DE1953712C3 - Vorrichtung zum Erzeugen eines Musters auf einem Werkstück mit Hilfe eines Elektronenstrahls - Google Patents

Vorrichtung zum Erzeugen eines Musters auf einem Werkstück mit Hilfe eines Elektronenstrahls

Info

Publication number
DE1953712C3
DE1953712C3 DE1953712A DE1953712A DE1953712C3 DE 1953712 C3 DE1953712 C3 DE 1953712C3 DE 1953712 A DE1953712 A DE 1953712A DE 1953712 A DE1953712 A DE 1953712A DE 1953712 C3 DE1953712 C3 DE 1953712C3
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
cxl
electron beam
workpiece carrier
workpiece
interferometer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE1953712A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE1953712A1 (de
DE1953712B2 (de
Inventor
Olivier Cahen
Jean Edgar St. Remy- Les-Chevreuses Picquendar
Georges Pircher
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Thomson-Brandt SA
Original Assignee
Thomson-Brandt SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Thomson-Brandt SA filed Critical Thomson-Brandt SA
Publication of DE1953712A1 publication Critical patent/DE1953712A1/de
Publication of DE1953712B2 publication Critical patent/DE1953712B2/de
Application granted granted Critical
Publication of DE1953712C3 publication Critical patent/DE1953712C3/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D3/00—Control of position or direction
    • G05D3/12—Control of position or direction using feedback
    • G05D3/20—Control of position or direction using feedback using a digital comparing device
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
    • H01J37/3045—Object or beam position registration
    • H10P72/53—

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
DE1953712A 1968-10-25 1969-10-24 Vorrichtung zum Erzeugen eines Musters auf einem Werkstück mit Hilfe eines Elektronenstrahls Expired DE1953712C3 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR171342 1968-10-25

Publications (3)

Publication Number Publication Date
DE1953712A1 DE1953712A1 (de) 1970-06-18
DE1953712B2 DE1953712B2 (de) 1979-09-06
DE1953712C3 true DE1953712C3 (de) 1980-06-26

Family

ID=8656116

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE1953712A Expired DE1953712C3 (de) 1968-10-25 1969-10-24 Vorrichtung zum Erzeugen eines Musters auf einem Werkstück mit Hilfe eines Elektronenstrahls

Country Status (4)

Country Link
DE (1) DE1953712C3 (enExample)
FR (1) FR1587573A (enExample)
GB (1) GB1275577A (enExample)
SE (1) SE362987B (enExample)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
NL8204450A (nl) * 1982-11-17 1984-06-18 Philips Nv Verplaatsingsinrichting, in het bijzonder voor het stralingslithografisch behandelen van een substraat.
JPS59129633A (ja) * 1983-01-08 1984-07-26 Canon Inc ステージ装置
US5140242A (en) * 1990-04-30 1992-08-18 International Business Machines Corporation Servo guided stage system
WO1994010895A1 (de) * 1992-11-16 1994-05-26 Winterhalter Gastronom Gmbh Geschirrspülmaschine
US7298495B2 (en) * 2005-06-23 2007-11-20 Lewis George C System and method for positioning an object through use of a rotating laser metrology system
CN107665827B (zh) * 2016-07-29 2020-01-24 上海微电子装备（集团）股份有限公司 芯片键合装置和方法

Also Published As

Publication number Publication date
DE1953712A1 (de) 1970-06-18
GB1275577A (en) 1972-05-24
DE1953712B2 (de) 1979-09-06
FR1587573A (enExample) 1970-03-20
SE362987B (enExample) 1973-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2810025C2 (enExample)
DE2819400C2 (enExample)
DE3148091C2 (de) Vorrichtung zum Untersuchen einer Probe in einem Rasterelektronenmikroskop
DE2260229C3 (enExample)
DE3788158T2 (de) Vorrichtung für die Erkennung von Vergrösserungsfehlern in einem optischen Abbildungssystem.
EP0027497B1 (de) Projektionssystem für Korpuskularstrahlen
EP0137099B1 (de) Messeinrichtung
DE2651430B2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten eines Maskenmusters in bezug auf ein Substrat
EP0176745B1 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Vermessung von Längen in einem Raster-Korpuskularmikroskop
DE1953712C3 (de) Vorrichtung zum Erzeugen eines Musters auf einem Werkstück mit Hilfe eines Elektronenstrahls
DE3782441T2 (de) Vorrichtung fuer die ausrichtung einer maske gegenueber einem substrat.
DE69012644T2 (de) Vorrichtung zur Ermittlung einer Position.
DE3019930A1 (de) Verfahren zur moire-metrischen pruefung
EP0135673B1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Festlegung einer Koordinate auf einer Oberfläche eines Festkörpers
DE2727190C3 (enExample)
DE19545721C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Herstellen und präzisen Positionieren von optischen Mikrokomponenten auf einer über einer optischen Einrichtung
DE19506880A1 (de) Verfahren zur Herstellung von optischen Übergitterstrukturen mittels Elektronenstrahllithographie
DE1909841C3 (de) Spektrometer
DE2937741C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur opto-elektronischen Vermessung von Mikrostrukturen, insbesondere auf Masken und Scheiben der Halbleitertechnik
EP4394461B1 (de) Integrierte schaltung zur messung der polarisation von licht
EP0035580B1 (de) Interferometrisch gesteuerter Werktisch und Positionsregelschaltung
DE2520809A1 (de) Zeichengeraet
DE3741594A1 (de) Holographisches beugungsgitter und seine herstellung
DE4420110C2 (de) Anordnung zum Bearbeiten von Walzen
DE1907363C3 (de) Präzisions-Einspannvorrichtung

Legal Events

Date Code Title Description
OGA New person/name/address of the applicant
C3 Grant after two publication steps (3rd publication)
8339 Ceased/non-payment of the annual fee