DE1898524U - EQUIPMENT INCLUDING SEMI-CONDUCTIVE ELECTRODE SYSTEM. - Google Patents
EQUIPMENT INCLUDING SEMI-CONDUCTIVE ELECTRODE SYSTEM.Info
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Description
P.A. t»38 219*20.6-6Ί /P.A. t »38 219 * 20.6-6Ί /
I 11 853/21g GmI 11 853 / 21g Gm
U.Y. Philips' GIoeilampenfabrieken, Sindhoven/HollandU.Y. Philips' GIoeilampenfabrieken, Sindhoven / Holland
"Halbleitendes Elektrodensystem enthaltendes Gerät""Device containing a semiconducting electrode system"
Die !Teuerung "bezieht sich auf ein Gerät, das ein in einer Umhüllung eingeschlossenes haiGleitendes Elektrodensystem, wie einen Transistor oder eine Kristalldiode, aufweist, welche Umhüllung auf einer Tragplatte angeordnet ist·The! Inflation "refers to a device that is one in one Cladding enclosed shark sliding electrode system, like a transistor or a crystal diode, which cover is arranged on a support plate
Bei solchen Elektrodensystemen spielt die Wärmeableitung meistens eine derart große Holle, daß die höchste elektrische Belastung zu einem wichtigen Teil von dem Wert des Wärmewiderstandes zwischen der Umhüllung und der Tragplatte, als auch von der Ausdehnung der Tragplatte bestimmt wird.In such electrode systems, the heat dissipation usually plays such a big role that the highest electrical Load to an important part of the value of the thermal resistance between the cladding and the supporting plate, as well as the expansion of the support plate is determined.
Dieser Wärmewiderstand kann niedrig sein, wenn Umhüllung und Tragplatte aus Metall bestehen und in unmittelbarer Berührung mit einander gebracht werden können. In einigen lallen sollen diese Teile jedoch gegeneinander elektrisch isoliert sein; in diesem Fall ist es bekannt, sie mittels einer dünnen Schicht aus Isoliermaterial, wie Glimmer, zu trennen. Der Wärmewiderstand ist dann viel höher und die Belastbarkeit des Elektrodensystems dementsprechend kleiner.This thermal resistance can be low if the cladding and support plate are made of metal and in the immediate vicinity Contact can be brought with each other. In some lalls, however, these parts are supposed to be electrically connected to each other be isolated; in this case it is known to mean them a thin layer of insulating material such as mica. The thermal resistance is then much higher and the The load capacity of the electrode system is correspondingly smaller.
Die Neuerung bezweckt u. a., eine Konstruktion zum elektrisch
isolierten Anordnen eines Elektrodensystems auf einer Tragplatte
zu schaffen, bei der der Wärmewiderstand sehr nMrig ist.
ll/E-10001The aim of the innovation is, among other things, to create a construction for the electrically insulated arrangement of an electrode system on a support plate, in which the thermal resistance is very low.
ll / E-10001
Wt - 2 -Wt - 2 -
Hit1
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3Jach der Neuerung Gesteht wenigstens eines der genannten Glieder, d. h. die Umhüllung oder die Tragplatte, aus Aluminium, das mit einer genetischen Oxydschicht mit einer Stärke von wenigstens 1 /um versehen ist und mit einer Metall ζwisehenschicht, deren Härte kleiner ist als diejenige3Jach the novelty confesses at least one of the named Limbs, d. H. the cladding or support plate, made of aluminum covered with a genetic oxide layer with a Thickness of at least 1 / µm is provided and with a metal ζwisehenschicht, the hardness of which is less than that
des oxydierten Aluminiums, an das andere Glied angedrückt ist. Bemerkt wird, daß unter einer genetischen Aluminiumj Oxydschicht eine Schicht verstanden wird, deren Aluminiumge-[ halt im wesentlichen aus einem der genannten Glieder herrührt.of the oxidized aluminum, pressed against the other link is. It should be noted that a genetic aluminum oxide layer is understood to mean a layer whose aluminum [ stop essentially comes from one of the mentioned members.
Die Verwendung einer solchen Oxydschicht, deren Herstellung zum Zwecke der Isolierung noch näher erläutert wird, ist an sieh bekannt.The use of such an oxide layer, the production of which will be explained in more detail for the purpose of insulation, is on see known.
Es hat sich jetzt gezeigt, daß, während der Wärmewiderstand einer solchen Schicht hinsichtlich eines daran angedrückten Γ Metallgliedes verhältnismäßig hoch ist, dieser Wärmewiderstand sehr niedrig ist, wenn dieses Glied aus einem Metall f "besteht, das weicher ist als das oxydierte Aluminium, undIt has now been shown that, while the thermal resistance such a layer is relatively high in terms of a Γ metal member pressed against it, this thermal resistance is very low if this link consists of a metal f "which is softer than the oxidized aluminum, and
z. B, aus Blei, Zinn oder Indium "besteht. Wenn das oxydierte Aluminium genügend hart ist, kommen für das genannte Me- : tallglied z. B. auch weiches Kupfer oder weiches Aluminium in Betracht.z. B, made of lead, tin, or indium ". If that was oxidized Aluminum is sufficiently hard, come for the said metal: metal member z. B. also soft copper or soft aluminum into consideration.
Die Neuerung wird jetzt an Hand der Zeichnung näher erläutert. The innovation will now be explained in more detail using the drawing.
Die Zeichnung stellt einen Schnitt eines Teiles einer Tragplatte mit einem darauf angeordneten Transistor dar·The drawing shows a section of part of a support plate with a transistor arranged on it
Die Tragplatte, welche mit 1 bezeichnet ist und aus Aluminium besteht, ist mittels chemischer Oxydation auf der Oberseite mit einer gestrichelten Idnie bezeichneten OxydschichtThe support plate, which is designated with 1 and consists of aluminum, is by means of chemical oxidation on the top with an oxide layer marked with a dashed line
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von 25 /um Stärke versehen. Die Abmessungen der Platte "betragen 30 χ 30 cm, die Stärke 2 mm. Nachdem die Unterseite zur Maskierung mit einer Lackschicht versehen worden war, wurde die Platte zuerst ^ Minute in einem Bad, das 15g Natriumhydroxyd auf 100 g Wasser enthielt, bei 20° ö entfettet. Nachdem die Platte in Wasser gespült worden, in starker Salpetersäure von etwaigen Hydroxydresten neutralisiert und erneut gespült worden war, wurde sie 25 Minuten in ein Bad getaucht, das 55 cm Phosphorsäure (EUPO.*), Dichte 1,7, 25 g Chromsäure (CrO^5), 3,3 g saures Ammoniumfluorid (HH.Hl2), 2,3 g saures Diammoniumphosphat ((NH^) und 100Og Wasser enthielt·of 25 / µm thick. The dimensions of the plate are 30 χ 30 cm, the thickness 2 mm. After the underside had been provided with a layer of lacquer for masking, the plate was first placed for ½ minute in a bath containing 15 g of sodium hydroxide per 100 g of water at 20 ° After the plate had been rinsed in water, neutralized in strong nitric acid to remove any residual hydroxide and rinsed again, it was immersed for 25 minutes in a bath containing 55 cm of phosphoric acid (EUPO. *), density 1.7, 25 g Chromic acid (CrO ^ 5 ), 3.3 g of acidic ammonium fluoride (HH.Hl 2 ), 2.3 g of acidic diammonium phosphate ((NH ^) and 100Og of water contained
Diese Behandlung fand bei 50° 0 statt· Nach dem Spülen und Trocknen betrug die Stärke der Oxydschicht etwa 25 /um· Hierauf wurde die lackschicht entfernt.This treatment took place at 50.degree. C. After rinsing and drying, the thickness of the oxide layer was about 25 μm the paint layer was removed.
Der Boden 3 des Gehäuses des !Transistors ist mittels zweier Bolzen 4 an die oxydierte Seite 2 der Tragplatte 1 unter Zwischenlage einer Bleischicht 5 mit einer Härte von 4 1Γ.Ρ.Ν· (Ticker1s Pyramidal Number) angedrückt.The bottom 3 of the transistor housing is pressed against the oxidized side 2 of the support plate 1 by means of two bolts 4 with a layer of lead 5 with a hardness of 4 1Γ.Ρ.Ν · (ticker 1 s pyramidal number) in between.
Die Bolzen 4 sind mittels Röhren 6 und Scheiben 7 aus Isoliermaterial von der Tragplatte 1 getrennt.The bolts 4 are made of insulating material by means of tubes 6 and washers 7 separated from the support plate 1.
Das Innere des Transistors, das übrigens für die Neuerung nicht von wesentlicher Bedeutung ist, besteht aus einer Halbleiterscheibe 10 aus z. B· Germanium, einem Basisanschluß 11, einer Emitterelektrode 12 und einer Kollektorelektrode 13» die zugleich die Halterung der Scheibe und die Verbindung mit dem Boden 3 bildet. Der Emitter- und der Basisanschluß sind als Stifte 14 mittels Glasperlen 15 isoliert durch den Boden 3 hindurchgeführt. Das Ganze ist mit einem Deekel 16 abgeschlossen.The inside of the transistor, which by the way is not essential for the innovation, consists of one Semiconductor wafer 10 made of, for. B · germanium, a base terminal 11, an emitter electrode 12 and a collector electrode 13 »which at the same time forms the holder for the disc and the connection to the base 3. The emitter and the The base connection is insulated through the base 3 as pins 14 by means of glass beads 15. The whole thing is with a Deekel 16 completed.
J - 4 - v J - 4 - v
Die günstige Wirkung dieser Konstruktion geht aus folgenden Messungen hervor·The beneficial effect of this construction can be seen from the following measurements
Wenn der Boden 5 des Transistors auf der Platte 1 mit einer 50 /um starken Glimmerzwischenplatte, die eine Beschädigung der Oxydschicht 2 verhütet, angeordnet wurde, so "betrug der Warmewiderstand zwischen der Unterseite des Bodens 5 und der Platte 1 etwa 1,5° C pro W.If the bottom 5 of the transistor on the plate 1 with a 50 .mu.m thick intermediate mica plate, which prevents damage to the oxide layer 2, was arranged, "was the Thermal resistance between the underside of the bottom 5 and the Plate 1 about 1.5 ° C per W.
Wurde die Glimmerschicht fortgelassen, so fiel der larmewiderstand auf etwa 1,25° C pro W, aber in jedem lall bestand die Gefahr einer Beschädigung und eines Kurzschlusses der Oxydschicht 2.If the mica layer was left off, the alarm resistance fell to about 1.25 ° C per W, but in every case there was a risk of damage and a short circuit the oxide layer 2.
Wurde eine Bleischicht 5 von 1 mm Stärke zwischengelegt, so wurde nicht nur die Gefahr der Beschädigung der Oxydschicht kleiner, sondern der Wärmewiderstand fiel auf etwa 0,35° C pro W.If a lead layer 5 with a thickness of 1 mm was interposed, not only was there a risk of damage to the oxide layer smaller, but the thermal resistance fell to about 0.35 ° C per W.
Es zeigte sich, daß eine weitere Herabsetzung noch dadurch möglich war, daß die Bleischicht mittels einer sehr dünnen leim- oder Lackschicht, z. B. eines Lackes auf der Basis eines Zellulosenesters, auf der Oxydschicht festgeklebt wurde. Der Wärmewiderstand betrug dann etwa 0,20C pro W. Eine solche dünne Isolierschicht, die zum größten Teil in die Aluminiumoxydschicht eingedrungen sein kann, verringert zugleich die Möglichkeit der Beschädigung der Oxydschicht·It turned out that a further reduction was still possible in that the lead layer by means of a very thin layer of glue or lacquer, e.g. B. a varnish based on a cellulose ester, was glued to the oxide layer. The thermal resistance was then about 0.2 ° C. per W. Such a thin insulating layer, which for the most part may have penetrated the aluminum oxide layer, at the same time reduces the possibility of damage to the oxide layer.
S chut ζ ansprü ehesS chut ζ claims
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1960
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