DE19619771A1 - Verfahren und Vorrichtung zur Verlegung eines Drahtleiters auf einem Substrat sowie hiermit hergestellte Substrate - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Verlegung eines Drahtleiters auf einem Substrat sowie hiermit hergestellte SubstrateInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren gemäß dem
Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie eine zur Durchführung des
Verfahrens verwendbare Vorrichtung gemäß dem Anspruch 14
und dem Anspruch 18.
Aus der DE 44 10 732 A1 ist ein Verfahren zur Verlegung eines
drahtförmigen Leiters auf einem Substrat bekannt, bei dem zur
Fixierung des drahtförmigen Leiters auf dem Substrat eine Ul
traschallverbindungseinrichtung eingesetzt wird. Die bei dem
bekannten Verfahren eingesetzte Ultraschallverbindungseinrich
tung bewirkt an den Verbindungsstellen des Drahtleiters mit
der Substratoberfläche ein "Einreiben" des Drahtleiters in die
Substratoberfläche. Dieses Einreiben setzt eine durch Ultra
schall induzierte Schwingungsbewegung des Drahtführers paral
lel zur Verlegeebene, also der Substratoberfläche, voraus, wie
es vom konventionellen Einsatz sogenannter Ultraschall-Bonder
zur Verbindung eines Bonddrahts mit der Anschlußfläche einer
Chipeinheit bekannt ist. Dabei hat sich die bei dem beschrie
benen "Einreibevorgang" parallel zur Substratoberfläche ge
richtete ultraschallinduzierte Bewegung als vorteilhaft zur
Herstellung einer stoffschlüssigen Verbindung zwischen einem
Drahtleiter und der Anschlußfläche einer Chipeinheit erwiesen.
Da das Prinzip der Verbindung zwischen dem Drahtleiter und dem
Substrat darauf beruht, den Drahtleiterquerschnitt zumindest
teilweise in der Substratoberfläche zu versenken oder anzu
schmiegen, ist es offensichtlich, daß eine zur Substratober
fläche im wesentlichen parallel gerichtete, ultraschallindu
zierte Bewegung des Drahtführers nicht unmittelbar zum Versen
ken oder Anschmiegen beiträgt. Vielmehr erfolgt bei dem be
kannten Verfahren das Versenken aufgrund einer Temperaturerhö
hung, bewirkt durch eine statische Drucklast des Drahtführers,
überlagert mit der hin und hergehenden, ultraschallinduzierten
Querbewegung des Drahtführers, also dem erwähnten "Einreibe
vorgang".
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein
Verfahren zur Verlegung eines drahtförmigen Leiters auf einem
Substrat und eine hierzu geeignete Vorrichtung vorzuschlagen,
mittels dem bzw. der die Verlegung des drahtförmigen Leiters
in der Substratoberfläche noch effektiver ausführbar ist.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des
Anspruchs 1 bzw. eine Vorrichtung mit den Merkmalen des An
spruchs 14 gelöst.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Drahtleiter in
einer Richtung quer zur Verlegeebene mit Ultraschall beauf
schlagt, und die durch die Ultraschallbeaufschlagung indu
zierte Querbewegung der Verlegevorrichtung wird der in der
Verlegeebene verlaufenden Verlegebewegung überlagert.
Die Überlagerung der Verlegebewegung mit der den Drahtleiter
querschnitt in der Substratoberfläche versenkenden oder an
diese anschmiegenden Querbewegung ermöglicht einen kontinuier
lichen Betrieb der Verlegevorrichtung, so daß der Drahtleiter
nicht nur im Bereich bestimmter Verbindungsstellen, sondern
über eine beliebige Länge mit der Substratoberfläche verbind
bar ist, ohne daß dabei mit der eigentlichen Verlegebewegung
ausgesetzt werden müßte. Darüber hinaus erweist sich die ul
traschallinduzierte Querbewegung als besonders effektiv bei
der zumindest teilweisen Versenkung oder dem Anschmiegen des
Drahtquerschnitts, da die durch den Ultraschall induzierte Be
wegung in Absenkrichtung verläuft und nicht quer dazu, wie es
bei dem eingangs beschriebenen Verfahren der Fall ist.
Als besonders vorteilhaft erweist es sich, wenn die durch Ul
traschall induzierte Querbewegung längs einer im Winkel zur
Achse der Verlegebewegung veränderbaren Querbewegungsachse er
folgt. Hierdurch ist es möglich, die Querbewegungsachse den
speziellen Erfordernissen entsprechend einzustellen. So ist es
möglich, für den Fall, daß etwa in Abhängigkeit von dem Sub
stratmaterial eine erhöhte Temperatur des zu versenkenden
Drahtleiters gewünscht wird, die Querbewegungsachse mehr in
Richtung der Verlegebewegungsachse auszurichten, um so eine
größere auf den Drahtleiter wirkende Längskraftkomponente zu
erhalten, die durch das damit verbundene Reiben des Drahtfüh
rers am Drahtleiter zu einer Erwärmung desselben führt. Um
eine möglichst große Absenkrate des Drahtleiters in der Sub
stratoberfläche zu erreichen, kann es vorteilhaft sein, die
Querbewegungsachse unter einem Winkel von 45° zur Verlegebewe
gungsachse auszurichten, um einen größtmöglichen Schubeffekt
im Substratmaterial zu erzielen.
Um die Eindringtiefe des Drahtleiters in die Substratoberflä
che zu verändern, kann auch die Ultraschallfrequenz und/oder
der Winkel zwischen der Achse der Verlegebewegung und der
Querbewegungsachse verändert werden.
Als besonders vorteilhaft im Hinblick auf ein der Verlegung
des Drahtleiters als Drahtspule auf der Substratoberfläche
nachfolgendes Verbindungsverfahren zur Verbindung des Draht
leiters mit Anschlußflächen einer Chipeinheit kann es sich er
weisen, wenn der Spulenendbereich und der Spulenanfangsbereich
über eine Ausnehmung des Substrats hinweggeführt werden, so
daß die nachfolgende Verbindung der Anschlußflächen einer
Chipeinheit mit dem Spulenanfangsbereich und dem Spulenendbe
reich ohne Beeinträchtigung durch das Substratmaterial erfol
gen kann.
Um eine möglichst gradlinige Ausrichtung des Spulenanfangsbe
reichs und des Spulenendbereichs zwischen gegenüberliegenden
Ausnehmungsrändern der Ausnehmung zu ermöglichen, ist es vor
teilhaft, die Ultraschallbeaufschlagung des Drahtleiters im
Bereich der Ausnehmung auszusetzen.
Ein Aussetzen der Ultraschallbeaufschlagung des Drahtleiters
erweist sich auch zur Überquerung eines bereits verlegten
Drahtabschnitts im Überquerungsbereich als vorteilhaft, wobei
zusätzlich der Drahtleiter im Überquerungsbereich in einer ge
genüber der Verlegeebene beabstandeten Überquerungsebene ge
führt wird. Hierdurch wird erreicht, daß eine Kreuzung von
Drahtleitern möglich wird, ohne daß dabei Beschädigungen durch
Aneinanderstoßen der Drahtleiter, die etwa zu einer Zerstörung
der Drahtleiterisolation führen könnten, auftreten können.
Als besonders vorteilhaft hat sich auch die Anwendung des vor
stehend in verschiedenen Ausführungsformen beschriebenen Ver
fahrens zur Herstellung eines Kartenmoduls mit einem Substrat,
einer auf dem Substrat verlegten Spule und einer mit der Spule
verbundenen Chipeinheit erwiesen. Dabei wird in einer Verlege
phase mittels der Verlegevorrichtung eine Spule mit einem Spu
lenanfangsbereich und einem Spulenendbereich auf dem Substrat
ausgebildet und in einer nachfolgenden Verbindungsphase mit
tels einer Verbindungsvorrichtung eine Verbindung zwischen dem
Spulenanfangsbereich und dem Spulenendbereich mit Anschlußflä
chen der Chipeinheit durchgeführt.
Diese Anwendung des Verfahrens ermöglicht durch die Integra
tion der Verlegung des Drahtleiters auf dem Substrat in ein
Verfahren zur Herstellung eines Kartenmoduls ausgehend von ei
nem beliebigen Substrat, das ein zumindest teilweises Eindrin
gen des Drahtleiters in oder Anschmiegen des Drahtleiters an
die Substratoberfläche zuläßt, die Ausbildung leicht handhab
barer Kartenmodule, die als Halbzeug bei der Chipkartenher
stellung Verwendung finden. Zur Fertigstellung der Chipkarte
werden dann die Kartenmodule in der Regel beidseitig mit Deck
laminatschichten versehen. Je nach Ausbildung und Dicke des
Substratmaterials kann die Verbindung zwischen dem Drahtleiter
und dem Substratmaterial über einen mehr oder weniger form
schlüssigen Einschluß des Drahtleiterquerschnitts in die Sub
stratoberfläche - etwa bei Ausbildung des Substrats aus einem
thermoplastischen Material - oder durch ein überwiegendes, an
schmiegendes Fixieren des Drahtleiters auf der Substratober
fläche, etwa durch Verkleben des Drahtleiters mit der Sub
stratoberfläche, erfolgen. Letzteres wird zum Beispiel dann
der Fall sein, wenn es sich bei dem Substratmaterial um einen
vliesartigen oder gewebeartigen Träger handelt.
Insbesondere bei der Herstellung von Papier- oder Kartenbanda
gen, wie sie beispielsweise zur Gepäckidentifikation verwendet
werden, hat sich die Verbindung des Drahtleiters mit der Sub
stratoberfläche über eine Kleberschicht zwischen dem Drahtlei
ter und der Substratoberfläche als vorteilhaft erwiesen. Dabei
schmiegt sich der Drahtleiter in einem Umfangsbereich über die
Kleberschicht an die Substratoberfläche an. Wenn der Drahtlei
ter mit einer geeigneten Oberflächenbeschichtung versehen ist,
beispielsweise Backlack, kann die Kleberschicht aus der Ober
flächenbeschichtung gebildet sein.
Als besonders effektiv bei der vorstehenden Verfahrensapplika
tion hat sich die Anwendung eines Thermokompressionsverfahrens
zur Verbindung des Spulenanfangsbereichs und des Spulenendbe
reichs mit den Anschlußflächen der Chipeinheit herausgestellt.
Eine weitere Steigerung der Effektivität der vorstehenden Ver
fahrensapplikation läßt sich erreichen, wenn gleichzeitig die
Herstellung einer Mehrzahl von Kartenmodulen erfolgt, derart,
daß in einer Zuführphase einer eine Mehrzahl von Verlegevor
richtungen und Verbindungsvorrichtungen aufweisenden Kartenmo
dulproduktionsvorrichtung eine Mehrzahl von in einem Nutzen
zusammengefaßt angeordneten Substraten zugeführt wird, und an
schließend in der Verlegephase eine Mehrzahl von Spulen
gleichzeitig auf in einer Reihe angeordneten Substraten ausge
bildet wird, anschließend in der Verbindungsphase eine Mehr
zahl von Chipeinheiten über ihre Anschlußflächen mit den Spu
len verbunden wird und schließlich in einer Vereinzelungsphase
eine Vereinzelung der Kartenmodule aus dem Nutzenverbund er
folgt.
Des weiteren hat sich eine Verfahrensapplikation zur Herstel
lung einer rotationssymmetrischen Körperspule als vorteilhaft
erwiesen, wobei der drahtförmige Leiter auf einem als Wick
lungsträger ausgebildeten, relativ zur Verlegevorrichtung ro
tierenden Substrat verlegt wird. Zur Ausbildung der Relativ
rotation besteht die Möglichkeit, entweder bei stationärer
Verlegevorrichtung das Substrat um seine Längsachse in Rota
tion zu versetzen, oder bei stationären Substrat die Verlege
vorrichtung auf einer Bewegungsbahn um die Längsachse des Sub
strats zu bewegen, oder auch die beiden vorgenannten Bewe
gungsarten zu überlagern.
Die vorgenannte Verfahrensapplikation bietet sich insbesondere
zur Herstellung einer einstückig mit einer Schwingmembran ver
bundenen Tauchspule einer Lautsprechereinheit an.
Gemäß einer weiteren Verfahrensapplikation dient das Verfahren
zur Verlegung eines drahtförmigen Leiters auf einem Substrat
mittels einer mit Ultraschall auf den Drahtleiter einwirkenden
Verlegevorrichtung zur Herstellung eines Flachbandkabels, wo
bei eine der Anzahl der gewünschten Kabelleiter entsprechende
Anzahl von Verlegevorrichtungen quer zur Längsachse eines
flachbandförmigen Substrats angeordnet ist und eine Relativbe
wegung zwischen dem Substrat und den Verlegevorrichtungen in
Längsachsenrichtung des Substrats erfolgt.
Die Verlegevorrichtung zur Verlegung eines drahtförmigen Lei
ters auf einem Substrat mittels Ultraschall weist einen Draht
führer und einen Ultraschallgeber auf, wobei der Ultraschall
geber derart mit dem Drahtführer verbunden ist, daß der Draht
führer zur Ausführung von Ultraschallschwingungen in Längsach
senrichtung angeregt wird.
Als vorteilhaft für die Ausführung der Verlegevorrichtung er
weist es sich, wenn diese mit einer Drahtführungskapillare
versehen ist, die zumindest im Bereich eines Drahtführermund
stücks längsachsenparallel im Drahtführer verläuft. Auf diese
Art und Weise ist sichergestellt, daß im Bereich des Draht
führermundstücks die axiale Vorschubbewegung des Drahtleiters
nicht von ultraschallinduzierten Querbelastungen beeinträch
tigt wird. Vielmehr verläuft die Ultraschallbeaufschlagung in
Drahtlängsrichtung.
Zur Einführung des Drahtleiters in den Drahtführer erweist es
sich jedoch als vorteilhaft, wenn der Drahtführer beabstandet
zum Drahtführermundstück mindestens einen schräg zur Drahtfüh
rerlängsachse verlaufenden Drahtzuführkanal aufweist.
Zur Vermeidung von ultraschallinduzierten Querbelastungen des
Drahtleiters im Drahtführermundstückbereich trägt es auch bei,
wenn der Ultraschallgeber koaxial zum Drahtführer angeordnet
ist.
Gemäß einer alternativen Lösung weist die Verlegevorrichtung
die Merkmale des Anspruchs 18 auf. Eine vorteilhafte Ausführungs
form weist die Merkmale des Anspruchs 19 auf.
Eine kostengünstige Herstellung einer größeren Anzahl von Kar
tenmodulen wird mittels einer Ausführungsform der Vorrichtung
möglich, die aufweist:
eine Nutzenzuführstation zur Zuführung einer Mehrzahl von in einem Nutzen angeordneten Substraten,
eine Verlegestation mit einer Mehrzahl in einer Reihe quer zur Produktionsrichtung angeordneter Verlegevor richtungen,
eine Bestückungsstation mit mindestens einer Be stückungsvorrichtung zur Bestückung der einzelnen Sub strate mit einer Chipeinheit, und
eine Verbindungsstation mit mindestens einer Verbin dungsvorrichtung zur Verbindung der Chipeinheiten mit einem Spulenanfangsbereich und einem Spulenendbereich der von den Verlegevorrichtungen auf den Substraten aus gebildeten Spulen.
eine Nutzenzuführstation zur Zuführung einer Mehrzahl von in einem Nutzen angeordneten Substraten,
eine Verlegestation mit einer Mehrzahl in einer Reihe quer zur Produktionsrichtung angeordneter Verlegevor richtungen,
eine Bestückungsstation mit mindestens einer Be stückungsvorrichtung zur Bestückung der einzelnen Sub strate mit einer Chipeinheit, und
eine Verbindungsstation mit mindestens einer Verbin dungsvorrichtung zur Verbindung der Chipeinheiten mit einem Spulenanfangsbereich und einem Spulenendbereich der von den Verlegevorrichtungen auf den Substraten aus gebildeten Spulen.
Varianten des Verfahrens sowie der Vorrichtung zur Durchfüh
rung des Verfahrens und Ausführungsformen von nach dem Verfah
ren hergestellten, mit einem Drahtleiter versehenen Substraten
werden nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es
zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung der Verlegung ei
nes Drahtleiters auf einem Substrat mittels Ul
traschall;
Fig. 2 eine Elektronenmikroskopaufnahme zur Darstellung
eines in das Substrat eingebetteten Drahtlei
ters;
Fig. 3 eine Verlegevorrichtung zur Verlegung eines
Drahtleiters mittels Ultraschall;
Fig. 4 ein in Spulenform auf einem Substrat verlegter
Drahtleiter mit über eine Ausnehmung im Draht
leiter hinweggeführten Enden;
Fig. 5 eine gegenüber Fig. 4 variierte Spulenkonfigura
tion mit über eine Substratausnehmung hinwegge
führten Drahtenden;
Fig. 6 die Plazierung einer Chipeinheit in der in Fig.
5 dargestellten Substratausnehmung;
Fig. 7 die Verbindung der in Fig. 5 dargestellten
Drahtenden mit Anschlußflächen der in die Aus
nehmung eingesetzten Chipeinheit;
Fig. 8 eine Produktionsvorrichtung zur Herstellung von
Kartenmodulen;
Fig. 9 die Verlegung eines Drahtleiters mittels Ultra
schall auf einem rotationssymmetrischen Wickel
körper;
Fig. 10 eine durch Ultraschallverlegung auf einem zylin
drischen Wickelkörper hergestellte Tauchspule
einer Lautsprechereinheit;
Fig. 11 eine Längsabschnittsdarstellung eines mit Draht
leitern versehenen Flachbandkabels;
Fig. 12 eine weitere Verlegevorrichtung zur Verlegung
eines Drahtleiters mittels Ultraschall.
Fig. 1 zeigt in einer schematischen Darstellung die Verlegung
eines Drahtleiters 20 auf einem Substrat 21 mittels einer
durch Ultraschall beaufschlagten Verlegevorrichtung 22 mit ei
nem Drahtführer 23.
Die in Fig. 1 dargestellte Verlegevorrichtung 22 ist dreiach
sig verfahrbar ausgebildet und wird mit Ultraschall beauf
schlagt, der den Drahtführer 23 zu oszillierenden Querbewegun
gen (Pfeil 24) anregt, die in dem in Fig. 1 dargestellten Bei
spiel senkrecht zu einer durch Seitenkanten 25, 26 einer Sub
stratoberfläche 27 aufgespannten Verlegeebene 28 ausgerichtet
sind.
Zur Verlegung wird der Drahtleiter 20 unter Ausführung einer
kontinuierlichen Vorschubbewegung in Richtung des Pfeils 29
aus einem Drahtführermundstück 30 hinausbewegt, wobei gleich
zeitig der Drahtführer 23 eine parallel zur Verlegeebene 28
verlaufende Verlegebewegung 29 ausführt, die in Fig. 1 am Ver
lauf des bereits auf dem Substrat 21 verlegten Drahtleiterab
schnitts nachvollzogen werden kann. Dieser Verlegebewegung,
die im Bereich der vorderen Seitenkante 25 in Richtung des
Pfeils 29 verläuft, wird die oszillierende Querbewegung 24
überlagert. Hieraus resultiert ein entsprechend der Ultra
schallfrequenz in schneller Folge wiederholtes Auftreffen
oder -schlagen des Drahtführermundstücks 30 auf den Drahtleiter 20,
was zu einer Verdichtung und/oder Verdrängung des Substratma
terials im Bereich einer Kontaktstelle 32 führt.
Fig. 2 zeigt in einer Schnittdarstellung, die in etwa dem in
Fig. 1 angedeuteten Schnittlinienverlauf II-II entspricht, die
eingebettete Anordnung des Drahtleiters 20 im Substrat 21. Bei
dem hier dargestellten Substrat handelt es sich um eine
PVC-Folie, wobei zur Einbettung des Drahtleiters 20 der Drahtlei
ter über die Verlegevorrichtung 22 beispielsweise mit einer
Ultraschalleistung von 50 W und einer Ultraschallfrequenz von
40 KHz beaufschlagt wird. Die Anpreßkraft, mit der das Draht
führermundstück 30 gegen die Substratoberfläche 27 zur Anlage
gebracht wird, kann bei dem vorgenannten Substratmaterial im
Bereich zwischen 100 und 500 N liegen. Wie aus der Darstellung
gemäß Fig. 2 hervorgeht, wurde bei einem durchgeführten Ver
such durch Einstellung der vorgenannten Parameter eine Einbet
tung des Drahtleiters 20 in das Substrat 21 im wesentlichen
aufgrund einer Verdichtung des Substratmaterials in einem hier
sichelmondförmig ausgebildeten Verdichtungsbereich 33 des Sub
stratmaterials erreicht.
Das in Fig. 1 dargestellte Verlegeprinzip läßt sich universell
einsetzen. So kann das Prinzip abweichend von der nachfolgend
ausführlich erläuterten Verwendung bei der Herstellung eines
Kartenmoduls (Fig. 4 bis 7) auch Verwendung finden bei Verle
gung von Drahtspulen in Kunststoffgehäusen, etwa zur Ausbil
dung einer Antenne für ein schnurloses Telefon (Handy), oder
auch zur Ausbildung einer Meßspule eines Sensors.
Fig. 3 zeigt die Verlegevorrichtung 22 in einer Einzeldarstel
lung mit einem Ultraschallgeber 34, der koaxial zum Drahtfüh
rer 23 angeordnet und mit diesem in einem Verbindungsbereich
35 starr verbunden ist. Die in Fig. 3 dargestellte Verlegevor
richtung 22 ist insgesamt rotationssymmetrisch ausgebildet.
Der Drahtführer 23 weist eine zentrale Längsbohrung 36 auf,
die im Bereich des Drahtführermundstücks 30 in eine Drahtka
pillare 37 übergeht, die gegenüber der Längsbohrung 36 einen
verengten, auf den Durchmesser des Drahtleiters 20 abgestimm
ten Durchmesser aufweist. Die Drahtführungskapillare 37 dient
in erster Linie dazu, den Drahtleiter in der Verlegeebene 28
(Fig. 1) exakt ausrichten zu können.
Seitlich am Drahtführer 23 sind bei dem in Fig. 3 dargestell
ten Ausführungsbeispiel oberhalb des Drahtführermundstücks in
die Längsbohrung 36 einmündend zwei Drahtzuführkanäle 38, 39
angeordnet, die in Richtung auf das Drahtführermundstück 30
schräg nach unten verlaufen. Die Drahtzuführkanäle 38, 39 die
nen zur seitlichen Einführung des Drahtleiters 20 in den
Drahtführer 23, so daß der Drahtleiter 20, wie in Fig. 3 dar
gestellt, seitlich schräg in den Drahtzuführkanal 38, durch
die Längsbohrung 36 hindurch und aus der Drahtführungskapil
lare 37 hinausgeführt durch den Drahtführer 23 hindurch ver
läuft. Dabei läßt die mehrfache Anordnung der Drahtzu
führkanäle 38, 39 die Auswahl der jeweils günstigsten Drahtzu
führungsseite am Drahtführer 23 zu.
Wie weiter aus Fig. 3 hervorgeht, ist das Drahtführermundstück
30 im Bereich einer Drahtaustrittsöffnung 40 konvex ausgebil
det, um eine für den Drahtleiter 20 möglichst schonende Umlen
kung im Bereich der Kontaktstelle 32 (Fig. 1) bzw. der Draht
austrittsöffnung 40 bei dem in Fig. 1 dargestellten Verlege
vorgang zu ermöglichen.
Obwohl in Fig. 3 nicht näher dargestellt, kann der Drahtführer
23 mit einer Drahtabtrenneinrichtung und einer Drahtvorschub
einrichtung versehen sein. Dabei kann die Drahtabtrennvorrich
tung unmittelbar in das Drahtführermundstück 30 integriert
sein. Fig. 4 zeigt einen Drahtleiter 20, der zur Ausbildung
einer in diesem Fall als Hochfrequenz-Spule ausgebildeten
Spule 41 auf einem Substrat 42 verlegt ist. Die Spule 41 weist
hier eine im wesentlichen rechteckförmige Konfiguration auf
mit einem Spulenanfangsbereich 43 und einem Spulenendbereich
44, die über eine fensterförmige Substratausnehmung 45 hinweg
geführt sind. Dabei befinden sich der Spulenanfangsbereich 43
und der Spulenendbereich 44 in paralleler Ausrichtung zu einem
Spulenhauptstrang 46, den sie im Bereich der Substratausneh
mung 45 zwischen sich aufnehmen. Bei der im Prinzip bereits
unter Bezugnahme auf Fig. 1 erläuterten Ultraschall-Verlegung
des Drahtleiters 20 wird die Ultraschallbeaufschlagung des
Drahtleiters 20, während dieser beim Verlegevorgang über die
Substratausnehmung hinweggeführt wird, ausgesetzt, um zum
einen keine Beeinträchtigung der Ausrichtung des Drahtleiters
20 in einem Freispannbereich 47 zwischen den einander gegen
überliegenden Ausnehmungsrändern 48, 49 zu erzielen, und zum
anderen, um eine Beanspruchung der Verbindung zwischen dem
Drahtleiter 20 und dem Substrat 42 im Bereich der Ausnehmungs
ränder 48, 49 durch Zugbelastungen des Drahtleiters 20 infolge
einer Ultraschallbeaufschlagung auszuschließen.
Fig. 5 zeigt in einer gegenüber Fig. 4 abgewandelten Konfigu
ration eine Spule 50 mit einem Spulenanfangsbereich 51 und ei
nem Spulenendbereich 52, die in einen Innenbereich der Spule
50 abgewinkelt zu einem Spulenhauptstrang 53 hineingeführt
sind. Die Spule 50 ist auf einem Substrat 55 angeordnet, das
eine Substratausnehmung 56 im Innenbereich 53 der Spule 50
aufweist. Um sowohl den Spulenanfangsbereich 51 als auch den
Spulenendbereich 52 über die Substratausnehmung 56 hinwegfüh
ren zu können, muß bei der in Fig. 5 dargestellten Konfigura
tion der Spulenendbereich 52 zuvor über den Spulenhauptstrang
44 in einem Überquerungsbereich 57 hinweggeführt werden. Um
hierbei Beschädigungen oder eine teilweise Abisolierung des
Drahtleiters 20 zu verhindern, wird ähnlich wie im Bereich der
Substratausnehmung 56 die Ultraschallbeaufschlagung des Draht
leiters 20 im Überquerungsbereich 57 ausgesetzt. Darüber hin
aus wird der Drahtführer 23 im Überquerungsbereich 57 gering
fügig angehoben.
Fig 6 zeigt in einer Ansicht des Substrats 55 entsprechend dem
Schnittlinienverlauf VI-VI in Fig. 5 die Plazierung einer
Chipeinheit 58 in der Substratausnehmung 56, bei der Anschluß
flächen 59 der Chipeinheit 58 gegen den Spulenanfangsbereich
51 und den Spulenendbereich 52 zur Anlage gebracht werden.
Fig. 7 zeigt die nachfolgende Verbindung der Anschlußflächen
59 der Chipeinheit 58 mit dem Spulenanfangsbereich 51 und dem
Spulenendbereich 52 mittels einer Thermode 60, die unter Ein
wirkung von Druck und Temperatur eine stoffschlüssige Verbin
dung zwischen dem Drahtleiter 20 und den Anschlußflächen 59
schafft, wodurch insgesamt ein Kartenmodul 64 ausgebildet
wird.
Bei der in den Fig. 6 und 7 dargestellten Chipeinheit 58 kann
es sich auch wie in allen anderen übrigen Fällen, wenn von ei
ner Chipeinheit gesprochen wird, sowohl um einen einzelnen
Chip als auch um ein Chipmodul, das etwa einen auf einem Chip
substrat kontaktierten Chip oder auch eine Mehrzahl von Chips
aufweist, handeln. Darüber hinaus ist die in den Fig. 6 und 7
dargestellte Verbindung zwischen der Spule 50 und den An
schlußflächen 59 nicht auf die Verbindung mit einem Chip be
schränkt, sondern gilt allgemein für die Verbindung von An
schlußflächen 59 aufweisenden elektronischen Bauelementen mit
der Spule 50. Dabei kann es sich beispielsweise auch um Kon
densatoren handeln.
Ferner wird aus den Fig. 6 und 7 deutlich, daß die Substrat
ausnehmung 56 so bemessen ist, daß sie die Chipeinheit 58 im
wesentlichen aufnimmt. Zur Vereinfachung der Ausrichtung der
Anschlußflächen 59 der Chipeinheit 58 bei der der eigentlichen
Kontaktierung vorausgehenden Plazierung der Chipeinheit 58
kann die Chipeinheit 58 auf ihrer die Anschlußflächen 59 auf
weisenden Kontaktseite 61 mit einer hier stegartig ausgebilde
ten Ausrichtungshilfe 62 versehen sein. Die Ausrichtungshilfe 62
ist entsprechend dem Abstand a bemessen, die der Spulenan
fangsbereich 51 und der Spulenendbereich 52 im Bereich der
Substratausnehmung 56 voneinander haben (Fig. 5).
Fig. 8 zeigt eine Produktionsvorrichtung 63, die zur Herstel
lung von Kartenmodulen 64 dient, die als Halbzeug bei der Her
stellung von Chipkarten Verwendung finden. Die mittels der
Produktionsvorrichtung 63 hergestellten Kartenmodule 64 weisen
hier beispielhaft den in den Fig. 5, 6 und 7 dargestellten
Aufbau mit jeweils einer Spule 50 und einer Chipeinheit 58
auf, die auf einem gemeinsamen Substrat 55 angeordnet sind.
Die in Fig. 8 dargestellte Produktionsvorrichtung 63 weist
fünf Stationen, nämlich eine Zuführstation 65, einen Verlege
station 66, eine Bestückungsstation 67 und eine Verbindungs
station 68 sowie eine Entnahmestation 69 auf.
In der Zuführstation wird der Produktionsvorrichtung 63 ein
sogenannter Nutzen 70 zugeführt, der in einem gemeinsamen Ver
bund eine Vielzahl - hier aus Darstellungsgründen lediglich
zwanzig - über hier nicht näher dargestellte Trennstellen mit
einander verbundene Substrate 55 aufweist. Der Nutzen 70 wird
mittels einer Transporteinrichtung 71 der Verlegestation 66
zugeführt, die an einem quer zur Produktionsrichtung 72 ver
laufenden, in Produktionsrichtung 72 verfahrbaren Portal 73
vier in einer Reihe angeordnete, identische Verlegevorrichtun
gen 22 aufweist. Die Verlegevorrichtungen 22 werden über vier
Drahtleiterspulen 74 mit dem Drahtleiter 20 versorgt. Zur Aus
bildung der in Fig. 5 beispielhaft dargestellten Spulenkonfi
gurationen werden die längs dem Portal 73 verfahrbaren Verle
gevorrichtungen 22 entsprechend in der Verlegeebene 28 (Fig.
1) verfahren.
Nach Verlegung der Drahtleiter 20 entsprechend der in Fig. 5
dargestellen Spulenkonfiguration wird der Nutzen 70 mit den
darauf ausgebildeten Spulen 50 zur Bestückungsstation 67 wei
ter vorbewegt. Kombiniert mit der Bestückungsstation 67 ist im
vorliegenden Fall die Verbindungsstation 68, derart, daß an
einem in Produktionsrichtung 72 verfahrbaren Portal 75 sowohl
eine Bestückungsvorrichtung 76 als auch eine Verbindungsvorrichtung 77
jeweils in Längsrichtung des Portals 75 verfahrbar
angeordnet sind. Dabei dient die Bestückungsvorrichtung 76 zur
Entnahme von Chipeinheiten 58 aus einem Chipeinheitenreservoir
78 und zur nachfolgenden Plazierung der Chipeinheiten 58 in
der in Fig. 6 dargestellten Art und Weise. Die Verbindungsvor
richtung 77 dient zur Kontaktierung der Anschlußflächen 59 der
Chipeinheiten 58 mit der Spule 50, wie in Fig. 7 dargestellt.
Nach Bestückung und Kontaktierung wird der Nutzen 70 weiter in
die Entnahmestation 69 vorbewegt. Hier erfolgt eine Entnahme
des Nutzens 70 mit anschließender Vereinzelung der Substrate
55 oder auch zunächst eine Vereinzelung der Substrate 55, also
eine Auflösung des Nutzenverbunds, und anschließend die Ent
nahme der einzelnen nunmehr zu Kartenmodulen 64 ausgebildeten
Substrate 55.
Fig. 9 zeigt einen Anwendungsfall des beispielhaft anhand Fig.
1 erläuterten Verfahrens zur Herstellung einer zylindrischen
Körperspule 79, bei der das Substrat als zylindrischer Wick
lungsträger 80 ausgebildet ist und die Verlegung bzw. Einbet
tung des Drahtleiters 20 auf dem Wicklungsträger 80 bei Rota
tion 81 des Wicklungsträgers 80 mit gleichzeitiger überlager
ter Translation 82 der Verlegevorrichtung 22 erfolgt.
Wie Fig. 10 zeigt, kann der Wicklungsträger 80 auch als zylin
drischer Fortsatz einer Kunststoffschwingmembran 83 einer
Lautsprechereinheit 84 ausgebildet sein, so daß auf die in
Fig. 9 dargestellte Art und Weise eine Tauchspule 85 herstell
bar ist, wie sie in Kombination mit einem in Fig. 10 angedeu
teten Permanentmagneten zur Ausbildung einer Lautsprecherein
heit 84 dient.
Fig. 11 zeigt als weitere Applikationsmöglichkeit des be
schriebenen Verfahrens einen Flachbandkabelabschnitt 85 mit
einem flachbandförmig ausgebildeten Substrat 86, das beidsei
tig benachbart von Trennstellen 87 mit quer zur Längsrichtung
des Substrats 86 in einer Reihe liegend angeordneten Substrat
ausnehmungen 88 versehen ist. Auf dem Substrat 86 befinden
sich parallel zueinander angeordnet und sich in Längsrichtung
des Substrats 86 erstreckend eine Mehrzahl von Drahtleitern 20,
die auf die in Fig. 1 beispielhaft dargestellte Art und
Weise auf dem Substrat 86 verlegt sind. Dabei sind die Draht
leiter 20 im Bereich der Trennstellen 87 über die Substrataus
nehmungen 88 hinweggeführt. Die Trennstellen dienen zur Defi
nition vorbestimmter Flachbandkabelstücke 89, wobei dann die
Substratausnehmungen 88 jeweils an einem Ende eines Flachband
kabelstücks angeordnet sind. Hierdurch ergeben sich in beson
ders günstiger Weise Kontaktierungsmöglichkeiten für Anschluß
stecker bzw. Anschlußbuchsen mit den Drahtleitern 20, ohne daß
hierzu die Drahtleiter erst freigelegt werden müßten. Die Sub
stratausnehmungen 88 werden in einem Stanzverfahren mit einem
entsprechend ausgebildeten Stempelwerkzeug in das Substrat 86
eingebracht, wobei durch den Abstand der Einstanzungen der Ab
stand der Trennstellen 87 vorgegeben ist. Anschließend wird
das entsprechend präparierte Endlossubstrat mit den Drahtlei
tern 20 belegt, wobei in diesem Fall eine der Anzahl der
Drahtleiter 20 entsprechende Anzahl von Verlegevorrichtungen
über dem längs bewegten Substrat angeordnet wird.
Fig. 12 zeigt in Abwandlung von der in Fig. 3 dargestellten Verlegevor
richtung 22 eine Verlegevorrichtung 91, die wie die Verlegevorrichtung
22 einen Ultraschallgeber 34 aufweist. Im Unterschied zu der Verlegevor
richtung 22 ist an den Verbindungsbereich 35 des Ultraschallgebers 34
kein Drahtführer sondern ein Schwingungsstempel 92 angeschlossen, der,
wie in Fig. 12 dargestellt, dazu dient, den zwischen einem Profilende 93
und der Oberfläche des Substrats 21 geführten Drahtleiter 20 mit in
Längsrichtung des Schwingungsstempels 92 verlaufenden, durch Ultra
schall induzierten mechanischen Schwingungen zu beaufschlagen. Um
dabei eine sichere Führung des Drahtleiters 20 zu ermöglichen, ist das
Profilende 93 mit einer in Fig. 12 nicht näher dargestellten konkaven
Ausnehmung versehen, die ein teilweises Umgreifen des Drahtleiters 20
ermöglicht.
Im Unterschied zu der in Fig. 3 dargestellten Verlegevorrichtung 22 ist an
der Verlegevorrichtung 91 ein Drahtführer 94 vorgesehen, der bei dem
hier dargestellten Ausführungsbeispiel aus einem seitlich am Ultraschall
geber 34 angeordneten Führungsrohr 95 mit einem in Richtung auf das
Profilende 93 ausgebildeten Krümmermundstück 96 gebildet ist, das eine
hier schräg nach unten gerichtete, seitliche Zuführung des Drahtleiters 20
in Richtung auf das Profilende 93 ermöglicht. Damit kann, wie in Fig. 12
dargestellt, der Drahtleiter 20 zwischen das Profilende 93 des Schwin
gungsstempels 92 und die Oberfläche des Substrats 21 geführt werden, um
die vorbeschriebene Verbindung mit bzw. Verlegung auf oder in der
Oberfläche des Substrats 21 zu ermöglichen.
Abweichend von der Darstellung in Fig. 12 ist es auch möglich, den
Drahtführer vom Ultraschallgeber 34 entkoppelt an der Verlegevorrich
tung 91 vorzusehen, um im Bedarfsfall eine schwingungsfreie Zuführung
des Drahtleiters zu ermöglichen.
Bei dem in Fig. 12 dargestellten Ausführungsbeispiel weist die Verlege
vorrichtung eine um eine quer zur Stempelachse 97 angeordnete
Wickelachse 98 drehbare Drahtspule 99 auf, die zur Zuführung des
Drahtleiters 20 in den Drahtführer 95 dient.
Um ein auf der Oberfläche des Substrats 21 beliebiges Verlegen des
Drahtleiters 20 zu ermöglichen, weist die Verlegevorrichtung 91 koaxial
zur Stempelachse 97 eine Schwenkachse 100 auf.
In der Sprache der vorliegenden Patentanmeldung bezeichnen die Begriffe
"drahtförmiger Leiter" und "Drahtleiter" allgemein Leiter zur Übertragung
von Signalen, die eine definierte Längserstreckung aufweisen und daher
hinsichtlich ihrer äußeren Form drahtförmig ausgebildet sind. Der Begriff
"Draht-leiter" ist jedoch nicht auf metallische Leiter beschränkt, sonder
bezeichnet ebenso Leiter aus anderen Materialien, z. B. Lichtleiter aus
Glasfaser, oder auch Leiter, die zur Führung strömender Medien dienen.
Insbesondere in dem Fall, daß die verwendeten Leiter mit einer haftfähi
gen Oberfläche versehen sind, lassen sich die Leiter auch mehrlagig
aufeinander liegend anordnen, wobei die unterste Lage mit der Substrato
berfläche und weitere Lagen jeweils mit darunter angeordneten Leiterla
gen verbunden sind. Die Haftung kann beispielsweise über eine mittels
Wärmebeaufschlagung hinsichtlich ihrer Haftwirkung aktivierbare Back
lackbeschichtung des Leiters oder eine entsprechende Kunststoffbe
schichtung erreicht Werden.
Claims (20)
1. Verfahren zur Verlegung eines drahtförmigen Leiters auf
einem Substrat mittels einer mit Ultraschall auf den
Drahtleiter einwirkenden Verlegevorrichtung,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Drahtleiter (20) in einer Richtung quer zur Ver
legeebene (28) mit Ultraschall beaufschlagt wird, und die
durch die Ultraschallbeaufschlagung erzeugte Querbewegung
(24) der Verlegevorrichtung (22) der in der Verlegeebene
(28) verlaufenden Verlegebewegung (29) überlagert wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Querbewegung (24) längs einer im Winkel zur Achse
der Verlegebewegung (29) veränderbaren Querbewegungsachse
erfolgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Ultraschallfrequenz und/oder der Winkel zwischen
der Achse der Verlegebewegung (29) und der Querbewe
gungsachse (24) in Abhängigkeit von der gewünschten Ein
dringtiefe des Drahtleiters (20) verändert wird.
4. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden An
sprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß ein Spulenendbereich (44) und ein Spulenanfangsbe
reich (43) einer durch die Verlegung auf dem Substrat (21)
ausgebildeten Spule (41) über eine Substratausneh
mung (45) hinweggeführt werden.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Ultraschallbeaufschlagung des Drahtleiters (20)
im Bereich der Substratausnehmung (45) ausgesetzt wird.
6. Verfahren nach einem oder mehreren der vorangehenden An
sprüche,
dadurch gekennzeichnet,
daß zur Überquerung eines bereits verlegten Drahtab
schnitts im Überquerungsbereich (57) die Ultraschallbe
aufschlagung des Drahtleiters (20) ausgesetzt und der
Drahtleiter (20) in einer gegenüber der Verlegeebene (28)
beabstandeten Überquerungsebene geführt wird.
7. Anwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der An
sprüche 1 bis 6 zur Herstellung eines Kartenmoduls (64)
mit einem Substrat (55), einer auf dem Substrat verlegten
Spule (50) und einer mit der Spule (50) verbundenen Chip
einheit (58), wobei in einer Verlegephase mittels der
Verlegevorrichtung (22) eine Spule (50) mit einem Spulen
anfangsbereich (51) und einem Spulenendbereich (52) auf
dem Substrat (55) ausgebildet wird und in einer nachfol
genden Verbindungsphase mittels einer Verbindungsvorrich
tung (60) eine Verbindung zwischen dem Spulenanfangsbe
reich (51) und dem Spulenendbereich (52) mit Anschlußflä
chen (59) der Chipeinheit (58) durchgeführt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß das Substrat aus einem vliesartigen Material, insbe
sondere Papier oder Karton, besteht und die bei der Ver
legung erfolgende Verbindung mittels einer zwischen dem
Drahtleiter (20) und der Substratoberfläche angeordneten
Kleberschicht erfolgt.
9. Verfahren nach Anspruch 7 oder 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Verbindung des Spulenanfangsbereichs (51) und des
Spulenendbereichs (52) mit den Anschlußflächen (59) der
Chipeinheit (58) mittels eines Thermokompressionsverfah
rens erfolgt.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 7 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß gleichzeitig die Herstellung einer Mehrzahl von Kar tenmodulen (64) erfolgt, derart, daß in einer Zuführphase einer eine Mehrzahl von Verlegevorrichtungen (22) und Verbindungsvorrichtungen (60) aufweisenden Produktions vorrichtung (72) eine Mehrzahl von in einem Nutzen (70) zusammengefaßten Substraten (55) zugeführt wird,
anschließend in der Verlegephase eine Mehrzahl von Spulen (50) gleichzeitig auf in einer Reihe angeordneten Sub straten (55) ausgebildet wird,
anschließend in der Verbindungsphase eine Mehrzahl von Chipeinheiten (58) über ihre Anschlußflächen (59) mit den Spulen (55) verbunden wird, und
schließlich in einer Vereinzelungsphase eine Vereinzelung der Kartenmodule (64) aus dem Nutzenverbund erfolgt.
daß gleichzeitig die Herstellung einer Mehrzahl von Kar tenmodulen (64) erfolgt, derart, daß in einer Zuführphase einer eine Mehrzahl von Verlegevorrichtungen (22) und Verbindungsvorrichtungen (60) aufweisenden Produktions vorrichtung (72) eine Mehrzahl von in einem Nutzen (70) zusammengefaßten Substraten (55) zugeführt wird,
anschließend in der Verlegephase eine Mehrzahl von Spulen (50) gleichzeitig auf in einer Reihe angeordneten Sub straten (55) ausgebildet wird,
anschließend in der Verbindungsphase eine Mehrzahl von Chipeinheiten (58) über ihre Anschlußflächen (59) mit den Spulen (55) verbunden wird, und
schließlich in einer Vereinzelungsphase eine Vereinzelung der Kartenmodule (64) aus dem Nutzenverbund erfolgt.
11. Anwendung des Verfahrens nach einem oder mehreren der An
sprüche 1 bis 6 zur Herstellung einer rotationssymmetri
schen Körperspule,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Drahtleiter (20) auf einem als Wicklungsträger
(80) ausgebildeten, relativ zur Verlegevorrichtung (22)
rotierenden Substrat verlegt wird.
12. Verfahren nach Anspruch 11,
gekennzeichnet durch
die Herstellung einer einstückig mit einer Schwingmembran
verbundenen Tauchspule einer Lautsprechereinheit.
13. Anwendung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6
zur Herstellung eines Flachbandkabels,
dadurch gekennzeichnet,
daß eine der Anzahl der gewünschten Kabelleiter entspre
chende Anzahl von Verlegevorrichtungen (22) quer zur
Längsachse eines flachbandförmigen Substrats (86) ange
ordnet ist und eine Relativbewegung zwischen dem Substrat
(86) und den Verlegevorrichtungen (22) in Längsachsen
richtung des Substrats (86) erfolgt.
14. Vorrichtung zur Verlegung eines drahtförmigen Leiters auf
einem Substrat gemäß dem Verfahren nach einem oder mehre
ren der Ansprüche 1 bis 6 mit einem Drahtführer (23) und
einem Ultraschallgeber (34), wobei der Ultraschallgeber
(34) derart mit dem Drahtführer (23) verbunden ist, daß
der Drahtführer (23) zur Ausführung von Ultraschall
schwingungen in Längsachsenrichtung angeregt wird.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Drahtführer (23) eine Drahtführungskapillare (37)
aufweist, die zumindest im Bereich eines Drahtführermund
stücks (30) längsachsenparallel im Drahtführer (23) ver
läuft.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Drahtführer (23) beabstandet zum Drahtführermund
stück (30) mindestens einen schräg zur Drahtführer
längsachse verlaufenden Drahtzuführkanal (38, 39) auf
weist.
17. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 14 bis
16,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Ultraschallgeber (34) koaxial zum Drahtführer
(23) angeordnet ist.
18. Vorrichtung zur Verlegung eines drahtförmigen Leiters auf einem
Substrat gemäß dem Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprü
che 1 bis 6 mit einem Drahtführer (94) und einem Ultraschallgeber (34),
wobei der Drahtführer (94) neben einem mit dem Ultraschallgeber (34)
gekoppelten Schwingungsstempel (92) zur Beaufschlagung des Draht
leiters (20) mit durch Ultraschall induzierten, in Längsrichtung des
Schwingungsstempels wirkenden, mechanischen Schwingungen ange
ordnet ist.
19. Vorrichtung nach Anspruch 18,
gekennzeichnet durch
eine mit einer Schwingungsstempelachse (97) koaxiale Schwenkachse
(100).
20. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens zur Herstel
lung eines Kartenmoduls nach einem oder mehreren der An
sprüche 7 bis 10 unter Verwendung einer Vorrichtung nach
einem oder mehreren der Ansprüche 14 bis 19 aufweisend:
eine Nutzenzuführstation (65) zur Zuführung einer Mehr zahl von in einem Nutzen (70) angeordneten Substraten (55),
eine Verlegestation (66) mit einer Mehrzahl in einer Reihe quer zur Produktionsrichtung angeordneten Verlege vorrichtungen (22),
eine Bestückungsstation (67) mit mindestens einer Be stückungsvorrichtung (76) zur Bestückung der einzelnen Substrate (55) mit einer Chipeinheit (58) und
eine Verbindungsstation (68) mit mindestens einer Ver bindungsvorrichtung (77) zur Verbindung der Chipeinhei ten mit einem Spulenanfangsbereich (51) und einem Spu lenendbereich (52) der von den Verlegevorrichtungen (22) auf den Substraten (55) ausgebildeten Spulen (50).
eine Nutzenzuführstation (65) zur Zuführung einer Mehr zahl von in einem Nutzen (70) angeordneten Substraten (55),
eine Verlegestation (66) mit einer Mehrzahl in einer Reihe quer zur Produktionsrichtung angeordneten Verlege vorrichtungen (22),
eine Bestückungsstation (67) mit mindestens einer Be stückungsvorrichtung (76) zur Bestückung der einzelnen Substrate (55) mit einer Chipeinheit (58) und
eine Verbindungsstation (68) mit mindestens einer Ver bindungsvorrichtung (77) zur Verbindung der Chipeinhei ten mit einem Spulenanfangsbereich (51) und einem Spu lenendbereich (52) der von den Verlegevorrichtungen (22) auf den Substraten (55) ausgebildeten Spulen (50).
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