DE19501711C1 - Präzisionsjustiereinrichtung insbesondere für die Mikrooptik und Mikromechanik und Verfahren zur Präzisionsjustierung - Google Patents
Präzisionsjustiereinrichtung insbesondere für die Mikrooptik und Mikromechanik und Verfahren zur PräzisionsjustierungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Präzisionsjustiereinrichtung, die insbesondere in der Mikro
optik und Mikromechanik einsetzbar ist, gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Stand der Technik ist, daß ein enormer Aufwand an Mechanik, Meß-, Steuer- und
Regeltechnik getrieben wird, um Teile bei Montageprozessen mittels Roboter im Be
reich kleiner 10 µm zu positionieren. Die Kosten für solch einen Roboter liegen beim
zehnfachen gegenüber einem mit einer Positioniergenauigkeit von ca. 100 µm.
Bekannt ist eine Vorrichtung zum Justieren von mechanischen Baugruppen nach der
DE 42 36 795 C1, bei der ein Hammerwerk an ein zu justierendes Bauelement ange
setzt wird und das geklemmte, zu justierende Bauelement durch "Hammerschläge" in
eine Sollposition gebracht wird.
Es wurde auch bereits eine Vorrichtung zum Einstellen der Lage eines Körpers vorge
schlagen, bei der ein drehbar gelagerter Hammer auf das geklemmte, zu justierende
Bauelement mittels Hammerschlägen einwirkt.
Der Nachteil dieser Vorrichtungen ist es, daß sie nur für kleine Positionierwege und
auch nur für eine Verschieberichtung pro Schlagwerk eingesetzt werden können.
Die Erfindung soll das Problem lösen, grob vorpositionierte Teile mit vergleichsweise
ungenau positionierfähigen Robotern hochgenau und feinfühlig zu justieren. Die Aus
richtung soll, in Abhängigkeit von der zu lösenden Justieraufgabe, in allen Raumrich
tungen möglich sein. Die Justiereinrichtung soll sehr flexibel einsetzbar sein. Die Ko
sten für die gesamte Apparatur sollen bei höchsten Positioniergenauigkeiten gering
gehalten werden.
Die Lösung der Aufgabe gelingt mit einer Präzisionsjustiereinrichtung gemäß dem
Oberbegriff durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen
Merkmale.
Die Unteransprüche 2 bis 6 sind vorteilhafte Ausgestaltungen des Hauptanspruchs 1.
Die Lösung der Aufgabe gelingt mit einem Verfahren zur Präzisionsjustierung gemäß
dem Oberbegriff durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 7 angegebenen
Merkmale.
Der Unteranspruch 8 ist eine vorteilhafte Ausgestaltung des Hauptanspruchs 7.
Handelsübliche Montage-Roboter haben - je nach Verwendungszweck - eine
Positionierunsicherheit von etwa 1000 µm bis zu etwa minimal 5 µm.
Mit Hilfe der Erfindung gelingt es, eine Justage von grob vorpositionierten
Montageobjekten im Bereich von 0,1 µm bis 5 µm mittels eines Roboters zu realisieren.
Dabei sind Positionierschritte kleiner 0,1 µm erreichbar. Aus diesen kleinen Schritten
wird durch Addition ein größerer Verstellweg des Montageobjektes realisiert.
Voraussetzung für eine Feinjustierung mittels eines Schlagwerkes ist eine möglichst
definierte Klemmung des Montageobjektes auf einer Montageplattform. Die Klemmung
muß so sein, daß eine Bewegung des Montageobjektes auf der Montageplattform, die
durch den Schlagstift des Schlagwerkes hervorgerufen wird, zugelassen wird.
Diese Klemmung kann zeitweilig erfolgen (nur während des Justageprozesses) oder
dauerhaft sein (während der Justage und des bestimmungsgemäßen Gebrauches).
Eine zeitweilige Klemmung des Montageobjektes kann durch eine Anpreßkraft
erfolgen, die zweckmäßig von dem Roboterarm ausgehend auf das Montageobjekt
ausgeübt wird. Eine zeitweilige Klemmung kann auch durch zusätzliche mechanische
Mittel erfolgen, z. B. Vorschraubring, Schrauben, Federn, Knacke.
Bei einer nur zeitweiligen Klemmung des Montageobjektes muß bei Erreichen der
Sollage eine zusätzliche dauerhafte Fixierung des Montageobjektes erfolgen, die durch
die verwendeten mechanischen Spannmittel gewährleistet ist (Vorschraubring,
Schrauben, Bördelverbindung, Federn, Knacke) oder zusätzlich durch eine
stoffschlüssige Verbindung geschaffen wird, z. B. durch Löten, Kleben, Schweißen,
anodic bonding.
Die notwendigen Informationen zur Steuerung des Roboters und des mindestens einen
Schlagwerkes zur Feinjustage des Montageobjektes werden von einem
Positionssensor gewonnen.
Der Positionssensor kann so ausgeführt sein, daß die notwendige Orientierung zur
Steuerung des Roboters aus der Abbildung mindestens einer Marke gewonnen wird,
die auf dem Montageobjekt und/oder auf der Montageplattform angeordnet ist.
Weiterhin kann die Lageveränderung aus dem Abbild eines Lichtbündels registriert
werden, dessen Position auf einem positionsempfindlichen Detektor durch das
Montageobjekt beeinflußt wird. Dabei kann auch das Montageobjekt selbst Quelle des
Lichtbündels sein.
Der Roboter verfügt vorteilhaft über ein Kopfstück, welches sequentiell mehrere oder
alle der folgenden Arbeitsgänge realisiert:
- - Greifen des Montageobjektes
- - Transportieren
- - Absetzen des Montageobjektes auf die Montageplattform Fixieren des Montageobjektes durch das Kopfstück des Roboters oder die Montage einer Klemmung durch den Roboter
- - Austausch des Greifers gegen ein Schlagwerk
- - Feinpositionierung des Montageobjektes mittels Schlagwerk
- - Austausch des Schlagwerks gegen eine Fixiereinrichtung (z. B. Klebstoffauftragseinrichtung, Lötvorrichtung, Schweißvorrichtung)
- - Austausch der Fixiereinrichtung und des Schlagwerks gegen einen Greifer,
- - Greifen des auf die Montageplattform montierten Montageobjektes und Abtransport in eine Ablage
- - weiter im Zyklus von vorn.
Vorteilhaft erfolgen mit dem Kopfstück des Roboters in einem Arbeitszyklus die
Montage des Montageobjektes durch ein vergleichsweise weit toleriertes Fügen der
Teile und anschließend die Präzisionsjustierung des Montageobjektes.
Die Erfindung wird nachfolgend an Hand von Beispielen erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 Präzisions-Montage-Roboter im Prinzip beim Schlag von rechts;
Fig. 2 Präzisions-Montage-Roboter im Prinzip beim Schlag von links;
Fig. 3 Mehrfach-Schlagwerk an einem Portal-Roboter;
Fig. 4 Dreh-Schlagwerk an einem Montage-Roboter.
Gemäß Fig. 1 ist auf einem Tisch 1 eine Montageplattform 3 befestigt. Ein
Montageobjekt 2 wird zur Montageplattform 3 grob vorpositioniert. Dies kann manuell
mit einer gesonderten Montagevorrichtung oder mit einem Montage-Roboter erfolgen.
Das Montageobjekt 2 ist im Beispiel ein Linsenarray, das zur Montageplattform 3, im
Beispiel einem optoelektronischen Schaltkreis, hochgenau positioniert werden soll.
Zunächst erfolgt nach der Montage, die das Montageobjekt 2 zur Montageplattform 3
grob vorpositioniert, eine Fixierung des Montageobjektes 2 durch eine Klemmung (nicht
dargestellt) mit einer Klemmkraft F. Die Klemmkraft F erzeugt eine Haftreibkraft
zwischen der Montageplattform 3 und dem Montageobjekt 2.
In der Aufnahme eines Kopfstückes 14 eines Montage-Roboters 4 ist ein Schlagwerk 5
eingespannt. Das Schlagwerk 5 wird mit Hilfe der Roboterarme 6 des Montage-
Roboters 4 so zum Montageobjekt 2 positioniert, daß sich der Schlagstift 11 in einem
Abstand a zum Montageobjekt 2 befindet und die Schlagrichtung der Richtung der
beabsichtigten Justagebewegung entspricht.
Der Abstand a zwischen dem Schlagstift in Ruhestellung und dem Montageobjekt
beträgt typisch 0,1 mm bis 5 mm. Der Abstand a muß nur grob angenähert werden.
Somit kann ein vergleichsweise kostengünstiger Roboter mit mittleren
Positioniergenauigkeiten um 0,1 mm eingesetzt werden, um letztlich eine
Positioniergenauigkeit des Montageobjektes im Bereich von 1 µm zu erreichen.
Bei der Positionierung durch den Montage-Roboter 4 muß sichergestellt werden, daß
ein Schlagstift 11 des Schlagwerkes 5 einerseits nach einer Beschleunigungsphase
frei fliegen kann, andererseits im freien Flug auf das Montageobjekt 2 auftrifft. Im
Beispiel nach Fig. 1 erfolgt der Schlag mit dem Schlagstift 11 von rechts.
Die Koordinierung des Zusammenwirkens der Roboterfunktion und der
Schlagwerkfunktion erfolgt mit Hilfe einer Steuereinrichtung 8. Die Steuereinrichtung ist
über eine Steuerleitung 9 mit dem Montage-Roboter 4, über eine Steuerleitung 10 mit
dem Schlagwerk und über eine Signalleitung 12 mit einem Positionssensor 7
verbunden.
Der Positionssensor 7 ermittelt die aktuelle Lage des vorpositionierten
Montageobjektes 2 und steuert den Montage-Roboter 4 so an, daß das Schlagwerk 5
zum Montageobjekt so ausgerichtet wird, daß der Schlagstift 11 in seiner Wirkrichtung
mit der beabsichtigten Bewegungsrichtung des Montageobjektes 2 in Übereinstimmung
ist.
Dann wird mindestens ein Schlag mit dem Schlagstift 11 ausgeführt. Während des
Schlagens wird mit dem Positionssensor 7 die Lageveränderung des Montageobjektes
2 zu einer Marke 13 auf der Montageplattform 3 oder einer Körperkante der
Montageplattform 3 gemessen und das Schlagen beendet, wenn das Montageobjekt 2
im Toleranzfeld der Sollposition eingerückt ist.
Die Steuereinrichtung 8 bewertet die mit Hilfe der Meßanordnung gewonnenen Signale
über den Erfolg jedes einzelnen Schlages und steuert das Schlagwerk 5 oder den
Montage-Roboter 4 nach dem Erfolg des vorangegangenen Schlages.
Die Schlagwirkung ist von der Art und der Stärke des elastischen Schlages, von der
Klemmkraft F und der Haftreibung zwischen der Oberfläche der Montageplattform 3
und der Oberfläche des Montageobjektes 2 abhängig.
Die Parameter des Schlagwerkes Hublänge, Impulsform, Impulsdauer und Periode der
Impulse und der Abstand a des Schlagstiftes 11 von dem Montageobjekt 2 werden so
eingestellt, daß
- - unbedingt die zeitlich aufeinanderfolgenden Phasen Beschleunigung, freier Flug, Aufprall und Rückholung des Schlagstiftes unterscheidbar sind und
- - die Wirkung des Schlages im gewünschten Umfang eintritt.
Dabei spielen die Parameter Reibung des Schlagstiftes 11 im Schlagwerk 5 (möglichst
gering), Reibung des Montageobjektes 2 auf seiner Montageplattform 3 und die
Materialpaarung Schlagstift 11 mit dem Montageobjekt 2 eine entscheidende Rolle.
Mit der Materialpaarung Schlagstift 11 und Montageobjekt 2 wird über den
Wirkungsgrad der Energie- und Impulsübertragung auf das Montageobjekt 2
entschieden.
Die Funktion der Einrichtung nach Fig. 2 entspricht der Funktion der Einrichtung, wie
sie in Fig. 1 beschrieben wurde. Der Roboterarm 6 hat in Fig. 2 den Schlagstift so
positioniert, daß der Schlag des Schlagstiftes 11 von links auf das Montageobjekt 2
erfolgt. In diesem Beispiel erfolgt die Zuordnung eines ersten Montageobjektes 2 zu
einem zweiten Montageobjekt 16. Das ist zum Beispiel der Fall, wenn das
Montageobjekt 2 eine Zylinderlinse ist und das zweite Montageobjekt 16 eine
Streifenlaserdiode ist, die zueinander ausgerichtet werden müssen.
Die Lage der Objekte wird von dem Positionssensor 7 ermittelt und Roboter 4 und
Schlagwerk 5 werden mittels der Steuereinrichtung 8 so angesteuert, daß die
Montageobjekte 2 und 16 ihre Soll-Lage erreichen.
Fig. 3 zeigt einen Portal-Roboter mit einem Mehrfach-Schlagwerk.
Das Mehrfach-Schlagwerk enthält im Beispiel zwei an einem Kopfstück 14 zu einer
Achse fest angeordnete Schlagwerke 5′ und 5′′. Das erstes Schlagwerk 5′ kann mittels
des Schlagstiftes 11′ von rechts, das zweite Schlagwerk 5′′ kann mittels des
Schlagstiftes 11′′ von links auf das Montageobjekt 2 einschlagen.
Vorteil eines solchen Zweifach-Schlagwerkes mit antiparallelen Wirkrichtungen der
Schläge ist es, daß nach dem Überschreiten der Optimalposition eine Justierung in der
Gegenrichtung erfolgen kann, ohne daß das Schlagwerk mit dem Roboter erneut
positioniert werden muß.
Eine Vierfachanordnung (nicht dargestellt), mit um 90° versetzt angeordneten
Schlagwerken, ermöglicht die Justage in einer Ebene in X-Y-Richtung.
Dabei muß das Kopfstück 14 mit den aufgenommenen Schlagwerken nur
vergleichsweise ungenau zum Montageobjekt positioniert werden.
Im Beispiel nach Fig. 3 ist die Präzisionsjustage einer in der Montageplattform 3
gefaßten Glasfaser 17 zu einer Laserdiode (Montageobjekt 2) in der Ebene senkrecht
zur Faserachse dargestellt.
Die Laserdiode wird über eine Versorgungsleitung 15 mit Energie versorgt.
Mit Hilfe der Kombination der Glasfaser 17 mit dem einem Lichtdetektor 18, wird ein
Positionssensor realisiert, mit dem die in die Faser eingekoppelte Lichtleistung
gemessen wird. Das entsprechende Signal wird zur Steuerung des Roboters 4 und der
Schlagwerke 5, und 5′′ genutzt.
Fig. 4 zeigt die Präzisionsjustiereinrichtung mit einem Dreh-Schlagwerk 5.
Bei dem Dreh-Schlagwerk 5 ist der Schlagstift 11 in einer Drehschlagachse 20 drehbar
gelagert.
Das Dreh-Schlagwerk ist im Kopfstück 14 des Roboters 4 eingesetzt.
Im Beispiel sind die Montageobjekte 2 und 16 übereinander angeordnet.
Das erste Montageobjekt 2 ist eine erste Linse, das zweite Montageobjekt 16 ist eine
zweite Linse. Die zwei Montageobjekte 2 und 16 sollen zueinander und außerdem zur
Montageplattform 3 hochgenau positioniert werden.
Die Messung der Position der Bauelemente zur Steuerung des Roboters 4 und des
Dreh-Schlagwerkes 5 erfolgt in Funktion der Baugruppe im Durchlicht.
Auf einer Seite der Baugruppe ist in der optischen Achse eine Lichtquelle 19, im
Beispiel eine Laserdiode, und an der anderen Seite der Positionssensor angeordnet.
Die Lichtquelle 19 ist durch die Versorgungsleitung 15 mit der Steuereinrichtung 8
verbunden. Der Positionssensor 7 ist durch die Signalleitung 12 mit der
Steuereinrichtung 8 verbunden.
Steuerleitungen 9 und 10 verbinden die Steuereinrichtung 8 mit dem Roboter 4 und
dem Dreh-Schlagwerk 5.
Bezugszeichenliste
1 Tisch
2 Montageobjekt (Bauelement)
3 Montageplattform
4 Roboter
5 Schlagwerk
6 Roboterarm
7 Positionssensor
8 Steuereinrichtung
9 Steuerleitung zum Roboter
10 Steuerleitung zum Schlagwerk
11 Schlagstift
12 Signalleitung vom Positionssensor zur Steuereinrichtung
13 Marke (oder Körperkante)
14 Kopfstück
15 Versorgungsleitung
16 zweites Montageobjekt
17 Glasfaser
18 Lichtdetektor
19 Lichtquelle
20 Drehschlag-Achse
F Klemmkraft
a Abstand zwischen Schlagwerk und Montageobjekt
2 Montageobjekt (Bauelement)
3 Montageplattform
4 Roboter
5 Schlagwerk
6 Roboterarm
7 Positionssensor
8 Steuereinrichtung
9 Steuerleitung zum Roboter
10 Steuerleitung zum Schlagwerk
11 Schlagstift
12 Signalleitung vom Positionssensor zur Steuereinrichtung
13 Marke (oder Körperkante)
14 Kopfstück
15 Versorgungsleitung
16 zweites Montageobjekt
17 Glasfaser
18 Lichtdetektor
19 Lichtquelle
20 Drehschlag-Achse
F Klemmkraft
a Abstand zwischen Schlagwerk und Montageobjekt
Claims (8)
1. Präzisionsjustiereinrichtung, insbesondere für Montageaufgaben in der Mikrooptik
und Mikromechanik, bestehend aus einem kartesischen Roboter, einem Portal-Roboter
oder einem Gelenkarm-Roboter (4) mit einem Kopfstück (14) zur Aufnahme von
Werkzeugen und/oder Meßmitteln, dadurch gekennzeichnet, daß
an dem Kopfstück (14) mindestens ein Schlagwerk (5) angesetzt ist und
das Schlagwerk (5) einen Schlagstift (11) hat, der in seiner Ruhestellung einen Abstand
(a) zumindest einem auf einer Montageplattform (3) geklemmten Montageobjekt (2) hat und
der Schlagstift (11) mit dem Montageobjekt (2) impulsförmig in Kontakt bringbar ist,
weiterhin
eine Meßanordnung (Positionssensor 7 oder Lichtdetektor 18) zur Erkennung und Bewertung der Wirkung des impulsförmigen Schlages vorhanden ist, die mit dem zu justierenden Montageobjekt (2, 16) und mit mindestens einem Bezugspunkt der Montageplattform (3) korrespondiert und daß zur Annäherung und zum Erreichen eines Toleranzfeldes die Meßanordnung mit einer Steuereinrichtung (8) für den Roboters (4) und für das mindestens eine Schlagwerk (5) verbunden ist, wobei die Parameter eines folgenden Schlages aus der Wirkung des vorhergehenden Schlages und der zu erreichenden Sollstellung errechenbar sind.
eine Meßanordnung (Positionssensor 7 oder Lichtdetektor 18) zur Erkennung und Bewertung der Wirkung des impulsförmigen Schlages vorhanden ist, die mit dem zu justierenden Montageobjekt (2, 16) und mit mindestens einem Bezugspunkt der Montageplattform (3) korrespondiert und daß zur Annäherung und zum Erreichen eines Toleranzfeldes die Meßanordnung mit einer Steuereinrichtung (8) für den Roboters (4) und für das mindestens eine Schlagwerk (5) verbunden ist, wobei die Parameter eines folgenden Schlages aus der Wirkung des vorhergehenden Schlages und der zu erreichenden Sollstellung errechenbar sind.
2. Präzisionsjustiereinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
in der Aufnahme an dem Kopfstück (14) eine Kombination von mindestes zwei
Schlagwerken (5′ und 5′′) um ein Zentrum angeordnet ist, wobei je ein Schlagwerk für
je eine mögliche Schlagrichtung vorgesehen ist und sich das zu justierende
Montageobjekt (2) im Zentrum befindet.
3. Präzisionsjustiereinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß
mit der Meßeinrichtung (Positionssensor 7, Lichtdetektor 18)
- - ein Vergleich der Ist-Stellung mit einer Sollstellung einer Marke (13) an dem zu justierenden Montageobjekt (2) durchführbar ist oder
- - die äußere Form eines zu justierenden Montageobjektes (2) als repräsentatives Maß für die Funktionsparameter in Bezug zur Montageplattform (3) ermittelbar ist oder
- - eine Signalmessung im Funktionszustand des Montageobjektes (2) durchführbar ist und die Bestimmung des Nutzungsverhaltens erfolgbar ist.
4. Präzisionsjustiereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
die Klemmung des Montageobjektes (2) auf der Montageplattform (3)
- - mittels des Roboters (4) selbst für den Zeitraum der Schlagjustierung erfolgt und anschließend eine zusätzliche Fixierung des Montageobjektes (2) vornehmbar ist oder
- - mittels eines geeigneten Klemmelementes erfolgt welches gleichzeitig die Endfixierung übernimmt.
5. Präzisionsjustiereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
das Montageobjekt (2) und/oder die Montageplattform (3) an ihren
aneinanderliegenden Flächen mit einem Reibbelag versehen sind.
6. Präzisionsjustiereinrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
das Schlagwerk (5)
- - ein Schlagwerk mit einem linear bewegten Schlagstift (11) oder
- - ein Schlagwerk mit einem in einer Drehschlagachse (20) drehbar gelagerten Schlagstift (11) (Dreh-Schlagwerk) ist.
7. Verfahren zur Präzisionsjustierung mittels eines Roboters (4), dadurch
gekennzeichnet, daß
auf ein grob justiertes und auf einer Montageplattform (3) genügend fest geklemmtes
Montageobjekt (2) mindestens ein Impuls mit einem Schlagstift (11) aus einem
Schlagwerk (5) abgegeben wird, wobei das Schlagwerk (5) durch einen Roboterarm (6)
in mindestens einer Raumstellung in einem Abstand (a) zum zu justierenden
Montageobjekt (2) gebracht wird und die Schlagwirkung durch eine Meßeinrichtung
(Positionssensor 7, Lichtdetektor 18) bewertet wird und die Annäherung und
Erreichung einer vorgegebenen Sollstellung des Montageobjektes (2) mittels einer
Steuereinrichtung (8) für den Roboter (4) und das Schlagwerk (5) realisiert wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
der Roboter (4) über ein Kopfstück (14) verfügt welches sequentiell mehrere oder alle
der folgenden Arbeitsgänge realisiert:
- - Greifen des Montageobjektes (2) durch einen Greifer;
- - Transportieren;
- - Absetzen des Montageobjektes (2) auf die Montageplattform (3);
- - Fixieren des Montageobjektes (2) durch Erzeugung einer Klemmkraft (F) mit Hilfe des Roboters selbst oder die Montage einer Klemmung durch den Roboter (4);
- - Austausch des Greifers gegen das Schlagwerk (5);
- - Feinpositionierung des Montageobjektes mittels des Schlagwerkes (5);
- - Austausch des Schlagwerks gegen eine Fixiereinrichtung zur dauerhaften Fixierung;
- - Austausch der Fixiereinrichtung oder des Schlagwerkes gegen den Greifer;
- - Greifen des auf die Montageplattform (3) montierten Montageobjektes (2) und Abtransport in eine Ablage und
- - weiter im Zyklus von vorn.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995101711 DE19501711C1 (de) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | Präzisionsjustiereinrichtung insbesondere für die Mikrooptik und Mikromechanik und Verfahren zur Präzisionsjustierung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE1995101711 DE19501711C1 (de) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | Präzisionsjustiereinrichtung insbesondere für die Mikrooptik und Mikromechanik und Verfahren zur Präzisionsjustierung |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19501711C1 true DE19501711C1 (de) | 1996-04-25 |
Family
ID=7751965
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE1995101711 Expired - Fee Related DE19501711C1 (de) | 1995-01-20 | 1995-01-20 | Präzisionsjustiereinrichtung insbesondere für die Mikrooptik und Mikromechanik und Verfahren zur Präzisionsjustierung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19501711C1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE3933296A1 (de) * | 1988-12-28 | 1990-07-05 | Prima Meat Packers Ltd | Mikroantriebsvorrichtung |
DE4236795C1 (de) * | 1992-11-01 | 1993-12-23 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum Justieren von mechanischen Baugruppen insbesondere zum Herstellen eines multi-mirror-Polygons |
-
1995
- 1995-01-20 DE DE1995101711 patent/DE19501711C1/de not_active Expired - Fee Related
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Title |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8100 | Publication of the examined application without publication of unexamined application | ||
D1 | Grant (no unexamined application published) patent law 81 | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |