DE19610124C2 - Einrichtung zur Überprüfung von elektrischen Bauteilen, insbesondere integrierten Schaltungen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Überprüfung von elektrischen Bauteilen, insbesondere integrierten Schaltun­ gen, in einer Fertigungslinie mit einem Handler.

Handler sind allgemein bekannt und werden am Ende von Ferti­ gungslinien für elektrische Bauteile und insbesondere inte­ grierte Schaltkreise eingesetzt. Mit einem solchen Handler werden die bereits fertig in Gehäuse montierten elektrischen Bauteile am Ende der Fertigungslinie aufgegriffen, einer vor­ zugsweise Laserbeschriftungsstation zugeführt und anschlie­ ßend über eine Verpackungsstation selbsttätig in geeignete Verpackungen abgelegt. In der Beschriftungsstation wird das Gehäuse des elektrischen Bauteiles mittels Laser mit einer Typenbezeichnung, Chargennummer, Herstellerangabe etc. be­ schriftet und anschließend selbsttätig der Verpackungsstation zugeführt, in welcher das elektrische Bauteil nach Kundenwün­ schen in eine geeignete Verpackung gelegt wird. Vorzugsweise wird der Handler mit mehreren Verpackungseinheiten versehen, so daß die fertig montierten und beschrifteten Bauteile wahl­ weise in sogenannten Plastiktapes, Plastiktubes oder Plastik­ trays abgelegt werden können. Unter Plastiktapes sind hierbei Kunststoffgurte mit eingearbeiteten Taschen zu verstehen, in welche die elektrischen Bauelemente eingelegt werden. Die Ta­ schen werden anschließend von einer durchsichtigen Deckfolie abgedeckt und mit dieser Deckfolie verschweißt. Diese Pla­ stiktapes können sehr schnell gefüllt werden. Plastiktubes sind die hinlänglich bekannten Kunststoffrohre, in die die elektrischen Bauelemente nacheinander eingefüllt werden. Die Kunststoffrohre werden an ihren Endseiten mit geeigneten Ab­ deckkappen verschlossen. Nachteilig bei diesen Plastiktubes ist, daß die elektrischen Bauteile und insbesondere hochemp­ findliche integrierte Schaltkreise aufgrund ihres gegenseiti­ gen Aneinanderstoßens leicht beschädigt werden können. Pla­ stiktrays sind quaderförmige Kunststoffrahmen, die nach Art eines Schachbrettmusters mit Trennwänden versehen sind. In die einzelnen durch die Trennwände gebildeten Kammern wird jeweils eines der elektrischen Bauteile eingesetzt. Mit sol­ chen Plastiktrays sind die in die einzelnen Kammern einge­ setzten elektrischen Bauteile bzw. integrierten Schaltkreise bestens vor Transportschäden geschützt.

Die Qualitätskontrolle von elektrischen Bauteilen und die Prozeßkontrolle von Fertigungsmaschinen bei der Herstellung von elektrischen Bauteilen und insbesondere integrierten Schaltkreisen ist von höchster Wichtigkeit, um sicherzustel­ len, daß die vom Hersteller ausgelieferten Bauteile den Kun­ denanforderungen genügen. Die Qualitätskontrolle der elektri­ schen Bauteile bzw. die Prozeßkontrolle von Fertigungsmaschi­ nen wird bisher in der Montage von elektrischen Bauelementen und insbesondere integrierten Schaltkreisen weitgehend manu­ ell, off-line und stichprobenartig durchgeführt. Hierbei stellt die Kontrolle von sogenannten Marking und Package- Defekten nach der Laserbeschriftung der elektrischen Bauteile die letzte Prüfung vor dem Verpacken der Bauteile in die ge­ nannten Plastiktapes, -tubes oder -trays dar. Unter Marking- Defekten sind Defekte in der Beschriftung des Bauteiles und unter Package-Defekten Gehäusefehler der Bauteile zu verste­ hen. Üblicherweise wird die Prüfung von Marking- und Package- Defekten nach der Lasermarkierung durch loses subjektives Be­ trachten der Bauteile stichprobenartig durchgeführt. Dieses stichprobenartige lose Betrachten der Bauteile erfolgt entwe­ der unmittelbar vor dem Verpacken der elektrischen Bauteile oder unmittelbar nach der Lasermarkierung des Bauteiles, wo­ bei zur Lasermarkierung das Bauteil auf eine Platte abgelegt wird. Es ist grundsätzlich möglich, dieses stichprobenartige Überprüfen der Bauteile nach Marking- und Package-Defekten mit einer geeigneten Kamera zu unterstützen. Die Kamera muß hierfür auf die beschriftete Oberseite des elektrischen Bau­ teiles gerichtet werden, wobei das mit der Kamera aufgenomme­ ne Bild des Bauteiles auf einem Monitor sichtbar gemacht wird, wodurch die Ergonomie der Sichtprüfung verbessert ist. Bei auffälligen Marking- und/oder Package-Defekten kann der Handler durch den Operator gestoppt werden, um die Ursachen für den Fehler in der Fertigungslinie bzw. bei der Lasermar­ kierung zu beseitigen.

Die subjektive Betrachtung der Bauteile selbst oder der Bau teile über einen Monitor ist für eine zuverlässige Qualitäts­ kontrolle nicht zufriedenstellend. Einerseits ist der Opera­ tor nicht in der Lage jedes der Bauteile bei hohen Taktzyklen der Fertigungslinie, beispielsweise kleiner 600 msek., zu überprüfen. Andererseits kann aufgrund von Unachtsamkeiten des Operators selbst bei stichprobenartigen Überprüfungen der Bauteile der Fall eintreten, daß der Operator defekte Bautei­ le übersieht. Schließlich ist es für den Operator äußerst schwer, geringe Beschriftungsfehler oder geringe Gehäusefeh­ ler am elektrischen Bauteil visuell wahrzunehmen.

Aus der EP 0 330 495 A2 ist eine Einrichtung zur Überprüfung von Verpackungsschachteln, insbesondere Zigarettenschachteln, auf Unversehrtheit bekannt. Dazu wird die zu überprüfende Schachtel auf eine von einer einzigen Lichtquelle gleichmäßig ausgeleuchtete Prüffläche gebracht und von einer Kamera auf­ genommen. Das Kamerabild (Istbild) wird mit einem in einer bildverarbeitenden Einheit abgelegten Sollbild verglichen; bei einer vorgegeben Abweichung wird ein Fehlersignal er­ zeugt, das zum Aussortieren der geprüften Schachtel führt.

Auf einem ähnlichen Prinzip basiert auch eine der DE 43 05 328 A1 entnehmbare Einrichtung zur Kontrolle von Flaschenkästen, die beim Vorbeitransport eines Flaschenka­ stens ein Gittermuster aufnimmt, speichert und mit einem Re­ ferenzmuster vergleicht. Ab einem gewissen Abweichungsgrad wird der Flaschenkasten abgewiesen.

Die DE 93 13 115 U beschreibt eine Inspektionseinrichtung, zur Seitenwandkontrolle von Flaschen, um vor dem Befüllen be­ schädigte oder unsaubere Flaschen erkennen und aussortieren zu können. Dabei wird die Flaschenwand über eine Spiegelein­ richtung von zumindest drei verschiedenen Strahlengängen durchdrungen.

Die DE 43 12 550 C1 betrifft eine Kontrollvorrichtung für be­ wegte Objekte, insbesondere frei fallende Tabletten, um deren Anzahl und Qualität beim Einbringen in eine Verpackung über­ wachen zu können. Dazu sind zwei in verschiedenen Ebenen agierende Zeilensensoren vorgesehen, die objektabhängige Lichtintensitätssignale generieren.

Die CH-PS 625 177 offenbart eine Einrichtung zum Registrieren und Aussortieren unvollständig gefüllter Nester einer soge­ nannten Blisterpackung. Nicht mit dem aus Tabletten, Granulat oder einer Flüssigkeit bestehenden Füllgut gefüllte Nester werden dadurch erkannt, daß ein von der Verpackung aufgenom­ menes Kamerabild mit einem abgespeicherten Sollbild einer Packung mit vollständig gefüllten Nestern verglichen wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Einrichtung zur Überprüfung von elektrischen Bauteilen, insbesondere in­ tegrierten Schaltungen, anzugeben, die automatisiert am Ende einer Fertigungslinie für elektrische Bauteile eingesetzt werden kann, sich durch eine hohe Zuverlässigkeit auszeichnet und den hohen Taktzyklen der Fertigungslinie angepaßt ist.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch eine Einrichtung mit den Merkmalen des Patentanspruchs 1 gelöst. Vorteilhafte Wei­ terbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen wie­ dergegeben.

Anstelle der visuellen Wahrnehmung von Bauteiledefekten durch einen Operator wird erfindungsgemäß eine zuverlässige und ob­ jektive Bildverarbeitung eingesetzt. Das Bildverarbeitungssy­ stem kann als bildgebende Einheit beispielsweise eine CCD- Kamera mit Beleuchtung, eine bildverarbeitende Einheit mit einem geeigneten Rechner und einer Bildverarbeitungssoftware und eine Ausgabeeinheit mit Interface aufweisen. Ein durch eine installierte Optik optimal aufbereitetes Bild kann mit der Einrichtung nach der Erfindung digital weiterverarbeitet, "vermessen" und/oder bewertet werden. Der Verarbeitungszyklus der Einrichtung nach der Erfindung kann aufgrund der techno­ logischen Entwicklung der bildverarbeitenden Hardware mitt­ lerweile innerhalb der Taktzeit der Fertigungsmaschinen ge­ wählt werden. Die erreichte Zykluszeit kann beispielsweise kleiner als 600 msec. sein, so daß jedes einzelne der von der Fertigungslinie kommenden Bauteil optisch auf Beschriftungs- und Gehäusedefekte analysiert werden kann. Dadurch wird eine 100%-Kontrolle der Bauteile vor der Verpackung möglich. Mit der erfindungsgemäßen Einrichtung ist somit eine automatische Inspektion der von der Fertigungslinie stammenden Bauteile möglich, wodurch eine weitere Rationalisierung bei gleichzei­ tiger Erhöhung der Effektivität im Fertigungsprozeß erreicht ist.

In einer Weiterbildung der Erfindung weist der Handler eine Platte, vorzugsweise einen Drehteller auf, auf welche die von der Fertigungslinie über eine Ladestation kommenden Bauteile zur Beschriftung abgelegt werden. Im Bereich dieser Platte ist eine Kamera mit Lichtquelle angeordnet, um die beschrif­ tete Oberfläche und das Gehäuse des zu prüfenden Bauteiles optisch zu erfassen. Anschließend wird das auf der Platte ab­ gelegte Bauteil über eine Greifstation der Verpackungseinheit zugeführt. Hierdurch ist es möglich, den Platzaufwand für die Überprüfung des elektrischen Bauteils im Handler auf ein Mi­ nimum zu reduzieren. Da die Bauteile ohnehin auf der Platte abgelegt werden, um von der Beschriftungsstation mit einer vorgegebenen Beschriftung versehen zu werden, kann unmittel­ bar nach dem Beschriftungsvorgang das Bauteil von oben op­ tisch erfaßt werden. Das Bauteil muß vorteilhafterweise bei dieser Lösung nicht nochmals aufgegriffen und einer mögli­ cherweise entfernt angeordneten Kamera zugeführt werden. Das optische Erfassen des elektrischen Bauteiles ist somit sehr schnell möglich.

Vorzugsweise ist die Kamera eine über der Platte angeordnete CCD-Kamera. Solche CCD-Kameras zeichnen sich durch geringste Baugrößen aus, so daß diese Kamera ohne weiteres über der Platte angeordnet werden kann, ohne besondere Umbauarbeiten im Handler notwendig zu machen.

Als Lichtquelle eignet sich z. B. eine Lichtquelle, die per­ manent weißes Licht aussendet.

Eine Weiterbildung der Erfindung sieht vor, daß der Handler zwei Drehköpfe mit Aufnehmern zum Erfassen und Ablegen der Bauteile aufweist und daß zwischen diesen beiden Drehköpfen die bildgebende Einheit mit Kamera und Beleuchtung angeordnet ist. Zwischen den beiden Drehköpfen ist die oben erwähnte Platte angeordnet, auf die die elektrischen Bauteile abgelegt werden, um mit einem Laser beschriftet zu werden.

Vorzugsweise wird in der Bildverarbeitungseinheit ein Soll­ bild des zu prüfenden Bauteiles gespeichert, wobei das Soll­ bild ein Referenzbauteil mit fehlerfreier Beschriftung und unbeschädigtem Gehäuse zeigt.

In einer anderen Weiterbildung der Erfindung ist vorgesehen, die Ausgabeeinheit der Bildverarbeitseinheit mit einer Steu­ ereinheit des Handlers zu koppeln, um bei einem Fehlersignal selbsttätig den Betrieb des Handlers zu stoppen. Damit wird sichergestellt, daß beim Auftreten eines Fehlers nicht be­ schädigte Bauteile versehentlich verpackt werden. Nach dem Anhalten des Handlers kann ein Operator nach der Fehlerursa­ che suchen und diese beseitigen. Damit werden vom Handler nur fehlerfreie Bauteile in die Verpackungseinheit transportiert.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbei­ spieles im Zusammenhang mit zwei Figuren näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die Draufsicht auf einen Tape- & Reel-Handler mit Bildverarbeitungseinheit zur automatisierten Über­ prüfung von elektrischen Bauteilen nach Beschrif­ tungs- und Gehäusedefekten,

Fig. 2 eine schematische Seitenansicht der Bildverarbei­ tungseinheit mit Kamera und Lichtquelle sowie des zu prüfenden elektrischen Bauteils.

In Fig. 1 ist ein Tape- & Reel-Handler in Draufsicht darge­ stellt, wie er am Ende einer Fertigungslinie von integrierten Schaltkreisen eingesetzt wird. Der Tape- & Reel-Handler ist mit dem Bezugszeichen 1 versehen.

Der Handler 1 weist auf einem Arbeitstisch einen ersten Dreh­ kopf 5 und einen zweiten Drehkopf 17 auf. Zwischen den beiden Drehköpfen 5, 17 ist eine Drehplatte 12 angeordnet. Der erste Drehkopf 5 befindet sich an der rechten Seite des Arbeitsti­ sches und verfügt über eine Vielzahl von sternförmig angeord­ neten Armen 8, die endseitig mit einem Saugnapf 7 bzw. Vaku­ umnadeln zur Aufnahme von fertig montierten integrierten Schaltkreisen mittels Unterdruck versehen sind. Im Ausfüh­ rungsbeispiel von Fig. 1 verfügt der Drehkopf 5 über sech­ zehn im gleichen Winkel zueinander beabstandete Arme 8. Der Drehkopf 5 dreht sich in Richtung des am Drehkopf 5 darge­ stellten Pfeiles im Uhrzeigersinn. Der in 3-Uhr-Stellung be­ findliche Arm 8 nimmt mit seinen am distalen Ende befindli­ chen Vakuumnadeln bzw. Saugnäpfen 7 ein Bauteil 2 aus der am Arbeitstisch des Handlers 1 rechts anstehenden Ladestation 3 auf. An die Ladestation 3 gelangen, wie in Fig. 1 der Pfeil auf der Ladestation 3 zeigt, nacheinander Plastiktrays bzw. Kunststoffrahmen 4 in den Bereich der 3-Uhr-Stellung des er­ sten Drehkopfes 5, damit der jeweils dort befindliche Arm ein Bauteil aus dem Kunststoffrahmen 4 entnehmen kann, um dieses Prüfstationen zuzuführen, mit einer geeigneten Beschriftung zu versehen, zu kontrollieren und schließlich in einer Ver­ packungsstation zu verpacken. Es versteht sich, daß die ein­ zelnen Kammern der Kunststoffrahmen 4 zu den Vakuumnadeln des Armes 8 in 3-Uhr-Stellung des Drehkopfes 5 so ausgerichtet werden müssen, daß ein einfaches Ansaugen durch Unterdruck und damit ein Anheben des Bauteiles 2 am Drehkopf 5 möglich ist.

Nach der Aufnahme des Bauteiles 2 in 3-Uhr-Stellung des Dreh­ kopfes 5 dreht der Drehkopf 5 im Uhrzeigersinn, um das erfaß­ te Bauteil 2 in 6-Uhr-Stellung einer elektrischen Teststation 9 zuzuführen. Wie aus Fig. 1 ersichtlich, nimmt der Drehkopf 5 nach Verdrehung um 22,5° jeweils ein neues Bauteil 2 aus dem Kunststoffrahmen 4 auf. Im Anschluß an die elektrische Teststation 9 wird in etwa 8-Uhr-Stellung das Bauteil 2 einer sogenannten Leadinspektionsstation 10 zugeführt. Diese Lea­ dinspektionsstation 10 dient zur Überprüfung der elektrischen Zuleitungen am Bauteil 2.

Nach der Leadinspektionsstation 10 wird das elektrische Bau­ teil 2 durch den Drehkopf 5 auf einer Platte, hier ein Dreh­ teller 12, abgelegt. Im Ausführungsbeispiel von Fig. 1 er­ folgt dies etwa in 10-Uhr-Stellung des Drehkopfes 5. Der Drehteller 12 dreht sich, wie der auf dem Drehteller 12 dar­ gestellte Pfeil zeigt, ebenfalls im Uhrzeigersinn.

Nachdem das Bauteil 2 vom Drehkopf 5 auf den Drehteller 12 abgelegt wurde, wird das Bauteil 2 durch Verdrehung des Dreh­ tellers 12 um etwa 30° im Uhrzeigersinn einer Beschriftungs­ station 11 zugeführt. Hierfür wird das Bauteil 2 vom Drehkopf 5 so auf dem Drehteller 12 abgelegt, daß dessen Oberseite in Richtung Betrachter von Fig. 1 zeigt. Selbstverständlich muß das Bauteil 2 in geeigneter Weise rutschfest und planar auf dem Drehteller 12 abgelegt werden. In etwa 6-Uhr-Stellung ist die Beschriftungsstation 11 über dem Drehteller angeordnet.

Die Beschriftungsstation 11 dient dazu, auf der Oberseite des Gehäuses des Bauteiles 2 eine geeignete Beschriftung mittels vorzugsweise Laserlicht aufzubringen. Als Beschriftung kann beispielsweise eine Herstellerkennung, eine Typenbezeichnung, Gutklassen, Geschwindigkeitskennzeichen ect. aufgebracht wer­ den. Nachdem eine geeignete Beschriftung auf das Gehäuse des Bauteiles 2 durch die Beschriftungsstation 11 aufgebracht wurde, dreht der Drehteller 12 weiter im Uhrzeigersinn.

In etwa 8-Uhr-Stellung des Drehtellers 12 ist über dem Dreh­ teller 12 eine bildgebende Einheit 13 mit Kamera und Beleuch­ tungseinheit angeordnet, um inline festzustellen, ob das un­ mittelbar zuvor beschriftete Bauteil 2 einen Beschriftungs­ fehler und/oder Gehäusefehler aufweist. Die Kamera 13 und Be­ leuchtungseinheit ist Bestandteil einer Bildverarbeitungsein­ heit, um die beschrifteten Bauteile 2 vor der Verpackung op­ tisch zu erfassen, mit einem Sollbild zu vergleichen und bei einer vorgegebenen Abweichung ein Fehlersignal zu erzeugen. Das gesamte Bildverarbeitungssystem besteht aus der bildge­ benden Einheit 13 mit Kamera und Beleuchtungseinheit, einer bildverarbeitenden Einheit in Form eines geeigneten Rechners mit Bildverarbeitungssoftware und einer Ausgabeeinheit, an der das Fehlersignal abgreifbar ist. Das Bildverarbeitungssy­ stem wird weiter unten noch näher erläutert.

In etwa 10-Uhr-Stellung des Drehtellers 12 werden die in der Beschriftungsstation 11 beschrifteten Bauteile 2 und die mittlerweile auf Beschriftungsfehler und Gehäusefehler hin überprüften Bauteile 2 von einem zweiten Drehkopf 17 aufge­ nommen. Dieser zweite Drehkopf 17 ist ähnlich wie der erste Drehkopf 5 gestaltet. Im vorliegenden Ausführungbeispiel weist der zweite Drehkopf ebenfalls sechzehn Arme mit an de­ ren distalen Enden jeweils angeordneten Saugnäpfen 7 bzw. Va­ kuumnadeln auf. Im vorliegenden Ausführungsbeispiel von Fig. 1 dreht der zweite Drehkopf 17 entgegen dem Uhrzeigersinn, wie der dortige Pfeil verdeutlicht. In etwa 4-Uhr-Stellung des zweiten Drehkopfes 17 werden die beschrifteten und gete­ steten Bauteile 2 aufgenommen und, je nach Kundenwunsch, in einer geeigneten Verpackungsstation verpackt. Im Ausführungs­ beispiel von Fig. 1 sind drei verschiedene Verpackungssta­ tionen 23, 25 und 27 vorgesehen. In etwa 2-Uhr-Stellung des zweiten Drehkopfes befindet sich ein sogenanntes Taping-Modul 23, in welchem die Bauteile 2 in Taschen eines Kunststoffgur­ tes ablegbar sind. Nachdem die Bauteile 2 in den Taschen des Kunststoffgurtes abgelegt wurden, verschließt das Taping- Modul die Taschen mit einer durchsichtigen Folie.

In etwa 1-Uhr-Stellung des zweiten Drehkopfes 17 befindet sich ein sogenannte Tube-Modul 25, in welchem die Bauteile 2 in Kunststoffröhren abgelegt werden. In etwa 9-Uhr-Stellung ist ein sogenanntes Tray-Modul 27 angeordnet, welches weitge­ hend der Ladestation 3 ähnelt. Auf dem Tray-Modul 27 werden Kunststoffrahmen zugeführt. In die einzelnen Kammern des Kunststoffrahmens 28 werden die Bauteile 2 abgelegt.

Wie aus Fig. 1 weiter ersichtlich, ist am unteren Ende des Arbeitstisches des Handlers 1 eine weitere Station 29 mit drei nebeneinanderliegenden Kunststoffrahmen 30, 31, 32 ange­ ordnet. Diese weitere Station 29 dient als Ausschußstation 29, in welcher defekte Bauteile 2 abgelegt werden. Es ist beispielsweise möglich, je nachdem, welche Fehler die Bautei­ le 2 aufweisen, im Kunststoffrahmen 30 Bauteile 2 mit elek­ trischen Defekten, im Kunststoffrahmen 31 Bauteile 2 mit De­ fekten in den Anschlußleitungen und im Kunststoffrahmen 32 Bauteile mit Markierungs- bzw. Beschriftungsdefekten abzule­ gen. Das getrennte Ablegen der Bauteile 2 nach unterschiedli­ chen Fehlerursachen ermöglicht eine gezielte Nacharbeitung der Ausschußbauteile. Die Ausschußstation 29 erhält die de­ fekten Bauteile über eine mechanische Zuführung 34, welche in etwa 6-Uhr-Stellung das defekte Bauteil am zweiten Drehkopf 17 übernimmt.

Es versteht sich, daß der Handler 1 und das Bildverarbei­ tungssystem 13 von einer geeigneten Steuereinrichtung gesteu­ ert wird. Es ist beispielsweise möglich, den Handler 1 und die Bildverarbeitungseinheit 13 mit einer Taktzykluszeit von etwa 600 msec. zu betreiben. Dies bedeutet, daß alle 600 msek. ein zu prüfendes Bauteil 2 vom ersten Drehkopf 5 aus der Ladestation 3 entnommen wird und alle 600 msek. ein sol­ ches Bauteil 2, falls nicht defekt oder falls beschriftet, in eine der Verpackungsstationen 23, 25, oder 27 abgelegt wird. Diese hohe Taktzeit des Handlers 1 ermöglicht eine hohe Ra­ tionalisierung bei der Fertigung von elektrischen Bauteilen und insbesondere integrierten Schaltkreisen. Durch das Vor­ handensein des Bildverarbeitssystem 13 innerhalb des Arbeits­ ablaufes des Handlers 1 ist es ohne weiteres möglich, jedes der zu verpackenden Bauteile 2 auf Beschriftungs- und/oder Gehäusefehler hin zu untersuchen. Damit ist gewährleistet, daß jedes verpackte Bauteil 2 korrekt beschriftet ist und keine Gehäusefehler aufweist.

Vorzugsweise weist das Bildverarbeitungssystem 13 eine CCD- Kamera unmittelbar nach dem zur Beschriftung vorgesehenen La­ serkopf auf. Damit kann die Prüfung der Bauteile 2 in unmit­ telbarer Prozeßnähe erfolgen. Der Stop des Handlers 1 im Fal­ le von Defekten kann selbsttätig dadurch erfolgen, daß die Ausgabeeinheit des Bildverarbeitungssystems mit der Steuer­ einheit des Handlers gekoppelt ist. Sobald ein Fehler auf­ tritt, kann wirksam der Handler gestoppt werden, so daß ein Operator nach den Fehlerursachen suchen kann. Des weiteren ist es möglich, durch Speicherung der Ergebnisdaten bei der optischen Überprüfung der Bauteile 2, eine automatische Er­ stellung von statistischen Informationen über auftretende Fehler zu erhalten.

In Fig. 2 ist schematisch eine Seitenansicht der bildgeben­ den Einheit des Bildverarbeitungssystems dargestellt. Mit dem Bezugszeichen 12 ist der aus Fig. 1 bereits bekannte Dreh­ teller bezeichnet. Auf diesem Drehteller 12 findet sich das optisch zu erfassende Bauteil 2. Dieses Bauteil 2 wird von einer über dem Bauteil 2 angeordneten Kamera 13a optisch er­ faßt. Zwischen der Kamera 13a und dem Bauteil 2 kann ein Po­ larisationsfilter 13b angeordnet werden. Im Winkel von etwa 70° zur Ebene des Drehtellers 12 sind zwei Lichtquellen 13c angeordnet. Im Winkel von etwa 30° sind ebenfalls zwei Lichtquellen 13d links und rechts vom Drehteller 12 angeord­ net. Vor den beiden Lichtquellen 13d können Polarisationsfil­ ter 13e vorgesehen sein. Zweckmäßigerweise werden die Licht­ quellen 13c und 13d abwechselnd eingeschaltet, so daß die Ka­ mera 13a zwei verschiedene Bilder von der Oberfläche des Bau­ teiles 2 aufnehmen kann. Wenn die beiden Lichtquellen 13c leuchten, wird ein erstes Bild aufgenommen. Anschließend wer­ den die beiden Lichtquellen 13c abgeschaltet und die Licht­ quellen 13d aktiviert, um ein zweites Bild in der Kamera 13a aufzunehmen. Das Aufnehmen von zwei Bildern erhöht den Infor­ mationsgehalt über die Oberfläche des zu prüfenden Bauteiles 2.

Die aufgenommenen Bilder oder das aufgenommene Bild von der Oberfläche des elektrischen Bauteiles 2 wird mit einem Soll­ bild in einem Rechner des Bildverarbeitungssystems vergli­ chen. Das Sollbild entspricht einem zu prüfenden Bauteil mit korrekter Beschriftung und korrektem Gehäuse. Sobald ein Feh­ ler auftritt, erzeugt das Bildverarbeitungssystem an seiner Ausgabeeinheit ein Fehlersignal.

Mit der erfindungsgemäßen Einrichtung ist eine zuverlässige automatische Inspektion von Bauteilen innerhalb des Prozeßab­ laufes möglich.

Claims (7)

1. Einrichtung zur Überprüfung von elektri­ schen Bauteilen (2), insbesondere integrierten Schaltungen, mit einem Handler (1), der ein zu überprüfendes Bauteil (2) auf eine Prüffläche (12) bringt, mit einem Bildverarbeitungssystem (13) mit einer bildgebenden Einheit, einer bildverarbeitenden Einheit und einer Ausgabe­ einheit, das das Bauteil (2) in der bildgebenden Einheit optisch erfaßt, in der bildverarbeitenden Einheit mit einem Sollbild vergleicht und bei einer vorgegebenen Abweichung in der Ausgabeeinheit ein Fehlersignal erzeugt, wobei die bild­ gebende Einheit eine Bilderfassungseinrichtung (13a) sowie zum Beleuchten des Bauteils (2) eine erste Beleuchtungseinrichtung (13c) und eine von dieser beabstandete zweite Beleuchtungseinrichtung (13d) aufweist, wobei die erste Beleuchtungseinrichtung (13c) und die zweite Beleuchtungseinrichtung (13d) unabhängig voneinander betreib­ bar sind und wobei die beiden Beleuchtungseinrichtungen (13c, 13d) in unterschiedlichem Winkel zu der Prüffläche (12) ausgerichtet sind.

2. Einrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Handler (1) eine Platte (12) aufweist, auf welcher die von einer Fertigungslinie über eine Ladestation (3) zukommenden Bauteile (2) zur Beschriftung ablegbar sind, daß im Bereich dieser Platte (12) die bildgebende Einheit mit einer Kamera (13a) und den Beleuchtungseinrichtungen (13c, 13d) angeordnet ist, und daß die auf dieser Platte (12) ablegbaren Bauteile (2) nach der optischen Erfassung durch die Kamera (13a) über eine Greifstation (17) einer Verpackungseinheit (23, 25, 27) zuführbar sind.

3. Einrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kamera (13) über der Platte (12) angeordnet ist.

4. Einrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (12) ein Drehteller ist.

5. Einrichtung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kamera (13a) eine CCD-Kamera ist.

6. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Handler (1) zwei Drehköpfe (5, 17) mit Aufnehmern (7, 8; 19, 21) zum Erfassen und Ablegen der Bauteile (2) aufweist und daß zwischen diesen beiden Drehköpfen (5, 17) die bildgebende Einheit der Bildverarbeitungseinheit (13) mit der Kamera (13a) und den Beleuchtungseinrichtungen (13c, 13d) angeordnet ist.

7. Einrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgabeeinheit des Bildverarbeitungssystems (13) mit einer Steuereinheit des Handlers (1) gekoppelt ist, um bei einem auftretenden Fehler den Handler (1) selbsttätig zu stoppen.