außerhalb der Einfallsebene gestreuten Reflexionsanteile aus der gemessenen Neigungsabhängigkeit ermittelt werden. Dafür wird angenommen, daß die Abhängigkeit der Streuintensität von der Differenz des aktuellen Azimuts zum Azimut der Einfallsebe­ ne gleich ist der Abhängigkeit der Streuintensität von der Dif­ ferenz des aktuellen Neigungswinkels zum Spiegel-Neigungswin­ kel. Wenn aber die zweidimensionale Richtungsverteilung des ge­ streuten Lichts direkt gemessen wird, kann auf die Annahme der Rotationssymmetrie der Meßwerte um die Spiegelrichtung herum verzichtet werden, und die entsprechenden Integrale werden di­ rekt aus den Meßwerten bestimmt.
Die Ermittlung des diffusen Reflexionsfaktors des Objektes er­ folgt im Falle der Fig. 2 wie bei Fig. 1 durch die Gleichsetzung der (um die Spiegelanteile bereinigten) rein diffus reflektier­ ten Streulichtanteile mit der Reflexion eines ideal diffus und isotrop streuenden Reflektors, also durch eine räumliche Mit­ telwertbildung. Die rechnerische Vorgehensweise geht aus vom bestimmten zweidimensionalen Integral über die Meßkurve des Meßobjekts 14; als Integrationsgrenzen dienen hier die Maximal­ werte von Neigungswinkel und Drehwinkel, wie sie während der Messung realisiert wurden; bzw. die theoretisch maximalen Werte 360° und 90° für Azimut und Neigungswinkel bei entsprechender Extrapolation der Meßwerte. Dabei ist darauf zu achten, daß die Maximalwerte bei der Messung so gewählt werden, daß keine sig­ nifikanten Streulichtanteile unberücksichtigt bleiben.
Nach Re-Normierung der Meßkurve des Spiegels auf die Amplitude des Meßobjekts 14 (mit einem Faktor, der gleich ist dem Ver­ hältnis vom Spiegelreflexionsgrad des Meßobjektes zum bekannten Spiegelreflexionsgrad des kalibrierten Spiegels) wird das Inte­ gral über die Spiegelmeßwerte entsprechend berechnet und vom Integral über die Meßwerte des Objektes 14 subtrahiert. Wie man leicht einsieht, wird damit der diffuse Reflexionsfaktor für den idealen Spiegel zu Null, während für den ideal streuenden Reflektor der Wert Eins ermittelt wird.
Diese erfindungsgemäßen Einrichtungen zum Beurteilen des Re­ flexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere eines elektro­ optischen Anzeigeelementes, bilden also die konoskopisch er­ zeugte zweidimensionale (ebene) Intensitätsverteilung einer Re­ flexstrahlung auf ein zweidimensionales Detektorarray ab. Die Intensitätsverteilung resultiert aus einem optisch einstellba­ ren Teststrahl, der über die kollimierende Optik eben dieses konoskopischen Systems selbst eingekoppelt wird. Jener Test­ strahl entsteht dabei seinerseits kollimiert aus einem unmit­ telbar in die bildseitige Brennebene der kollimierenden Optik eingespeisten divergenten Quellstrahl bzw. konvergierend aus einem in jene Brennebene über eine Umlenkoptik eingespeisten kollimierten Quellstrahl. Die Position des jeweiligen Quell­ strahles in der hinteren (bildseitigen) Brennebene der kolli­ mierenden Optik bestimmt Einfallswinkel und -ebene des Test­ strahles. Um insbesondere auch die Reflexionseigenschaften von Anzeigeelementen und deren Bauteilen bei quasi-diffuser Be­ leuchtung messen und bewerten zu können, wird der zweiterwähn­ te, also der kollimierte Quellstrahl über möglichst nichtpola­ risierende Strahlteiler in Richtung der optischen Achse des ko­ noskopischen Linsensystems auf dessen kollimierende Optik abge­ lenkt. Hier wird die Tatsache ausgenutzt, daß ein kollimierter Lichtstrahl, der in der hinteren Brennebene parallel zur opti­ schen Achse der konoskopischen Linse einfällt, zu einem im vor­ deren Brennpunkt konvergierenden Strahl geformt wird. Mit zu­ nehmendem Kegelwinkel des Teststrahles ergibt sich ein Übergang zwischen konisch konvergierender und diffuser Beleuchtung. Über den Durchmesser des kollimierten Quellstrahles ist also eine der diffusen Bestrahlung ähnliche aber reproduzierbare Diver­ genz des Teststrahles und damit der Meß-Beleuchtung einstell­ bar. Wenn der Durchmesser des kollimierten Quellstrahles sich schließlich über die gesamte hintere (bildseitige) Brennebene der kollimierenden Optik erstreckt, so daß Licht aus der gesam­ ten Apertur der Optik kommt, wenn also die Apertur sich dem Halbraum weitestgehend annähert, wird die größtmögliche Diffu­ sität der Testbeleuchtung erzielt. So läßt sich das Reflexions­ verhalten elektrooptischer Displays ohne direkte mechanische Richtungs- oder Winkel-Abtastung des Halbraumes für alle inter­ essierenden Bestrahlungsrichtungen und Bestrahlungsarten (ge­ richtet bis diffus) mit weißem oder der aktuellen Fragestellung spektral angepaßtem Licht rasch und reproduzierbar auch quan­ titativ bestimmen.

Claims (12)

1. Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes (14), bei dem an einem - mittels eines auf dessen Oberfläche (13) gerichteten Teststrahles (15) - beleuchte­ ten Flächenelement (18) Reflex-Streustrahlen (11), ggfls. neben einem regulär reflektierten Strahl (Spiegel-Strahl 12), auftreten und ein zweidimensionales Array (17) von Detektorelementen (33) anregen, dadurch gekennzeichnet, daß - insbesondere zur Bestimmung der ergonomischen Lei­ stungsfähigkeit von elektrooptischen Anzeigeelementen - der Teststrahl (15) als Elementarstrahlenbündel aus einem Quell-Strahl (23) von Licht abgeleitet wird, das weiß oder hinsichtlich seiner spektralen Verteilung an die realen Umgebungsbedingungen angepaßt ist, wobei der über die hin­ tere, bildseitige Brennebene (F′20) der kollimierenden Op­ tik (20) eines konoskopischen Systems (19) eingespeiste Strahl (23) in jener Optik (20) zum auf das Objekt (14) gerichteten Teststrahl (15) transformiert wird, dessen Re­ flexionen von derselben Optik (20) zu einer vom Test­ strahl-Einfallswinkel (w1) abhängigen zweidimensionalen Intensitätsverteilung in jene Brennebene (F′20) transfor­ miert werden, mit Projektion dieser Intensitätsverteilung auf das zweidimensionale Detektor-Array (17).
2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Detektor-Array (17) auch einen zum Teststrahl (15) regulären Spiegel-Strahl (12) erfaßt.
3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß im Bereiche der bildseitigen Brennebene (F′20) der kollimierenden Optik (20) eine parallel zu dieser Ebene (F′20) verschiebbare Blende (37) zum Abschatten des Spie­ gelstrahles (12) vorgesehen ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein Quell-Strahl (23) variabler Intensität und/oder variablen Spektrums vorgesehen ist.
5. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Quell-Strahl (23) eine hinsichtlich ihrer Quer­ schnittsgeometrie und/oder ihres Durchmessers einstellbare Blende (26) vorgesehen ist.
6. Einrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine elektrooptische Blende (26) vorgesehen ist.
7. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß im Quell-Strahl (23) eine verschiebbare Blende (26) zur Verlagerung des Quell-Strahles (23) in der Ebene der kollimierenden Optik (20) vorgesehen ist.
8. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Depolarisator (38) im Bereich der bildseitigen Brennebene (F′20) der kolliminierenden Optik (20) angeord­ net ist.
9. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für eine Abbildung der zweidimensionalen Intensitäts­ verteilung in der bildseitigen Brennebene (F′20) der kol­ limierenden Optik (20) auf das zweidimensionale Detek­ tor-Array (17) nahe ihrer bildseitigen Brennebene (F′30) eine Optik (30) mit einstellbarer Pupille (39) und mit ei­ ner Feldlinse (40) vorgesehen ist.
10. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß für vermessene Einfallsrichtungen (w1) des Teststrah­ les (15) außerdem ein Austausch des Meß-Objektes (14) ge­ gen ideal spiegelnde und gegen ideal streuende Referenz­ elemente für Vergleichsmessungen vorgesehen ist.
11. Einrichtung nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß direkt in die hintere Brennebene (F′20) der kollimie­ renden Optik (20) ein divergierender Quellstrahl (23) aus einem in der Brennebene (F′20) verlagerbaren oder ortsum­ schaltbaren Strahler (22) eingespeist ist, der von der Op­ tik (20) in einen im wesentlichen parallelen Teststrahl (15) transformiert wird.
12. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß reflektiv in die hintere Brennebene (F′20) der kolli­ mierenden Optik (20) ein kollimierter Quellstrahl (23) aus einer verlagerbaren oder ortsumschaltbaren Blende (26) eingespeist ist, der von der Optik (20) in einen im we­ sentlichen konischen Teststrahl (15) transformiert wird.
DE19637131A 1996-09-12 1996-09-12 Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere einer Flüssigkristallanzeige Expired - Fee Related DE19637131C2 (de)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19637131A DE19637131C2 (de) 1996-09-12 1996-09-12 Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere einer Flüssigkristallanzeige
PCT/EP1997/004000 WO1998011424A1 (de) 1996-09-12 1997-07-24 Einrichtung zum beurteilen von reflexionsverhalten
EP97918942A EP0925496B1 (de) 1996-09-12 1997-07-24 Einrichtung zum beurteilen von reflexionsverhalten
DE59708834T DE59708834D1 (de) 1996-09-12 1997-07-24 Einrichtung zum beurteilen von reflexionsverhalten

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19637131A DE19637131C2 (de) 1996-09-12 1996-09-12 Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere einer Flüssigkristallanzeige

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19637131A1 true DE19637131A1 (de) 1998-03-26
DE19637131C2 DE19637131C2 (de) 2001-02-01

Family

ID=7805410

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19637131A Expired - Fee Related DE19637131C2 (de) 1996-09-12 1996-09-12 Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere einer Flüssigkristallanzeige
DE59708834T Expired - Lifetime DE59708834D1 (de) 1996-09-12 1997-07-24 Einrichtung zum beurteilen von reflexionsverhalten

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59708834T Expired - Lifetime DE59708834D1 (de) 1996-09-12 1997-07-24 Einrichtung zum beurteilen von reflexionsverhalten

Country Status (3)

Country Link
EP (1) EP0925496B1 (de)
DE (2) DE19637131C2 (de)
WO (1) WO1998011424A1 (de)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19751036C1 (de) * 1997-11-18 2000-01-05 Autronic Melchers Gmbh Verfahren zum Bestimmen von für das optische Verhalten von Flüssigkristall-Zellen charakteristischen Beiwerten
DE19920184A1 (de) * 1999-05-03 2000-11-30 Optosens Optische Spektroskopi Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, sowie Reflektanz-Meßsonde
DE19950176A1 (de) * 1999-10-19 2001-05-17 Autronic Melchers Gmbh Verfahren und Einrichtung zum Bestimmen der spektralen Zusammensetzung und daraus ableitbarer farbmetrischer Kenngrößen von selbststrahlenden oder reflektivstrahlenden Objekten
DE19954183A1 (de) * 1999-11-08 2001-05-23 Autronic Melchers Gmbh Verfahren und Einrichtungen zum Messen und Bewerten des Streuverhaltens von Oberflächen
DE19962407B4 (de) * 1999-12-22 2005-09-22 Autronic-Melchers Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen von optischen Eigenschaften reflektierender Objekte, z.B. von reflektiv betriebenen Flüssigkristall-Zellen
WO2019186082A1 (fr) * 2018-03-29 2019-10-03 Eldim Dispositif optique permettant de mesurer simultanément l'émission angulaire et spectrale d'un objet
TWI749930B (zh) * 2020-12-02 2021-12-11 財團法人國家實驗研究院 光滑表面之大面積鏡面反射率之測量裝置及其方法
CN117347015A (zh) * 2023-12-06 2024-01-05 中国航天三江集团有限公司 高能激光光束质量外场高精度测量方法及系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5159412A (en) * 1991-03-15 1992-10-27 Therma-Wave, Inc. Optical measurement device with enhanced sensitivity

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2613830B1 (fr) * 1987-04-08 1990-11-02 Commissariat Energie Atomique Dispositif pour determiner le contraste d'un ecran d'affichage en fonction de la direction d'observation
DE4211467C2 (de) * 1992-04-06 1996-06-13 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren zur Bestimmung räumlicher Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen Objektes
JP2769405B2 (ja) * 1992-04-10 1998-06-25 浜松ホトニクス株式会社 液晶表示パネルの二次元配光分布測定装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5159412A (en) * 1991-03-15 1992-10-27 Therma-Wave, Inc. Optical measurement device with enhanced sensitivity

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JP 05288638 A und dazugehöriges Patent Abstract *

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19751036C1 (de) * 1997-11-18 2000-01-05 Autronic Melchers Gmbh Verfahren zum Bestimmen von für das optische Verhalten von Flüssigkristall-Zellen charakteristischen Beiwerten
DE19920184A1 (de) * 1999-05-03 2000-11-30 Optosens Optische Spektroskopi Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, sowie Reflektanz-Meßsonde
DE19920184C2 (de) * 1999-05-03 2001-06-07 Optosens Optische Spektroskopi Verfahren für die gleichzeitige Erfassung von diffuser und specularer Reflexion von Proben, insbesondere undurchsichtiger Proben, sowie Reflektanz-Meßsonde
DE19950176B4 (de) * 1999-10-19 2006-12-28 Autronic-Melchers Gmbh Verfahren und Einrichtung zum Bestimmen der spektralen Zusammensetzung und daraus ableitbarer farbmetrischer Kenngrößen von selbststrahlenden oder reflektivstrahlenden Objekten
DE19950176A1 (de) * 1999-10-19 2001-05-17 Autronic Melchers Gmbh Verfahren und Einrichtung zum Bestimmen der spektralen Zusammensetzung und daraus ableitbarer farbmetrischer Kenngrößen von selbststrahlenden oder reflektivstrahlenden Objekten
DE19954183A1 (de) * 1999-11-08 2001-05-23 Autronic Melchers Gmbh Verfahren und Einrichtungen zum Messen und Bewerten des Streuverhaltens von Oberflächen
DE19954183C2 (de) * 1999-11-08 2003-07-31 Autronic Melchers Gmbh Verfahren und Einrichtung zum Messen und Bewerten des Streuverhaltens von Oberflächen
DE19962407B4 (de) * 1999-12-22 2005-09-22 Autronic-Melchers Gmbh Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen von optischen Eigenschaften reflektierender Objekte, z.B. von reflektiv betriebenen Flüssigkristall-Zellen
WO2019186082A1 (fr) * 2018-03-29 2019-10-03 Eldim Dispositif optique permettant de mesurer simultanément l'émission angulaire et spectrale d'un objet
FR3079612A1 (fr) * 2018-03-29 2019-10-04 Eldim Dispositif optique permettant de mesurer simultanement l'emission angulaire et spectrale d'un objet
US11525734B2 (en) 2018-03-29 2022-12-13 Eldim Optical device allowing the angular and spectral emission of an object to be measured simultaneously
TWI749930B (zh) * 2020-12-02 2021-12-11 財團法人國家實驗研究院 光滑表面之大面積鏡面反射率之測量裝置及其方法
CN117347015A (zh) * 2023-12-06 2024-01-05 中国航天三江集团有限公司 高能激光光束质量外场高精度测量方法及系统
CN117347015B (zh) * 2023-12-06 2024-02-20 中国航天三江集团有限公司 高能激光光束质量外场高精度测量方法及系统

Also Published As

Publication number Publication date
DE59708834D1 (de) 2003-01-09
WO1998011424A1 (de) 1998-03-19
EP0925496B1 (de) 2002-11-27
EP0925496A1 (de) 1999-06-30
DE19637131C2 (de) 2001-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69121633T2 (de) Verfahren und Apparat zur Messung spektraler Absorption in undurchsichtigem Material und Verfahren und Apparat zur Messung einer Verteilung mikroskopischer Absorption
DE102012205311B4 (de) Optische Vorrichtung, insbesondere Polarimeter, zur Detektion von Inhomogenitäten in einer Probe
DE102010053422B3 (de) Messung der Positionen von Krümmungsmittelpunkten optischer Flächen eines mehrlinsigen optischen Systems
DE102006031051A1 (de) Augenbeobachtungseinrichtung
EP2929291A1 (de) Laserstrahlhorizontalitätstreue-überprüfvorrichtung und ebensolches verfahren
EP1636542B1 (de) Verfahren und messvorrichtung zur berührungslosen messung von winkeln oder winkeländerungen an gegenständen
DE19944354A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Form oder der Abbildungseigenschaften von spiegelnden oder transparenten Objekten
DE4206499A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur hochgenauen messung von sich ggf. veraendernden abstaenden zwischen einem objekt, z. b. einem eingespannten werkstueck, und einem bezugspunkt
DE69334168T2 (de) Spektrometer für linsenmesser
DE19637131C2 (de) Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere einer Flüssigkristallanzeige
DE3406066A1 (de) Anordnung zur optischen erfassung raeumlicher unebenheiten in der struktur eines zu untersuchenden objekts
DE102009036383B3 (de) Vorrichtung und Verfahren zur winkelaufgelösten Streulichtmessung
DE102012005417B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur winkelaufgelösten Streulichtmessung
DE4105192C2 (de) Verfahren zum Bestimmen von Oberflächenrauhigkeiten und dergleichen
EP1228355B1 (de) Verfahren und einrichtungen zum messen und bewerten des streuverhaltens von oberflächen
EP1260848B1 (de) Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung, Mikroskop und Verfahren zur Mikroskopie
DE19602862C1 (de) Meßeinrichtung zum Erfassen optischer Eigenschaften einer elektro-optischen Anzeige
DE3730548A1 (de) Messgeraet zum vermessen und justieren von laserentfernungsmessern
DE10324478B3 (de) Vorrichtung zum Ermitteln der Lichtleistung eines Lichtstrahles und Scanmikroskop
DE10142945B4 (de) Vorrichtung zur Ermittlung einer Lichtleistung und Mikroskop
DE4343345A1 (de) Verfahren und Vorrichtungen zur Messung der reflektiven bzw. transmittierenden optischen Eigenschaften einer Probe
RU2179789C2 (ru) Лазерный центратор для рентгеновского излучателя
AT396527B (de) Verfahren zur messung von winkeln zwischen elektromagnetischen wellen
DE112019004918T5 (de) Kalibrierungssystem für abgeschwächte totalreflexionsspektrometrie
DE102022132453A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer Abbildungsqualität zumindest einer Abbildung für einen Prüfling

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee