DE19633185A1 - Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop und Verfahren zum Einkoppeln von mindestens zwei Lasern unterschiedlicher Wellenlänge in ein Laserscanmikroskop - Google Patents
Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop und Verfahren zum Einkoppeln von mindestens zwei Lasern unterschiedlicher Wellenlänge in ein LaserscanmikroskopInfo
- Publication number
- DE19633185A1 DE19633185A1 DE19633185A DE19633185A DE19633185A1 DE 19633185 A1 DE19633185 A1 DE 19633185A1 DE 19633185 A DE19633185 A DE 19633185A DE 19633185 A DE19633185 A DE 19633185A DE 19633185 A1 DE19633185 A1 DE 19633185A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- light source
- lasers
- point light
- microscope
- laser
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B21/00—Microscopes
- G02B21/0004—Microscopes specially adapted for specific applications
- G02B21/002—Scanning microscopes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft eine Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop, wobei minde
stens zwei Laser mit unterschiedlichen Wellenlängen in das Mikroskop einkoppelbar
sind. Des weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Einkoppeln von minde
stens zwei Lasern unterschiedlicher Wellenlänge in ein Laserscanmikroskop.
Lichtquellen der hier in Rede stehenden Art werden bei Laserscanmikroskopen,
insbesondere bei der Konfokalmikroskopie, benötigt. Dabei geht es vor allem darum,
im Rahmen einer Mehrfarbanwendung Laser-Licht unterschiedlicher Wellenlänge in
das Mikroskop einzukoppeln. Dies hat unter ganz besonderer Berücksichtigung der
Justierbarkeit des Lasers und unter Berücksichtigung der Stabilität der Justage zu
erfolgen.
Aus der Praxis sind zwei unterschiedliche Ansätze zur Mehrfarbanwendung bei La
serscanmikroskopen bekannt. Im Rahmen einer ersten Alternative wird ein Laser
(ArKr) mit mehreren simultanen Wellenlängen verwendet. Dabei ist systemimmanent,
daß dort alle Laserlinien - per se - aufeinander justiert sind. Die Selektion der Wel
lenlängen sowie die Leistungseinstellung wird dabei durch einen AOTF (Acousto
Optical Tunable Filter) erreicht. Folglich läßt sich jede Laserlinie unabhängig von den
anderen kontinuierlich in ihrer Leistung auch bis zu sehr niedrigen Leistungen ein
stellen. Die Einkopplung erfolgt jeweils durch eine Single-Mode-Faser. Der Vorteil der
voranstehenden Einkopplungsmöglichkeit liegt in einem kompakten Scanner, in einer
absoluten Justierstabilität sowie in einer Entkopplung der durch die Laserkühlung
verursachten Vibration.
Die voranstehend geschilderten Vorteile bringen jedoch auch ganz erhebliche Nach
teile mit sich. Ein ArKr-Laser umfaßt - wie bereits zuvor erwähnt - mehrere Laserli
nien simultan. Da diese in einem Resonator erzeugt werden, bewirkt dies stets eine
Instabilität der Einzellinien, zumal im Laser nur die Gesamtleistung durch eine Rege
lung konstant gehalten wird. Das hier auftretende Rauschen kann je nach Einstellung
der Gesamtleistung bis zu 10 Prozent "Peak to Peak" betragen und verringert somit
die Bildqualität bezüglich des Signal/Rauschverhältnisses. Im Gegensatz dazu errei
chen Einlinienlaser gerade einmal 1 Prozent Rauschen.
Des weiteren ist das System bei Ausfall des - singulären - Lasers komplett funktions
untüchtig. Die verfügbaren Laserlinien hängen stets vom laseraktiven Gas und des
sen Mischung ab. Da sich diese über die Lebensdauer des Lasers verändert, findet
eine Beeinträchtigung sämtlicher Laserlinien im Zeitverlauf statt. Schließlich sind nur
die Laserlinien der verwendeten Gasmischung verfügbar, so daß hier stets eine
Auswahleinschränkung vorliegt.
Bei einem weiter aus der Praxis bekannten System werden stets mehrere Laser di
rekt in ein Laserscanmikroskop eingekoppelt. Im Falle eines Laserdefekts fällt ledig
lich eine Laserlinie aus. Die anderen Laserlinien bleiben entsprechend der Funktion
dieser Laser verfügbar. Die Laserleistung weist aufgrund des Single-Line-Betriebs
eine hohe Stabilität auf. Single-Line-Laser verfügen über eine höhere Lebensdauer
im Gegensatz zu Lasern mit mehreren Wellenlängen. Die Laserleistung läßt sich für
jede Laserlinie ohne weitere Hilfsmaßnahmen optimal auf die experimentellen Bedin
gungen abstimmen.
Auch die voranstehend genannte Einkopplung mehrerer Laser in ein Laserscanmi
kroskop weist erhebliche Nachteile auf, da nämlich die Laserstrahlen aus den unter
schiedlichen Lasern auf ein und denselben Punkt in genau der gleichen Richtung fo
kussiert bzw. justiert werden müssen. Dabei existieren vier Freiheitsgrade pro Laser.
Erfolgt die Fokussierung bzw. Justierung nicht in hinreichendem Maße, so sind die
mit den unterschiedlichen Laserlinien aufgenommenen Bilder nicht deckungsgleich.
Die Analyse deckungsgleicher Bilder ist aber gerade der Zweck einer Mehrfachanre
gung der hier in Rede stehenden Art.
Ein weiterer Nachteil der Verwendung mehrerer unterschiedlicher Laser ist darin zu
sehen, daß herkömmliche Strahlvereinigungsanordnungen und Justagen häufig
nachjustiert werden müssen. Dieser Vorgang ist äußert kompliziert, da in den her
kömmlichen Anordnungen die verschiedenen Freiheitsgrade der Justierungen nicht
ausreichend voneinander entkoppelt sind.
So führt eine Winkeländerung stets auch zu einer Positionsänderung. Folglich wird
das Justierziel erst nach vielen Justierzyklen erreicht, so daß die Justage wohl kaum
vom Benutzer selbst durchgeführt werden kann. Eine besondere Serviceleistung des
Geräteherstellers ist somit zwingend erforderlich. Schließlich sind mehrere Laser
gemeinsam stets teurer als ein einzelner Laser mit mehreren Wellenlängen.
Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, eine Punktlichtquelle für ein Laser
scanmikroskop anzugeben, die die Vorteile der beiden zuvor genannten Systeme -
Multilinelaser und mehrere Einlinienlaser - nutzt und deren Nachteile zumindest wei
testgehend ausschließt. Des weiteren soll ein Verfahren zur Nutzung einer solchen
Punktlichtquelle angegeben werden.
Die erfindungsgemäße Punktlichtquelle löst die voranstehende Aufgabe durch die
Merkmale des Patentanspruches 1. Danach ist eine Punktlichtquelle für ein Laser
scanmikroskop gekennzeichnet durch mindestens zwei Laserlichtquellen, die in einen
Strahlvereiniger einkoppeln, und durch eine mittelbar oder unmittelbar vom Strahl
vereiniger zum Mikroskop führende Lichtleitfaser.
Erfindungsgemäß ist hier erkannt worden, daß die Verwendung von mindestens zwei
unabhängigen Laserlichtquellen und somit von mindestens zwei unterschiedlichen
Lasern die zuvor erörterten Vorteile mit sich bringt. Die damit verbundenen Nachteile
lassen sich - ebenfalls erfindungsgemäß - dadurch ausschalten, daß bereits vor der
Einkopplung in das Laserscanmikroskop eine Strahlvereinigung stattfindet, so daß
von dort aus aufeinander justierte Laserstrahlen bzw. Laserlinien mit mehreren Wel
lenlängen - im Sinne eines Multilinelasers - zur Verfügung stehen, wie dies bei einem
Laser mit mehreren simultan auftretenden Wellenlängen der Fall ist.
Nach der Strahlvereinigung werden die vereinten Laserlinien simultan über eine
Lichtleitfaser zum Mikroskop geführt und dort - wie bei einem Laser mit mehreren si
multan auftretenden Wellenlängen - eingekoppelt. Folglich sind sämtliche Laserlinien
ab der Strahlvereinigung in die Faser automatisch aufeinander justiert. Eine Justage
bzw. Einstellung findet somit ausschließlich in dem Strahlvereiniger statt, der sich als
kompaktes Bauteil realisieren läßt. Eine besondere Justage auf die Einkopplung des
Laserscanmikroskops ist jedenfalls nicht erforderlich.
In besonders vorteilhafter Weise und zur Minimierung des konstruktiven bzw. appa
rativen Aufwandes, insbesondere auch zur optimalen Nutzung des verfügbaren
Raumes, koppelt einer der Laser unmittelbar in den Strahlvereiniger ein. Mit anderen
Worten ist dieser Laser unmittelbar dem Strahlvereiniger zugeordnet. Mindestens ein
weiterer Laser wird über eine Lichtleitfaser in den Strahlvereiniger eingekoppelt, wo
bei es sich hier um eine Single-Mode-Faser handeln kann. Neben dem unmittelbar in
den Strahlvereiniger einkoppelnden Laser können im konkreten und in ganz beson
ders vorteilhafter Weise zwei oder drei weitere Laser jeweils über eine gesonderte
Lichtleitfaser in den Strahlvereiniger einkoppeln. Dabei lassen sich Laserlinien mit
unterschiedlichen Wellenlängen einkoppeln, so daß sich eine Mehrfarbanwendung
ergibt.
Bei dem Strahlvereiniger kann es sich um ein herkömmliches, aus dem Stand der
Technik bekanntes Bauteil bzw. um eine entsprechende Anordnung handeln. So
könnte der Strahlvereiniger als dichroitischer Strahlvereiniger mit Teilerspiegeln un
terschiedlicher Transmissions-/Reflexions-Charakteristiken ausgeführt sein. Jede be
liebige Anordnung zur Strahlvereinigung ist jedenfalls verwendbar, wobei eine mono
lithische Anordnung aus Gründen der Stabilität, der Präzision, der einfacheren Ferti
gung, aber auch aus Gründen eines geringeren Platzbedarfs zu bevorzugen ist. Eine
Austauschbarkeit des Strahlvereinigers gegen geometrisch analoge, physikalisch je
doch anders "getrimmte" Einrichtungen zur Strahlvereinigung ist realisierbar.
In ganz besonders vorteilhafter Weise ist der Strahlvereiniger in einem Gehäuse an
geordnet. Der unmittelbar in den Strahlvereiniger einkoppelnde Laser ist gegebe
nenfalls über einen besonderen Adapterkopf am Gehäuse festgelegt bzw. koppelt
unmittelbar am Gehäuse über den Adapterkopf in den Strahlvereiniger ein. Die weite
ren Laser koppeln jeweils über eine Lichtleitfaser in das Gehäuse und somit in den
darin angeordneten Strahlvereiniger und dessen Strahlengang ein.
Das Gehäuse ist vorzugsweise aus Metall hergestellt. Eine Fertigung aus Kunststoff
ist insbesondere dann von Vorteil, wenn sich das Gehäuse spritzgußtechnisch her
stellen läßt.
Zur Auswahl und individuellen Einstellung der Linienleistung ist dem Strahlvereiniger
in weiter vorteilhafter Weise ein AOTF (Acousto Optical Tunable Filter) nachge
schaltet. Dieser AOTF ist zum Erhalt eines kompakten Moduls ebenfalls innerhalb
des Gehäuses angeordnet. Mit Hilfe des AOTF lassen sich unter anderem auch et
waige Einkopplungsverluste kompensieren.
Dem Strahlvereiniger kann des weiteren ein AOM (Acousto Optical Modulator) nach
geschaltet sein, der zur Strahlmodulation und schnellen Strahlabschaltung dient.
Auch hier bietet sich die Anordnung innerhalb des Gehäuses an, zumal sich dadurch
ein kompaktes Modul insgesamt realisieren läßt.
Schließlich ist es hinsichtlich der beanspruchten Punktlichtquelle von ganz beson
derem Vorteil, wenn die vom Strahlvereiniger zum Mikroskop führende Lichtleitfaser,
d. h. der Faserkoppler, als Single-Mode-Faser ausgeführt ist. Dadurch wird erreicht,
daß sich kleinere Dejustagen lediglich durch geringe Einkopplungsverluste in die Fa
ser auswirken. Wie bereits zuvor erwähnt, lassen sich diese geringen Einkopplungs
verluste und damit verbundene Veränderungen der Linienleistungsverhältnisse durch
Verwendung eines AOTF kompensieren.
Das erfindungsgemäße Verfahren zum Einkoppeln von mindestens zwei Lasern un
terschiedlicher Wellenlänge in ein Laserscanmikroskop löst die eingangs genannte
Aufgabe durch die Merkmale des Patentanspruches 12. Danach ist ein solches Ver
fahren dadurch gekennzeichnet, daß die Laser gemeinsam als singuläre Punktlicht
quelle mit simultanen Wellenlängen bzw. Laserlinien gemeinsam als singuläre Punkt
lichtquelle in das Mikroskop eingekoppelt werden.
Dabei ist es von ganz besonderem Vorteil, wenn bereits vor der Einkopplung in das
Mikroskop - in einem unabhängigen Bauteil - eine Strahlvereinigung stattfindet. Von
dort aus wird dann über eine vorzugsweise als Single-Mode-Faser ausgeführte
Lichtleitfaser in das Mikroskop eingekoppelt.
Im Rahmen des hier beanspruchten Verfahrens könnte einer der Laser unmittelbar
und mindestens ein weiterer Laser über eine Lichtleitfaser in das gekapselte Bauteil -
Strahlvereiniger - eingekoppelt werden. Vor der Einkopplung in das Mikroskop könnte
eine Auswahl und individuelle Einstellung der Linienleistung mittels eines AOTF
(Acousto Optical Tunable Filter) stattfinden.
Ebenso könnte vor der Einkopplung in das Mikroskop eine Strahlmodulation und ggf.
schnelle Strahlabschaltung mittels eines AOM (Acousto Optical Modulator) möglich
sein. Beide Optionen lassen sich zugunsten einer kompakten Ausgestaltung der
Punktlichtquelle bzw. des Punktlichtmoduls innerhalb des Gehäuses vorsehen.
Es gibt nun verschiedene Möglichkeiten, die Lehre der vorliegenden Erfindung in
vorteilhafter Weise auszugestalten und weiterzubilden. Dazu ist einerseits auf die den
Patentansprüchen 1 und 12 nachgeordneten Ansprüche, andererseits auf die nach
folgende Erläuterung eines Ausführungsbeispiels der Erfindung anhand der Zeich
nung zu verweisen. In Verbindung mit der Erläuterung des bevorzugten Ausfüh
rungsbeispiels der Erfindung werden auch im allgemeinen bevorzugte Ausgestaltun
gen und Weiterbildungen der Lehre erläutert.
In der Zeichnung zeigt
die einzige Figur eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Punktlichtquelle mit insgesamt vier Lasern.
die einzige Figur eine schematische Darstellung einer erfindungsgemäßen Punktlichtquelle mit insgesamt vier Lasern.
Das in der einzigen Figur dargestellte Modul läßt sich insgesamt als Punktlichtquelle
für ein Laserscanmikroskop bzw. für ein Konfokalmikroskop definieren, wobei hier
insgesamt vier Laser 1, 2, 3, 4 vorgesehen sind. Die Laser 1, 2, 3, 4 weisen unter
schiedliche Wellenlängen auf.
Erfindungsgemäß ist ein Strahlvereiniger 5 vorgesehen, in den die Laser 1, 2, 3, 4 mit
ihren Laserstrahlen ein koppeln. Die "optische Ankopplung" aller Laser 1, 2, 3, 4 an
ein nachgeschaltetes AOTF (Acousto Optical Tunable Filter) 11 erfolgt ausschließlich
über den unteren Teilerspiegel des Strahlvereinigers 5. Vom Strahlvereiniger 5 führt
ein gemeinsamer Strahlengang durch den AOTF 11 und ein AOM (Acousto Optical
Modulator) 13 über eine Lichtleitfaser 6 zu dem in der Figur lediglich angedeuteten
Laserscanmikroskop 7.
Die einzige Figur zeigt besonders deutlich, daß einer der Laser, nämlich der mit dem
Bezugszeichen 4 gekennzeichnete Laser, unmittelbar in den Strahlvereiniger 5 ein
koppelt. Die anderen Laser 1, 2 und 3 koppeln jeweils über eine Lichtleitfaser 8 in
den Strahlvereiniger 5 ein.
Der Strahlvereiniger 5 ist in einem Gehäuse 9 angeordnet. Entsprechend ist der un
mittelbar in den Strahlvereiniger 5 einkoppelnde Laser 4 direkt mit dem Gehäuse 9
verbunden. Ein entsprechender Adapterkopf ist hier der Einfachheit halber nicht dar
gestellt.
Die weiteren Laser 1, 2 und 3 führen über die Lichtleitfasern 8 durch die Gehäuse
wandung hindurch bzw. durch entsprechende Anschlüsse 10 in das Gehäuseinnere,
wobei dort eine Einkopplung in den Strahlvereiniger 5 stattfindet.
Wie bereits zuvor erwähnt, ist gemäß einziger Figur dem Strahlvereiniger 5 innerhalb
des Gehäuses 9 ein AOTF (Acousto Optical Tunable Filter) 11 nachgeschaltet, wobei
dieser AOTF 11 zur Auswahl und individuellen Einstellung der Linienleistung dient.
Dem AOTF 11 ist wiederum ein AOM (Acousto Optical Modulator) 13 nachgeschal
tet, der zur Strahlmodulation und schnellen Strahlabschaltung dient. Von dort aus
führt die als Single-Mode-Faser ausgeführte Lichtleitfaser 6 über einen entsprechen
den Anschluß 12 zum Laserscanmikroskop 7, um dort den Laserstrahl mit mehreren
Wellenlängen bzw. mehreren Laserlinien im Sinne einer Lichtpunktquelle einzukop
peln.
Hinsichtlich des erfindungsgemäßen Verfahrens wird zur Vermeidung von Wieder
holungen auf den allgemeinen Teil der Beschreibung verwiesen.
Schließlich sei ganz besonders darauf hingewiesen, daß das voranstehend erörterte
Ausführungsbeispiel lediglich der Erörterung der hier beanspruchten Lehre dient,
diese jedoch nicht auf das Ausführungsbeispiel einschränkt.
Claims (16)
1. Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop (7), wobei mindestens zwei Laser (1
und/oder 2 und/oder 3; 4) mit unterschiedlichen Wellenlängen in das Mikroskop (7)
einkoppelbar sind,
gekennzeichnet durch mindestens zwei Laserlichtquellen, die in einen
Strahlvereiniger (5) einkoppeln, und eine mittelbar oder unmittelbar vom Strahlverei
niger (5) zum Mikroskop (7) führende Lichtleitfaser (6).
2. Punktlichtquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Laser
(4) unmittelbar und mindestens ein weiterer Laser (1 und/oder 2 und/oder 3) über
eine Lichtleitfaser (8) in den Strahlvereiniger (5) einkoppeln.
3. Punktlichtquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Laser
(4) unmittelbar und zwei weitere Laser (1 und/oder 2 und/oder 3) jeweils über eine
Lichtleitfaser (8) in den Strahlvereiniger (5) einkoppeln.
4. Punktlichtquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Laser
(4) unmittelbar und drei weitere Laser (1, 2, 3) jeweils über eine Lichtleitfaser (8) in
den Strahlvereiniger (5) einkoppeln.
5. Punktlichtquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß
der Strahlvereiniger (5) als dichroitischer Strahlvereiniger ausgeführt ist.
6. Punktlichtquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß
der Strahlvereiniger (5) in einem Gehäuse (9) angeordnet ist und daß der unmittelbar
in den Strahlvereiniger (5) einkoppelnde Laser (4) ggf. über einen Adapterkopf am
Gehäuse (9) festgelegt ist.
7. Punktlichtquelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse
(9) aus Metall hergestellt ist.
8. Punktlichtquelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse
(9) aus Kunststoff hergestellt ist.
9. Punktlichtquelle nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß
dem Strahlvereiniger (5) vorzugsweise innerhalb des Gehäuses (9) ein AOTF
(Acousto Optical Tunable Filter) (11) zur Auswahl und individuellen Einstellung der
Linienleistung nachgeschaltet ist.
10. Punktlichtquelle nach einem der Ansprüche 6 bis 9, dadurch gekennzeichnet,
daß dem Strahlvereiniger (5) vorzugsweise innerhalb des Gehäuses (9) ein AOM
(Acousto Optical Modulator) (13) zur Strahlmodulation und schnellen Strahlabschal
tung nachgeschaltet ist.
11. Punktlichtquelle nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die vom Strahlvereiniger (5) zum Mikroskop (7) führende Lichtleitfaser (6) als
Single-Mode-Faser ausgeführt ist.
12. Verfahren zum Einkoppeln von mindestens zwei Lasern (1 und/oder 2 und/oder
3; 4) unterschiedlicher Wellenlänge in ein Laserscanmikroskop (7),
dadurch gekennzeichnet, daß die Laser (1 und/oder 2 und/oder 3; 4)
gemeinsam als singuläre Punktlichtquelle in das Mikroskop (7) eingekoppelt werden.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Einkopplung
in das Mikroskop (7) in einem gekapselten Bauteil eine Strahlvereinigung stattfindet
und daß von dort aus über eine vorzugsweise als Single-Mode-Faser ausgeführte
Lichtleitfaser (6) in das Mikroskop (7) eingekoppelt wird.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß einer der Laser (4)
unmittelbar und mindestens ein weiterer Laser (1 und/oder 2 und/oder 3) über eine
Lichtleitfaser (8) in das gekapselte Bauteil einkoppelt.
15. Verfahren nach Anspruch 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß vor der Ein
kopplung in das Mikroskop (7) eine Auswahl und individuelle Einstellung der Linien
leistung mittels eines AOTF (Acousto Optical Tunable Filter) (11) erfolgt.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß
vor der Einkopplung in das Mikroskop (7) eine Strahlmodulation und ggf. schnelle
Strahlabschaltung mittels eines AOM (Acousto Optical Modulator) (13) möglich ist.
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19633185A DE19633185C2 (de) | 1996-04-16 | 1996-08-17 | Mehrfarbige Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop |
US09/147,131 US6222961B1 (en) | 1996-04-16 | 1997-04-16 | Point light source for a laser scanning microscope and process for feeding at least two different laser beams of different wavelengths into a laser scanning microscope |
DE59712064T DE59712064D1 (de) | 1996-04-16 | 1997-04-16 | Punktlichtquelle für ein laserscanmikroskop und verfahren zum einkoppeln von mindestens zwei lasern unterschiedlicher wellenlänge in ein laserscanmikroskop |
EP97922839A EP0894278B1 (de) | 1996-04-16 | 1997-04-16 | Punktlichtquelle für ein laserscanmikroskop und verfahren zum einkoppeln von mindestens zwei lasern unterschiedlicher wellenlänge in ein laserscanmikroskop |
JP53665097A JP4194118B2 (ja) | 1996-04-16 | 1997-04-16 | レーザ走査顕微鏡の点光源および波長の異なる少なくとも2つのレーザをレーザ走査顕微鏡に入射結合する方法 |
PCT/DE1997/000762 WO1997039375A1 (de) | 1996-04-16 | 1997-04-16 | Punktlichtquelle für ein laserscanmikroskop und verfahren zum einkoppeln von mindestens zwei lasern unterschiedlicher wellenlänge in ein laserscanmikroskop |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19614929 | 1996-04-16 | ||
DE19633185A DE19633185C2 (de) | 1996-04-16 | 1996-08-17 | Mehrfarbige Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19633185A1 true DE19633185A1 (de) | 1997-10-23 |
DE19633185C2 DE19633185C2 (de) | 2000-06-15 |
Family
ID=7791385
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19633185A Expired - Lifetime DE19633185C2 (de) | 1996-04-16 | 1996-08-17 | Mehrfarbige Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop |
DE59712064T Expired - Lifetime DE59712064D1 (de) | 1996-04-16 | 1997-04-16 | Punktlichtquelle für ein laserscanmikroskop und verfahren zum einkoppeln von mindestens zwei lasern unterschiedlicher wellenlänge in ein laserscanmikroskop |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59712064T Expired - Lifetime DE59712064D1 (de) | 1996-04-16 | 1997-04-16 | Punktlichtquelle für ein laserscanmikroskop und verfahren zum einkoppeln von mindestens zwei lasern unterschiedlicher wellenlänge in ein laserscanmikroskop |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (2) | DE19633185C2 (de) |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999039231A1 (de) * | 1998-01-28 | 1999-08-05 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Vorrichtung zur gleichzeitigen detektion mehrerer spektralbereiche eines lichtstrahls |
WO2000037985A2 (de) * | 1998-12-22 | 2000-06-29 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Anordnung zur separierung von anregungs- und emissionslicht in einem mikroskop |
DE19949272A1 (de) * | 1999-10-12 | 2001-04-19 | Leica Microsystems | Konfokales Laserscan-Mikroskop |
DE10105391A1 (de) * | 2001-02-06 | 2002-08-29 | Leica Microsystems | Scanmikroskop und Modul für ein Scanmikroskop |
DE19827140C2 (de) * | 1998-06-18 | 2002-12-12 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laserscanmikroskop mit AOTF |
US6737635B2 (en) | 2000-04-04 | 2004-05-18 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Apparatus for combining light and confocal scanning microscope |
WO2005059619A1 (de) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung zur bereitstellung eines laserlichtstrahls |
WO2005059595A3 (de) * | 2003-12-15 | 2005-11-24 | Leica Microsystems | Vorrichtung zur erzeugung eines mehrere wellenlängen umfassenden lichtstrahls |
US7280570B2 (en) | 2003-12-15 | 2007-10-09 | Leica Microsystems | Device for generating a light beam including multiple wavelengths |
EP1853883A1 (de) * | 2005-03-02 | 2007-11-14 | Li-Cor, Inc. | On-chip-spektralfilterung unter verwendung einer ccd-matrix zur bildgebung und spektroskopie |
DE102007007655A1 (de) | 2007-02-13 | 2008-08-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop |
WO2008151884A1 (de) * | 2007-06-15 | 2008-12-18 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Strahlvereiniger und eine lichtquelle mit einem derartigen strahlvereiniger |
WO2009012846A1 (de) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Lasos Lasertechnik Gmbh | Vorrichtung zum vereinigen einzelner lichtstrahlen verschiedener wellenlängen zu einem koaxialen lichtbündel |
DE102007047183A1 (de) | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Spiegeltreppe zur Vereinigung mehrerer Lichtquellen und Laser-Scanning-Mikroskop |
EP2047313A1 (de) * | 2006-07-28 | 2009-04-15 | Carl Zeiss MicroImaging GmbH | Verfahren zur laser-scanning-mikroskopie und strahlvereiniger |
US7554664B2 (en) | 2006-07-28 | 2009-06-30 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Laser scanning microscope |
US7564624B2 (en) | 2004-06-24 | 2009-07-21 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope |
US7835601B2 (en) | 2003-12-15 | 2010-11-16 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Device for generating a laser light beam |
US8203784B2 (en) | 2006-10-11 | 2012-06-19 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Multispectral lighting apparatus |
DE102013227107A1 (de) | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop mit einem Element zum Verändern der Form des Beleuchtungslichtfokus |
DE102013227105A1 (de) | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop und akustooptischer Strahlvereiniger für ein Mikroskop |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10361176A1 (de) * | 2003-12-15 | 2005-07-14 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Vorrichtung zur Erzeugung eines mehrere Wellenlängen umfassenden Lichtstrahls |
DE10361177A1 (de) * | 2003-12-15 | 2005-07-14 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Vorrichtung zur Bereitstellung eines Laserlichtstrahls |
DE102007003134A1 (de) | 2007-01-18 | 2008-07-24 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Laserscanmikroskop und strahlvereinigende optische Baugruppe |
DE102007009820A1 (de) * | 2007-02-28 | 2008-09-04 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optische Anordnung und optisches Verfahren |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4324681A1 (de) * | 1993-07-22 | 1995-03-30 | Hell Stefan | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Anregen eines Energiezustandes einer Probe in einem Probenpunkt mit hoher Ortsauflösung |
EP0666487A2 (de) * | 1989-09-22 | 1995-08-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Rastermikroskop und Abtastmechanismus für dasselbe |
DE4446185A1 (de) * | 1994-08-25 | 1996-02-29 | Leica Lasertechnik | Vorrichtung zum Einkoppeln des Lichtstrahls eines UV-Lasers in ein Laser-Scanmikroskop |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5147349A (en) * | 1988-10-07 | 1992-09-15 | Spectra-Physics, Inc. | Diode laser device for photocoagulation of the retina |
US5106192A (en) * | 1990-03-16 | 1992-04-21 | Eastman, Inc. | Polarization insensitive absolute interferometeric method and apparatus for measuring position angular bearing and optical paths |
JPH04110916A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Sony Corp | 半導体レーザ用合波装置 |
-
1996
- 1996-08-17 DE DE19633185A patent/DE19633185C2/de not_active Expired - Lifetime
-
1997
- 1997-04-16 DE DE59712064T patent/DE59712064D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0666487A2 (de) * | 1989-09-22 | 1995-08-09 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Rastermikroskop und Abtastmechanismus für dasselbe |
DE4324681A1 (de) * | 1993-07-22 | 1995-03-30 | Hell Stefan | Verfahren und Vorrichtung zum optischen Anregen eines Energiezustandes einer Probe in einem Probenpunkt mit hoher Ortsauflösung |
DE4446185A1 (de) * | 1994-08-25 | 1996-02-29 | Leica Lasertechnik | Vorrichtung zum Einkoppeln des Lichtstrahls eines UV-Lasers in ein Laser-Scanmikroskop |
Cited By (35)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999039231A1 (de) * | 1998-01-28 | 1999-08-05 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Vorrichtung zur gleichzeitigen detektion mehrerer spektralbereiche eines lichtstrahls |
US6614526B1 (en) | 1998-01-28 | 2003-09-02 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Device for simultaneously detecting several spectral ranges of a light beam |
DE19827140C2 (de) * | 1998-06-18 | 2002-12-12 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Laserscanmikroskop mit AOTF |
DE19861383B4 (de) * | 1998-06-18 | 2008-03-27 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Laserscanmikroskop |
US7009763B1 (en) | 1998-12-22 | 2006-03-07 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Arrangement for separating excitation light and emission light in a microscope |
WO2000037985A2 (de) * | 1998-12-22 | 2000-06-29 | Carl Zeiss Jena Gmbh | Anordnung zur separierung von anregungs- und emissionslicht in einem mikroskop |
WO2000037985A3 (de) * | 1998-12-22 | 2001-04-12 | Zeiss Carl Jena Gmbh | Anordnung zur separierung von anregungs- und emissionslicht in einem mikroskop |
EP1591825A3 (de) * | 1998-12-22 | 2006-04-12 | CARL ZEISS JENA GmbH | Vorrichtung zur Einkopplung von Licht in einen Strahlengang eines Mikroskops |
DE19949272A1 (de) * | 1999-10-12 | 2001-04-19 | Leica Microsystems | Konfokales Laserscan-Mikroskop |
DE19949272C2 (de) * | 1999-10-12 | 2003-09-11 | Leica Microsystems | Scanmikroskop |
US6737635B2 (en) | 2000-04-04 | 2004-05-18 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Apparatus for combining light and confocal scanning microscope |
DE10105391A1 (de) * | 2001-02-06 | 2002-08-29 | Leica Microsystems | Scanmikroskop und Modul für ein Scanmikroskop |
US6958470B2 (en) | 2001-02-06 | 2005-10-25 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanning microscope with a detector and light source for exciting an energy state in a specimen and module for a scanning microscope |
DE10105391B4 (de) * | 2001-02-06 | 2004-11-25 | Leica Microsystems Heidelberg Gmbh | Scanmikroskop und Modul für ein Scanmikroskop |
WO2005059595A3 (de) * | 2003-12-15 | 2005-11-24 | Leica Microsystems | Vorrichtung zur erzeugung eines mehrere wellenlängen umfassenden lichtstrahls |
WO2005059619A1 (de) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Vorrichtung zur bereitstellung eines laserlichtstrahls |
US7280570B2 (en) | 2003-12-15 | 2007-10-09 | Leica Microsystems | Device for generating a light beam including multiple wavelengths |
US7835601B2 (en) | 2003-12-15 | 2010-11-16 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Device for generating a laser light beam |
US7564624B2 (en) | 2004-06-24 | 2009-07-21 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope |
EP1853883A1 (de) * | 2005-03-02 | 2007-11-14 | Li-Cor, Inc. | On-chip-spektralfilterung unter verwendung einer ccd-matrix zur bildgebung und spektroskopie |
EP1853883A4 (de) * | 2005-03-02 | 2011-10-12 | Li Cor Inc | On-chip-spektralfilterung unter verwendung einer ccd-matrix zur bildgebung und spektroskopie |
DE102006034908B4 (de) | 2006-07-28 | 2023-01-26 | Carl Zeiss Microscopy Gmbh | Laser-Scanning-Mikroskop |
EP2047313A1 (de) * | 2006-07-28 | 2009-04-15 | Carl Zeiss MicroImaging GmbH | Verfahren zur laser-scanning-mikroskopie und strahlvereiniger |
US7554664B2 (en) | 2006-07-28 | 2009-06-30 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Laser scanning microscope |
US8203784B2 (en) | 2006-10-11 | 2012-06-19 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Multispectral lighting apparatus |
DE102007007655A1 (de) | 2007-02-13 | 2008-08-14 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop |
WO2008151884A1 (de) * | 2007-06-15 | 2008-12-18 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Strahlvereiniger und eine lichtquelle mit einem derartigen strahlvereiniger |
US8259383B2 (en) | 2007-06-15 | 2012-09-04 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Beam combiner and a light source with such a beam combiner |
US8228609B2 (en) | 2007-07-20 | 2012-07-24 | Lasos Lasertechnik Gmbh | Apparatus for combining individual light beams of different wavelengths to form a coaxial light bundle |
WO2009012846A1 (de) * | 2007-07-20 | 2009-01-29 | Lasos Lasertechnik Gmbh | Vorrichtung zum vereinigen einzelner lichtstrahlen verschiedener wellenlängen zu einem koaxialen lichtbündel |
DE102007047183A1 (de) | 2007-10-02 | 2009-04-09 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Spiegeltreppe zur Vereinigung mehrerer Lichtquellen und Laser-Scanning-Mikroskop |
DE102013227107A1 (de) | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop mit einem Element zum Verändern der Form des Beleuchtungslichtfokus |
DE102013227105A1 (de) | 2013-09-03 | 2015-03-05 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop und akustooptischer Strahlvereiniger für ein Mikroskop |
WO2015032819A1 (de) | 2013-09-03 | 2015-03-12 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Mikroskop mit einem element zum verändern der form des beleuchtungslichtfokus |
US10591356B2 (en) | 2013-09-03 | 2020-03-17 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope and acousto-optic beam combiner for a microscope |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE59712064D1 (de) | 2005-01-20 |
DE19633185C2 (de) | 2000-06-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP0894278B1 (de) | Punktlichtquelle für ein laserscanmikroskop und verfahren zum einkoppeln von mindestens zwei lasern unterschiedlicher wellenlänge in ein laserscanmikroskop | |
DE19633185A1 (de) | Punktlichtquelle für ein Laserscanmikroskop und Verfahren zum Einkoppeln von mindestens zwei Lasern unterschiedlicher Wellenlänge in ein Laserscanmikroskop | |
DE4324848C1 (de) | Videoprojektionssystem | |
DE69132049T3 (de) | Hochleistungs-lichtquelle | |
DE19827139C2 (de) | Mikroskop mit einem über eine Lichtleitfaser eingekoppelten Kurzpulslaser | |
DE10016377B4 (de) | Vorrichtung zum Vereinigen von Licht | |
EP1421427B1 (de) | Optische anordnung und scanmikroskop | |
EP3156838A1 (de) | Scannerkopf und vorrichtung mit scannerkopf | |
EP1122574B1 (de) | Mikroskop-Aufbau | |
EP0734539B1 (de) | Vorrichtung zum einkoppeln des lichtstrahls eines uv-lasers in ein laser-scanmikroskop | |
DE10044636A1 (de) | Optische Anordnung zur Beleuchtung von Objekten für konfokale Rastermikroskope | |
EP1046073B1 (de) | Verfahren zur abstimmung des beleuchtungsstrahlengangs eines konfokalen mikroskops auf die eintrittspupille eines objektivs | |
DE4344366C2 (de) | Optisches System mit variablem Abbildungsmaßstab | |
DE10033269A1 (de) | Vorrichtung zum Einkoppeln von Licht mindestens einer Wellenlänge einer Laserlichtquelle in einen optischen Aufbau | |
DE4446185A1 (de) | Vorrichtung zum Einkoppeln des Lichtstrahls eines UV-Lasers in ein Laser-Scanmikroskop | |
DE102022110078A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Modifikation des Strahlprofils eines Laserstrahls | |
WO2000014582A2 (de) | Abschlussstück für lichtleitfasern | |
WO2018138087A1 (de) | Vorrichtung zum aufrüsten eines einen kameraanschluss aufweisenden lichtmikroskops zu einem sted-mikroskop | |
DE102015205163B4 (de) | Optisches System für eine Laserbearbeitungsmaschine, mit einem optischen Element in einem Stecker eines Lichtleitkabels | |
DE102005059650A1 (de) | Vorrichtung zur Montage für mehrere Laser und Mikroskop | |
DE102016205413A1 (de) | Projektionseinrichtung und Verfahren zum Projizieren einer Bildinformation auf eine Projektionsfläche | |
EP2880485B1 (de) | Achromatische scaneinrichtung mit monochromatischem f-theta objektiv | |
DE102022107324B4 (de) | Laserbearbeitungskopf mit Auslenkvorrichtungen | |
DE10062454B4 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Überlagerung von Strahlenbündeln | |
DE102022127276A1 (de) | Lasersystem zur Erzeugung zumindest einer segmentierten Fokusstrahlung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH, 69120 HEIDELBE |
|
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: LEICA MICROSYSTEMS HEIDELBERG GMBH, 68165 MANNHEIM |
|
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: LEICA MICROSYSTEMS CMS GMBH, 35578 WETZLAR, DE |
|
R071 | Expiry of right |