DE19516842C2 - Bestimmung mechanischer Spannungs- oder Verschiebungsfelder - Google Patents
Bestimmung mechanischer Spannungs- oder VerschiebungsfelderInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Meßvorrichtung zur
Ermittlung von mechanischen Verschiebungsfeldern und daraus
abgeleiteter Größen an diffus streuenden Festkörpern
mikroskopischer Dimension gemäß Oberbegriff des Anspruchs 1 oder
Anspruchs 10.
Der Oberbegriff des Anspruchs 1 ist abgeleitet aus der Schrift
Praxis der Holografie, Grundlagen, Standard- und
Spezialverfahren, Ehningen bei Böblingen, Expert Verlag, 1990,
Seiten 177 bis 179, 202, 210 bis 223, 279 und 281. Dort wird auf
Seite 178 bei der holografischen Interferometrie beschrieben,
zwei Verformungszustände eines Objektes miteinander zu
vergleichen; auf Seiten 279 bis 281 wird an einem
Kraftfahrzeugmotor mit einem Zwei-Differenzstrahl-Modul und einer
optischen Bank eine rechnergestützte Hologrammauswertung nach dem
Phase-Shift-Verfahren mit abgeänderter Differenzstrahlführung
gezeigt. Dazu werdem über zwei elektrooptische Schalter
verschiedene Referenzstrahlen für einen Puls I und einen Puls II
des Lasers erzeugt. Aus der Schrift FMC-Series, Akademie der
Wissenschaften der DDR, Institut für Mechanik, Band 26 (1987),
Seiten 190 bis 197, sind Untersuchungen zur
hologramminterferometrischen Auflichtmikroskopie veröffentlicht.
In dem dortigen Bild 4 ist ein Auflichtmikroskop gezeigt, das mit
einem Referenzstrahl arbeitet und dem Oberbegriff des
Anspruchs 10 entspricht. Erläutert wird in dieser Schrift dazu,
daß die Untersuchungen zeigen, daß das Hologramm am Ort oder
besser in der Nähe des reellen Zwischenbildes zu registrieren
ist. Zur Rekonstruktion wird das Hologramm wieder in den dort
vorgesehenen Halter eingesetzt und je nach gewünschter
Vergrößerung die Okulare zur Beobachtung gewählt. Bei dieser
Vorgehensweise ergibt sich eine Betrachtung des in der
Zwischenbildebene des Mikroskops liegenden, vom Hologramm
rekonstruierten virtuellen Bildes.
Es ist Aufgabe der Erfindung das oberbegriffliche Verfahren und
die oberbegriffliche Anordnung so zu verbessern, daß mechanische
Verschiebungsfelder an diffus streuenden Festkörpern
mikroskopischer Dimension mit höherer Qualität und Genauigkeit
bestimmt werden können, um aus den erhaltenen Meßwerten das
Verschiebungs- oder Spannungsfeld des Meßobjektes (infolge
konstanter Belastung) ermitteln zu können. Spannungen können
dabei sowohl auf mechanischer Ursache oder auf thermischer
Ursache (bei fest angeordneten Meßobjekten) beruhen. Thermische
Beanspruchung bei mechanisch nicht verrückbaren oder keine
Ausdehnung erlaubenden Meßobjekten (beispielsweise
Verbindungsstege oder Bonding-Anordnungen) führen zwangsläufig
zu den - zu erfassenden - mechanischen Spannungen.
Die Aufgabe wird gemäß den kennzeichnenden Teilen der
Ansprüche 1 oder 10 gelöst.
Mit Kenntnis des Spannungsfeldes sind Aussagen über die
Zuverlässigkeit oder Belastung der Meßobjekte möglich.
Erfindungsgemäß wird das zunächst (mechanisch) unbelastete
Meßobjekt über ein Auflichtsystem (Planglasilluminator und
Mikroskopobjektiv) mit kohärentem Laserlicht bestrahlt und das
vom Meßobjekt reflektierte Licht, welches die Information über
das Objekt enthält, durch die Abbildungsoptik des
Auflichtmikroskops auf eine in der Zwischenbildebene stehende
Hologrammplatte vergrößert abgebildet, dort mit dem
Referenzstrahl I des holographischen 2-Referenzstrahlmoduls
interferiert, und das entstehende Interferenzmuster auf der
Hologrammplatte gespeichert. Diese enthält als Hologramm die
vollständige optische Information über das mechanisch
unbelastete Meßobjekt.
Danach wird das Meßobjekt mechanisch belastet, und der Vorgang
wiederholt, wobei das vom belasteten Objekt kommende Licht
diesmal mit dem Referenzstrahl II interferiert, und das
Interferenzmuster auf derselben Hologrammplatte gespeichert
wird.
Nach der Entwicklung der Hologrammplatte - moderne
Hologrammplatten sind auch ohne Entwicklung stabilisierbar -
wird diese wieder an dieselbe Stelle wie bei der Aufnahme
gesetzt und das Hologramm mit zwei Referenzwellen zugleich
rekonstruiert.
Die dabei entstehenden Wellenfelder, die sich durch die Out-of
Plane Verschiebung des Objektes voneinander unterscheiden,
treten dabei zueinander in Interferenz und es entsteht das
vergrößerte dreidimensionale Bild des Meßobjektes, überzogen mit
einem Interferenzstreifenmuster, das ausgewertet wird. Durch
einen in einem Referenzzweig eingebauten computergesteuerten
Piezospiegel kann sehr präzise die Phase eines Referenzstrahles
linear geschoben werden, was sich in einer Veränderung des
Interferenzmusters auf dem Interferogramm des Meßobjektes
äußert. Das wird durch das Phasenshiftverfahren ausgenutzt.
Über eine Videokamera können drei holographische Interferogramme
des Meßobjektes bei drei unterschiedlichen relativen Phasen in
den Bildspeicher eines Bildverarbeitungssystems (BVS) gelesen
werden und mit einfachen Algorithmen wird durch das am BVS
angeschlossenen Rechnersystem mit geeigneter Software die
Interferenzphase des holographischen Interferogramms und daraus
das mechanische Verschiebungsfeld des Meßobjektes mit hoher
Genauigkeit berechnet.
Im Versuch wurden Spannungsfelder simuliert, durch Aufbringen
rein mechanischer Spannungen, die im tatsächlichen
Anwendungsbereich der Mikrosystemtechnik aber auch thermische
Ursachen haben können.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines Ausführungsbeispiels
erläutert und ergänzt.
Fig. 1 veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel mit dem die
mechanischen Verschiebungsfelder eines Meßobjektes 1
erfaßt werden können. Eine Hologrammplatte 6 wird
einerseits beleuchtet bzw. belichtet (4, 5, 14) und
andererseits (7, 8, 10) abgetastet bzw. ausgewertet. Das
BVS ist durch zwei Sichtschirme 10 repräsentiert.
Das diffus streuende Meßobjekt 1, das mit Hilfe einer
Belastungsvorrichtung 2 unter eine definierte mechanische
Belastung gesetzt werden kann, wird über einen
Planglasilluminator 4 (halbdurchlässiger Spiegel) und durch das
Mikroskopobjektiv 3 beleuchtet. Dies entspricht dem in der
konventionellen Auflichtmikroskopie bekannten Prinzip der
Objektauflichtbeleuchtung.
Als Lichtquelle dient ein leistungsstarker Nd:YAG-Laserkopf 20
mit großer Kohärenzlänge. Um ein paralleles Lichtbündel hoher
Reinheit zu erhalten, wird der Objektstrahl durch einen
Kollimator 13 geleitet, der sekundäre Interferenzerscheinungen,
die z. B. an Spiegeln 14, Linsen 14a oder Prismen 14b durch
Mehrfachreflektion des Laserstrahles entstehen können,
unterdrückt. Dieser von Raumfrequenzen freie Laserstrahl wird
über eine stufenlos verstellbare Blende 12 dem bildseitigen
Linsendurchmesser des Mikroskopobjektiv 3 angepaßt, um
Rückreflektionen vom Mikroskopobjektiv 3, die sich im Hologramm
störend bemerkbar machen zu unterdrücken.
Das vom Objekt 1 diffus gestreute und reflektierte Licht, wird
vom Auflichtmikroskop-Objektiv 3 in ein paralleles Lichtbündel
gewandelt und trifft auf die Tubuslinse 5, die es wieder in ein
divergentes Lichtbündel wandelt.
Das Verfahren des bildseitig parallelen Strahlengangs hat den
Vorteil, daß man diverse optische Elemente (z. B.
Planglasilluminator 4, Filter o. ä.) in den bildseitigen
Strahlengang setzen kann, ohne das die Qualität des
Zwischenbildes nachhaltig beeinträchtigt wird; der Abstand von
Mikroskopobjektiv 3 und Hologrammplatte 6 ist so in gewissen
Grenzen frei wählbar.
Durch die Tubuslinse 5 wird das Bildfeld vergrößert, was einer
Erhöhung der Auflösung gleichkommt, da das Auflösungsvermögen
eines Hologramms nur von der Anzahl der Linien, die an der
Speicherung der Objektinformation beteiligt sind, abhängt.
Die Hologrammplatte 6 befindet sich an der Stelle, wo das reelle
vergrößerte Zwischenbild des zunächst mechanisch unbelasteten
Meßobjektes 1 entsteht. Dieses Zwischenbild wird holographisch
aufgezeichnet, indem die vom Objekt 1 kommenden Lichtstrahlen
mit dem Referenzstrahl I interferieren, und das dabei
entstehende Interferenzmuster auf der Hologrammplatte 6
gespeichert wird.
Für die holographische Interferometrie nutzt man, auf der
Hologrammplatte 6 zwei und mehr Hologramme zu speichern, die
sich - wenn sie im gleichen Winkel aufgenommen wurden - bei der
Rekonstruktion überlagern.
Dementsprechend wird eine zweite holographische Aufnahme des
reellen vergrößerten Zwischenbildes von dem nun definiert
belasteten Objekt 1 auf derselben Hologrammplatte 6 gespeichert,
diesmal aber in Interferenz mit einem zweiten Referenzstrahl II.
Beide Referenzstrahlen strahlen unter 45° auf die
Hologrammplatte 6 ein.
Die Hologrammplatte 6 wird z. B. auf photochemischen Wege
entwickelt und zur Rekonstruktion wieder an die gleiche
Position (x, y) wie zur Aufnahme (der zwei Interferenzbilder)
gesetzt. Die Rekonstruktion erfolgt mit beiden Referenzwellen
zugleich.
Bei der Rekonstruktion treten die beiden gespeicherten
Hologramme, die sich durch das mechanische Verschiebungsfeld
unterscheiden, in Interferenz zueinander und das entstehende
Interferogramm wird mit der Videokamera 8 aufgenommen und in den
Bildspeicher eines Bildverarbeitungssystems 10 gelesen.
In dem Referenz-Strahlenweg (I oder II) wird ein Phasenschieber
(als Piezospiegel 11) angeordnet. Er wird über eine
Steuereinrichtung 9 angesteuert, die von dem
Bildverarbeitungssystem (BVS) 10 oder dem Programm gesteuert
werden kann, das die rechnerische Auswertung der mehrfach
belichteten Hologrammplatte 6 übernimmt.
Durch eine - z. B. über die Auswertesoftware des Rechners
definierte - Ansteuerung des Piezospiegels 11 werden in einem
der Referenzzweige definierte Phasenschiebungen durchgeführt.
Diese bewirken eine Veränderung des Interferenzmusters, das vom
Bildverarbeitungssystem (BVS) erfaßt wird.
In das Bildverarbeitungssystem 10 werden drei Bilder als jeweils
unterschiedliche Interferogramme eingelesen und zur Auswertung
herangezogen. Mit einfachen Algorithmen wird die
Interferenzphase und das mechanische Verschiebungsfeld bestimmt
und kann als 3-D-Plot dargestellt werden, wobei die Genauigkeit
optimal 1/200 der zur Aufnahme verwendeten Lichtwellenlänge
beträgt. Durch die einfachen Algorithmen läßt sich außerdem eine
hohe Geschwindigkeit bei der Auswertung erreichen. Die gesamte
Auswertung inklusive der Entwicklung der Hologrammplatte kann in
einer halben Stunde erfolgen.
Besonders eignet sich die berührungslose Messung der
Objektveränderungen unterhalb der Lichtwellenlänge für die
Mikro-Systemtechnik, z. B. die Verbindungstechniken (Bonding),
die Mikromechanik, die Mikroelektronik. Mechanische
Verschiebungen und thermisch verursachte Dehungen können bei
geringem Zeitaufwand - heute schon ohne die Zwischenschaltung
einer Entwicklung der Hologrammplatte 6 - mit großer Genauigkeit
bestimmt werden, gegebenenfalls auch sichtbar gemacht werden.
Mit einer Verbesserung der Auflösung kann gerechnet werden, wenn
eine aktive Streifenstabilisierung - zur Kompensation der
Phasenvariationen durch Luftturbulenzen - eingesetzt wird.
Claims (11)
1. Verfahren zur berührungslosen Bestimmung mechanischer
Verschiebungs- oder Spannungsfelder an diffus streuenden
Meßobjekten (1) mikroskopischer Dimension, bei dem
- a) auf einer Hologrammplatte (6) die vollständige erste optische Information über das unbelastete Meßobjekt (1) aufgezeichnet wird;
- b) das Meßobjekt (1) mit einer Belastungseinrichtung (2) belastet (F) wird oder aufgrund von mechanischer oder thermischer Beanspruchung belastet wird und die vollständige zweite optische Information auf derselben Hologrammplatte (6) aufgezeichnet wird;
- a) die im Bild stabilisierte Hologrammplatte (6) - insbesondere nach Entwicklung - an der Stelle der Aufzeichnung gleichzeitig mit einem ersten und einem zweiten Referenzstrahl (I, II) bestrahlt wird und mit einem Bildverarbeitungs-System (10) die sich durch Interferenz bildenden holografischen Interferenz- Streifenmuster einer, das mechanische Verschiebungs- bzw. Spannungsfeld darstellenden 3-D-Abbildung des Meßobjektes (1) zur Auswertung aufgezeichnet werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem einer der beiden
Referenzstrahlen (I, II) bei der Aufzeichnung mit dem
Bildverarbeitungs-System (10) in seiner Phasenlage verändert
wird (11), um die Interferenz-Streifenmuster zu verändern.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, bei dem die
vollständige erste optische Information das Interferenz-
Streifenmuster aus dem vom Meßobjekt (1) - bei Bestrahlen
mit kohärentem Licht - reflektierten Licht und dem ersten
Referenzstrahl (I) ist, wobei die Interferenz in der
Zwischenbildebene einer Abbildungsoptik (5) einer
Bestrahlungseinrichtung (3, 4) erfolgt.
4. Verfahren nach einem der obigen Ansprüche, bei dem die
vollständige zweite optische Information das Interferenz-
Streifenmuster aus dem vom Meßobjekt (1) - bei Bestrahlen
mit kohärentem Licht - reflektierten Licht und dem zweiten
Referenzstrahl (II) ist, wobei die Interferenz in der
Zwischenbildebene einer Abbildungsoptik einer bzw. der
Bestrahlungseinrichtung (3, 4) erfolgt.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 2 bis 4, bei dem mehrere,
insbesondere drei, Interferenz-Streifenmuster bei
verschiedenen Phasenlagen des einen (I) der Referenzstrahlen
(I, II) relativ zum anderen (II) der Referenzstrahlen (I, II)
im Bildverarbeitungs-System (10) aufgezeichnet werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5, bei dem die verschiedenen
Phasenlagen äquidistant im 2π-Intervall (pi-Intervall) der
Lichtwellenlänge liegen.
7. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die von dem belasteten
oder unbelasteten Meßobjekt (1) kommenden Strahlen in einer
- einer Mikroskop-Optik (3) nachgeschalteten - Tubuslinse
(5) in ein divergentes Lichtbündel gewandelt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem aus den insbesondere
mehreren aufgezeichneten Interferenz-Streifenmustern im
Bildverarbeitungs-System (10) das mechanische Spannungsfeld
über ein mechanisches Verschiebungsfeld des Meßobjektes (1)
im belasteten Zustand gegenüber dem (thermisch oder
mechanisch) unbelasteten Zustand bestimmt wird.
9. Verfahren nach Anspruch 1, bei dem die beiden
Referenzstrahlen (I, II) unter denselben Winkeln, aber nicht
in derselben Richtung auf die Hologrammplatte (6)
einstrahlen.
10. Messvorrichtung zur berührungslosen Bestimmung mechanischer
Verschiebungs- oder Spannungsfelder an diffus streuenden
Meßobjekten (1) mikroskopischer Dimension mit einem zur
holographischen Interferometrie angepaßten
Auflichtmikroskop (3, 4, 12, 13), gekennzeichnet durch
- a) eine Belastungseinrichtung (F, 2) mit der das Meßobjekt (1) unter eine definierte mechanische Spannung setzbar ist oder entlastbar ist;
- b) ein 2-Referenzstrahl-Modul (14, 14b, 11, 9, 14a), um einem von zwei gleichzeitig unter denselben Winkeln aber von verschiedenen Seiten (14a, 14b) auf eine doppelte belichtete Hologrammplatte (6) einstrahlenden Referenzstrahlen (I, II) eine definierte Phasenverschiebung gegenüber dem anderen Referenzstrahl zu geben;
- c) ein Bildverarbeitungs-System (10) zur Aufnahme und Auswertung der Interferenzbilder der mit zwei holographischen Interferenzbildern doppelt belichteten Hologrammplatte (6).
11. Messvorrichtung nach Anspruch 10, bei der die mechanische
Verschiebung oder Spannung die Folge einer thermisch oder
mechanisch das Meßobjekt (1) belastenden
Belastungseinrichtung (2, F) ist.
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- 1995-05-08 DE DE19516842A patent/DE19516842C2/de not_active Expired - Fee Related
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