DE1928203B2 - Haltevorrichtung fuer flaechige werkstuecke - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Haltevorrichtung für flächige Werkstücke, :rit einer teilweise unter ständig wirksamem Unterdruck und teilweise unter ständig wirksamem Überdruck stehenden haltefläche, zum Transport von leichten Werkstücken mi ebener Oberfläche zu einer Bearbeitungsstation bzw. durch eine Anzahl von Bearbeitungsstationen hindurch.

Zum Festhalten. Aufnehmen und Transportieren von Werkstücken und Gegenständen verschiedenster Art sind eine große Anzahl unterschiedlicher Einrichtungen bekannt, in denen die HalteKraft durch zwischen der Haltevorrichtung und dem Werkstück wirksamen Unterdruck ausgeübt wird. Vielfach hat man diese Einrichtungen so ausgestaltet, daß zur Erleichterung und Beschleunigung des Absetzens des Werkstückes nach dem Transport Druckluft zugeführt wird, wobei vielfach die an die Unterdruck· quelle angeschlossenen Saugdüsen auf Überdruck umschaltbar und kurzzeitig als Blasdüsen wirksam sind.

Eine derartige, in der USA.-Patentschrift 3 253 665 beschriebene Anordnung, bei der wechselweise Überdruck und Unterdruck zugeführt wird, dient zum Ausrichten und Feststellen von Werkstücken relativ zu einem darüber befindlichen Werkzeug. Das Werkstück liegt auf einem plattenförmigen Werkzeugträger, der seinerseits auf einer Grundplatte lose aufliegt, und durch Zufuhr von überdruck zu einer an der Unterseite des Werkzeugträgers befindlichen Kammer kann das Werkstück ausgerichtet werden, während durch das anschließende Umschalten auf Unterdruck das Werkstück in seiner Lage zur Grundplatte und damit zum Werkzeug fixiert wird.

Bei einer weiteren bekannten Haltevorrichtung für blattförmiges Gut, wie sie in der USA.'Palentschrift 3 220 723 beschrieben ist, werden Unterdruck und Überdruck gleichzeitig angewendet, indem durch das Zusammenwirken von Saug' und Druckwirkung mittels eines Luftpolsters zwischen Haltefläche und Blattoberfläche ein berührungsfreies Festhalten des Blaiites erreicht wird. Eine ähnliche Anordnung zeigt aucto uie USA.-Patentschrifl 3 223 443. Zum beruh· rüngsfrelen und besonders schonenden Transport flacher Werkstücke, insbesondere z,B_t Glasscheiben jn erhitztem Zustand, dje gegen eine plastische Verformung besonders emfindlich sind, wurden dv rt eine Mehrzahl Unterdruckzonen relativ geringer Fläche tind ejne Mehrzahl größerer Überdrqckbereiche vorgesehen, welche so aufgetaut sind und gesteueii werden, daß die Saugwirkung sich dem Eigengewicht des Werkstücks anpaßt und gleichzeitig stets ein Luftpolster aufrechterhalten wird.

ίο Der Erfindung liegt demgegenüber die Aufgabe zugrunde, eine Haltevorrichtung für den Transport flächieer Werkstücke zu schaffen, an die besondere Anforderungen hinsichtlich der Reinhaltung der Oberfläche der Werkstücke gsetellt werden, und die es ermöglicht, solche Werkstücke während des Transports zu einer Bearbeitungsstation bzw. durch ein* Anzahl Bearbeitungsstationen hindurch frei von Verunreinigungen zu halten. Diese Aufgabe ist bu einer Haltevorrichtung der eingangs beschriebenen

Art dadurch gelöst worden, daß die Haltefläche au-, einer unter Unterdruck stehenden, relativ kleinen zentralen Anlagefläche und aus einem die Anlagefläche umsehenden, si :h über uen größten Teil der Werkstücksfläche erstreckenden, unter Überdruck stehenden Ringbereich besteht, der sich in ein : gegenüber der Anlaeefläche etwas zurückgesetzten Ebene befindet.

Bei der erfindungsgemäßen Haltevorrichtung tritt. während die zentrale Anlagefläche das Werkstück hält, der Überdruck im Ringbereich in radialer Richtung durch den Spalt hindurch, wodurch der Zutrn; von Staub und sonstigen Fremdkörpern aus der umgebenden Luft verhindert wird und gegebenenfalls auf dem Werkstück befindliche Verunreinigungen entfernt werden. Eine bevorzugte Anwendung der erfmdungsgemäßen Haltevorrichtung ist die Herstellung vonHalbleiterscheibchen. während derer die Scheib chen vor dem Aufbringen auf elektrische Schaltung» moduln mehreren Bearbeitungen ausgesetzt werden.

wie z. B. Fntwickeln, Bedrucken und Trocknen.

Nach einer Weiterbildung der Erfindung sind 111 der Anlagefiäche und im Ringbereich an Unter- bzw. überdruck angeschlossene ringförmige Nuten angeordnet; derartige Nuten in konzentrischer Anordnung sind an sich grundsätzlich bekannt, z. B. bei Vakuumsaugnäpfen für luftdurchlässige Stolle, die zwischen konzentrischen Unterdruckzonen eine ringförmige Druckzone aufweisen, die zum Abstoßen überzählig aufgenommener Werkstücke jeweils mit einem kurzen Druckimpuls wirksam werden (»Maschinenmarkt«. 1967, Nr. 24, S. 457). Entsprechend der anderen Funktion ist jedoch dort die Fläche des Überdruckbcreiches relativ klein gehalten.

Die Erfindung wird im folgenden an Han ' der Zeichnungen in einem Ausführungsbeispiel bc irie· ben; es zeigt

F i g. 1 eine perspektivische Ansicht einer Haltevorrichtung für flächige Werkstücke,
Fig. 2 einen Schnitt in der Linie2-2 gemäß Fig. 1,

Fig. 3 einen Schnitt in der Linie 34 der Fig. 2 und

F i g. 4 die Ansicht der Vorrichtung von unten gemäß der Linie 4-4 der F i g. 2.
Die Haltevorrichtung 10 bestell¹ aus einem im wesentlichen kegelsliimpfförmigen Gehäuse 12 aus riichtrostc dem Stahl, Aluminium, Messing oder einem Fwlymerisalionsharz-Kunststoff, beispielsweise Polytetratiuoräthylen. Zwischen der als Hallefläche 14

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ausgebildeten Unterseite van geringerem Durch- Ende der Druckleitung 62 über eine; (jf ^

messer und der als Deckfläche 16 ausgebildeten Ober- Stellte) Schlauchleitung Druckluft S«S™-WfW.

feite des Gelmuses 12 befindet sich dje konische Man- infolge der Abdichtung der Kammer -, ourui

telflächel8. Im Innern des Gehäuses 12 befinden sich Verschlußdeckel 2(5 gelangt die durcn qi? Pr

von der Oberseite her eins Ausdrehung 20 und im s leitung 62 »nd die öffnungen 70 zugetuijr» "™£

oberen Bereich eine erweiterte Ausdrehung 24, in die luft durch die Kanäle 56 und a8 zu den Kmgnuten ^

ein Verschlußdeckel 26 eingesetzt ist. Somit bildet die und 54 des Ringbereiches 28. Gleichzeitig bewrKtaie

Ausdrehung 20 nach dem Abdecken durch den Ver- Vakuumleitung 46 Über den kanal-W VMW&n-

ichlußdeckel 26 eine Kammer 22. trale Bohrung 38, daß die Ringnut 32 und die Kreuz-

Die Haltefläche 14 weist, wie aus den Fig, 2 und 4 io nut 34 unter Unterdruck gehalten werden ines nat

hervorgeht, einen abgesetzten Ringbereich 28 auf, zur Folge, daß das Werkstück an der verhaitnisma ii_a

aus dessen Ebene eine Anlagefläche 30 um einen be- Meinen Anlagefläche 30 im Zentralbereicftaer tiaite-

stimmten Betrag herausragt. In der Anlagefläche 30 fläche 14 zum Transport festgehalten wira wie aus

befindet sich eine Ringnut 32 und eine Kreuznut34 Fig. 2 und 4 erkennbar, herrscht lntolge aer aurcn

(Fig. 4). Vom Mittelpunkt der Haltefläche 14 aus 15 die Kanäle 56 und 58 zugeführten Druckluft in aem

führt eine zentrale Bohruna 38 in das Gehäuse 12 hin- unmittelbar angrenzenden abgesetzten Kingoereicn

ein (Fig. 2), in die kurz vor ihrem Ende ein radialer 28 ein gewisser Überdruck, der -edocn die von aer

Kanal 40 mündet. In das Innengewinde 42 des Kanals Anlagefläche 30 auf das in F1 g. 2ttncnpunK 111en.aar-

40 ist der Schraubanschluß 44 einer Vakuumleitung gestellte Werkstück 78 ausgeübte HaLekratt nicnt _De-

46 eingeschraubt. Der Anschlußstutzen 48 am ent- 20 einträchtig!. Dabei genügt bezüglich des zugerunrten

gegengesetzten Ende der Vakuumleitung 46 dient zur Druckluftstromes eine verhältnismäßig geringe btro-

Befestigung eines Schlauches zum Anschluß an eine mungsfeschwindigkeit, um die B>'a^un8 ^v°^{n V}Z_Q

Vakuumpumpe. reinigungen an der Oberfläche des Werkstucks 78 zu

Konzentrisch zur Ringnut 32 sind auch in dem ab- vermeiden bzw. vorhandene Verunreinigungen zu

gesetzten Ringbereich 28 zwei Ringnuten 52 und 54 25 entfernen.

vorgesehen, die mittels gleichmäßig verteilter Kanäle Selbstverständlich sind die .^A°^mf^%snJ}.^ J^^T, ™~

56 bzw. 58 mit der Kammer 22 verbunden sind. In lagefläche 30 im Zentralbereich der Haltetiacne 14

Höhe der Kammer 22 führt eine weitere radiale Boh- und des Ringbereichs 28 der Große des autzunenmen-

rung 60 von der Außenseite in das Gehäuse 12, und den und zu transportierenden Werkstucks anzupassen,

mittels eines entsprechenden Schraubanschlusses 64 30 Außerdem hängt das Maß, um welches die Ama_ae-

ist eine Druckleitung 62 in die Bohrung 60 einge- fläche 30 über den Ringbereich 28 hervorstent, von

schraubt. Das entgegengesetzte Ende 66 der Druck- der Druckhöhe der zugeführten Drucklutt sowie dem

leitung 62 ist in eine mit der Bohrung 60 ausgerichtete Gewicht des zu transportierenden Werkstucks ao.

Bohrung 68 auf der gegenüberliegenden Innenseite Jedenfalls muß der Spalt zwischen der Ubernacne aes

der Kammer 20 eingesetzt. In dem in der Kammer 22 35 Werkstücks 78 und der Flache des KingDe.eicns zö

befindlichen bereich 72 der Druckleitung 62 befindet ausreichend groß bemessen sein um das bntweicnen

sich eine Anzahl Offnungen 70, durch die mittels der der zugeführten Druckluft in radialer Richtung zum

Druckleitung 62 und eines Anschlußstutzens 74 mit Freihalten der Werkstückoberflache von Verunremi-

einer kegeligen Mündung 76 am entgegengesetzten gungen zu ermöglichen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims (2)

1. Patentansprüche;

   1, Haltevorrichtung für flächige Werkstücke, mfi. einer teilweise unterständig wirksamem Unterdrück und teilweise unter ständig wirksamem. Überdruck stehenden. Haltefläche, dadurch gekennzeichnet, daß die Haltefläche(14) aus einer unter Unterdruck stehenden, relativ kleinen zentralen Anlagefläche (30) und aus einem die Anlagefläche umgebenden, sich über den größten Teil der Werkstücksfläche erstreckenden, unter Überdruck stehenden Ringbereich (28) besteht, der sich in einer gegenüber der Anlagefiäche (30) etwas zurückgesetzten Ebene befindet.
2. 2. Haltevorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in der Anlagefläche (30) und im Ringbereich (28) an Unter- bzw. Überdruck angeschlossene ringförmige Nuten (32; 52, 54) anseordnet sind.