DE19603093C2 - Stabförmige Elektrode mit einer Korrosionsschutzschicht und Verfahren zur Herstellung derselben - Google Patents
Stabförmige Elektrode mit einer Korrosionsschutzschicht und Verfahren zur Herstellung derselbenInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft eine stabförmige, insbesondere zylinderförmige, Elektrode, mit einem Kern aus elektrisch leitfähigem Material und einer Hülle, die den Kern bis auf einen oder beide Endbereiche umschließt, wobei die Hülle aus elektrisch isolierendem Material besteht, und die dadurch gekennzeichnet ist, daß es sich bei der Hülle um eine auf den Kern aufgebrachte Beschichtung aus Diamant handelt und daß die Spitze der Elektrode, die nicht von der Hülle umschlossen ist, ebenfalls mit einer speziellen Beschichtung versehen ist, wobei diese spezielle Beschichtung entweder aus einem Metall mit hoher elektrischer Leitfähigkeit oder aus einer niederohmigen Diamantschicht. Bevorzugtes Anwendungsgebiet ist die Messung des Füllstands einer Flüssigkeit in einem Gefäß.
Description
Die Erfindung betrifft eine stabförmige, insbesondere zylinderförmige Elektrode
gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1. Die Erfindung betrifft weiterhin
ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen Elektrode.
Um den Füllstand einer Flüssigkeit in einem Gefäß zu messen, können die
elektrisch unterschiedlichen Eigenschaften zwischen der Gasphase und der
Flüssigkeitsphase ausgenutzt werden. Durch Anlegen einer Spannung
zwischen der Gefäßwand und einer Elektrode (= Leitfähigkeitssonde), die in
einer bestimmten Höhe in dem Gefäß angebracht ist, kann somit ermittelt
werden, ob sich der Füllstand ober- oder unterhalb der Elektrode befindet. Die
Messung kann konduktiv erfolgen, indem die unterschiedliche elektrische
Leitfähigkeit von Gasphase und Flüssigkeitsphase ausgenutzt wird. In Fig. 1
sind zwei solcher Elektroden in einem Gefäß schematisch dargestellt. Die
Messung kann aber auch kapazitiv erfolgen, indem die unterschiedliche
Dielektrizitätskonstante von Gasphase und Flüssigkeitsphase ausgenutzt wird.
In diesem Fall sind die in Fig. 1 dargestellten Elektroden vollständig isoliert. Die
Elektrode wird hierbei als ein Teil eines Kondensators eingesetzt, die
Gefäßwand demgegenüber als anderer Teil.
Derartige Elektroden müssen zunächst gegenüber der Gefäßwand elektrisch
isoliert sein. Um den Einsatz solcher Elektroden in korrosiven Flüssigkeiten
oder Gasen zu ermöglichen, muß das Elektrodenmaterial ferner einen
Korrosionsschutz erhalten.
Die DE 43 12 432 A1 offenbart einen Meßfühler zum Erfassen des Füllstandes
einer Flüssigkeit unter Verwendung einer metallischen Elektrode. Elektroden
zum Erfassen des Füllstandes können auch am Ende abgerundet sein, vgl. die
DE 41 16 355 A1.
Aus einer Produktübersicht der Firma VEGA, Füllstand- und Druckmeßtechnik,
S. 1, 7, 34 und 35 sind Elektroden bekannt, die aus einem elektrisch leitfähigen
Kern bestehen, der mit einer isolierenden Hülle umgeben ist. Bei den
bekannten Elektroden besteht der elektrisch leitfähige Kern aus
hochbeständigen Werkstoffen, die auch einen Einsatz bei aggressiven
Flüssigkeiten ermöglichen; als Werkstoffe für die Isolation werden Kunststoffe
aus PE, PA, FEP oder PTFE verwendet. Die Standzeit der bekannten
Elektroden ist allerdings für einige Anwendungen nicht ausreichend.
Die US 4,196,624 offenbart ebenfalls eine Elektrode mit einem Kern aus
elektrisch leitfähigem Material sowie einer elektrisch isolierenden Hülle. Die
Hülle umschließt dabei den Kern bis auf die Endbereiche. Die DE 43 12 529 A1
lehrt ferner den Einsatz von Elektroden mit einem isolierendem Diamantfilm.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine gattungsgemäße Elektrode
dahingehend weiterzubilden, daß sie auch besonders aggressiven
Umgebungen in Gefäßen deutlich länger standhält als die gattungsgemäßen
Elektroden. Weiterhin liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, ein
Herstellungsverfahren für derartige Elektroden anzugeben.
Hinsichtlich des Erzeugnisses erfolgt die Lösung durch eine Elektrode mit den
Merkmalen des Patentanspruchs 1. Vorteilhafte Weiterbildungen dieser
Elektrode sind mit den Merkmalen der Unteransprüche 2 bis 15 gekennzeich
net. Hinsichtlich des Herstellungsverfahrens ist eine Lösung der Aufgabe im
Patentanspruch 16 angegeben. Weiterbildungen des Herstellungsverfahrens
sind mit den Merkmalen der Unteransprüche 17 bis 26 gekennzeichnet.
Der wesentliche Vorteil der vorliegenden Erfindung liegt darin, daß die
elektrisch isolierende Hülle aus einer auf den Kern aufgebrachten
Diamantbeschichtung besteht. Eine derartige Schicht ist gut isolierend (ρ ≈ 5 .
1012 Ωcm) und hält einer chemisch aggressiven Umgebung länger Stand als die
Isolation bei den bekannten Elektroden. Außerdem sind Diamantschichten
auch für hohe Einsatztemperaturen geeignet. Die erfindungsgemäße Elektrode
kann beispielsweise bei Temperaturen von etwa 350°C noch verwendet
werden, was einen Einsatz in Druckbehältern mit Wasser von 160 bar erlaubt.
Diamantbeschichtungen sind in verschiedenen Bereichen der Technik als im
wesentlichen ebene Schichten bereits beschrieben. Im Bereich der
Halbleitertechnik werden Diamantschichten als elektrische Funktionsschichten
untersucht. Die maximal beschichtbare Größe liegt derzeit bei planaren 4-Zoll-
Wafern. Die Verwendung von Diamant als Schutzschicht ist in der DE 43 00 223 A1
offenbart, wo die Wände eines Hochtemperatur-Plasmareaktors mit
einer Schutzschicht aus Diamant überzogen sind, um beim Betrieb des
Plasmareaktors die Erosion an den Innenwänden zu reduzieren.
Ein generell bekanntes Problem bei Isolations- und Korrosionsschichten ist die
Ausbildung von Poren in der Schicht. Derartige Poren entstehen beim
Beschichtungsprozeß durch Verunreinigungen auf der zu beschichtenden
Oberfläche. Diese Bereiche können von der Diamantschicht nicht überwachsen
werden, so daß nicht beschichtete Bereiche vorliegen. Die bekannten
Beschichtungen weisen vergleichsweise viele Poren auf. Dadurch kommt es
bei der Verwendung als elektrische Funktionsschicht zu Störungen. Im Bereich
der Halbleitertechnik werden die mit Poren belegten Waferbereiche und damit
Bauelemente, deren Funktion durch die Porosität beeinträchtigt ist, aussortiert
und als Ausschuß dem Herstellungsprozeß entzogen. Bei der Schutzschicht in
der DE 43 00 223 A1 ist die Problematik der Porosität nicht erwähnt.
Im bevorzugten Anwendungsgebiet für die erfindungsgemäßen Elektroden, die
Messung von Füllständen in Flüssigkeiten, ist es insbesondere bei
Flüssigkeiten mit schlechter Leitfähigkeit erforderlich, Leckströme zu vermeiden
oder wenigstens auf ein Minimum zu reduzieren, um die Messung möglichst
wenig zu stören, da sich in diesem Fall die Leitfähigkeit von Flüssigphase und
Gasphase nur geringfügig unterscheiden. Die Elektrode darf somit auf ihrer
gesamten Oberfläche keine oder nur einige wenige Poren aufweisen, denn die
Leckströme treten nicht nur an den Verunreinigungen und damit Poren selbst
auf, sondern es kommt beim Betrieb zum Abplatzen der Diamantschicht im
Bereich um die Verunreinigungen, wodurch zusätzliche Leckströme auftreten.
Gerade bei der zu beschichtenden Länge und der zu beschichtenden
Geometrie sprechen diese Probleme zunächst gegen den Einsatz einer
Beschichtung. Erst durch eine umfangreiche Reinigungsprozedur vor der
Beschichtung ist es möglich geworden, die Porosität der Beschichtung für eine
stabförmige, insbesondere zylinderförmige Geometrie zufriedenstellend zu
minimieren. Ohne die beim erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren
verwendete Reinigungsprozedur erhält man auf der gesamten
Elektrodenoberfläche eine Vielzahl von Poren (50 oder mehr), die beim Betrieb
der Elektrode durch aufsteigende Gasblasen sichtbar sind. Erst durch die
Reinigung beim erfindungsgemäßen Herstellungsverfahren ist die Porenbildung
ganz unterdrückt oder es bilden sich nur einige wenige Poren aus.
In einer Weiterentwicklung der Erfindung ist vorgesehen (Patentanspruch 10),
eine mit Stickstoff dotierte Diamantbeschichtung zu verwenden. Derartige
Diamantschichten haben den Vorteil, daß sie einen hohen Isolationswiderstand
aufweisen, während gleichzeitig die Temperaturabhängigkeit des Widerstands
gering gehalten wird. In der DE 43 31 701 A1 ist die Dotierung von
Planardiamantschichten beschrieben, um eine möglichst hohe Durchbruchfeld
stärke zu erreichen.
In einer weiteren Ausgestaltung (Patentanspruch 13) ist vorgesehen, daß die
Diamantbeschichtung in Längsrichtung der stabförmigen Elektrode Löcher
aufweist, die einen gleichmäßigen und vorgebbaren Abstand voneinander
aufweisen. Derartige Elektroden haben den Vorteil, daß sie vertikal in das
Gefäß mit dem zu messenden Flüssigkeitsstand hineinragen können, und je
nach Füllstand der gemessene Strom sprunghaft ansteigt, so daß man mit
einer Elektrode verschiedene Füllstandshöhen ermitteln kann.
Die Verwendung karbidbildender Metalle gemäß Patentanspruch 9 hat den
Vorteil, daß eine zwischen Metall- und Diamantbeschichtung gebildete
Karbidschicht die Haftung der Diamantschicht unterstützt.
In einem Ausführungsbeispiel besteht die spezielle Beschichtung von
derjenigen Elektrodenspitze, die nicht von der Hülle umschlossen ist, aus
einem gut leitfähigen Edelmetall wie z. B. Gold oder Platin (Patentanspruch 2).
Dadurch kann auch hier die Korrosion so gering wie möglich gehalten werden.
Außerdem wird mit dieser Beschichtung der Übergangswiderstand zur flüssigen
Phase gering gehalten. In einem alternativen Ausführungsbeispiel
(Patentanspruch 3) wird die Spitze der Elektrode mit einer speziellen
niederohmigen Diamantschicht (ρ ≈ 5 . 101 Ωcm) beschichtet. Dabei wird die
Tatsache ausgenutzt, daß durch eine Dotierung mit Bor der spezifische
Widerstand von Diamantschichten um mehrere Größenordnungen reduziert
werden kann. Solche niederohmigen Diamantschichten als Elektrodenspitze
haben den zusätzlichen Vorteil, daß sie auch in stark aggressiven
Umgebungen eingesetzt werden können, in denen Edelmetalle nur schwer
verwendbar sind. Weiterhin vorteilhaft ist es, generell eine
haftungsverbessernde Zwischenschicht (Patentanspruch 15) vorzusehen, um
die Haftung der Diamantschicht auf der Metalloberfläche zu verbessern. Hierfür
kommen Wolframcarbid (WC) oder Platin (Pt) in Betracht. Eine Platinschicht hat
den zusätzlichen Vorteil, daß für die konduktive Messung die Spitze nicht
gesondert platiniert werden müßte, wie dies bei der Ausführung gemäß
Patentanspruch 2 der Fall ist. Vorzugsweise sollte die Diamantschicht dicker
als 4 µm sein (Patentanspruch 14), um einen Einfluß der unteren
Keimbildungszone auf der Metalloberfläche zu unterdrücken. Dieser untere
Bereich hat üblicherweise eine deutlich höhere spezifische Leitfähigkeit als der
darauf aufgewachsene Bereich der Diamantschicht.
Eine erfindungsgemäße Elektrode für die konduktive Messung ist in Fig. 1 in
zylinderförmiger Ausführung dargestellt. Als Kern wird ein Wolframstab
verwendet, der mit einer Diamantbeschichtung überzogen ist. Die nicht
beschichtete Spitze 3 der Elektrode ist mit einer Edelmetallbeschichtung
überzogen. Die obere Elektrode durchdringt die Gefäßwand 1 und ragt in die
Gasphase hinein, während die untere Elektrode ebenfalls die Gefäßwand 1
durchdringt und in die Flüssigkeit hineinragt. Der Flüssigkeitspegel ist mit 5
bezeichnet. Damit die Spannung zwischen der Elektrodenspitze und der
Gefäßwand gemessen werden kann, muß die Elektrode gegenüber der
Gefäßwand elektrisch isoliert sein. Dies wird von der erfindungsgemäßen
Diamantbeschichtung erfüllt. Zur Verbindung der Elektrode 2 mit der
Gefäßwand 1 dient das Aufbringen einer Metallisierung, mit deren Hilfe die
Elektrode 2 mit dem Gehäuse 1 verschweißt oder aufgelötet werden kann
(Pos. 4). Um eine haftfeste Verbindung eines Metalls auf der Diamantschicht zu
gewährleisten, müssen die nachfolgend angegebenen Verfahrensschritte
erfolgen. Zunächst wird eine Metallisierung bestehend aus Titan oder Platin in
dem Bereich, der für die Verschweißung oder Lötung vorgesehen ist,
aufgebracht. Anschließend wird der Verbund Wolfram-Diamant-Titan/Platin im
Ultrahochvakuum aufgeheizt, um durch Diffusion des Titan/Platin in die
Diamantschicht eine haftfeste Verbindung zu erreichen. Zur Vermeidung der
Oxidation des Titan/Platin wird in diesem Bereich abschließend eine
Goldschicht aufgebracht.
Nachfolgend ist ein Ausführungsbeispiel angegeben, mit dem die
erfindungsgemäßen Elektroden hergestellt werden können:
- - Als Kern der erfindungsgemäßen Elektroden werden Wolframstäbe mit einer zylindrischen Geometrie verwendet. Die Stäbe haben einen Durchmesser von 2 mm und eine Länge von 175 mm. Sie weisen weiterhin eine abgerundete Spitze mit einem Radius von 1 mm auf.
- - Die Wolframstäbe werden zunächst durch Sandstrahlen mit einem Druck von 5 bis 7 bar mechanisch aufgerauht, denn durch eine derartige Aufrauhung der Oberfläche wird eine möglichst gute Verankerung der Diamantschicht erzielt.
- - Anschließend erfolgt eine Reinigung der Wolframstäbe durch Ethanol für 10 min im Ultraschallbad, um Sandkörner oberflächlich zu entfernen.
- - Anschließend ist eine Behandlung mit einer Ätzlösung notwendig. Im speziellen Fall wird mit einer sogenannten "Murakami-Ätze" (7,5 g KOH 7,5 g Blutlaugensalz 35 ml aqua dest) für 2-3 min gearbeitet, um fest eingeschlossene Sandkörner auszulösen.
- - Anschließend erfolgt eine Reinigung mit Wasser für eine Stunde im Ultraschallbad, um Säurereste abzuspülen und letzte Partikel zu entfernen.
- - Zur Vorbereitung der Beschichtung wird die zu beschichtende Oberfläche des Wolframstabes mehrfach mit Diamantpulver der Körnung 0,25 µm bis 3 µm beaufschlagt, um eine ausreichende Anzahl an Diamantkeimen auf der Oberfläche zu deponieren. Dies erfolgt mit Diamantpulver aus der Air-Brush- Pistole oder einer Ultraschallbehandlung mit Diamantsuspension. Dabei ist es erforderlich, daß die Oberfläche nach jedem Bekeimen abgerieben wird, um die Diamantkörner auf der Oberfläche zu verteilen.
- - Eine abschließende Reinigung findet in Ethanol für 10 min im Ultraschallbad statt, um nur lose verankerte Diamantkörner wieder zu entfernen.
- - Nun beginnt die eigentliche Beschichtung, die mit der Heißdraht CVD- Methode erfolgt, wobei als Filamentmaterial Wolfram verwendet wird. Die Filamentabstände werden so gewählt, daß eine möglichst gleichmäßige Temperaturverteilung erhalten wird. Die Beschichtungsdauer beträgt etwa 40 Stunden mit einer Depositionsrate von 0,3 µm/h wobei nach 20 Stunden die Elektrode vor den Heißdrahtfilamenten gewendet wird, um eine möglicht homogene Rundumbeschichtung zu erreichen. Vorteilhaft ist es, wenn die Diamantoberfläche nach der Beschichtung abschließend einem Sauerstoffplasma ausgesetzt wird, um die Oberflächenleitfähigkeit der Diamantschicht deutlich zu reduzieren.
1
Gefäßwand
2
diamantbeschichtete Wolframelektrode
3
Elektrodenspitze mit Edelmetall
4
gelötete Verbindung
5
Flüssigkeitsstand
Claims (26)
1. Stabförmige, insbesondere zylinderförmige, Elektrode, mit einem Kern aus
elektrisch leitfähigem Material und einer Hülle, die den Kern bis auf einen
oder beide Endbereiche umschließt, wobei die Hülle aus elektrisch
isolierendem Material besteht,
dadurch gekennzeichnet,
daß es sich bei der Hülle um eine auf den Kern aufgebrachte Beschichtung
aus Diamant handelt und daß die Spitze der Elektrode, die nicht von der
Hülle umschlossen ist, ebenfalls mit einer speziellen Beschichtung versehen
ist, wobei diese spezielle Beschichtung entweder aus einem Metall mit hoher
elektrischer Leitfähigkeit oder aus einer niederohmigen Diamantschicht,
deren spezifischer Widerstand kleiner als 1000 Ωcm ist, besteht.
2. Elektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Fall, daß
es sich bei der speziellen Beschichtung an der nicht von der Hülle
umschlossenen Spitze der Elektrode um eine Beschichtung aus Metall mit
hoher elektrischer Leitfähigkeit handelt, diese spezielle Beschichtung aus
einem Edelmetall, vorzugsweise Au oder Pt, besteht.
3. Elektrode nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß für den Fall, daß
es sich bei der speziellen Beschichtung an der nicht von der Hülle
umschlossenen Spitze der Elektrode um eine niederohmige Diamantschicht
handelt, diese niederohmige Diamantschicht einen spezifischen Widerstand
kleiner als 100 Ωcm aufweist.
4. Elektrode nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß für den
Fall, daß es sich bei der speziellen Beschichtung an der von der Hülle nicht
umschlossenen Spitze der Elektrode um eine niederohmige Diamantschicht
handelt, diese niederohmige Diamantschicht eine mit Bor dotierte
Diamantschicht ist.
5. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 4
dadurch gekennzeichnet,
daß die Länge der Elektrode zwischen 50 mm und 300 mm, insbesondere
zwischen 100 mm und 200 mm beträgt.
6. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß es sich um eine zylinderförmige Elektrode handelt, bei der der
Durchmesser des Kerns zwischen 0,1 mm und 10 mm liegt.
7. Elektrode nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß wenigstens ein Ende des Kerns der Elektrode abgerundet ist, wobei
der Radius der Abrundung dem Radius des Kerns entspricht.
8. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Kern aus einem metallischen Material besteht.
9. Elektrode nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet,
daß es sich um ein karbidbildendes Metall handelt, z. B. Wolfram.
10. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Diamantbeschichtung mit Stickstoff dotiert ist.
11. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Hülle der Elektrode einen oder mehrere Bereiche mit einer
Metallisierung, beispielsweise aus Ti oder Pt, aufweist.
12. Elektrode nach Anspruch 11
dadurch gekennzeichnet,
daß die Metallisierung mit einer Oxidationsschutzschicht, beispielsweise
aus Au, überzogen ist.
13. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Hülle in Längsrichtung Löcher aufweist, die einen gleichmäßigen
und vorgebbaren Abstand voneinander aufweisen.
14. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Diamantschicht dicker als 4 µm ist.
15. Elektrode nach einem der Ansprüche 1 bis 14,
dadurch gekennzeichnet,
daß zwischen Kern und Hülle eine Zwischenschicht aus WC oder Pt
vorgesehen ist.
16. Verfahren zur Herstellung einer Elektrode nach einem der
Ansprüche 1 bis 15,
gekennzeichnet durch folgende Herstellungsschritte:
- 1. mechanische Aufrauhung des elektrisch leitfähigen Kerns, insbesondere durch Sandstrahlen,
- 2. Reinigung mit Alkohol, insbesondere Ethanol, im Ultraschallbad,
- 3. Behandlung mit einer Ätzlösung
- 4. Reinigung mit Wasser im Ultraschallbad
- 5. mehrfaches Bekeimen der Oberfläche durch Beschießen der zu beschichtenden Bereiche des Kerns mit Diamantpulver
- 6. Abreiben der Oberfläche nach jedem Bekeimen
- 7. Reinigung mit Alkohol, insbesondere Ethanol, im Ultraschallbad,
- 8. Aufbringen der Diamantschicht mit CVD-Verfahren, vorzugsweise Heißdraht-CVD.
17. Verfahren nach Anspruch 16,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Kern ein Wolframstab verwendet wird.
18. Verfahren nach Anspruch 16 oder 17,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Aufrauhung mit Sandstrahlen mit einem Druck von 5 bis 7 bar
erfolgt.
19. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 18,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Ätzlösung eine Murakami-Ätze aus 7,5 g KOH 7,5 g
Blutlaugensalz und 35 ml aqua dest verwendet wird.
20. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 19,
dadurch gekennzeichnet,
daß zum Bekeimen Diamantpulver der Körnung 5 nm bis 75 µm,
insbesondere 0.25 µm bis 3 µm verwendet wird.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 20,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Bekeimung durch Diamantpulver aus der Air-Brush-Pistole oder
durch Ultraschallbehandlung mit Diamantsuspension erfolgt.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 21,
dadurch gekennzeichnet,
daß die alkoholische Reinigung während einer Zeitdauer von mindestens
10 Minuten erfolgt.
23. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 22,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Wasserbadreinigung während einer Zeitdauer von mindestens 1 h
erfolgt.
24. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 23,
dadurch gekennzeichnet,
daß als Filamentmaterial für die Heißdraht-CVD-Beschichtung Wolfram
verwendet wird.
25. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 24,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Heißdraht-CVD-Beschichtung über eine Zeitdauer von etwa 40 h
erfolgt, wobei nach der Hälfte der Zeit die Elektrode vor den
Heißdrahtfilamenten gewendet wird.
26. Verfahren nach einem der Ansprüche 16 bis 25,
dadurch gekennzeichnet,
daß auf einen oder mehrere Bereiche der Diamantbeschichtung eine
Metallisierung aufgebracht wird, vorzugsweise aus Ti oder Pt, daß die
Elektrode im UHV aufgeheizt wird und daß danach eine
Oxidationsschutzschicht aus Au über den metallisierten Bereich
aufgebracht wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1996103093 DE19603093C2 (de) | 1996-01-29 | 1996-01-29 | Stabförmige Elektrode mit einer Korrosionsschutzschicht und Verfahren zur Herstellung derselben |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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