DE19506276A1 - Verfahren und Schaltungsanordnung zur Interpolation von Sensorsignalen - Google Patents
Verfahren und Schaltungsanordnung zur Interpolation von SensorsignalenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Interpolation von
Sensorsignalen, wobei je ein Sinus- und ein Cosinussignal
eines Sensors einer Brückenschaltung mit mehreren Abgriffs
punkten zugeführt wird, ein Wertevergleich zwischen einem Ab
griffspaar, bestehend aus zwei Abgriffen, die in der Brücken
schaltung diametral gegenüberliegen, durchgeführt wird und bei
Feststellung einer Wertegleichheit zwischen dem Abgriffspaar,
die einem Nulldurchgang des Abtastwertes entspricht, ein die
Stellung des entsprechenden Abgriffspaares repräsentierendes
Signal ausgegeben wird.
Die Erfindung betrifft weiterhin eine Schaltungsanordnung zur
Interpolation von Sensorsignalen mit einer Widerstandsbrücken
schaltung in deren Brückenzweigen mehrere Abgriffe vorgesehen
sind, und die mit dem Sensorsignal beaufschlagt ist, und mit
einem Komparator zum Wertevergleich zwischen einem Ab
griffspaar, bestehend aus zwei Abgriffen, die in der Brücken
schaltung diametral gegenüberliegen.
Zur Übertragung von Zustandssignalen sind sogenannte inkremen
telle Geber bekannt. Derartige Geber werden beispielsweise bei
der Übertragung von Drehzeigersignalen eingesetzt. Hierbei
werden von einem Sensor an einem rotierenden Teil Sinus- und
Cosinussignale erzeugt, die der Lage des rotierenden Teiles
bezüglich eines Festpunktes entsprechen. Für eine Weiterver
arbeitung dieser Signale ist eine Interpolation derselben in
Interpolationswerte erforderlich.
Um aus einem Sinus- und einem Cosinussignal eine Vielzahl von
Interpolationswerten zu gewinnen, die sich auf eine Periode
äquidistant verteilen, sind verschiedene Methoden bekannt
geworden. Diese beruhen zumeist auf einer analogen Vorverar
beitung der Sensorsignale mit anschließender A/D-Wandlung und
digitaler Ausgabe.
Die Vorverarbeitung hat die Aufgabe, die Signale ohne Phasen
fehler auf vorgegebene gleiche Amplitudenwerte zu verstärken
und entsprechende Summen- und Differenzsignale zu bilden, die
dann einer A/D-Wandlung unterzogen werden. Die A/D-Wandlung
nimmt unter Berücksichtigung des nichtlinearen Funktionsver
laufes eine Digitalisierung in äquidistante Stützstellen vor.
Bei Eingangsfrequenzen des Sinus- und Cosinussignales von
einigen hundert kHz und mehr als hundert Stützstellen werden
an die A/D-Wandlung sehr hohe Anforderungen gestellt, die nach
dem bekannten Stand der Technik nur Flash-Wandler erfüllen
können.
Nachteilig ist es, daß bei dem Nutzsignal überlagerten Störun
gen beliebige Interpolationswerte ausgegeben werden können.
Bei der in Antriebstechnik üblichen weiteren Signalverarbei
tung, die nicht die Absolutwerte sondern nur deren Inkremen
tierungen zur Ausgabe bringt, kann dies zu Verzählfehlern
führen.
Nachteilig ist es bei diesen Flash-Wandlern, daß sie einen
hohen Flächen- und Leistungsbedarf aufweisen und daß damit
eine Integration der Signalverarbeitung in einem Halbleiter
chip erschwert wird. Außerdem fügt sich die für diese Wandler
erforderliche Taktversorgung zumeist schlecht in übergeordnete
Systeme ein.
Außerdem ist es erforderlich, den nichtlinearen Zusammenhang
zwischen Signalspannung und Phasenwinkel zu korrigieren und
eine ausreichende Unterdrückung von Störspannungen zu gewähr
leisten. Auch dies führt innerhalb von übergeordneten Systemen
zu Problemen, da zumeist gewünschte Systemparameter nicht
erreicht werden können.
Aus der Zeitschrift "tm - Technisches Messen", 60 (1993), R.
Oldenbourg Verlag, ist auf den Seiten 99 ff. eine Lösung ange
geben, die die Signalverknüpfung, d. h. die Summen- und Diffe
renzbildung, und die Korrektur in vorteilhafter Art und Weise
löst. Dabei wird eine Brückenschaltung angegeben, die aus
Widerständen besteht. Die Widerstände berücksichtigen in ihrer
Abstufung den Funktionsverlauf. Es sind mehrere Brückenabgrif
fe vorgesehen, an die Komparatoren angeschlossen sind. Dabei
wird jeweils ein Komparator mit zwei innerhalb der Brücke
diagonal gegenüberliegenden Abgriffen beaufschlagt. Das Bild
aller Komparatorausgänge liefert das repräsentierende Signal.
Zusammen mit den an die Brückenabgriffe angeschlossenen Kom
paratoren wird also ein an die speziellen Anforderungen ange
paßter Flash-Converter realisiert.
Nachteilig ist allerdings, daß bei Verwendung dieses Prinzips
zur Realisierung eines Analoginterpolators als Einchiplösung
dadurch weiterhin die genannten Probleme bestehen, mit der
Ausnahme, daß die Aufgabe der Korrektur der Nichtlinearität
gelöst ist.
Weiterhin ist es nachteilig, daß sich die Zahl der benötigten
Komparatoren erheblich erhöht, da eine Anzahl erforderlich
ist, die der Hälfte der Anzahl der Brückenabgriffe entspricht.
Wird ein hoher Interpolationsfaktor gefordert, führt diese
hohe Anzahl erforderlicher Komparatoren zu einer erheblichen
Vergrößerung des Gesamtaufwandes.
Neben dem hohen schaltungstechnischen Aufwand besteht ein
großer Flächen- und Leistungsbedarf und es wird eine Überein
stimmung der Komparatoren in den Parametern Offsetspannung und
Verzögerungszeit gefordert, was hohe Anforderungen an den
Herstellungsprozeß stellt.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Schal
tungsanordnung anzugeben, die eine Gesamtintegration der ana
logen Vorverarbeitung mit digitaler Ausgabe auf einem Chip
ermöglicht und dabei die Forderungen nach vertretbarem Her
stellungsaufwand, hoher Verarbeitungsgeschwindigkeit, Gewähr
leistung einer Verzählsicherheit bei beliebigen Störungen,
nichtnotwendigem externen Takt, geringen Stromverbrauch und
Chipflächenbedarf sowie nach niedrigen Anforderungen an analo
ge Präzisionskomponenten erfüllt.
Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß die
Abgriffspaare in einer Richtung nacheinander mit einer Fre
quenz, die größer ist als die Signalfrequenz, multipliziert
mit der Anzahl der Abgriffspunkte, abgetastet und nacheinander
dem Wertevergleich unterzogen werden, wobei jedem Abtastereig
nis ein Zählerwert eindeutig zugeordnet wird. Anschließend
wird der Nulldurchgang des Abtastwertes ermittelt, indem ein
von einem zum nächsten Abtastereignis eintretender Polaritäts
wechsel des aus dem Wertevergleich ermittelten Vergleichswer
tes festgestellt wird. Bei Feststellung eines Nulldurchganges
wird der Zählerwert als das der Stellung des entsprechenden
Abgriffspaares repräsentierende Signal ausgegeben. Nach Fest
stellung des Polaritätswechsels des Vergleichswertes werden
die Verfahrensschritte in entgegengesetzter Abtastrichtung
wiederholt.
Da die Abtastfrequenz wesentlich höher als die Signalfrequenz
ist, wird über die Abtastung in der einen Abtastrichtung sehr
schnell das Abgriffspaar ermittelt, bei dem der Wertevergleich
eine Polaritätsumkehr des Vergleichswertes zeigt. Ist der
Vergleichswert ein digitaler Wert, so wird sich diese Polari
tätsumkehr in einer Änderung des logischen Ausgangspegels
darstellen. Neben der Ausgabe des Signales, das die Stellung
des entsprechenden Abgriffspaares repräsentiert, kehrt sich
die Abtastrichtung um. Es werden also die in dem vorhergehen
den Abtastschritten abgetasteten Abgriffspaare wieder abgeta
stet. Hat sich die Stellung des den Nulldurchgang repräsentie
renden Abgriffspaares nicht verändert, wird also sofort wieder
eine Polaritätsumkehr des Vergleichswertes festgestellt. Damit
wiederholt sich die Richtungsumkehr erneut. Die Abtastung
pendelt also stets um das Abgriffspaar, das den Nulldurchgang
repräsentiert.
In einer besonders günstigen Ausgestaltung des erfindungsgemä
ßen Verfahrens ist vorgesehen, daß jedem Abgriffspaar der Wert
eines Zählersignales zugeordnet wird. Danach wird das Zähler
signal mit auf- oder absteigenden Wertefolge erzeugt. Jeweils
das dem jeweiligen Wert des Zählersignales entsprechende Ab
griffspaar wird sodann dem Wertevergleich unterzogen und der
aktuelle Wert dem Zählersignales ausgegeben. Bei Feststellung
eines Polaritätswechsels des Vergleichswertes wird die Werte
folge des Zählersignales umgekehrt.
Durch diese Ausgestaltung wird die Analoginterpolation weitge
hend digital geführt. Die Erzeugung des Zählersignales und die
Verwendung desselben als ein Stellungssignal vereinfacht die
Signalverarbeitung erheblich.
Auch hierbei zeigt das Verfahren ein ständiges Pendeln der
Abtastung um das Abgriffspaar, bei welchem der Polaritätswech
sel eintritt.
Die Aufgabe wird weiterhin durch eine Schaltungsanordnung
gelöst, bei der ein Multiplexer vorgesehen ist, über den der
Komparator mit verschiedenen Abgriffspaaren verbindbar ist.
Weiterhin ist eine einen Vor-/Rückwärtszähler beinhaltende
digitale Steuerschaltung mit dem Multiplexer steuernd verbun
den. Dabei ist der Komparatorausgang mit der digitalen Steuer
schaltung derart verbunden, daß die Zählrichtung in Ab
hängigkeit von dem Komparatorausgang steht.
In Abhängigkeit von der Stellung des Vor-/Rückwärtszähler
werden die Abgriffspaare nacheinander mit dem Komparator ver
bunden. Der Komparatorausgang seinerseits entscheidet über die
Richtung, in die der Vor-/Rückwärtszähler zählt.
Wird ein Abgriffspaar mit dem Komparator verbunden, das den
Nulldurchgang des Sensorsignales repräsentiert, wird an dem
Komparator eine Umkehr des logischen Ausgangspegels erfolgen,
da die Werte an den zu dem Abgriffspaar gehörenden Abgriffen
entweder gleich sind oder da deren Differenz umgekehrt ver
schieden von Null ist als bei dem vorhergehend abgetasteten
Abgriffspaar.
Durch die Rückwirkung des Komparatorausganges auf den Vor-
/Rückwärtszähler wird die Abtastrichtung durch eine Umkehr der
Zählrichtung erzeugt.
In einer günstigen Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Schal
tungsanordnung ist vorgesehen, daß der Multiplexer aus zwei
Anologmultiplexern besteht.
Weiterhin ist es zweckmäßig, daß der Vor-/Rückwärtszähler über
einen 2-aus-n-Dekoder mit den Analogmultiplexern verbunden
ist, durch den diese gesteuert werden.
Weiterhin ist es zweckmäßig, einen Komparator vorzusehen, der
aus einem symmetrischen Nullspannungskomparator besteht.
Die Erfindung soll nachfolgend anhand eines Ausführungsbei
spieles näher erläutert werden. Die zugehörige Zeichnung zeigt
ein Blockschaltbild einer erfindungsgemäßen Schaltungsanord
nung.
Die Schaltungsanordnung dient der digitalen Darstellung der
Drehlage eines rotierenden Teiles. Sie stellt damit eine Dreh
zeigeranordnung dar.
Von nicht näher dargestellten Sensoren, die sich an oder in
der Nähe des rotierenden Teiles befinden, wird ein Sinussignal
an den Eingang eines Sinusverstärkers 1 und ein Cosinussignal
an den Eingang eines Cosinusverstärkers 2 angelegt.
In der Schaltungsanordnung ist eine Brückenschaltung, beste
hend aus den Brückenwiderständen 3 bis 6 vorgesehen. Dabei ist
der Sinusverstärker 1 mit seinem Ausgang 7 und seinem inver
tierten Ausgang 8 mit den in der Zeichnung dargestellten ver
tikalen Brückenspeisepunkten der Brückenschaltung und der
Ausgang 9 sowie der invertierte Ausgang 10 des Cosinusverstärkers
2 mit den horizontalen Brückenspeisepunkten der Brücken
schaltung verbunden.
Die Brückenwiderstände 3 bis 6 weisen je 50 Abgriffspunkte
auf, die mit einem aus zwei Analogmultiplexern bestehenden
Multiplexer 11 verbunden sind.
Weiterhin ist in der Schaltungsanordnung eine Steuerschaltung
12 vorgesehen, die einen 2-aus-n-Dekoder und einen Vor-/Rück
wärtszähler beinhaltet. Gesteuert wird die Steuerschaltung 12
über einen Taktgenerator 13, wie es nachfolgend näher be
schrieben wird.
Über den 2-aus-n-Dekoder der Steuerschaltung 12 wird der Mul
tiplexer 11 derart gesteuert, daß je einen Abgriffspunkt des
Brückenwiderstandes 3 mit einem diametral gegenüberliegenden
Abgriffspunkt des Brückenwiderstandes 6 oder einen Abgriffs
punkt des Brückenwiderstandes 4 mit einem diametral gegenüber
liegenden Abgriffspunkt des Brückenwiderstandes 5 jeweils als
ein Abgriffspaar mit den Eingängen eines Komparators 14, der
aus einem symmetrischen Nullspannungskomparator besteht, ver
bunden werden.
Der Ausgang des Komparators 14 ist wiederum mit der Steuersc
haltung 12 verbunden.
Wie bereits dargestellt, verbindet der Multiplexer 11 in Ab
hängigkeit des Wertes des Vor-/Rückwärtszählers in der Steu
erschaltung 12 die Abgriffspaare mit den Eingängen des Kom
parators 14. Abhängig vom logischen Ausgangspegel des Kompara
tors 14 wird dann ein Vor- oder Rückwärtszählimpuls erzeugt,
wodurch der Komparator 14 über den Multiplexer 11 mit dem
nächsten oder dem vorangegangenen Abgriffspaar verbunden wird.
Da die Brückenwiderstände 3 bis 6 so bemessen sind, daß bei
Anliegen von orthogonalen Sinusspannungen an den jeweils ge
genüberliegenden Brückenspeisepunkten die Nulldurchgänge der
sinusförmigen Spannungen an den Abgriffspaaren äquidistanten
Interpolationspunkten entsprechen, wird der Vor-/Rückwärtszähler
vom Komparator 14 so lange in eine Richtung gezählt, bis
der Nulldurchgang erreicht ist, wobei die entsprechende Zäh
lerstellung dann den Interpolationspunkt repräsentiert. Diese
Zählerstellung wird, durch die Steuerschaltung 12 kodiert an
den Ausgang 15 der Steuerschaltung 12 gegeben.
Im quasistatischen Betrieb pendelt das Abtasten zwischen den
beiden Abgriffspaaren, zwischen denen der tatsächliche Null
durchgang liegt, mit einer Frequenz, die durch die systembe
dingte Verzögerungszeit vorgegeben ist. Dieses Pendeln kann am
digitalen Ausgang durch zusätzliche Schaltungsmaßnahmen unter
drückt werden.
Mit dieser Schaltungsanordnung wird die erfindungsgemäße Auf
gabenstellung unabhängig von einem Interpolationsfaktor mit
einem einzigen Komparator 14 gelöst, wohingegen nach dem Stand
der Technik eine Vielzahl von Komparatoren benötigt wird. Die
von diesem Komparator 14 zu erreichenden Parameter, insbeson
dere Offsetspannung und Verzögerungszeit, müssen zwar bestimm
ten absoluten Forderungen genügen, sind bezüglich ihrer Tole
ranzen jedoch unkritisch. Dies ist eine wesentliche Voraus
setzung für die Realisierbarkeit in einem Standard-CMOS-Pro
zeß.
Gleichzeitig ermöglicht die Realisierung von nur einem Kom
parator 14 auch kleinere Absolutwerte für Verzögerungszeit und
Offset, da der Wegfall von strengen Restriktionen in Bezug auf
die Fläche und die Verlustleistung mehr schaltungstechnischen
Spielraum zur Verbesserung der oben genannten Parameter lädt
und dennoch mit einer erheblichen Reduzierung von Flächen- und
Leistungsbedarf der gesamten Anordnung verbunden ist. Damit
ist eine wesentliche Voraussetzung für das Erreichen einer
hohen Geschwindigkeit gegeben.
Als Komparator 14 wird in dem Ausführungsbeispiel ein getakte
ter Komparator, bestehend aus Vorverstärker, gelatchten Flip-
Flop und Daten-Transient-Detektor eingesetzt, der an seinen
Ausgängen ein Daten- und ein Strobe-Signal bereitstellt. Die
ser Aufbau sichert für verschiedene Eingangsspannungen die
jeweils maximale Geschwindigkeit und verhindert gleichzeitig
die Ausgabe von undefinierten Pegeln an die Steuerschaltung
12.
Der Latch-Takt fuhr den Komparator 14 wird erfindungsgemäß über
eine Verzögerungsschaltung, die das Zeitverhalten der Steuer
schaltung 12, der des Multiplexers 11 und des Vorverstärkers
simuliert, aus dem Strobe-Impuls gewonnen, welcher als Takt
für die Steuerschaltung 12 dient. Dadurch arbeitet die Schal
tungsanordnung in sich geschlossen und kommt ohne einen exte
ren Takt aus.
Bezugszeichenliste
1 Sinusverstärker
2 Cosinusverstärker
3 Brückenwiderstand
4 Brückenwiderstand
5 Brückenwiderstand
6 Brückenwiderstand
7 Ausgang des Sinusverstärkers
8 invertierter Ausgang des Sinusverstärkers
9 Ausgang des Cosinusverstärkers
10 invertierter Ausgang des Cosinusverstärkers
11 Multiplexer
12 Steuerschaltung
13 Taktgenerator
14 Komparator
15 digitaler Ausgang
2 Cosinusverstärker
3 Brückenwiderstand
4 Brückenwiderstand
5 Brückenwiderstand
6 Brückenwiderstand
7 Ausgang des Sinusverstärkers
8 invertierter Ausgang des Sinusverstärkers
9 Ausgang des Cosinusverstärkers
10 invertierter Ausgang des Cosinusverstärkers
11 Multiplexer
12 Steuerschaltung
13 Taktgenerator
14 Komparator
15 digitaler Ausgang
Claims (6)
1. Verfahren zur Interpolation von Sensorsignalen, wobei je
ein Sinus- und ein Cosinussignal eines Sensors einer
Brückenschaltung mit mehreren Abgriffspunkten zugeführt
wird, ein Wertevergleich zwischen einem Abgriffspaar,
bestehend aus zwei Abgriffen, die in der Brückenschaltung
diametral gegenüberliegen, durchgeführt wird und bei Fest
stellung einer Wertegleichheit zwischen dem Abgriffspaar,
die einem Nulldurchgang des Abtastwertes entspricht, ein
die Stellung des entsprechenden Abgriffspaares repräsen
tierendes Signal ausgegeben wird, dadurch ge
kennzeichnet,
daß die Abgriffspaare in einer Richtung nacheinander mit
einer Frequenz, die größer ist als die Signalfrequenz,
multipliziert mit der Anzahl der Abgriffspunkte, abgeta
stet und nacheinander dem Wertevergleich unterzogen wer
den, wobei jedem Abtastereignis ein Zählerwert eindeutig
zugeordnet wird,
daß anschließend der Nulldurchgang des Abtastwertes ermit telt, indem ein von einem zum nächsten Abtastereignis eintretender Polaritätswechsel des aus dem Wertevergleich ermittelten Vergleichswertes festgestellt wird,
daß bei Feststellung eines Nulldurchganges der Zählerwert als das der Stellung des entsprechenden Abgriffspaares re präsentierende Signal ausgegeben wird und
daß nach Feststellung des Polaritätswechsels des Ver gleichswertes die Verfahrensschritte in entgegengesetzter Abtastrichtung wiederholt werden.
daß anschließend der Nulldurchgang des Abtastwertes ermit telt, indem ein von einem zum nächsten Abtastereignis eintretender Polaritätswechsel des aus dem Wertevergleich ermittelten Vergleichswertes festgestellt wird,
daß bei Feststellung eines Nulldurchganges der Zählerwert als das der Stellung des entsprechenden Abgriffspaares re präsentierende Signal ausgegeben wird und
daß nach Feststellung des Polaritätswechsels des Ver gleichswertes die Verfahrensschritte in entgegengesetzter Abtastrichtung wiederholt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn
zeichnet,
daß jedem Abgriffspaar der Wert eines Zählersignales zu geordnet wird,
daß das Zählersignal mit auf- oder absteigenden Wertefolge erzeugt wird,
daß jeweils das dem jeweiligen Wert des Zählersignales entsprechende Abgriffspaar dem Wertevergleich unterzogen und der aktuelle Wert des Zählersignales als repräsen tierendes Signal ausgegeben wird und
daß bei Feststellung eines Polaritätswechsels des Ver gleichswertes Wertefolge des Zählersignales umgekehrt wird.
daß jedem Abgriffspaar der Wert eines Zählersignales zu geordnet wird,
daß das Zählersignal mit auf- oder absteigenden Wertefolge erzeugt wird,
daß jeweils das dem jeweiligen Wert des Zählersignales entsprechende Abgriffspaar dem Wertevergleich unterzogen und der aktuelle Wert des Zählersignales als repräsen tierendes Signal ausgegeben wird und
daß bei Feststellung eines Polaritätswechsels des Ver gleichswertes Wertefolge des Zählersignales umgekehrt wird.
3. Schaltungsanordnung zur Interpolation von Sensorsignales
mit einer Widerstandsbrückenschaltung in deren Brücken
zweigen mehrere Abgriffe vorgesehen sind, und die mit dem
Sensorsignal beaufschlagt ist, und mit einem Komparator
zum Wertevergleich zwischen einem Abgriffspaar, bestehend
aus zwei Abgriffen, die in der Brückenschaltung diametral
gegenüberliegen, dadurch gekennzeich
net,
daß ein Multiplexer (11) vorgesehen ist, über den der Komparator (14) mit verschiedenen Abgriffspaaren verbind bar ist,
daß eine einen Vor-/Rückwärtszähler beinhaltende digitale Steuerschaltung (12) mit dem Multiplexer (11) steuernd verbunden ist und
daß der Komparatorausgang mit der digitalen Steuerschal tung (12) derart verbunden ist, daß die Zählrichtung in Abhängigkeit von dem Komparatorausgang steht.
daß ein Multiplexer (11) vorgesehen ist, über den der Komparator (14) mit verschiedenen Abgriffspaaren verbind bar ist,
daß eine einen Vor-/Rückwärtszähler beinhaltende digitale Steuerschaltung (12) mit dem Multiplexer (11) steuernd verbunden ist und
daß der Komparatorausgang mit der digitalen Steuerschal tung (12) derart verbunden ist, daß die Zählrichtung in Abhängigkeit von dem Komparatorausgang steht.
4. Schaltungsanordnung nach Anspruch 3, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Multiplexer (11) aus
zwei Anologmultiplexern besteht.
5. Schaltungsanordnung nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß der Vor-/Rückwärtszähler
über einen 2-aus-n-Dekoder mit den Analogmultiplexern
verbunden ist, durch den diese gesteuert werden.
6. Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche 3 bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß der
Komparator (14) aus einem symmetrischen Nullspannungskom
parator besteht.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DE1995106276 DE19506276B8 (de) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | Verfahren und Schaltungsanordnung zur Interpolation von Sensorsignalen |
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DE1995106276 DE19506276B8 (de) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | Verfahren und Schaltungsanordnung zur Interpolation von Sensorsignalen |
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Legal Events
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OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
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Owner name: ZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN AG, 01109 DRESDEN, |
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Inventor name: KRAUSS, MATHIAS, DR.-ING.HABIL., 72119 AMMERBUCH, Inventor name: BURGSCHAT, REINER, 07745 JENA, DE |
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Owner name: NUMERIK JENA GMBH, 07743 JENA, DE Owner name: ZENTRUM MIKROELEKTRONIK DRESDEN AG, 01109 DRES, DE |
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R071 | Expiry of right | ||
R071 | Expiry of right |