DE1812964A1 - Pruefkopf fuer gehaeuselose integrierte Schaltkreise - Google Patents

Description

• Prüflcopf für gehäuselose integrierte Schaltkreise.
• Die Erfindung bezieht sich auf eine Prüfvorrichtung für gchäuselose integrierte Schaltkreise, mit einer Aufnahmevorrichtung zum Festhalten und zum Justieren eines Prüflings.
• Die benannten Prüfköpfe oder Prüfspitzen sind für dynamische Ilessungen an integrierten Schaltkreisen nicht geeignet.
• Aufgabe der Erfindung ist daher die Konstruktion einer Prüfvorrichtung, die für statische und dynamische Messungen an integrierten Schaltkreis en verwendet werden kann.
• Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daE relativ zur Aufnahmevorrichtung eine Wippe, welche mit einem Prüfkopf fcst verbunden ist, schwenkbar angeordnet ist, wobei der Prüfkopf eine Bohrung aufweist, in welche Kontaktfedern hineinragen, und daß mit der Aufnahmevorrichtung der Prüfling in einer Ebene, die parallel zu der durch die Kontaktfedern gebildeten Ebene ist, bewegt und gedreht und senkrecht zu dieser Ebene bewegt werden kann Vorteilhaft an der Erfindung ist der prinzipielle Gesamtaufbau, der einc gleichzeitige dynamische Messung an etwa 14 Kontaktstellen bei einer Chipgröße von ungefähr 1,5 x 1,5 mm2 ermöglicht.
• Weitere Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels anhand der Figuren. Es zeigen: Fig. 1: einen Querschnitt durch die Prüfvorrichtung Fig. 2: eine Draufsicht auf den Prüflcopf der Fig. 1 unter Wcglassung der Wippe.
• In Fig. 1 ist eine Wippe 1 schwenkbar entsprechend den Pfeil 2 auf einem Drehzapfen 3 gelagert. Der Drehzapfen 3 ist fest mit einen Prüfkopfträger 4, der einc Aufnahmevorrichtung 5 trägt, verbunden. In dem vom Drehzapfen 3 abgcwandten Ende des Prüfl:opftrügers 4 ist ein anschlag 8 für eine sich am äußeren Ende der Wippe 1 befindende Justierschraube 10 angebracht. Dic Wippe 1 weist konzentrisch zur Aufnahmevorrichtung 5 cinc Bohrung 11 auf. Mittels Schrauben 12 ist mit der Wippe 1 ein Prüfkopf 13, der aus einem Isolicr.
• material besteht, verbunden. Der Prüfkopf 13 weist in seiner Mitte eine zur Bohrung 11 konzentrische Bohrung 14 auf.
• Auf der Aufnahmevorrichtung 5 ist drehbar eine Scheibe 15 angebracht, die cin Rohr 16 trägt, das mittels eines Rohransatzes 17 an cinc nicht dargestellte Saugleitung angeschlossen werden kann. Durch die Saugluft wird an oberen Ende des Rohrcs 16 ein Halbleiterchip 18 festgehalten. Die Aufnahmevorrichtung 5 kann mittels nicht eingezeichneter Verstellschrauben in der Ebene des Prüfkopfträgers 4 und senkrecht dazu verschoben werden, um so eine jedem Chip angepaßte Einstellung vornehmen zu können.
• Der Prüfkopf 13 ist durch eingelötete Schrauben 20 nit einer Sciterplattc 21 verbunden, die cinc zur Bohrung 14 konzentrische Bohrung 30 aufweist-. Dic Schrauben 20 tragen Muttern 23, die über Federn 24 Kontaktfedern 25 halten. Um cinc elastischc Lagerung und eine gute Justierung der Kontaktfedern 25 zu erreichen ist im Prüfkopf eine Ringnut 26 angebracht, und sind die Federn 24 an ihrem äußeren nde 29 abgebogen, so daß sie in dafür vorgesehene Bohrungen 28 greifen. Der elektrische Anschluß erfolgt über den Weg Chip 18 - Kontaktfeder 25 -Feder 24 - Mutter 23 -- Schraubc 20 - Leite-rplatte 21. Bei der Feinjustierung wird durch Lösen und Spannen der Muttern 23 cin Verstellen der Kontaktfedern 25 durch die Federn 24 vcrmieden. Die Spitzen 27 der Kontaktfedern 25 machen beim Positionicron auf den Kontaktflecken des Chips 18 eine Relativbewegung. Die Relativbewegung bewirkt cin leichteres Durchstoßen der Oberflächcnoxidschicht des Kontaktfleckens und gewährleistet somit eine einwandfreie Berührung der eigentlichen Kontaktschicht. Erreicht wird die Rclativbowegung durch die Schwenkbewegung, entsprechend dem Pfeil 2, der Wippe 1 im Prüfkopfträger 4 und durch den Federweg der Kontaktfedern 25.
• Das Festhalten der gehäuselosen integrierten Schaltung mittels Saugluft gewährleistet, daß diese durch das Festhalten nicht beschädigt wird. Durch die AnordnunG cincr Bohrung im Prtifkopf können schr viclc Kontaktfedern angebracht werden, die in diese Bohrung hineinragen. Hierzu wird auf die Fig. 2 verwiesen, in der von den insgesamt 16 Kontaktfedern der besseren Übersicht wegen nur zwei dargestellt sind. Durch die elastische Ausbildung der Kontaktfedern und deren Berührung des Prüflinge unter einem kleinen Winkel wird erreicht, daß dieser während der Messung nicht beschädigt wird. Die elektrische Verbindung der Kontaktfedern mit der Leiterplatte gewährleistet eine gute elektrische Anschlußmöglichkeit. Durch die verschiebbare und drehbare Aufnahmevorrichtung wird eine gute Einstellmöglichkeit des Prüflings erreicht.
• 6 Patentansprüche 2 Figurcn

Claims (6)

1. P a t e n t a n s p r ü c h e 1. Prüfvorrichtung für gehäuselose integrierte Schaltkreise, mit einer Auinahmevorrichtung zum Festhalten und zum Justieren eines Prüflings, dadurch gekennzeichnet, daß relativ zur Aufnahmevorrichtung eine Wippe, welche mit einem Prüfkopf fest verbunden ist, schwenkbar angeordnet ist, Wobei der Prüfkopf eine Bohrung aufweist, in welche Kontaktfedern hineinragen, und daß mit der aufnahmevorrichtung der Prüfling in eincr Ebene, die parallel zu der durch die Kontaktfedern gebildeten Ebene ist, bewegt und gedreht und senkrecht zu dieser Ebene bewegt werden kann.
2. 2. Prüfvorrichtung nach Anspruch 1, da'durch'gekennzeichnet, daß der Prüfling auf einem Ende eines mit der Aufnahmevorrichtung fest verbundenen Rohrcs mittels Saug-luft festgehalten ist.
3. 3. Prüfvorrichtung nach den ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Bohrung-bei einer Schwenkung der wirre das Rohr mit dem Prüfling aufnimmt.
4. 4. Prüfvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfcdern durch Federn festgehalten sind.
5. 5. Prüfvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfedcrn den Prüfling unter einem kleinen Winkel berohren.
6. 6. Prüfvorrichtung nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktfedern elektrisch mit einer Leiterplatte verbunden sind.