DE19620541A1 - Dispergierendes optisches System für ein Simultanspektrometer - Google Patents
Dispergierendes optisches System für ein SimultanspektrometerInfo
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Description
Zur spektralen Analyse eines Emissions- oder Absorptionsspektrums sind eine Reihe von
Lösungen bekannt.
In US 4049353 ist ein System mit einer durch ein Echellegitter und ein Prisma in zwei
Richtungen durch gekreuzte Dispersion aufgespaltenen spektralen Verteilung
beschrieben.
Zur Auswertung ist eine mit bis zu 20 vorgewählten Eintrittsspalten vorgesehene
Kassette vorgesehen auf die die spektrale Verteilung abgebildet wird.
Für spezifische Auswerteaufgaben sind jeweils separate Kassetten vorgesehen.
Den Eintrittsspalten sind jeweils Photomultiplier nachgeordnet.
Die Justierung der Kassetten ist hierbei relativ aufwendig (je zwei Spiegel pro
Meßkanal) und die Zahl der simultan erfaßbaren Nachweislinien ist beschränkt.
Weiterhin ist der neben den Linien liegende Spektrenuntergrund nur sequentiell durch
Gitterdrehung erfaßbar.
In DD 2 17 626 sind einer gleichfalls durch gekreuzte Dispersion entstandenen
spektralen Verteilung auf einer Spaltmaske Öffnungen von Lichtleitfasern zugeordnet
die mit ihren Ausgängen steckbar Stellmitteln zugeordnet sind die eine Zuordnung zu
Fotomultipliern vornehmen.
Mit dem Faserblock sind über 120 Nachweislichen registrierbar davon je zwölf in fünf
Gruppen in raschem Wechsel.
Der neben den Linien liegende Spektrenuntergrund ist ebenfalls nur sequentiell durch
Kameraspiegeldrehung erfaßbar.
In US 4636074 werden zwar Nachweislinien und benachbarter Spektrenuntergrund
simultan bestimmt, aber trotz Vorselektions-Polychromator und austauschbarer Masken
in der Fokalebene des Vorselektions-Polychromators sind nur wenige Nachweislinien
ohne Überlappung simultan erfaßbar.
Im Gerät IRIS von Thermo Jarrell Ash werden mittels eines CCD-Detektors
Länge und Verlauf des Gesamtspektralbereichs, der mit einem Echellesystem und
gekreuzter Dispersion zur Ordnungstrennung auf den Flächenempfänger abgebildet
wird, erfaßt.
Wegen der Abstands- und Längenunterschiede der abgebildeten Ordnungszeilen
entsteht viel ungenutzte Fläche auf dem Empfänger. Von der erfaßten
Spektreninformation wird nur ein geringer Teil genutzt.
Die Eintrittsspalthöhe muß niedrig sein, damit die Ordnungszeilen sich nicht überlappen.
Das geht auf Kosten der Meßempfindlichkeit.
Mit einer Lösung gemäß US 4820048 werden mittels einer aufwendigen Optik und
einem speziell dazu angepaßten segmentierten Flächenempfänger eine Vielzahl von
Spektrenabschnitten, d. h. Nachweislinien mit benachbartem Spektrenuntergrund
simultan erfaßt.
Diese Lösung ist relativ kostenaufwendig.
Die Erfindung geht nunmehr von der Aufgabe aus,
mit geringem Aufwand, unter Verwendung handelsüblicher CCD-Flächen
empfänger und unter effektiver Ausnutzung der Empfängerfläche
gleichzeitig Spektrallinien und Untergrundstrahlung zu erfassen, wobei eine deutliche
Ordnungstrennung ohne Ordnungsüberlagerung ermöglicht werden soll.
Die Aufgabe wird durch die Merkmale des ersten Anspruches gelöst.
Bevorzugte Weiterbildungen sind Gegenstand der abhängigen Ansprüche.
Der optische Teil der erfindungsgemäßen Anordnung ist so gestaltet, daß kommerziell
erhältliche Flächenempfänger mit linearen, äquidistanten Pixelanordnungen verwendet
werden können.
Durch steckbare Lichtleitfasern ist eine flexible Auswahl von Spektrenabschnitten
möglich.
Vorzugsweise parallel zu den Empfängerzeilen werden die Spektrenabschnitte, d. h.
Nachweislinien mit benachbartem Spektrenuntergrund eng aneinanderliegend und
simultan abgebildet.
Der Auslese- und Auswerteprozeß der Spektren ist dadurch einfach zu vollziehen, der
Flächenempfänger wird effektiv genutzt und die Zahl der simultan abgebildeten
Spektrenabschnitte kann wesentlich höher sein als bei bekannten Anordnungen mit
einer CCD-Matrix.
Optik und Flächenempfänger sind gegenüber einem angepaßten, segmentierten
Flächenempfänger wie bei US 4820048, nicht so aufwendig und müssen nicht so
speziell aneinander angepaßt werden.
Die Erfindung und ihre Vorteile werden nachstehend anhand der schematisch
dargestellten Anordnung in Fig. 1 näher erläutert.
Fig. 2 zeigt ergänzend die Anordnung der Lichtleiterenden in der Fokalebene des
Vorpolychromarors Vp.
Der Strahlenverlauf von der Quelle Sq bis zum Festkörperdetektor EA in Fig. 1 verläuft
folgendermaßen:
Die divergente Strahlung einer Strahlungsquelle Sq wird durch eine Abbildungsoptik Ao, eine Eintrittsapertur Ea des Vorpolychromators Vp und durch einen in dieser Richtung als Kollimator wirkenden sphärischen Hohlspiegel Hs und ein rückflächenverspiegeltes Prisma Pr in einer Fokalebene Fe als stetig verlaufender Gesamtspektralbereich abgebildet.
Die divergente Strahlung einer Strahlungsquelle Sq wird durch eine Abbildungsoptik Ao, eine Eintrittsapertur Ea des Vorpolychromators Vp und durch einen in dieser Richtung als Kollimator wirkenden sphärischen Hohlspiegel Hs und ein rückflächenverspiegeltes Prisma Pr in einer Fokalebene Fe als stetig verlaufender Gesamtspektralbereich abgebildet.
Das Prisma Pr erzeugt mehrere in sich parallele Bündel mit entsprechend ihrer
Wellenlänge unterschiedlicher Richtung, die vom Spiegel Hs als konvergente Bündel in
die Fokalebene Fe abgebildet werden.
In der Fokalebene Fe ist ein Faserblock hinter einer Austrittsspaltenmaske AsM
angeordnet, wobei den Spektrenabschnitten aus dem Gesamtspektralbereich
Kernquerschnitte von Lichtleitfasern Lf zugeordnet sind.
Die Kerndurchmesser der Lichtleitfasern Lf sind vorteilhaft so dimensioniert und in der
Fokalebene des Vorpolychromators Vp angeordnet, daß pro Faser maximal der
Spektrenabschnitt einer Beugungsordnung des Echellegitters Eg erfaßt wird.
Auf diese Weise wird durch die Fasern eine Ordnungstrennung der
Strahlungsverteilung vorgenommen.
Wie in Fig. 2 dargestellt, sind die Fasern nicht nur nebeneinander, sondern auch quer
zur Dispersionsrichtung des Vorpolychromators Vp angeordnet, um den
Gesamtspektralbereich lückenlos zu erfassen.
Die Lichtleitfasern Lf leiten die vorselektierte Strahlung zu den einzelnen Eintrittsspalten.
Es einer Eintrittsspaltenmaske EsM eines Hauptpolychromators Hp. Von dieser gelangt
sie als divergente Bündel in Richtung eines Kollimatorspiegels Ko, der sie als parallele
Bündel mittig auf ein Echellegitter Eg abbildet.
Vom Echellegitter Eg gelangen spektral selektierte Parallelbündel auf einen
Kameraspiegel Ka und von diesem als konvergente Bündel auf einen Planspiegel Ps,
über den durch die Austrittsapertur Aa des erfindungsgemäßen optischen Systems auf
einen matrixförmigen Festkörperdetektor EA als parallel zueinander versetzte, in
einzelne Spektralordnungen selektierte Spektrenabschnitte mit den Nachweislinien
λν und der Spektrenumgebung von λν, die auch zur Spektrenauswertung
genutzt werden kann.
Bei der Lösung gemäß der Erfindung werden die Eigenschaften eines Echellegitters Eg
vorteilhaft ausgenutzt:
- - einen Gesamtspektralbereich in vielen Beugungsordnungen gebeugt zu zerlegen,
- - bei festem Einfallswinkel der Strahlung auf das Echellegitter Eg die gebeugte Strahlung einer Beugungsordnung unter hoher Winkeldispersion in einen breiten Bereich von Austrittswinkeln weiterzuleiten.
Da der optische Weg umkehrbar ist, werden gemäß Erfindungsvorschlag die
interessierenden Spektrenabschnitte einer Beugungsordnung unter solchen
Einfallswinkeln auf das Echellegitter Eg gelenkt, daß die Spektrenabschnitte mit der
Spektrenmitte um λν in einem engen Winkelbereich von Austrittswinkeln gebeugt und
über Spiegel Ka, Ps gelenkt durch die Austrittsapertur Aa des optischen Systems
austreten, die der Empfängerfläche eines Bildempfängers EA entspricht. Das
Echellegitter Eg ist Mittelpunkt eines Hauptpolychromators Hp, dessen
Eintrittsaperturen, die Eintrittsspalte Es in der Größenordnung von Lichtleitfaser-
Querschnitten auf einer Eintrittsspaltenmaske EsM verteilt liegen. Diese Verteilung
berücksichtigt in y-Richtung, d. h. in Beugungsrichtung des Echellegitters Eg die
Gitterformel: sin αν + sin βν = µ · λν · G (*) sowie das Abbildungsverhältnis fko/fka des
Hauptpolychromators Hp
und in x-Richtung, d. h. senkrecht zur y-Richtung den Zeilenabstand der Zeilen auf dem
angekoppelten Bildempfänger EA und ebenfalls das Verhältnis fko/fka.
Die Abstände der Eintrittsspalte in der Eintrittsspaltenmaske EsM in x-Richtung, d. h. die
x-Positionen x₁ . . . xm können z. B. äquidistant sein.
Die y-Positionen y₁ . . . yn können z. B. zwei Ordnungsprinzipien gehorchen,
- dem anwendungsorientierten Prinzip mit fest vorgegebenen λν oder dem offenen
Nutzungs-Prinzip, bei dem jeder beliebige Spektrenabschnitt um vorgegebene λν aus
dem Gesamtspektralbereich erfaßt werden kann.
Beim anwendungsorientierten Prinzip entsprechen die Paare an x/y-Positionen von
Eintrittsspalten in der Eintrittsspaltenmaske EsM genau der Zahl ν, d. h. m = n = ν und die
y-Positionen streng der Gitterformel sin αν + sin βν = µ · λν · G (*).
Beim offenen Nutzungs-Prinzip sind die y-Positionen z. B. äquidistant mit den Abständen
a in der Eintrittsspaltenmaske EsM in y-Richtung verteilt, die Zahl n muß der
Ungleichung
n · a Lµmin genügen, d. h. die im Hauptpolychromator Hp abgebildete niedrigste
genutzte Beugungsordnung des Echellegitters Eg, die bekanntlich in Beugungsrichtung
des Echellegitters Eg die höchste Winkeldispersion aufweist, wird in ihrer abgebildeten
Länge Lµmin von der Austrittsapertur Aa des Hauptpolychromators Hp immer erfaßt,
wenn man nacheinander Strahlung durch die Eintrittsspalte y₁ . . . yn aus der
betreffenden Beugungsordnung µmin in den Hauptpolychromator Hp einstrahlt.
Um Spektrenüberlagerungen in der Austrittsapertur Aa des Hauptpolychromators Hp
zu vermeiden, werden pro x-Position in der Eintrittsspaltenmaske EsM jeweils nur ein
Eintrittsspalt Es aus der Reihe der möglichen y-Positionen durchstrahlt mit Strahlung,
die maximal dem Spektralumfang einer Beugungsordnung des Echellegitters Eg
entspricht. Die Selektion der Strahlung des Gesamtspektralbereichs in
Spektrenabschnitte vom Spektralumfang maximal einer Beugungsordnung des
Echellegitters Eg und die Weiterleitung der Strahlung zu den einzelnen Eintrittsspalten
der Eintrittsspaltenmaske EsM des Hauptpolychromators Hp leisten vorteilhaft gemäß
der Erfindung die Kombination eines Vorpolychromators Vp mit nachfolgendem
Lichtleitfaser-Verteilerblock zwischen der Fokalebene Fe des Vorpolychromators Vp und
der Eintrittsspaltenmaske EsM des Hauptpolychromators Hp.
Im Vorpolychromator Vp erzeugt z. B. das rückflächenverspiegelte Prisma Pr,
kombiniert mit einem Hohlspiegel Hs in der Fokalebene Fe eine ausreichende reziproke
Lineardispersion des Gesamtspektralbereichs, so daß in der Fokalebene Fe des
Vorpolychromators hinter der Austrittsspaltenmaske AsM angeordnete Lichtleitfasern Lf
mit ihren Kernquerschnitten die Strahlung maximal einer Beugungsordnung des
Echellegitters Eg erfassen.
Dabei sind die Enden der Lichtleitfasern Lf in der Fokalebene Fe des Vorpolychromators
Vp auf den Hohlspiegel Hs ausgerichtet, vor den Eintrittsspalten der
Eintrittsspaltenmaske EsM des Hauptpolychromators Hp in Richtung auf den
Kollimatorspiegel Ko des Hauptpolychromators Hp.
Im Fall des anwendungsorientierten Prinzips des optischen Systems gemäß der
Erfindung, aber vor allem beim offenen Nutzungs-Prinzip sind die Lichtleitfaser-Enden
in der Fokalebene Fe des Vorpolychromators nicht nur in Dispersionsrichtung
angeordnet, sondern auch senkrecht dazu (Fig. 2).
Beim anwendungsorientierten Prinzip können zwei oder mehrere
Nachweiswellenlängen λν in einer Beugungsordnung des Echellegitters Eg liegen, beim
offenen Nutzungs-Prinzip muß der Gesamtspektralbereich lückenlos mit Lichtleitfaser-
Kernquerschnitten erfaßt werden. Somit richtet sich die Zahl ν nach der Zahl der zu
erfassenden Spektrenabschnitte mit λν, die Zahl n nach den Beugungseigenschaften des
Echellegitters Eg und dem Abbildungsverhältnis fko/fka des Hauptpolychromators Hp
sowie der Breite der Austrittsapertur Aa bzw. der effektiv nutzbaren Zeilenlänge des
Bildempfängers EA und die Zahl m nach der Zeilenzahl des Bildempfängers EA, die
entsprechend der Eintrittsspalt-Höhe und dem Abbildungsverhältnis fko/fka mit gleicher
Strahlung eines Spektrenabschnitts beleuchtet werden soll.
Beim anwendungsorientierten Prinzip des optischen Systems gemäß
Erfindungsvorschlag ist die Zahl der verwendeten Lichtleitfasern Lf gleich ν, die Zahl m
kann m ν betragen.
Beim offenen Nutzungs-Prinzip des optischen Systems gemäß Erfindungsvorschlag ist
die Zahl der benötigten Lichtleitfasern Lf mindestens gleich µ, der Zahl der
Beugungsordnungen, in die das Echellegitter Eg den Gesamtspektralbereich gebeugt
abstrahlt.
Vorzugsweise sind die Lichtleitfasern Lf mit ihren Enden in der Fokalebene des
Vorpolychromators Vp in einem Faserblock fest positioniert und jede Faser ist mit einer
Kennung versehen, mit ihrem anderen Ende vor den Eintrittsspalten Es der
Eintrittsspaltenmaske EsM des Hauptpolychromators Hp steckbar oder in einen
Faserspeicher Fs geordnet steckbar, falls von der betreffenden Lichtleitfaser Lf erfaßte
Strahlung nicht in den Hauptpolychromator Hp gelangen soll.
Ein Geräterechner R, der auch der Steuerung des Bildempfängers und der Auswertung
der Spektreninformation dient, ermöglicht unter Nutzung der Gitterformel
(*) sin αν + sin βν = µ · λν · G die Zuordnung der Lichtleitfasern Lf zu den x- und y-Posi
tionen der Eintrittsspaltenmaske EsM und beim offenen Nutzungs-Prinzip des
optischen Systems, gemäß der Erfindung auch die Findung von λν mit
Spektrenumgebung innerhalb der bestrahlten Zeile auf dem Bildempfänger EA unter
zusätzlicher Nutzung der Dispersionsformel Dµ = cos βν/µ · fka · G (**).
Zwischen Vorpolychromator Vp, Lichtleitfasern Lf und Hauptpolychromator Hp sollte
eine Anpassung des Lichtleitwertes bzw. des Öffnungsverhältnisses der optischen
Teilsysteme vorgenommen werden. Dabei werden vorteilhaft der Lichtleitwert des
Vorpolychromators Vp und die Numerische Apertur der Lichtleitfasern Lf aufeinander
abgestimmt, der Kernquerschnitt der Lichtleitfaser Lf vor den Eintrittsspalten der
Eintrittsspaltenmaske EsM des Hauptpolychromators Hp bzw. das aus der Lichtleitfaser
Lf austretende Strahlenbündel kann durch eine Linse zwischen Faserende und
Eintrittsspalt auf den Kollimatorspiegel Ko des Hauptpolychromators Hp abgebildet
werden.
Manche Strahlungsquellen, z. B. solche mit rohrförmigen elektrothermischen
Atomisatoren strahlen nur in einem engen Raumwinkel (von Kontinuumsstrahlung
ungestörte) Strahlung zur Spektrenauswertung ab. Für diese Strahlungsquellen ist das
optische System gemäß der Erfindung besonders geeignet, weil es nur eine
Eintrittsapertur besitzt.
Bezugszeichenliste
Fig. 1:
Aa/2. DAE = Austrittsapertur des Hp/2. Dispersions- und Aufspaltungsebene
Ao = Abbildungsoptik
AsM = Austrittsspaltenmaske
EA = photoelektrische Empfängeranordnung (Festkörperempfänger-Matrix, Bildempfänger)
Ea = Eintrittsapertur
Eg/DE2 = Echellegitter/2. Dispersionselement
Es = Eintrittsspalt in der EsM
EsM = Eintrittsspaltenmaske
Fe/DAE1 = Fokalebene/1. Dispersions- und Aufspaltungsebene
Fs = Faserspeicher
Hp = Hauptpolychromator
Hs = Hohlspiegel
Ka = Kameraspiegel
Ko = Kollimatorspiegel
Lf = Lichtleitfaser
Pr/DE1 = rückflächenverspiegeltes Prisma/ erstes Dispersionselement
Ps = Planspiegel
R = Geräterechner
Sq = Strahlungsquelle
Vp = Vorpolychromator
α = Strahleneinfallswinkel auf das Eg
β = Strahlenaustrittswinkel am Eg
λ = Wellenlänge/nm/
ν = Anzahl für Nachweiswellenlängen
µ = Zahl für genutzte Beugungsordnungen des Eg
a = Abstand der y-Positionen beim offenen Nutzungs- Prinzip des optischen Systems
B = Breite der Aa
D = Dispersion der Beugungsordnung in der Aa des Hp/nm/mm/
f = Brennweite
G = Gitterfurchenzahl/mm des Eg
L = Länge der Beugungsordnungen, abgebildet in der Aa des Hp/mm/
m = Zahl der x-Positionen auf der EsM des Hp
n = Zahl der y-Positionen auf der EsM des Hp
NA = Numerische Apertur der Lf
Fig. 2:
b = Breite eines Spektrenabschnitts vom Spektralumfang einer Beugungsordnung des Echellegitters (Eg)
AsM = Austrittsspaltenmaske mit rechteckigen Austrittsspalten in der Fokalebene (Fe) des Vorpolychromators (Vp)
Lf = Lichtleitfasern mit Kernquerschnitt und Außendurchmesser, angeordnet hinter den rechteckigen Austrittsspalten der Austrittsspaltenmaske (AsM)
Aa/2. DAE = Austrittsapertur des Hp/2. Dispersions- und Aufspaltungsebene
Ao = Abbildungsoptik
AsM = Austrittsspaltenmaske
EA = photoelektrische Empfängeranordnung (Festkörperempfänger-Matrix, Bildempfänger)
Ea = Eintrittsapertur
Eg/DE2 = Echellegitter/2. Dispersionselement
Es = Eintrittsspalt in der EsM
EsM = Eintrittsspaltenmaske
Fe/DAE1 = Fokalebene/1. Dispersions- und Aufspaltungsebene
Fs = Faserspeicher
Hp = Hauptpolychromator
Hs = Hohlspiegel
Ka = Kameraspiegel
Ko = Kollimatorspiegel
Lf = Lichtleitfaser
Pr/DE1 = rückflächenverspiegeltes Prisma/ erstes Dispersionselement
Ps = Planspiegel
R = Geräterechner
Sq = Strahlungsquelle
Vp = Vorpolychromator
α = Strahleneinfallswinkel auf das Eg
β = Strahlenaustrittswinkel am Eg
λ = Wellenlänge/nm/
ν = Anzahl für Nachweiswellenlängen
µ = Zahl für genutzte Beugungsordnungen des Eg
a = Abstand der y-Positionen beim offenen Nutzungs- Prinzip des optischen Systems
B = Breite der Aa
D = Dispersion der Beugungsordnung in der Aa des Hp/nm/mm/
f = Brennweite
G = Gitterfurchenzahl/mm des Eg
L = Länge der Beugungsordnungen, abgebildet in der Aa des Hp/mm/
m = Zahl der x-Positionen auf der EsM des Hp
n = Zahl der y-Positionen auf der EsM des Hp
NA = Numerische Apertur der Lf
Fig. 2:
b = Breite eines Spektrenabschnitts vom Spektralumfang einer Beugungsordnung des Echellegitters (Eg)
AsM = Austrittsspaltenmaske mit rechteckigen Austrittsspalten in der Fokalebene (Fe) des Vorpolychromators (Vp)
Lf = Lichtleitfasern mit Kernquerschnitt und Außendurchmesser, angeordnet hinter den rechteckigen Austrittsspalten der Austrittsspaltenmaske (AsM)
Claims (14)
1. Dispergierendes optisches System für ein Simultanspektrometer mit photoelektrischer
Empfängeranordnung zur gleichzeitigen Auswertung mehrerer Spektrenabschnitte
einer spektralen Verteilung,
deren Strahlung nach Passieren einer Eintrittsapertur (Ea) durch ein erstes Dispersionselement DE1 in einer ersten Dispersions-und Aufspaltungsebene (DAE 1) aufgespalten wird,
wobei ein zweites Dispersionselement (DE2) die in der DAE 1 erzeugte spektrale Verteilung in eine DAE 2, die Austrittsapertur (Aa) weiter aufspaltet, der eine photoelektrische Empfängeranordnung EA optisch zugeordnet ist, und wobei die in der DAE1 erzeugte spektrale Verteilung nach Passieren einzelner Austrittsspalte einer Austrittsspaltenmaske (AsM) in ausgewählten Spektrenabschnitten über einzelne Lichtleitfasern (Lf) durch mehrere vorgewählte Eintrittsspalte (Es) einer Eintrittsspaltenmaske (EsM) gleichzeitig auf das DE2 trifft, welches von jedem Spektrenabschnitt der nicht größer ist als der spektrale Umfang einer Beugungsordnung des DE2, eine nachzuweisende Spektrallinie (λν) mit angrenzender Linienumgebung durch eine Austrittsapertur (Aa) auf die EA lenkt,
und die Anordnung und Auswahl der Eintrittsspalte (Es) in der Eintrittsspaltenmaske (EsM) so erfolgt, daß alle Spektrallinien (λν) mit angrenzender Linienumgebung als voneinander getrennte, aber eng aneinander liegende Zeilen auf der EA erscheinen.
deren Strahlung nach Passieren einer Eintrittsapertur (Ea) durch ein erstes Dispersionselement DE1 in einer ersten Dispersions-und Aufspaltungsebene (DAE 1) aufgespalten wird,
wobei ein zweites Dispersionselement (DE2) die in der DAE 1 erzeugte spektrale Verteilung in eine DAE 2, die Austrittsapertur (Aa) weiter aufspaltet, der eine photoelektrische Empfängeranordnung EA optisch zugeordnet ist, und wobei die in der DAE1 erzeugte spektrale Verteilung nach Passieren einzelner Austrittsspalte einer Austrittsspaltenmaske (AsM) in ausgewählten Spektrenabschnitten über einzelne Lichtleitfasern (Lf) durch mehrere vorgewählte Eintrittsspalte (Es) einer Eintrittsspaltenmaske (EsM) gleichzeitig auf das DE2 trifft, welches von jedem Spektrenabschnitt der nicht größer ist als der spektrale Umfang einer Beugungsordnung des DE2, eine nachzuweisende Spektrallinie (λν) mit angrenzender Linienumgebung durch eine Austrittsapertur (Aa) auf die EA lenkt,
und die Anordnung und Auswahl der Eintrittsspalte (Es) in der Eintrittsspaltenmaske (EsM) so erfolgt, daß alle Spektrallinien (λν) mit angrenzender Linienumgebung als voneinander getrennte, aber eng aneinander liegende Zeilen auf der EA erscheinen.
2. Optisches System gemäß Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch,
daß das optisches System in Durchstrahlungsrichtung besteht aus einem
Vorpolychromator (Vp), aus einem Lichtleitfaser-Verteilerblock und einem
Hauptpolychromator (Hp).
3. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Strahlung einer vorgeordneten Strahlungsquelle (Sq) in das
optische System eintritt durch eine rechteckige Apertur (Ea), die Eintrittsapertur des
Vorpolychromators in der Größenordnung eines Lichtleitfaser-Querschnitts, und aus
dem optischen System in Richtung der Empfängeranordnung austritt durch eine
rechteckige Apertur (Aa), die Austrittsapertur des Hauptpolychromators Hp in der
Größenordnung einer Festkörper-Empfängermatrix.
4. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Hauptpolychromator (Hp) bestückt ist mit einem Echellegitter
(Eg) und durch mehrere Eintrittsspalte (Es) in einer Eintrittsspaltenmaske (EsM)
gleichzeitig durchstrahlt wird, die in der Richtung der Beugungsebene des Echellegitters
(Eg) (y-Richtung) und senkrecht dazu
(x-Richtung) in vorgegebenen Abständen zueinander angeordnet sind,
- - wobei für die Abstände der Eintrittsspalt-Mitten in der Eintrittsspaltenmaske (EsM) in y-Rich tung gilt: die Mittenstrahlen der eintretenden Strahlenbündel mit der Strahlung eines Spektrenabschnitts gelangen über einen Kollimatorspiegel (Ko) des Hauptpolychromators (Hp) unter den Einfallswinkeln αν auf das Echellegitter (Eg) und treten gebeugt unter Austrittswinkeln βν über einen Kameraspiegel (Ka) des Hauptpolychromators (Hp) durch die Austrittsapertur (Aa) aus, dabei ist die Summe aller Differenzen |αn-αν +1| größer als die Summe aller Differenzen |βν-βν +1|, und alle αν und das Abbildungsverhältnis fko/fka sind so gewählt, daß die unter den Austrittswinkeln βν über den Kameraspiegel (Ka) austretenden Strahlenbündel durch die Austrittsapertur Aa des Hauptpolychromators Hp austreten, und, daß die y-Positionen der Eintrittsspalte (Es) in der Eintrittsspaltenmaske (EsA) des Hauptpolychromators (Hp) gemäß der Gittergleichung sin αν + sin βν = µ · λν · G (*) so gewählt werden, daß Strahlung mit dem Spektrenabschnitt um λν durch den betreffenden Eintrittsspalt (Es) über den Kollimatorspiegel (Ko) unter dem Einfallswinkel αν auf das Echellegitter (Eg) auftrifft und λν in Zeilenmitte auf der Festkörper-Empfängermatrix (EA) in der Austrittsapertur (Aa) des Hauptpolychromators (Hp) abgebildet wird, und daß die Eintrittsspaltenmaske (EsA) des Hauptpolychromators (Hp) so viele x-Positionen und y-Positionen und der Vorpolychromator (Vp) in seiner Fokalebene (Fe) so viele Lichtleitfasern (Lf) an den Positionen mit austretenden Strahlenbündeln hat, wie λν mit der betreffenden Spektrenumgebung abgebildet und vom Bildempfänger registriert werden sollen,
- - oder daß die y-Positionen der Eintrittsspalte (Es) in der Eintrittsspaltenmaske
EsM) des Hauptpolychromators (Hp) gleiche Abstände a fko/fka. * B
haben, wobei B die Breite der Austrittsapertur (Aa) des Hauptpolychromators (Hp)
bzw. die effektiv nutzbare Zeilenlänge auf der Flächenempfängermatrix ist, daß für die
Zahl n der y-Positionen, das heißt die Zahl der Eintrittsspalte (Es) in der
Eintrittsspaltenmaske (EsM) in Beugungsrichtung des Echellegitters (Eg) gilt:
n * a Lµmin, der Ordnungszeilenlänge der niedrigsten, genutzten Spektralordnung des Echellegitters (Eg) des Hauptpolychromators (Hp), und daß die Eintrittsspalte Es) in der Eintrittsspaltenmaske (EsM) nur mit Faserenden von Lichtleitfasern (Lf) bestückt werden, die Spektrenabschnitte durch die betreffenden Eintrittsspalte strahlen, die die gewünschten Nachweislinien λν gemäß Gittergleichung (*) enthalten, und daß die betreffenden Lichtleitfasern (Lf) an diejenigen y-Positionen gesteckt werden so daß die vom Echellegitter (Eg) gebeugte Strahlung durch die Austrittsapertur (Aa) des Hauptpolychromators (Hp) austritt und auf die Flächenempfängermatrix auftrifft, und daß in der Fokalebene (Fe) des Vorpolychromators (Vp) in Dispersionsrichtung so viele Faserkernquerschnitte von Lichtleitfasern (Lf) positioniert sind, daß der zu nutzende Gesamtspektralbereich lückenlos erfaßt wird, - - und daß für die Abstände der Eintrittsspalt-Mitten in der Eintrittsspaltenmaske (EsM) in x-Richtung gilt: die Abstände der Eintrittsspalt-Mitten sind i.a. äquidistant und mindestens so groß, daß je x-Position eine Zeile auf dem Bildempfänger (EA) ausgeleuchtet wird und maximal so groß, daß von allen x-Positionen eintretende Strahlung durch die Austrittsapertur (Aa) des Hauptpolychromators (Hp) austritt,
- - daß von allen Eintrittsspalten (Es) in der Eintrittsspaltenmaske (EsM) des Hauptpolychromators (Hp) mit gleichen x-Positionen jeweils nur einer durchleuchtet wird von der Austrittsseite einer davor positionierten, durchstrahlten Lichtleitfaser (Lf), deren Eintrittsseite in der Fokalebene (Fe) des Vorpolychromators liegt.
5. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Lichtleitfaser-Verteilerblock aus mehreren Lichtleitfasern
(Lf) besteht, die mit Kennungen versehen sind, daß alle Lichtleitfasern (Lf) mit ihrer
Eintrittsseite in der Fokalebene (Fe) des Vorpolychromators (Vp) hinter
Austrittsspalten der Austrittsspaltenmaske (AsM) fest angeordnet sind und mit ihrer
Austrittsseite wahlweise vor Eintrittsspalte (Es) der Eintrittsspaltenmaske (EsM) des
Hauptpolychromators (Hp) steckbar sind oder im Fall der Nichtbenutzung in einen
Faserspeicher (Fs) steckbar sind.
6. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß der Vorpolychromator (Vp) bestückt ist mit einem Prisma
(Pr) zur Strahlendispersion, welches in der Fokalebene (Fe) des Vorpolychromators (Vp)
eine ausreichende reziproke Lineardispersion des Gesamtspektralbereiches erzeugt, so
daß in der Fokalebene (Fe) des Vorpolychromators (Vp) hinter den Austrittsspalten einer
Austrittsspaltenmaske (AsM) angeordnete Lichtleitfasern (Lf) mit ihren Faser-
Kernquerschnitten nur Spektrenabschnitte des Gesamtspektralbereichs erfassen, deren
Spektralumfang kleiner oder gleich ist dem freien Spektralbereich der
Spektralordnungen des Echellegitters (Eg) im Hauptpolychromator (Hp),
daß in Dispersionsrichtung über die gesamte Fokalebene des Vorpolychromators (Vp)
ausreichend viele Lichtleitfasern (Lf) angeordnet sind, um die gewünschten
Spektrenabschnitte zu erfassen,
und daß senkrecht zur ersten Dispersionsebene DE1 in der Fokalebene des Vorpolychromators (Vp) auch mehrere Lichtleitfasern (Lf) dicht nebeneinander angeordnet sein können.
und daß senkrecht zur ersten Dispersionsebene DE1 in der Fokalebene des Vorpolychromators (Vp) auch mehrere Lichtleitfasern (Lf) dicht nebeneinander angeordnet sein können.
7. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß die Höhen und Breiten der Eintrittsspalte (Es) in der
Eintrittsspaltenmaske (EsM) des Hauptpolychromators (Hp) gemäß gewünschter
Auflösung und/oder Intensität des spektralen Untergrundes der Nachweislinien (λν)
variabel gestaltet sind.
8. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß bei größerer Zahl an nachzuweisenden Spektrenabschnitten als x-Posi
tionen in der Eintrittsspaltenmaske (EsM) des Hauptpolychromators (Hp)
Lichtleitfaser-Enden in verschiedenen Gruppen auf einen Faserschlitten in einer Ebene
parallel zu der der Eintrittsspaltenmaske (EsM) gesteckt und nacheinander durch
Verschieben des Faserschlittens andere Gruppen von Fasern vor den Eintrittsspalten (Es)
positioniert werden, die andere Spektrenabschnitte durch die Eintrittsspalte des
Hauptpolychromators strahlen, wobei gemäß Gittergleichung (*) durch Wahl der y-Posi
tionen dafür gesorgt ist, daß Strahlung der betreffenden Spektrenabschnitte durch
die Austrittsapertur (Aa) des Hauptpolychromators (Hp) austritt.
9. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß für den Lichtleitwert bzw. das Öffnungsverhältnis des
Vorpolychromators (Vp) gilt: LLWvp NALf, der Numerischen Apertur der Lichtleitfaser
für den genutzten Spektrenabschnitte, und daß die Numerische Apertur der
Lichtleitfaser bzw. der Raumwinkel der aus den Faserenden der Lichtleitfaser
austretenden Strahlung dem Lichtleitwert des Hauptpolychromators (Hp) derart
angeglichen wird, daß die Austrittsapertur (Aa) der Lichtleitfaser mittels Linsen vor den
Eintrittsspalten (Es) der Eintrittsspaltenmaske (EsA) des Hauptpolychromators (Hp) auf
die Apertur des Kollimatorspiegels (Ko) bzw. des Echellegitters (Eg) des
Hauptpolychromators (Hp) abgebildet wird.
10. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen der Eintrittsapertur (Ea) und dem ersten
Dispersionselement DE1 mindestens ein abbildendes Element vorgesehen ist.
11. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen dem ersten dispergierenden Element DE1 und der
ersten Dispersions- und Aufspaltungsebene DAE1 mindestens ein abbildendes Element
vorgesehen ist.
12. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen den Eintrittsspalten (Es) der Eintrittsspaltenmaske
(EsM) und dem zweiten dispergierenden Element DE2 mindestens ein abbildendes
Element vorgesehen ist.
13. Optisches System nach mindestens einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß zwischen dem zweiten dispergierenden Element DE2 und der
photoelektrischen Empfängeranordnung (EA) mindestens ein abbildendes Element
vorgesehen ist.
14. Optisches System nach Anspruch 13,
wobei das abbildende Element ein abbildender Spiegel ist.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996120541 DE19620541A1 (de) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | Dispergierendes optisches System für ein Simultanspektrometer |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996120541 DE19620541A1 (de) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | Dispergierendes optisches System für ein Simultanspektrometer |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19620541A1 true DE19620541A1 (de) | 1997-11-27 |
Family
ID=7794971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1996120541 Withdrawn DE19620541A1 (de) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | Dispergierendes optisches System für ein Simultanspektrometer |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19620541A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102007027010A1 (de) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Spectro Analytical Instruments Gmbh & Co. Kg | Spektrometeroptik mit nicht-sphärischen Spiegeln |
JP2009532666A (ja) * | 2006-04-01 | 2009-09-10 | カール ツアイス マイクロイメージング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 偽光を補償するための分光学的測定システムおよび方法 |
-
1996
- 1996-05-22 DE DE1996120541 patent/DE19620541A1/de not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009532666A (ja) * | 2006-04-01 | 2009-09-10 | カール ツアイス マイクロイメージング ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 偽光を補償するための分光学的測定システムおよび方法 |
US8111396B2 (en) | 2006-04-01 | 2012-02-07 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Spectrometric measurement system and method for compensating for veiling glare |
DE102007027010A1 (de) * | 2007-06-08 | 2008-12-11 | Spectro Analytical Instruments Gmbh & Co. Kg | Spektrometeroptik mit nicht-sphärischen Spiegeln |
DE102007027010B4 (de) | 2007-06-08 | 2023-02-16 | Spectro Analytical Instruments Gmbh | Spektrometeroptik mit nicht-sphärischen Spiegeln |
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