DE1915710C

DE1915710C - Method of manufacturing television pickup tubes

Info

Publication number: DE1915710C
Authority: DE
Inventors: Heinrich Dr. 6100 Darmstadt; Tretner Werner Dr. 6101 Weiterstadt; Flasche Günter 6100 Darmstadt Strübig
Original assignee: Fernseh GmbH
Current assignee: Robert Bosch Fernsehanlagen GmbH
Publication date: 1971-10-21

Description

schmolzenem Indium benutzt und hiernach abgekühlt und zusammengepreßt werden.molten indium and then cooled and compressed.

Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren zur Herstellung von Elektronenröhren, welche eine Photokathode mit äußerem Photoeffekt enthalten. Durch zahlreiche Versuche hat es sich gezeigt, daß die Herstellung solcher Röhren in einem unter Vakuum stehenden Arbeitsraum gemäß der bekannten Technik wegen zu geringer Ausbeute an guten Röh-The invention is concerned with a method of manufacturing electron tubes which have a Photocathode with external photo effect included. Numerous tests have shown that the manufacture of such tubes in a vacuum working space according to the known Technology due to insufficient yield of good tube

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur
Herstellung von Fernsehaufnahmeröhren, welche
lichtempfindliche Schichten von hoher Empfindlichkeit gegen Fremdgase, vorzugsweise Photokathoden
mit äußerem Photoeffekt, enthalten. Diese Röhren
konnten bisher nur nach einem relativ umständlichen
Verfahren und unter ziemlich hohem Ausschuß an
minderwertigen oder unbrauchbaren Röhren hergestellt werden. Nach der ursprünglichen Technik wurden diese Röhren in Einzelfertigung an der Pumpe 10 ren sehr unwirtschaftlich ist. Es erwies sich als unformiert und dann durch Verschmelzen eines Pump- genügend, die Ausheizung der Elektroden des Strahlstengels abgezogen. systems einer Fernsehaufnahmeröhre und die For-Für Röhren mit geringer Empfindlichkeit gegen mierung der Photokathode an verschiedenen, ther-Fremdgase, insbesondere vom Vidikontyp, sind schon misch voneinander isolierten Stellen des Vakuum-Herstellungsverfahren entwickelt worden, welche die 15 raumes vorzunehmen; vielmehr zeigten die so her-Glasverschmelzung zur Abdichtung der Röhren ent- gestellten Photoschichten eine geringere (und überbehrlich machen. Diese Verfahren beruhen auf der dies nachlassende) Empfindlichkeit als die in an die Durchführung möglichst vieler Herstellungsschritte Pumpe angeschlossenen Röhren erzeugten; ferner in einem Raum mit definierter Atmosphäre oder Va- wiesen sie häufig Flecken auf. Diese Mängel deuten kuum. Ein dieser Technik entsprechender Versuch ao darauf hin, daß die Formierung der Photoschichten bestand darin, das Glastarget von Superorthikon- auf höchste Empfindlichkeit nicht schematisiert werröhren in dem Vakuumraum eines Rezipienten her- den kann und daß in der Zeit zwischen dem Beginn zustellen. Dieses Target mußte jedoch dann wieder ihrer Formierung bis zur Verschlisßung der Röhren aus dem Rezipienten entnommen und in den Röhren- zuviel Fremdgas und Partikeln auf die Schicht einkolben eingebaut werden, worauf die Herstellung der 35 wirken, als daß ein hochqualifiziertes Endprodukt Photokathode erfolgte. serienmäßig erzielt werden könnte.The invention relates to a method for
Manufacture of television pick-up tubes, which
light-sensitive layers of high sensitivity to foreign gases, preferably photocathodes
with external photo effect, included. These tubes
could only after a relatively cumbersome
Procedure and under fairly high scrap
Inferior or unusable tubes are produced. According to the original technology, these tubes were individually produced on the pump 10 ren is very uneconomical. It was found to be unformed and then, by fusing a pump, sufficient to bake out the electrodes of the beam stem was peeled off. system of a television recording tube and the for tubes with low sensitivity to mation of the photocathode to different, ther-foreign gases, in particular of the vidicon type, have already been developed mixed isolated points of the vacuum production process, which make the 15 space; On the contrary, the photo layers distorted in this way to seal the tubes showed a lower sensitivity (and make them superfluous. These methods are based on this decreasing) sensitivity than the tubes produced in pumps connected to the implementation of as many manufacturing steps as possible; furthermore, in a room with a defined atmosphere or va, they often had stains. These defects indicate kuum. An experiment corresponding to this technique indicated that the formation of the photo layers consisted in producing the glass target from superorthicon to highest sensitivity not schematized in the vacuum space of a recipient and that in the time between the beginning. However, this target then had to be removed from the recipient until the tubes were closed and too much foreign gas and particles had to be inserted into the tube, whereupon the production of the 35 act as a highly qualified end product, the photocathode. could be achieved in series.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zur Herstellung von Schichten hoher Empfindlichkeit, vorzugsweise von Photoschichten mitThe invention is based on the object of a method for the production of layers of high sensitivity, preferably of photo layers with

Verschließung des Gefäßes in ein und demselben 30 äußerem Photoeffekt, anzugeben, welches die be-Vakuumraum dienen. Hier entfallen viele Möglich- kannte Technik der Zusammensetzung der RöhrenClosure of the vessel in one and the same external photo effect, to indicate which is the vacuum space serve. Many known techniques for assembling the tubes are omitted here

im Vakuumraum benutzt und Serienerzeugnisse hoher Qualität und Gleichmäßigkeit liefert.used in the vacuum room and delivers series products of high quality and uniformity.

Das Verfahren zur Herstellung von Fernsehauf-The process of making television recordings

kann. Die Verwirklichung dieses Verfahrens wurde 35 nahmeröhren mit Photokathod'ü hoher Empfindlichdurch Heranziehen der sogenannten »cold-seal«- keit und Fleckenfreiheit, bei dem eine zeitlich und Methode erreicht. In der amerikanischen Patent- räumlich getrennte Entgasung der photoempfindschrift 2 984 759 ist diese Technik zur Verbindung liehen Schicht einschließlich des sie tragenden Hülder Frontplatte einer Vidikonröhre, welche das lenteils der Röhre und andererseits der übrigen photoempfindliche Target trägt, mit der Röhrenhülle 40 Elektroden der Röhre samt des zugehörigen Hüllenbeschrieben. Hiernach wird ein Ring aus Indium teils vorgenommen wird und die beiden Hüllenteilc zwischen den Rand der Röhrenhülle und der Front- in einem gemeinsamen Rezipienten durch Zusamplatte gelegt. Dieser Ring wird durch Druck- menpressen unter Verwendung einer hierfür geeigeinwirkung plastisch deformiert und in engen neten Zwischenschicht vereinigt werden und dann Kontakt mit den beiden Röhrenteilen gebracht. 45 die fertige Röhre aus dem Rezipienten entnommen Die Evakuierung der Röhre erfolgte aber noch wird, besteht darin, daß erfindungsgemäß lichtetnpdurch den Pumpstutzen, der beim Abziehen der Endliche Schichten zur Verwendung als Photo-Röhre von der Pumpe abgeschmolzen werden kathode in Fernsehaufnahmeröhren zunächst in abmußte, geschlossenen und ausgeheizten Gefäßen hergestellt Durch die deutsche Auslegeschrift 1 279 718 und so und geprüft werden, sodann ein ausgewähltes Gefäß das deutsche Patent 1 295 725 wurde dann ein in den Rezipienten eingebracht und dort unter Va-Herstellungsverfahren für Röhren mit Photokathode kuum geöffnet wird, hierauf der die lichtempfindliche bekannt, das mittels der »cold-seaU-Technik die Schicht tragende HUllenteil des Gefäßes abgetrennt vollständige Herstellung der Röhre in einem Va- und mittels eines Manipulators dem anderen ent- kunmnnm ennfanchte. Dabei wurde der Bedingung 5» gasten HUllenteil gegenübergestellt wird, worauf die einet möglichst gerieten Erwärmung der Photo· Vereinigung der beiden HUlienteile erfolgt can. The implementation of this process was achieved by using the so-called "cold seal" and freedom from stains, in which a time and method were achieved. In the American patent - spatially separated degassing of photosensitive inscription 2,984,759, this technology is used to connect the layer, including the shell carrying it, to the front plate of a vidicon tube, which carries the core part of the tube and, on the other hand, the rest of the photosensitive target, with the tube shell 40 electrodes of the tube of the associated cover. After this, a ring made of indium is partly made and the two shell parts are placed between the edge of the tube shell and the front shell in a common recipient by means of an assembly plate. This ring is plastically deformed by pressure compression using an action suitable for this purpose and united in a tight intermediate layer and then brought into contact with the two tube parts. 45 the finished tube was removed from the recipient. closed and baked out vessels produced by the German Auslegeschrift 1 279 718 and so and checked, then a selected vessel the German patent 1 295 725 was then introduced into the recipient and there under Va manufacturing process for tubes with photocathode kuum is opened, then who knows the light-sensitive part of the vessel carrying the layer by means of the cold-seaU technique, completely producing the tube in one va and by means of a manipulator the other . In doing so, the condition 5 "gasified shell part is compared, whereupon the unified heating of the photo · union of the two shell parts takes place

Wesentlich weitergehend sind jedoch bekanntgewordene Verfahren, die zur Herstellung von Photohalbleitern, zum Einbau in das xtöhrengefäß und derHowever, those that have become known are much more extensive Process for the production of photo semiconductors, for installation in the xtöhrengefäß and the

keiten zu einer Verunreinigung der Teile durch Berühren oder durch Flammengase, so daß die Ausbeute an guten Röhren wesentlich erhöht werdenrisk of contamination of the parts through touch or by flame gases, so that the yield of good tubes can be increased significantly

kathod· zwecktcathode purposes

teneioetteneioet

¹ el »er starten ¹ el »he start

derselben dadurch el» 1 ü id Röhrentetle anthe same thereby el » 1 ü id Röhrentetle

r Metallteile rochen, dafi en Or-r metal parts smelled that

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Verfahren am p g e rProcedure am p g e r

vielfacherphottweHe erläutert ist, bezieht sich auf ete· Variante der »cold-sealt-Technik, wonach die xa verbindenden Teil· der Röhr· zunächst mit ge·In many ways it is explained, relates to ete · variant of the »cold seal technique, according to which the xa connecting part of the tube initially with ge

I Diete· Verfahren bietet erhebliche technologische und wirtschaftliche Vorteile. Während bei dem oben· Mnannten Verfahren der Übergang zwischen demI Diete · Process offers significant technological and economic benefits. While in the above-mentioned method, the transition between the

bei verschiedenen Tempo- *· Zeitpunkt, an dem die Photokathode fertiggestellt, Tt d Til d und demjenigen, an dem sie in dem anderen Kolbenat different tempo - * · time at which the photocathode is completed, Tt d Til d and the one on which they are in the other flask

untergebracht ist, unbestimmt ist, da jede Photokathode ein anderes Verhalten während der Formierung zeigt, kann nach dem erfindungsgemäfien Voris housed, is indeterminate, since each photocathode shows a different behavior during formation, can according to the invention before

d pod po

wrdeo. Der Transport der Teile undwrdeo. The transportation of the parts and

der Rehrenhüfle int Vakuumraum wo Manipulatoren durchgeführtthe Rehrenhüfle int vacuum space where manipulators performed

1 Patentschrift, in welcher das 1 patent in which the

der Herstellung einer Ver- «s fahren ein ganz kurzer und nur von den mechanischen Bedingungen der Übertragung abhängiger Zeitraum für ein verweilen der Photokathode in dem Raum des Rezipienten eingehalten und exakt defl·The production of a process takes a very short period of time, which depends only on the mechanical conditions of the transfer, for the photocathode to dwell in the The recipient's space is maintained and precisely defined

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nie« werden. Es ist z. B. möglich, innerhalb der Zeit Indiumring trägt, gelegt und mit Druck so fest aufeiner Sekunde die Photokathodenschicht von ihrem gepreßt, daß das Indium in den Spalt zwischen beiGefäß abzusprengen und auf die andere Röhre zu den Teilen fließt und zum Teil herausgequetscht übertragen. Bei sehr hohem Vakuum bedeutet dies wird. Die glatten Ränder des Photokathodenträgers keinerlei Schädigung der Photokathode. Dadurch, 5 und der Elektronenröhre verbinden sich dabei innig daß der Röhrefiraum, in welchem die Photokathode mit dem Indium, so daß eine gute Vakuumdichtigaufzunehmen ist, vorpräpariert wird, sind dort schon keit erzielt wird.never «will. It is Z. B. possible, wearing indium ring within the time, placed and with pressure so firmly on one Second the photocathode layer of your pressed that the indium in the gap between atVessel blast off and on the other tube to the parts flows and partly squeezed out transfer. If the vacuum is very high, this means that it will. The smooth edges of the photocathode carrier no damage to the photocathode. As a result, 5 and the electron tube are intimately connected that the tube space, in which the photocathode with the indium, so that a good vacuum seal can be received is, is prepared, there is already speed is achieved.

Bedingungen geschaffen, die die Stabilität der Ka- Das Vakuum in der fertigen Elektronenröhre ist thode gewährleisten. Die Vorprüfung der Photo- natürlich von dem herrschenden Vakuum in der Umkathode auf Fehler und Empfindlichkeit sichert io gebung, d.h. in dem Vakuumtaum abhängig, weleinen extrem geringen Ausschuß, was sich vor allem eher sowohl die Elektronenröhre als auch die Hilfsdann wirtschafilich auswirkt, wenn cjie herzustellende zelle enthält. Mit modernen Vakuumpumpen läßt Röhre einen sehr komplizierten Elektrodenaufbau sich ohne weiteres ein Vakuum von 10~⁷ in einem hat. Man entnimmt schließlich dem Rezipient eine demonfierbaren Rezipient erreichen, welches für die Röhre, die hinsichtlich der Photokathode hohen 15 Stabilität einer Photokathode innerhalb der Übertra-Qualitätsanforderungen genügt. Bei Röhren, die we- gungszeit ohne weiteres genügt. Zur Erzielung des gen ihres gedrängten Aufbaues die Unterbringung erforderlichen mechanischen Drucks, welcher die vavon Verdampfennitteln ?ur Erzeugung der Photo- kuumdichte Verbindiv^» zwischen Elektronenröhre kathode nicht gestatten, werden nach diesem Ver- und Photokathodenträgei sicherstellt, kann man fahren Exemplare hergestellt, die hinsichtlich ihrer ao einen elastisch oder plastisch verformbaren Metall-Empfindlichkeit und Qualität den nach dem bisheri- körper zur Übertragung der Druckkräfte von außen gen Verfahren erzeugten Röhren überlegen sind. auf den Röhrenkolben vorsehen.Conditions created that ensure the stability of the ka- The vacuum in the finished electron tube is method. The preliminary check of the photo, of course, of the prevailing vacuum in the umkathode for errors and sensitivity ensures the environment, that is, depending on the vacuum, which is extremely small, which is more economical for both the electron tube and the auxiliary when it is to be produced cell contains. With modern vacuum pumps, a tube with a very complicated electrode structure can easily have a vacuum of 10 ~ ⁷ in one. One finally removes from the recipient a recipient which can be dismantled and which, for the tube, satisfies the high stability of a photocathode with regard to the photocathode within the transmission quality requirements. In the case of tubes, the movement time is easily enough. In order to achieve the mechanical pressure required by its compact structure, which the vavon evaporation means for generating the photoconductive connection between the electron tube cathode does not allow, according to this process and photocathode carrier it is possible to produce specimens which, with regard to Their ao an elastically or plastically deformable metal sensitivity and quality are superior to the tubes produced according to the previous methods for transmitting the pressure forces from outside. provide on the tubular flask.

Bei Photokathoden vom Typ S 20 hat es sich als Das erfindungsgemäße Verfahren wird nun an ·In the case of photocathodes of the S 20 type, the method according to the invention is now applied to

günstig erwiesen, die Oberfläche des Röhreninnern Hand der F i g. 1 und 2 näher erläutert, von denenProven to be beneficial, the surface of the inside of the tube hand of FIG. 1 and 2 explained in more detail, of which

mit Alkalidämpfen, vorzugsweise Kalium, Natrium as F i g. 1 eine Apparatur zur Durchführung des Ver-with alkali vapors, preferably potassium, sodium as F i g. 1 an apparatus for carrying out the

und Caesium, zu präparieren. Hierzu hält man fahrens undand cesium, to prepare. To do this, one stops driving and

zweckmäßig das Röhreninnere durch einen entfern- Fig. 2 eine Darstellung eines Teiles der Hilfsbaren Deckel abgeschlossen, heizt die Röhre aus, photozelle zeigt.expediently the inside of the tube by a remote Fig. 2 shows a representation of part of the auxiliary bar Cover closed, the tube heats up, photocell shows.

verdampft mit einem Alkaliverdampfer Kalium und In F i g. 1 ist ein demontierbares Vakuumsystem Natrium und/oder Caesium, läßt die" Röhre abkühlen 30 dargestellt, welches aus einer Grundplatte 1, einem und verdampft nochmals eine Menge Alkalidampf, zylindrischen Glaskörper 2, einer Deckelplatte 3 der sich nun in Form metallischer Tröpfchen an der und einer Pumpe 4 besteht Die Deckelplatte 3 kann Röhrenwand niederschlägt und eine Art Alkalireserve nach Belüftung des Vakuumsystems abgehoben werbildet; die Alkalidampfquelle kann sich irgendwo in den. In der Vakuumapparatur sind folgende Teil fest den Kolben an einer Stelle, wo die elektronenoptische 35 eingebaut: eine Schwenkvorrichtung 5 «nit zwei Funktion nicht beeinflußt wird, befinden, z. B. in der Armen 5 α und Sb, ein Ausheizofen 6 zur Aufnahme Näne des Strahlsystems. Nunmehr wird die Photo- der herzustellenden Elektronenröhre, eine Stützvorkathode von der Hilfszelle abgesprengt und die richtung 7 zur Abstützung der herzustellenden Elek-Photoschicht gleichzeitig mit dec Enttfemung des tronenröhre, eine Drückvorrichtung 8, 9 und 10, Deckels auf die Elektronenröhre übertragen und 40 bestehend aus einem an einem dehnbaren Metalldiese durch ein geeignetes Dichtungsverfahren ver- balg 9 befestigten Stempel 8, welcher vermittels eines schlossen. Gewindetriebs 10 in vertikaler Richtung verstellt Das Absprengen dei Photoschicht aus dem Hilfs- werden kann. In dieser Apparatur wird zur Hergefäß zum Abtrennen des Photokathodenträgers und stellung der Elektronenröhre U der Hilfskolben 12 die Abdichtung zwischen Photokathodenträger und 45 eingesetzt, der mit einer hochempfindlichen und ge-Elektronenröh.··; kann sehr erleichtert werden, wenn prüften Photokathode auf dem Photokathodenträger das Absprengen so erfolgt, daß definierte Flächen zur 13 versehen ist. Der Phctokathodenträger 13 ist an Abdichtung des Kolbens vorhanden sind. Zu dem dem Arm Sa mittels einer Klemmvorrichtung be-Zweck ist es vorteilhaft, an der Abtrennstelle eine» festigt, so daS er beim Aufsprengen an der Sprengkeilförmigen Einschnitt durch Schleifen vorzusehen, so fuge 12a mittels der Schwenkvorrichtung 5 von der wobei die eine Keilfläche senkrecht zum Kathoden- Photozelle abgetrennt und an einem anderen Ort abträger steht und optisch poliert ist. Der keilförmige gesetzt werden kann. Auf der der Photokathode Einschnitt kann so tief sein, daß die verbleibende gegenüberliegenden Stelle des Vakuumraumes ist die Röhrenwanddicke weniger a!s einen Millimeter be- Elektronenröhre 11 in eine Stützvorrichtung 7 einträgt, Z. B. einen halben Millimeter. Man legt nun 55 gesetzt, welche zur Justierung und Abstützung der in die Keilnut einen GlUhdrahi ein, erhitzt diesen, Elektronenröhre 11 diei... Die Röhre ist mit einem . ' wprftnf der Fhotokathodenttiget abgesprengt wird Deckel 14 verschlossen, der ebenfalle an dem Ver- ; > and έ&β gate definierte Fläche zur Verbindung des stellmechanismus B an dem Arm Sb befestigt ist. An . PftOtplfltllodentrMgers mit de« Elektronenröhre ent- den oberen Rand der offenen Röhre 11 ist an der L ι steht, βο spater zur Verschmelzung oder Abdichtung bestimm« Π ' Für dj« Verbindung de» Photokathodenträgers mit ten Stelle ein Indiumring gegen Strahlung von dem .Btetttfpflegtfhre Bat «ich das sogenannte Cold- Ofen 6, welcher die Röhre samt der Stutzvorrichtung l*Ve!fahren bewahrt. Nach diesem an sich be- umgibt, abzuschirmen. Der Ofen 6 dient zur Ausinte« Verfahren wird an der Verbindungsstelle heizung der Röhre, damit Waeserreste auf der Glas- ~Ί Tefes ein Indiumring vorgesehen, dessen ββ wand möglichst beseitigt werden. Die Elektronen- evaporated potassium and In F i g with an alkali evaporator. 1 is a removable vacuum system sodium and / or cesium, allows the "tube to cool down 30 shown, which consists of a base plate 1, a and again evaporates a lot of alkali vapor, a cylindrical glass body 2, a cover plate 3 which is now in the form of metallic droplets on the and A pump 4 consists The cover plate 3 can precipitate the tube wall and a kind of alkali reserve is lifted after venting the vacuum system; the alkali vapor source can be located anywhere in the. In the vacuum apparatus, the following parts are fixed the piston at a point where the electron-optical 35 is built: With two functions not affected, there is a bake-out furnace 6 for receiving the beam system in arms 5α and Sb 7 for supporting the produced Elek-Photo layer simultaneously with dec Enttfemung of tron tube, a pressing device 8, 9 and 10, cover transferred to the electron tube and 40 consisting of a stamp 8 attached to an expandable metal this by a suitable sealing method bellows 9, which closed by means of a. Screw drive 10 adjusted in the vertical direction. The bursting of the photo layer from the auxiliary can be. In this apparatus, the seal between the photocathode carrier and 45 is used to cut off the photocathode carrier and position the electron tube U of the auxiliary piston 12, which is equipped with a highly sensitive and ge-electron tube. can be made much easier if the checked photocathode on the photocathode carrier is blasted off in such a way that defined areas are provided for 13. The phctocathode support 13 is provided to seal the piston. To the arm Sa by means of a clamping device be-purpose, it is advantageous to use a "consolidates at the separation point, it tHe provide at bursting at the blasting wedge shaped cut by grinding, so fuge 12a by means of the pivot device 5 from the said one wedge surface perpendicular to is separated cathode photocell and is abträger at a different location and optically polished. The wedge-shaped can be set. The incision of the photocathode can be so deep that the remaining opposite point of the vacuum space is the tube wall thickness less than one millimeter. Electron tube 11 enters support device 7, for example half a millimeter. You now put 55 set, which to adjust and support the in the keyway a glow wire, heats this, electron tube 11 diei ... The tube is with a . If the photocathode is blown off, cover 14 is closed, which is also attached to the lock; > and έ & β gate defined area for connecting the adjusting mechanism B is attached to the arm Sb . On . PftOtplfltllodentrMgers with the "electron tube end the upper edge of the open tube 11 is on the L ι stands, βο later intended for fusion or sealing"'For the connection of the photocathode carrier with th point an indium ring against radiation from the “I use the so-called cold furnace 6, which keeps the tube together with the support device. After this surrounds itself to shield. The furnace 6 is used for the Ausinte «process is heated at the junction of the tube, so that an indium ring is provided on the glass Tefes, whose wall can be removed as far as possible. The electron

1 durch Abdrehen oder chemisches Behan- röhre 11 kann z. B. eine Super-Orthikonröhre sein,1 by turning or chemical treatment tube 11 can, for. B. be a super orthicon tube,

dein von Oxydtesten befreit ist. Nunmehr wird der deren Elektroden den üblichen Elektrodenanord«your is exempt from oxide testing. Now their electrodes will be the usual electrode arrangement «

PhotoluthodentfHger über dem Kolben, welcher den nuneen bei solchen Röhren entsprechen; zum Unter-PhotoluthodentfHger over the bulb, which correspond to the nuneen in such tubes; to the under-

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schied von dem üblichen Aufbau der Superorthikon* ruhten sind jedoch in diif Röhre keine Verdämpfefeinrichtungen vorgesehen, um die Photokathode aufzubauen. In dieser Figur sind der übersichtlichkeif halber Drahtverbindungen zu elektrischen Einrichtungen und die elektrischen Einrichtungen selbst nicht gezeigt, ebenso auch mechanische Hilfseinrichtungen, z. B. zum Absteifen des Photokathodenträgers 13 von der Halleklammer. Auch sind keine elektrischen Einrichtungen zur Entwicklung von Alkalidampf innerhalb der Röhre 11 gezeigt. Alkaliverdampfer gehören an sich zum Stand der Technik und bedürfen keiner näheren Erläuterung.departed from the usual structure of the Superorthikon * However, no vaporization devices are provided in the tube to protect the photocathode build up. In this figure, for the sake of clarity, there are wire connections to electrical devices and the electrical devices themselves not shown, as well as mechanical auxiliary equipment, e.g. B. to brace the photocathode carrier 13 from the hall clamp. There aren't any electrical devices for developing alkali vapor within the tube 11 are shown. Alkali evaporators belong to the state of the art and do not require any further explanation.

Durchführung des VerfahrensImplementation of the procedure

Zur Herstellung einer fertigen Elektronenröhre mit Hilfe der oben besprochenen Apparatur verfährt man nun folgendermaßen. Zunächst wird bei geöffnetem Deckel 3 und senkrecht zur Zeichenebene verstelltem Schwenkarm Sa. Sb die Hilfsphotozelle 12 und die Elektronenröhre 11 eingesetzt. Die Justierung der beiden Röhren ist derart, daß die Ebene der Einkerbung 12a in der Hilfsteile 12 etwa mit der Ebene des oberen Kolbenrandei, der Röhre 11 zusammenfällt. Hierauf wird der Schwenkarm So, Sb in die gezeichnete Stellung gebrucht und der obere Teil der Photozelle 12 mit dim Photokathodenträger 13 mittels einer Klemmvorrichtung befestigt. An dieser Stelle ist die Elektronenröhre 11 durch den Deckel 14 abgedeckt. Die Hilfsphotozelle 12 ist nach bestimmten Qualitätsmerkmalen ausgesucht und enthält eine hochempfindliche fleckenfreie Photokathode. Nunmehr wird die Öffnung des Glaszylinders 2 mit Hilfe des Deckels 3 verschlossen und die Pumpe 4 in Tätigkeit gesetzt, so daß der Vakuumraum einschließlich des Innern det Röhre 11 auf Hochvakuum gebracht wird. Dabei kann es zweckmäßig sein, den Deckel 14 nur so lose aufzulegen oder Öffnungen in ihm vorzusehen, daß kein wesentlicher Druckunterschied zwischen dem Innern der Röhre 11 und dem gesamten Vakuumraum verbleibt. Hierauf wird der Ofen 6 eingeschaltet und das Innere der Röhre auf 200 bis 300° C aufgeheizt. Hierauf erfolgt die Entwicklung von Alkalidampf innerhalb der Röhre 11 mit Hilfe eines nicht gej:eigten Verdampfers, der über freie Zuführungsdrähte am FuB oder Flansch der Röhre mit Strom gespeist wird. Dieser Betriebszustand kann 1 bis IVt Stunden aufrechterhalten werden, worauf die Röhre abgekühlt und nach der Abkühlung auf 100 bis 160° C nochmals Alkalidampf entwickelt wird. Nunmehr wird über eine nicht gezeigte elektrische Zuleitung dem in der Keilnut in der Röhre 12 bei 12 a liegenden Glühdraht Strom zugeführt, so daß der Photokathodenträger abgesprengt wird. Dann betätigt man so rasch wie möglich den Manipulator 5, welcher durch Drehung um 180° den Photokathodenträger 13 vor die Öffnung der Elektronenröhre 11 liihrt. Durch einen Freigabemechanismus wird der Photokathodenträger abgesetzt, der Manipulator 5 in die Stellung senkrecht zur Zeichenebene gebracht und hierauf die Druckvorrichtung 8, 9 und 10 betätigt, welche mittels des Handrades 10 einen Druck auf den Photokathodenträger auszuüben gestattet. Dabei wird der in der Ebene 15 liegende Indiumring verformt und füllt den Zwischenraum zwischen den Rändern des Photokaihodenträgers und der Elektronenröhre 11 aus, so daß eine vakuumdichte Verbindung entsteht. Nunmehr kann das Vakuumsystem belüftet, der Deckel 3 abgehoben und die fertige Elektronenröhre 11 entnommen werden. Um eine gute Ausheilung auch des oberen Teiles der Elektronenröhre zu erreichen, kannTo produce a finished electron tube with the aid of the apparatus discussed above, one proceeds as follows. First, with the cover 3 open and the swivel arm Sa. Sb adjusted perpendicular to the plane of the drawing, the auxiliary photocell 12 and the electron tube 11 are inserted. The adjustment of the two tubes is such that the plane of the notch 12a in the auxiliary part 12 coincides approximately with the plane of the upper edge of the piston, the tube 11. The swivel arm So, Sb is then broken into the position shown and the upper part of the photocell 12 is attached to the photocathode carrier 13 by means of a clamping device. At this point, the electron tube 11 is covered by the cover 14. The auxiliary photocell 12 is selected according to certain quality features and contains a highly sensitive, spot-free photocathode. Now the opening of the glass cylinder 2 is closed with the aid of the cover 3 and the pump 4 is set in action, so that the vacuum space including the interior det tube 11 is brought to a high vacuum. It can be expedient to lay the cover 14 on only loosely or to provide openings in it so that no significant pressure difference remains between the interior of the tube 11 and the entire vacuum space. The furnace 6 is then switched on and the interior of the tube is heated to 200 to 300.degree. Alkali vapor is then developed inside the tube 11 with the aid of a non-gej: eigt evaporator, which is fed with electricity via free supply wires at the base or flange of the tube. This operating state can be maintained for 1 to IVt hours, after which the tube is cooled and, after cooling to 100 to 160 ° C, alkali vapor is again developed. Now the glow wire lying in the keyway in the tube 12 at 12 a current is supplied via an electrical lead, not shown, so that the photocathode carrier is blown off. The manipulator 5 is then operated as quickly as possible, which, by rotating it through 180 °, guides the photocathode carrier 13 in front of the opening of the electron tube 11. The photocathode carrier is set down by a release mechanism, the manipulator 5 is brought into the position perpendicular to the plane of the drawing and the pressure device 8, 9 and 10 are then actuated, which allows pressure to be exerted on the photocathode carrier by means of the handwheel 10. In the process, the indium ring lying in the plane 15 is deformed and fills the space between the edges of the photocall carrier and the electron tube 11, so that a vacuum-tight connection is created. The vacuum system can now be ventilated, the cover 3 lifted off and the finished electron tube 11 removed. In order to achieve good healing of the upper part of the electron tube, too

S es zweckmäßig sein, den Indiumring nicht auf den Rand der offenen Elektronenröhre aufzulegen, da Indium schon bei 160⁰C schmilzt, sondern ihn in einer Zwischenstellung des Manipulators 5 am Photokathodenträger anzuheften.S be expedient not to launch the indium on the edge of the open electron tube as indium melts at 160 ⁰ C, but to attach it to an intermediate position of the manipulator 5 on photocathode carrier.

ίο In F i g. 2 ist ein Teil der Hilfsphotozelle 12 mit der Absprengnut gezeigt. In dieser Figur ist 16 ein Teil des Kolbens der Zelle 12 mit dem Photokathodenträger 13, auf welchem sich die formierte Photokathodenschicht 13α befindet. In die Kolbenίο In F i g. 2 is a part of the auxiliary photocell 12 with the detonation groove shown. In this figure 16 is part of the piston of the cell 12 with the photocathode carrier 13 on which the formed Photocathode layer 13α is located. Into the flask wandung ist eine Nut 17 vermittels einer Diamant scheibe eingefräst, welche keilförmig gestaltet ist, wobei die eine Keilfläche genau parallel zum Photokathodenträger 13 α ausgebildet ist. Diese Fläche wird mit einem optischen Schliff versehen. Zum Abwall is a groove 17 by means of a diamond Milled disk, which is wedge-shaped, with one wedge surface being formed exactly parallel to the photocathode carrier 13 α. This area is given an optical finish. To the ab trennen des Photokathodenträgers legt man in die Keilnut einen dünnen Wolframdraht, der zum gewählten Zeitpunkt durch einen Stromstoß erhitzt wird. Dann springt der Kathodenträger 13 in einer genau definierten Ebene ab, wobei durch die Keilnutseparating the photocathode carrier is placed in the Keyway is a thin tungsten wire that is heated by an electrical surge at the selected time will. Then the cathode carrier 13 jumps off in a precisely defined plane, through the keyway

as gewährleistet ist, daß die Absprengfläche mit der Ebene der angeschliffenen Teilfläche zusammenfällt. Geringfügige Abweichungen sind zwar möglich, sie können jedoch die Dichtigkeit der Verbindung mit der Elektronenröhre 11 wegen der Nachgiebigkeitas is guaranteed that the blasting surface with the The level of the ground surface coincides. Slight deviations are possible, they however, the tightness of the connection with the electron tube 11 because of the resilience des Indiumringes nicht beeinträchtigen. Zur genauen Justierung des Photokathodenträgers auf der Elektronenröhre 11 bezüglich der Achse dieser Röhre kann man noch einen Anschlag vorsehen, an welchen sich der Photokathodenträger nach einem bestimmof the indium ring. For precise adjustment of the photocathode carrier on the electron tube 11 with respect to the axis of this tube you can still provide a stop on which the photocathode carrier after a certain ten Hub der Drückvorrichtung 8, 9 und 10 anlegt. Die Genauigkeit dieser Ausrichtung ist derjenigen der üblichen glastechnischen Verschmelzung des Photokathodenträgers mit dem Kolben mindestens gleich. Die Erfindung umfaßt einige Abwandlungen, dieth stroke of the pushing device 8, 9 and 10 applies. The accuracy of this alignment is at least equal to that of the customary glass fusion of the photocathode carrier with the piston. The invention includes some modifications that über den Rahmen des Ausführungsbeispiels hinausgehen; z. B. kann die Form der Nut in dem Photokathodenkolben auch halbkreisförmig oder rechteckig sein, da die Dichtung in erster Linie in der Absprengfläche erfolgt. Ferner kann in der bereits ver-go beyond the scope of the embodiment; z. B. the shape of the groove in the photocathode bulb can also be semicircular or rectangular, since the seal takes place primarily in the blasting area. Furthermore, in the already

schlossenen Röhre noch zusätzlich Alki^rdampf, etwa zwecks Korrektur der Photokathode, entwickelt werden.closed tube still additional alkali steam, about to correct the photocathode.

Claims

Patentansprüche:Patent claims:

L Verfahren zur Herstellung von FernsehL method of making television

aufnahmeröhren mit Photokathoden hoher Empfindlichkeit und Fleckenfreiheit, bei dem eine zeitlich und räumlich getrennte Entgasung der photoempfindlichen Schicht einschließlich des sierecording tubes with photocathodes of high sensitivity and freedom from stains, in which one temporally and spatially separate degassing of the photosensitive layer including it

tragenden Hüllenteils der Röhre und andererseits der übrigen Elektroden der Röhre samt des zugehörigen Hüllenteils vorgenommen wird und die beiden Hüllenteile in einem gemeinsamen Rezipienten durch Zusammenpressen unter Versupporting shell part of the tube and on the other hand the other electrodes of the tube including the associated shell part is made and the two shell parts in a common Recipients by pressing together under Ver wendung einer hierfür geeigneten Zwischen schicht vereinigt werden und dann die fertige Röhre aus dem Rezipienten entnommen wird, dadurch gekennzeichnet, daß lichtempfindliche Schichten zur Verwendung alsapplication of a suitable intermediate layer are combined and then the finished tube is removed from the recipient, characterized in that photosensitive layers for use as

Photokathode in Fernsehaufnahmeröhren zunächst in abgeschlossenen und ausgeheizten Gefäßen (12) hergestellt und geprüft werden, sodann ein ausgewähltes Gefäß (12) in denPhotocathode in television tubes are first produced and tested in closed and baked-out vessels (12), then a selected vessel (12) in the

Recipients (1, 2, 3) are introduced and opened there under vacuum, then the shell part (13) carrying the light-sensitive layer of the vessel (12) is separated and the other shell part degassed by means of a manipulator! (11) is compared, whereupon the union of the two Huilenieile takes place.

2. The method according to claim 1, characterized in that that the shell part (11) together with the other f.lektroden of the tube before opening the Vessel (12) is heated and prepared on its inside so that it has favorable environmental conditions for the photocathode to be used.

3. The method according to claim 2, characterized in that that the shell part (11) is cooled after baking using alkali vapors and again after cooling Exposed to alkali vapors.

4. The method according to claim 1, 2 or 3, da- ao characterized in that the light-sensitive Vessel (12) containing layer with a wedge-shaped incision produced by grinding (17 in Fi g. 2) on its circumference for the purpose of separating the one carrying the photosensitive layer Part (13) is provided, with one wedge surface lying parallel to the photo layer and optically is polished.

5. The method according to claim 4, characterized in that a filament, for. B. from WoIf-1 am, is placed in the wedge-shaped incision and briefly heated so that the part 13 is blown off will.

6. The method according to claim 1 to 4, characterized in that during the transfer of the part of the shell (13) carrying the light-sensitive layer degassed in front of the opening of the other Shell part (11) at the same time a cover (14) is removed from the opening of the part (11).

7. The method according to claim 1, characterized in that the seal between the Part (13) which carries the photosensitive layer and the degassed shell part (11) therethrough it is brought about that an indium ring is inserted between the two parts, and that the shell part (13) is pressed onto the industrial ring by mechanical pressure in such a way that the joint between the shell part (11) and the shell part (13) is closed in a vacuum-tight manner.

8. The method according to claim 7, characterized in that a teaching for limiting the Stroke of the part (13) against the part (111 pressing the punch (8) is provided, the Stop the exact position of the part carrying the photosensitive layer to the tube axis specifies.

1 sheet of drawings