DE960221C

DE960221C - Electron tubes with at least two electrodes vapor-deposited on parts of the wall of the vessel

Info

Publication number: DE960221C
Application number: DEF4467D
Authority: DE
Inventors: Erwin Guenzel; Dr-Ing Ernst Ruska
Original assignee: Fernseh GmbH
Current assignee: Robert Bosch Fernsehanlagen GmbH
Priority date: 1936-03-22
Filing date: 1936-03-22
Publication date: 1957-03-21
Also published as: FR819438A; US2184922A

Description

Die Erfindung befaßt sich mit einer Elektronenröhre mit mindestens zwei auf Wandungsteile des Gefäßes aufgedampften Elektroden, bei der die Wölbung dieser Elektroden durch die Formgebung des die Aufdampfschicht tragenden Gefäßteiles bestimmt ist. Bei der Herstellung von Schichten z. B. von Elektroden auf der Innenseite von Vakuumgefäßen, oder bei der Herstellung des leitenden Grundbelages von durchsichtigen oder undurchsichtigen Leuchtschirmen und Photokathoden wendet man vielfach das Aufdampfverfahren an, bei dem im Vakuum ein Stoff, beispielsweise ein Metall, bis zur Verdampfung erhitzt wird. Es kann dabei z. B. mit einer relativ kleinen punktförmigen Silberstrahlquelle gearbeitet werden, indem eine mit Silberdraht umwickelte Platindrahtwendel mittels Stromdurchgang zum Glühen und damit der aufgewickelte Silberdraht zum Verdampfen gebracht wird. In vielen Fällen besteht nun die Aufgabe, möglichst scharf abge-The invention relates to an electron tube with at least two wall parts of the Vessel vapor-deposited electrodes, in which the curvature of these electrodes is caused by the shape of the part of the vessel carrying the vapor deposition layer is determined. When making layers z. B. of electrodes on the inside of vacuum vessels, or in the manufacture of the conductive base covering of transparent or opaque fluorescent screens and photocathodes one often applies the vapor deposition process, in which a substance in a vacuum, for example a metal, heated until it evaporates. It can, for. B. with a relative small point-shaped silver beam source can be worked by placing one wrapped with silver wire Platinum wire coil by means of current passage for annealing and thus the coiled silver wire is made to evaporate. In many cases, the task now is to

*) Von der Patentsucherin sind als die Erfinder angegeben worden:*) The patent seeker indicated the following as the inventors:

Erwin Günzel f, Berlin-Lichteileide, und Dr.-Ing. Ernst Ruska, Berlin-SpandauErwin Günzel f, Berlin-Lichteileide, and Dr.-Ing. Ernst Ruska, Berlin-Spandau

grenzte Metall- oder sonstige Schichten zu erhalten. Umgibt man zu diesem Zweck die Verdampfungsquelle mit einem Schutzmantel, der nur eine Strahlung in einen gewissen Raumteil zuläßt, so erhält man um so unschärfere Grenzen des entstehenden Belages, je weiter die Strahlenquelle von der zu bestrahlenden Wandfläche entfernt ist. Aber nur bei größerer Entfernung zwischen Strahlenquelle und bestrahlter Fläche läßt sich ίο eine so gute Gleichmäßigkeit des Belages erzielen, wie sie in vielen Fällen erwünscht ist. Ferner ist auch eine Photozelle bekannt, bei der man, um das Fenster absolut frei von leitenden (lichtabsorbierenden) Schichten zu halten, dieses in einem seitlichen Ansatz unterbringt, dessen Innenwände noch einen Teil der Kathode bilden.to get bordered metal or other layers. For this purpose, surround the evaporation source with a protective jacket that only allows radiation into a certain part of the room, the farther the radiation source, the more blurred the boundaries of the coating that is created away from the wall surface to be irradiated. But only if there is a greater distance between Radiation source and irradiated area, ίο such a good uniformity of the covering can be achieved, as it is desired in many cases. Furthermore, a photocell is also known, in which one to the Keeping windows absolutely free of conductive (light-absorbing) layers, all in one Lateral approach accommodates, the inner walls of which still form part of the cathode.

Die Erfindung besteht darin, daß die Umrandung der Elektroden durch Vorsprünge oder Einbuchtungen der Gefäßwand erhalten ist, welche eine solche Schattenwirkung in bezug auf eine Aufdampfquelle ausüben, daß ringförmig zusammenhängende Teile der Gefäßwand von Aufdampfmaterial frei bleiben. Eine solche Anordnung wird auf einfache Weise durch Eindrücken oder Ausblasen einer nach dem Gefäß innern erhabenen bzw. hohlen Rille oder Nut in ein Glasgefäß oder durch entsprechende Formung etwa bei keramischen Gefäßen möglich. In Fig. 1 ist mit 1 die Wand des Vakuumgefäßes bezeichnet, auf die mittels der Strahlungsquelle 2 mehrere voneinander isolierte Schichten 3 aufgebracht sind. Zur Erzeugung der Schattenwirkung erhält die Gefäßwand nach innen gerichtete rippen- oder wulstförmige Verdickungen 13, wobei dann die Außenfläche geradlinig bleibt. Dasselbe Ziel ist durch plötzliche Erweiterung' in einer oder mehreren Stufen zu erreichen, wie es in Fig. 2 dargestellt ist. Die Strahlenquelle liegt immer so, daß durch Schattenwirkung eines Wandteiles auf den anderen eine unbedampfte Zone entsteht. Gegenüber der Verwendung von Blenden besteht der Vorteil, daß keine Schwierigkeiten bei der glasbläserischen oder keramischen Verarbeitung der Gefäße auftreten können und daß keine Blenden in die Kolben eingebracht bzw. nachträglich aus ihnen entfernt zu werden brauchen. Auch ist es nicht mehr nötig, ein hinsichtlich der Evakuierung geeignetes Blendenmaterial auszusuchen.The invention consists in that the border of the electrodes by projections or indentations the vessel wall is preserved, which has such a shadow effect in relation to a Exercise vapor deposition that annularly contiguous parts of the vessel wall of vapor deposition material remain free. Such an arrangement is raised in a simple manner by pressing in or blowing out a raised interior towards the vessel or a hollow groove or groove in a glass vessel or by corresponding shaping, for example ceramic vessels possible. In Fig. 1, 1 denotes the wall of the vacuum vessel to which A plurality of layers 3 isolated from one another are applied by means of the radiation source 2. To the To create the shadow effect, the vessel wall has inwardly directed ribs or bulges Thickenings 13, then the outer surface stays straight. The same goal is through sudden expansion 'in one or more To achieve stages as shown in FIG. The radiation source is always so that through The shadow effect of one wall part on the other, an unevaporated zone is created. Compared to the Use of diaphragms has the advantage that there are no difficulties with the glassblowing or ceramic processing of the vessels and that no apertures in the Pistons introduced or subsequently need to be removed from them. Nor is it It is more necessary to choose a screen material that is suitable for evacuation.

Auf diese Weise können voneinander getrennte zylindrische Ringe oder auch kappenartige Elektroden, die von einer anschließenden Zylinderelektrode getrennt sind, hergestellt werden. Eine nachträgliche Entfernung von Schichtmaterial zwecks Herstellung scharfer Grenzen entfällt, wodurch sich der große Vorteil ergibt, daß solche begrenzten Schichten vollständig im Vakuum hergestellt werden können. In den vielen Fällen, bei denen die Schichten selbst nachträglich nicht mit Luft in Berührung kommen dürfen, ermöglicht die angegebene Methode als einzige, abgegrenzte Schichten dieser Art herzustellen. In diesen Fällen wird die Strahlquelle in der Regel im Vakuumgefäß verbleiben müssen. Sie wird dann so angeordnet, daß sie beim späteren Betrieb nicht stört, oder aber so, daß sie als Elektrode dienen kann.In this way, separate cylindrical rings or cap-like electrodes, which are separated by a subsequent cylinder electrode. One Subsequent removal of layer material for the purpose of producing sharp borders is not necessary, which means there is the great advantage that such limited layers are produced entirely in a vacuum can be. In the many cases in which the layers themselves are not included afterwards May come into contact with air, allows the specified method as the only, delimited To produce layers of this type. In these cases, the beam source is usually im Vacuum vessel must remain. It is then arranged in such a way that it will not be used during later operation disturbs, or in such a way that it can serve as an electrode.

Die erfindungsgemäße Anordnung empfiehlt sich besonders für die Herstellung eines leitenden Grundbelages für den Leuchtschirm einer Kathodenstrahlröhre oder für die Photokathode für Bildzerlegerröhren nach Farnsworth. In diesem Falle werden die leitenden Wandbeläge und die Unterlagen für die Photokathode in einem Arbeitsgang hergestellt. Zwischen beiden befindet sich eine nicht bedampfte Zone, die dadurch gewonnen wird, daß die Gefäßwand zu einer Rille eingezogen ist, so daß ein Teil der Rillenwand den anderen Röhrenteil beschattet. In üblicher Weise wird die die ebene Abschlußwand bedeckende Schicht durchsichtig ausgebildet und hernach mit einem geeigneten Material photoaktiviert. Das die Verdampfungsquelle tragende System kann später als Anode der Bildfängerröhre dienen und wird deshalb von vornherein zweckmäßig gleich mit einer Blendenöffnung versehen.The arrangement according to the invention is particularly recommended for the production of a conductive one Base covering for the fluorescent screen of a cathode ray tube or for the photocathode for image decomposition tubes after Farnsworth. In this case, the conductive wall coverings and the documents for the photocathode produced in one operation. There is no one between the two Vaporized zone, which is obtained in that the vessel wall is drawn into a groove so that part of the wall of the groove shadows the other part of the tube. In the usual way, this becomes the flat end wall covering layer formed transparent and then with a suitable material photoactivated. The system carrying the evaporation source can later be used as the anode of the image capture tube serve and is therefore expediently the same with a diaphragm opening from the outset Mistake.

Die Erfindung kann ferner mit Vorteil bei Sekundärelektronenverstärkern angewendet werden. Eine solche Verstärkerröhre zeigt Fig. 3. Die Bestrahlung ist dabei von einer ganz links gelegenen Quelle aus vorgenommen worden. Das \^rakuumgefäß ι besitzt eine Anzahl von ringsherumlaufenden Rillen 9 und von nach innen vorspringenden Warzen io, die so angeordnet sind, daß beim Aufdampfen voneinander isolierte, sich paarweise gegenüberliegende Elektroden 11 entstehen. Auf einer der am weitesten links gelegenen Elektroden werden in geeigneter Weise Elektronen ausgelöst. Diese werden auf eine der weiteren Elektroden gerichtet und lösen dort eine vergrößerte Anzahl von Sekundärelektronen aus. Eine Platte 12 dient als Endanode. The invention can also be used to advantage in secondary electron amplifiers. Such an amplifier tube is shown in FIG. 3. The irradiation was carried out from a source on the far left. The \ ^r akuumgefäß ι has a number of circumferential grooves 9 and inwardly projecting warts io, which are arranged in such a way that electrodes 11, which are isolated from one another and opposite one another in pairs, arise during vapor deposition. Electrons are released in a suitable manner on one of the electrodes furthest to the left. These are directed to one of the other electrodes and there trigger an increased number of secondary electrons. A plate 12 serves as the end anode.

Es können auch Fälle vorkommen, in denen auf einer leitenden Innenwand voneinander abgegrenzte Schichten nach dem Aufdampfverfahren hergestellt werden sollen. Die Erfindung ist naturgemäß auch in diesen Fällen anwendbar. Als weitere Anwendungsmöglichkeit sei noch die Herstellung von Elektronenlinsen, die aus zahlreichen aufeinanderfolgenden, leitenden Ringen bestehen, genannt.There may also be cases in which they are demarcated from one another on a conductive inner wall Layers are to be produced by the vapor deposition process. The invention is natural too applicable in these cases. Another possible application is the production of Electron lenses, which consist of numerous consecutive conductive rings, called.

Claims

Patent claims:

i. Electron tube with at least two vapor-deposited onto wall parts of the vessel Electrodes in which the curvature of these electrodes is caused by the shape of the vapor deposition layer supporting vessel part is determined, characterized in that the border of the electrodes is obtained by projections or indentations, which such Exercise shadow effect in relation to a vapor deposition source that is annularly contiguous Parts of the vessel wall remain free of vapor deposition material.

2. Arrangement according to claim ι for producing a circular surface covering on the screen bottom of a piston, characterized in that the one lying directly in front of the bottom Wall part a protruding into the interior of the vessel and partially the edge of the bottom part covering annular bead arranged or that the piston diameter is suddenly increased immediately in front of the screen and that the Beam source on the side of this bead facing away from the floor surface to be dusted or the extension lies.

3. Arrangement according to claim 1 for the production of a cap-shaped covering on the Bottom of a piston and a separate cylindrical lining, characterized in that, that between the cylinder and the cap a raised or recessed annular bead or a Graduation from a narrower to a wider diameter is provided and that the radiation source is arranged at the base end so that "a sufficiently long cylinder surface is still irradiated will.

4. Multi-stage secondary electron multiplier with separated metallic Coverings according to claim 1, characterized in that the coverings serving as electrodes (11) by the steam jet shielding projections or lugs (10) parallel to Tube axis are separated from each other.

5. Multi-stage secondary multiplier with separated into two opposite one another Allocations arranged in rows according to Claim 4, characterized in that the allocations are cylindrical the vessel wall are concave against each other.

Considered publications:
Archive for Technical Measurement (ATM), J 391-1, DK 621.383, 1932.

1 sheet of drawings

1 609 842 3.57