DE4211467C2 - Verfahren zur Bestimmung räumlicher Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen Objektes - Google Patents
Verfahren zur Bestimmung räumlicher Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen ObjektesInfo
- Publication number
- DE4211467C2 DE4211467C2 DE19924211467 DE4211467A DE4211467C2 DE 4211467 C2 DE4211467 C2 DE 4211467C2 DE 19924211467 DE19924211467 DE 19924211467 DE 4211467 A DE4211467 A DE 4211467A DE 4211467 C2 DE4211467 C2 DE 4211467C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- axis
- indicatrix
- measured
- connecting line
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 2
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 8
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 240000006108 Allium ampeloprasum Species 0.000 description 1
- 235000006576 Althaea officinalis Nutrition 0.000 description 1
- 244000278243 Limnocharis flava Species 0.000 description 1
- 235000003403 Limnocharis flava Nutrition 0.000 description 1
- 230000008033 biological extinction Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000013213 extrapolation Methods 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 108091008695 photoreceptors Proteins 0.000 description 1
- 238000010094 polymer processing Methods 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000000411 transmission spectrum Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/44—Resins; Plastics; Rubber; Leather
- G01N33/442—Resins; Plastics
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
- G01M11/0285—Testing optical properties by measuring material or chromatic transmission properties
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/21—Polarisation-affecting properties
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Food Science & Technology (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung räumlicher
Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen
Objektes nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Zur Bestimmung der Orientierungszustände polymerer Werkstoffe
sind solche Meßwerte wie die mechanischen Kennwerte, die
Wärmeleitfähigkeit und die Doppelbrechung bekannt.
Zur Bestimmung der Doppelbrechung werden
Polarisationseinrichtungen unterschiedlicher Bauart eingesetzt
und z. B. in BURRI "Das Polarisationsmikroskop" Verlag Birkhäuser
Basel 1950, 138-151, FREUND "Handbuch der Mikroskopie in der
Technik" Umschau-Verlag Frankfurt am Main, 1957, Band 1, Teil 1, 190-275
und BEYER/RIESENBERG "Handbuch der Mikroskopie" VEB Verlag
Technik Berlin 1988, 190-220 beschrieben. Dabei wird der von
einem doppelbrechenden Objekt hervorgerufene Gangunterschied
durch einen veränderlichen Kompensator aufgehoben. Als
Möglichkeiten zur Bestimmung kleiner Gangunterschiede sind die
Methoden nach SENARMONT, BRACE-KOEHLER und BEAR-SCHMITT
angegeben (siehe auch DE 31 29 505 A1).
Auch mit Hilfe des BEREK- bzw. EHRINGHAUS-Kippkompensators sowie
einer Analyse des Transmissionsspektrums elektromagnetischer
Wellen, speziell im sichtbaren Bereich können Gangunterschiede
bestimmt werden (G. MENGES, H. HENSEL: "Kunststoffe" 64 (1974) 5,
257-261).
Aus der DE-PS 23 38 305 ist ein Verfahren zur Ermittlung der
Doppelbrechung bekannt. Das Material wird mit linear
polarisiertem Licht durchstrahlt und das austretende Licht in
einer Schwingungsebene senkrecht zu der des einfallenden Lichtes
zumindest für eine Wellenlänge erfaßt, bei der eine
Auslöschung auftritt.
Dieses Verfahren bleibt allein auf die Bestimmung uniaxialer
Orientierungen beschränkt.
Im DD-WP 227807 wird die mit der Doppelbrechungsänderung
verbundene zeitliche und örtliche Lageänderung des
Kompensationsstreifens im linear polarisierten Licht im Meßfeld
durch einen Sensor erfaßt und zur Steuerung eines Stellgliedes
zur Änderung der Kompensatorplattenstellung genutzt. Aus der
Kompensatorstellung und der extern bestimmten Meßobjektdicke
wird die Doppelbrechung berechnet. Mit dieser Methode kann die
Verteilung von Doppelbrechungswerten über eine Flasche bestimmt
werden. Die Bestimmung einer Hauptdoppelbrechungsvorrichtung und
damit die Zuordnung der polarisationsoptischen Indikatrix zu
vorgegebenen geometrischen Richtungen setzt Voruntersuchungen
voraus. Änderungen der Orientierungsrichtung werden durch die
Meßapparatur nicht registriert. Zum anderen ist diese
Meßapparatur, sowie auch die in DE 39 29 713 A1 angegebene, speziell im Einsatz unter Produktionsbedingungen
auf Grund der hohen bewegten Teile relativ störanfällig.
In DE-PS 24 49 475 wird eine Methode vorgeschlagen, speziell an
biaxial verstreckten Folien mindestens zwei, einen bestimmten
Winkel einschließende Strahlengänge auszuwerten, wovon einer
bevorzugt das Meßobjekt senkrecht durchdringt. Für jeden
einzelnen Strahlengang wird der durch Doppelbrechung entstehende
Gangunterschied mit Hilfe eines Keilkompensators und eines diesem
nachgeschalteten ortsauflösenden Photoempfängers gemessen und
daraus die Hauptdoppelbrechung berechnet.
Wesentlicher Nachteil dieses Verfahrens ist die hohe
Störanfälligkeit von zwei Meßapparaturen mit bewegten Teilen
zur Meßwerterfassung.
In DE-PS 34 35 059 wird ein Verfahren zum Bestimmen der
Anisotropiezustände von "optisch aktiven" Materialien über die
Doppelbrechung vorgestellt. Dabei werden die den
Gangunterschieden in jeder Hauptrichtung nach dem Durchgang durch
den Kompensator entsprechenden Intensitäten ohne
Zwischenschaltung von Abbildungselementen direkt auf einer
fotoempfindlichen zweidimensionalen Diodenmatrix kontinuierlich
erfaßt. Das elektrische Signal, das dem Interferenzstreifen
nullter Ordnung entspricht, wird ausgewertet. Zur Erhöhung der
Meßgenauigkeit werden in jeder zu untersuchenden Hauptrichtung
durch Kompensationskeile mit unterschiedlichen Bereichen mehrere
Interferenzbilder ausgewertet. Zur Bestimmung mehrdimensionaler
Anisotropiezustände werden mehrere Strahlengänge mit
unterschiedlichem Winkel durch Spiegel auf eine Kamera
projiziert.
Der wesentliche Nachteil dieser Methoden liegt zum einen in dem
hohen gerätetechnischen Aufwand (Verwendung von zwei
Meßapparaturen) bzw. der Störanfälligkeit unter
produktionstechnischen Bedingungen durch sich bewegende Teile.
Aus der DE-OS 31 06 818 ist ein Verfahren bekannt, welches über
drei Laserstrahlen die Bestimmung mehrachsiger Orientierungen
erlaubt. Dabei durchdringt ein Strahl die Probe senkrecht,
während die anderen beiden einen bestimmten Winkel dazu
einnehmen. Die Phasendifferenzen der Laserstrahlen werden nach
Durchlaufen der Probe, eines λ/4-Plättchen und eines
rotierenden Analysators fortlaufend gemessen. Aus den drei
Phasendifferenzen werden unter Berücksichtigung der beiden
Neigungswinkel der geneigten Laserstrahlen die Gangunterschiede
und bei bekannter Dicke die drei Doppelbrechungswerte bestimmt.
Der Nachteil dieser Methode liegt in den hohen Aufwendungen durch
den Einsatz von drei Lasern bzw. der optischen Einrichtung zum
Aufteilen der Strahlengänge.
Der Erfindung liegt nunmehr die Aufgabe zugrunde, zeitliche und
örtlich veränderliche räumliche Anisotropiezustände in
optisch anisotropen Medien, beispielsweise zur Überwachung und
Steuerung von Polymerverarbeitungsmaschinen bei minimalem
Geräteeinsatz und minimaler Störanfälligkeit zu erfassen. In
der statischen Betriebsweise soll die Erfindung zur
Qualitätskontrolle einsetzbar sein. Dabei sollen aus einem
einzigen optischen Bild mit einem einzigen, ohne bewegliche Teile
arbeitenden Meßmittel bei bekannter Prüfkörperdicke alle
Meßwerte zur Bestimmung der Hauptdoppelberechnungen sowie deren
Lage verfügbar sein und damit die räumliche Anisotropie und
damit die Größe und relative Lage der Indikatrix bestimmt
werden können.
Diese Aufgabe wird bei einer gattungsgemäßen Anordnung durch
die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
Bevorzugte Weiterbildungen sind in den Unteransprüchen
beschrieben.
Durch die Erfindung kann das gesamte Meßwerterfassungssystem als
gekapselte, in sich geschlossene Einheit gestaltet werden, die
nur eine Ausgangssignalleitung aufweist, die alle erforderlichen
Meßdaten überträgt. Die Meßdaten können ohne mechanisch
bewegte optische Elemente ermittelt werden. Damit wird die
Meßeinrichtung unempfindlich gegen Umwelteinflüsse, wie sie
unter Produktionsbedingungen auftreten.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der schematischen
Zeichnung näher erläutert werden. Es zeigt
Fig. 1 eine optische Anordnung zur Durchführung des
erfindungsgemäßen Verfahrens,
Fig. 2 ein Meßbild bei normaler konoskopischer Strahlenführung,
Fig. 3 ein Meßbild bei gegenüber der Probe gekippter
Meßanordnung bei großem Achsenwinkel,
Fig. 4 ein Meßbild bei gegenüber der Probe geneigter
Meßanordnung bei kleinen Gangunterschieden.
In Fig. 1 ändert eine von einer Lichtquelle 1 über einen
Kollektor 2, Polarisator 3 und Viertelwellenplatte 4 mit einem
Kondensor 5 konoskopisch mit zirkular polarisiertem Licht
beleuchtete Probe 6 zeitlich und/oder örtlich ihre
Doppelbrechung und/oder Orientierung.
Die damit verbundene Änderung der Gangunterschiede und der Lage
der Achsebene zeigt sich in dem vom Objektiv 7 über eine
zweite Viertelwellenplatte 8, einen Analysator 9 und eine
Bertrandlinse 10 erzeugten konoskopischen Bild der Probe 6 in
einer Verschiebung der Achsenausstoßpunkte 14, einer
Veränderung der Lage und Folgedichte der Isochromaten 15
und/oder der Richtung der Spur 16 der Achsenebene (Fig. 2). Dieses
Meßbild wird auf einer CCD-Matrixkamera 11 aufgenommen und in
einer Auswerteeinheit 12 mit einer Steuereinheit 13 ausgewertet,
indem
- - aus dem erzeugten Interferenzbild der Winkel zwischen einer vorgegebenen Richtung und der Verbindungslinie 16 der Achsenausstoßpunkte 14 bestimmt und daraus die Richtung einer Hauptachse der Indikatrix ermittelt wird,
- - der Abstand der Achsenausstoßpunkte 14 gemessen wird,
- - der Abstand A₁, A₂ mindestens einer Isochromate 15 von der Verbindungslinie 16 der Achsenausstoßpunkte 14 auf der Mittelsenkrechten der Verbindungslinie gemessen wird,
- - aus den Meßwerten sowie der Brechzahl und der Dicke des Materials die Größe und die räumliche Lage der Indikatrix bestimmt wird.
An einer Vergleichsprobe mit bekannter Orientierungsrichtung
erfolgt die Justierung der optischen Anordnung und die
Kalibrierung der Auswerteeinheit 12. Bei vorgegebener Lage der
Probe wird die optische Anordnung beispielsweise so justiert,
daß die Indikatrixachse unter 45° zur Schwingungsrichtung der
Polare liegt.
Während des Meßvorganges wird die Probe beispielsweise mit
konstanter Geschwindigkeit (3m/min) unter dem Meßfeld bewegt.
Die im Meßfeld von der CCD-Matrix-Kamera erfaßte
Verbindungslinie 16 der Achsenausstoßpunkte entspricht je nach
optischem Charakter der Probe der Richtung der
Indikatrixhauptachse mit dem Brechungsindex nz bzw. nx.
Die Richtungen der beiden anderen Hauptbrechungsindixes ny und
nx bzw. nz liegen jeweils senkrecht dazu.
Unter der Voraussetzung, daß die Summe der drei
Hauptdoppelbrechungen für kleine Doppelbrechungswerte
verschwindet, können mit Kenntnis des Achsenwinkels 2 V, der aus
dem Abstand der Achsenausstoßpunkte der Gerätekonstanten
berechnet wird, und der aus dem Isochromatenabstand ermittelten
durchstrahlungsabhängigen Gangunterschiede R(a) die drei
Hauptdoppelbrechungen nach Gleichungen (1) und (2) berechnet
werden:
Δnx,y + Δnx,z + Δny,z = 0 (1)
Δnx,y · tan 2 V = Δny,z (2)
Die einzelnen Gangunterschieds- bzw. Doppelbrechungswerte als
Funktion des Durchstrahlwinkels a gehorchen dabei der Beziehung (3)
d: durchstrahlte Dicke
n: mittlerer Buchungsindex in Richtung einer Bezugsachse (x, y, z)
so daß durch Bestimmung des (quasilinearen) Proportionalitätsfaktors k und Extrapolation auf a=0 und a=90° die Doppelbrechungen Δny,z und Δnx,z berechnet werden können. Nach MALLARD (Gl. 2) läßt sich wiederum unter der Beschränkung auf kleine Doppelbrechungen die dritte Hauptdoppelbrechung Δnx,y bestimmen.
n: mittlerer Buchungsindex in Richtung einer Bezugsachse (x, y, z)
so daß durch Bestimmung des (quasilinearen) Proportionalitätsfaktors k und Extrapolation auf a=0 und a=90° die Doppelbrechungen Δny,z und Δnx,z berechnet werden können. Nach MALLARD (Gl. 2) läßt sich wiederum unter der Beschränkung auf kleine Doppelbrechungen die dritte Hauptdoppelbrechung Δnx,y bestimmen.
In einer weiteren Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens
wird die Meßeinrichtung gegenüber der senkrechten
Durchstrahlungsrichtung der Probe 6 gekippt, diese Kippung
gemessen und der Auswerteeinheit 12 übermittelt. Damit ergibt
sich für Meßobjekte, bei denen bei gegebener Apertur und
senkrechter Durchstrahlung die zu messenden Kennwerte außerhalb
des Meßbildes liegen, eine Erweiterung des Bildausschnittes und
damit ein Interferenzbild, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Sind
die Doppelbrechungen zu klein, so erscheint im Meßbild nur eine
oder keine Isochromate. In diesem Fall wird die gesamte optische
Anordnung gegenüber der Probe geneigt, so daß ein Meßbild
gemäß Fig. 4 entsteht. Die Neigung wird wiederum gemessen und
der Auswerteeinheit 12 übermittelt. Die Auswertung erfolgt
analog der zu Fig. 1 und Fig. 2 aufgeführten Verfahrensweise unter
Berücksichtigung des jeweiligen Neigungswinkels.
Ausgehend von diesen Kennwerten können weitere Anisotropiewerte,
wie zum Beispiel der Orientierungsgrad, bestimmt werden.
Weiterhin können die Ausgangssignale der Meßanordnung als
Qualitätskriterium dahingehend verwendet werden, daß ein
bestimmter Festwert für die Änderung der Doppelbrechung oder
deren Richtung bei einer Überschreitung zum Abbruch des
Fertigungsprozesses führt.
In einer weiteren Anordnung kann das Ausgangssignal zur Steuerung
einer Verarbeitungsmaschine verwendet werden, indem
beispielsweise bei gleichzeitiger Kontrolle der
Verarbeitungstemperatur und der Foliendicke die
Abzugsgeschwindigkeit verändert wird.
Claims (6)
1. Verfahren zur Bestimmung räumlicher Aniosotropiezustände
eines niedrig orientierten optisch zweiachsigen Objektes unter
Verwendung einer Polarisationseinrichtung mit fotoelektrischer
Bilderfassung, dadurch gekennzeichnet,
- - daß das Objekt (6) bei konoskopischer Strahlenführung mit zirkular polarisiertem Licht bestrahlt wird,
- - aus dem erzeugten Interferenzbild der Winkel zwischen einer vorgegebenen Richtung und der Verbindungslinie (16) der Achsenausstoßpunkte (14) gemessen und daraus die Richtung einer Hauptachse der Indikatrix als erster Meßwert ermittelt wird,
- - der Abstand der Achsenausstoßpunkte (14) als zweiter Meßwert gemessen wird,
- - der Abstand (A₁, A₂) mindestens einer Isochromate (15) von der Verbindungslinie (16) der Achsenausstoßpunkte auf der Mittelsenkrechten der Verbindungslinie (16) als dritter Meßwert gemessen wird,
- - aus den drei Meßwerten sowie der Brechzahl und der Dicke des Materials die Größe und die räumliche Lage der Indikatrix bestimmt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur
Meßbereichserweiterung
durch eine Relativkippung von Meßanordnung und
Objekt eine von der senkrechten abweichende
Durchstrahlungsrichtung realisiert wird, wobei der Kippwinkel
bei der Bestimmung der Indikatrix berücksichtigt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei
Werkstoffen mit großem Achsenwinkel die Kippung um die
y-Achse der Indikatrix erfolgt, bis im konoskopischen Bild ein
Achsenaustritt und die engste Einschnürung der Isochromaten
(15) enthalten sind und daraus der Abstand der
Achsenausstoßpunkte (14) sowie der Abstand der Isochromaten
von der Verbindungslinie (16) ermittelt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß bei
sehr kleinen Doppelbrechungen, bei denen im Meßbild nur eine
oder keine Isochromaten erscheinen, eine Verkippung um die x-
oder z-Achse der Indikatrix erfolgt, bis mindestens zwei
Isochromaten (15) sichtbar werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch
gekennzeichnet, daß die vorgegebene Richtung mit der
Bewegungsrichtung eines untersuchten Objektes übereinstimmt.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch
gekennzeichnet, daß die vorgegebene Richtung der vorgegebenen
Orientierung der Probe im statischen Zustand entspricht.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19924211467 DE4211467C2 (de) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | Verfahren zur Bestimmung räumlicher Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen Objektes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19924211467 DE4211467C2 (de) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | Verfahren zur Bestimmung räumlicher Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen Objektes |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4211467A1 DE4211467A1 (de) | 1993-10-07 |
| DE4211467C2 true DE4211467C2 (de) | 1996-06-13 |
Family
ID=6456175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19924211467 Expired - Fee Related DE4211467C2 (de) | 1992-04-06 | 1992-04-06 | Verfahren zur Bestimmung räumlicher Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen Objektes |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE4211467C2 (de) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5838453A (en) * | 1995-01-27 | 1998-11-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for measuring optical anisotropy |
| US5903352A (en) * | 1995-01-27 | 1999-05-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for measuring optical anisotropy |
| DE19511707B4 (de) * | 1995-03-30 | 2007-09-27 | Isra Vision Lasor Gmbh | Verfahren zur Bestimmung von Spannungen in transparenten Materialien |
| DE19602862C1 (de) * | 1996-01-28 | 1997-07-17 | Autronic Melchers Gmbh | Meßeinrichtung zum Erfassen optischer Eigenschaften einer elektro-optischen Anzeige |
| US6088115A (en) * | 1996-06-05 | 2000-07-11 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus and method for measuring optical anisotropy |
| DE19637131C2 (de) * | 1996-09-12 | 2001-02-01 | Autronic Melchers Gmbh | Einrichtung zum Beurteilen des Reflexionsverhaltens eines Objektes, insbesondere einer Flüssigkristallanzeige |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE2338305C3 (de) * | 1973-07-27 | 1979-06-13 | Vereinigung Zur Foerderung Des Instituts Fuer Kunststoffverarbeitung In Industrie Und Handwerk An Der Rhein.- Westf. Technischen Hochschule Aachen E.V., 5100 Aachen | Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der linearen Doppelbrechung eines Materials |
| DE2449475A1 (de) * | 1974-10-19 | 1976-04-29 | Ver Foerderung Inst Kunststoff | Verfahren und vorrichtung zum bestimmen des anisotropiezustandes von optisch aktiven materialien durch messen der orientierungsdoppelbrechung |
| DD154039B5 (de) * | 1980-10-29 | 1996-02-08 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Vorrichtung zum messen von gangunterschieden in polarisiertem Licht |
| DE3106818A1 (de) * | 1981-02-24 | 1982-09-09 | Basf Ag, 6700 Ludwigshafen | Verfahren zur kontinuierlichen bestimmung mehrachsiger orientierungszustaende von verstreckten folien oder platten |
| DD227807A1 (de) * | 1984-01-02 | 1985-09-25 | Zeiss Jena Veb Carl | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung oertlich und zeitlich veraenderlicher doppelbrechung |
| DE3435059A1 (de) * | 1984-09-25 | 1986-03-27 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen bestimmung der anisotropiezustaende von optisch aktiven materialien |
| DD276734A1 (de) * | 1988-11-02 | 1990-03-07 | Zeiss Jena Veb Carl | Verfahren zur gangunterschiedsmessung an anisotropen transparenten objekten |
-
1992
- 1992-04-06 DE DE19924211467 patent/DE4211467C2/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE4211467A1 (de) | 1993-10-07 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2025509C3 (de) | Interferenzmikroskop | |
| DE3419463C1 (de) | Vorrichtung zur Erfassung von Stoffeigenschaften von Probenoberflaechen | |
| DE3041178C2 (de) | ||
| EP0019088A1 (de) | Ellipsometrisches Verfahren und ellipsometrische Vorrichtung zur Untersuchung der physikalischen Eigenschaften der Oberfläche einer Probe | |
| DE19624421A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur ortsaufgelösten Vermessung von Wellenfrontdeformationen | |
| DE3240234A1 (de) | Oberflaechenprofil-interferometer | |
| EP0225590B1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Dicken- und/oder Orientierungsänderungen innerhalb einer optisch aktiven Materialbahn | |
| EP3411680B1 (de) | Miniaturspektrometer und verfahren zum schalten eines miniaturspektrometers zwischen abbildungsmodus und spektrometermodus | |
| DE3512851C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung von Spannungen in Float-Glas | |
| DE19743325A1 (de) | Linsenmesser | |
| DE4211467C2 (de) | Verfahren zur Bestimmung räumlicher Anisotropiezustände eines niedrig orientierten zweiachsigen Objektes | |
| DE102008048266B4 (de) | Verfahren zur schnellen Bestimmung der separaten Anteile von Volumen- und Oberflächenabsorption von optischen Materialien, eine Vorrichtung hierzu sowie deren Verwendung | |
| DE3622431A1 (de) | Digitalinterferometer zum polarisationsrandzonenabtasten | |
| DE102012106779B4 (de) | Optik für Strahlvermessung | |
| EP1290485B1 (de) | Verfahren zur quantitativen optischen messung der topographie einer oberfläche | |
| DE3435059C2 (de) | ||
| EP1376103B1 (de) | Verfahren zur Bestimmung lokaler Strukturen in optischen Kristallen | |
| WO2008019729A1 (de) | Mikroskop mit interferometeranordnung zur durchlichtuntersuchung transparenter objekte mittels interferenzkontrast und polarisationskontrast | |
| EP1690122A1 (de) | Beleuchtungsmodul zur evaneszenten beleuchtung und mikroskop | |
| EP1496398A1 (de) | Vorrichtung zur polarisationsspezifischen Untersuchung, optisches Abbildungssystem und Kalibrierverfahren | |
| EP0499074A2 (de) | Polarisationsinterferometer mit Schmalbandfilter | |
| DE19600491C1 (de) | Interferometrische Meßeinrichtung | |
| DE3816950A1 (de) | Vorrichtung zur optischen messung einer weglaenge oder einer weglaengenaenderung | |
| DE102015201909B4 (de) | Verfahren und System zum Ermitteln eines optischen Gangunterschieds zwischen in einem doppelbrechenden Objekt entstehenden Teillichtwellen | |
| DE102008009044B4 (de) | Verfahren zur Messung der Dispersion von Phasenobjekten |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
| D2 | Grant after examination | ||
| 8364 | No opposition during term of opposition | ||
| 8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |