DE1698148A1 - Ionization manometer - Google Patents
Ionization manometerInfo
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- H01J41/02—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas
- H01J41/04—Discharge tubes for measuring pressure of introduced gas or for detecting presence of gas with ionisation by means of thermionic cathodes
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Description
;...-..· · : ν.γ. PhUIf- 1 Clocuampenfabriekeo; ...- .. · ·: ν.γ. PhUIf - 1 Clocuampenfabriekeo
/!-No. PHF- 2410
/.ir.-..i-l·.-'p.-in: 6. März 1968/! - No. PHF-2410
/.ir.-..il·.-'p.-in: March 6, 1968
Ionisationsmanoraetar.Ionization manoraetar.
Die Krfindung betrifft ein Ionisationsmanometer, in dem eine dünne, drahtförmig Kollektorelektrode innerhalb einer gitterartigen Anod-o gespannt und oine Glühkathode auaaerhalb der jinodo angeordnet ist, und in dom der Raum innerhalb der Anode an den nnodenenden von Endgittorn abgeschirmt wird, wobei einer iSlektrude in dem ionisationonanoffleter eine in bezug auf die Anodenspannung luodu- . liorte Spannung zu^oiührt wird.The invention relates to an ionization manometer in which a thin, wire-shaped collector electrode is stretched within a lattice-like anode and a hot cathode is arranged outside the jinodo, and in dom the space inside the anode is shielded at the node ends by the end lattice mandrel, with an iSlectrude in the ionisationonanoffleter a luodu- in relation to the anode voltage. liorte tension is caused.
ein bekanntes ionisatianumanometer dieser Art besitzt innerhalb der mit den ü.nd tit torn ein Ganzes bildenden, gitterartigen Anode eine drahtförmig Lodulatorelektrode, die parallel zur Kolloktorelek-rode angeordnet und an eine in bezug auf die ^modens^annunii Bodulierte ypannung ^ölett ist. i>ie upunnunc der Modulatorelektrode wird in dem Bereich zwischen der ünodenapannun^. und der Kollektor·· spannung geändert« Je mehr sich die Lodulatorapannung der kollektorspartnunc annähert, umso mehr Ionen fängt die Modulatorelektrode auf, so dass der nolluktorotrom geringer ist. Die bei der x..odulu-a known ionization manometer of this type possesses within the grid-like anode that forms a whole with the ü.and tit torn a wire-shaped lodulator electrode, which is parallel to the collocator electrode arranged and attached to a in relation to the ^ modens ^ annunii Bodulated tension ^ oily is. i> ie upunnunc of the modulator electrode is in the area between the ünodenapannun ^. and the collector tension changed «The more the lodulator tension of the collective partnunc approximates, the more ions the modulator electrode collects, so that the nolluctor current is lower. The at the x..odulu-
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-2- PHN. 2410. .-2- PHN. 2410..
tion auftretenden ^ollektoretroraanuerungen ermöglichen, otörende Restatröme aus den iieaaergebniaaen zu beseitigen. Die Heotatröme können durch Photoemiasionaatrönui der Kulloktorelektrodo infolge Hüntgenatrahlung dej* von Elektronen getroffenen, gitterartigen Anode oder infolge Ultraviolettstrahlung der Kathode jt;ebildqt wordenι Weiterhin kann üeaadsorption von Uolekülen von der iinoue. woaentlich zum Ueatatrom, inabeaondere in Anwesenheit von O^ oder CO, beitragen. Diese Beseitigung iat deswegen (αΰ^ΐϊο.ι, weil die ünderunt, dor KodulationsapunnunL einerseits den wirklichen Ionenβ trum, d.h. dun von der Gasphase atiuniuunden, den wirklichen ,Gasdruck bostiuraunden Ionenatrom, und andererseits den Restutx'uu verachiedentlich beeinfluaat. Im Vergleich au den Einfiuaa &uf den \?irklichen Ioneiiütrom ist der i'jlnfluaü auf den ;ie3t3troa ^erinc und häufig vern^calil bar. Der ilinfluaa auf den wirklichun ionenatrom kann durch den Uodulationafaktor k <lea wirklichen Ionenatronn angudeutct welcher Faktor die !tnderunc dea wirklichen Ionenatruma bei ,.tion occurring ^ ollektoretroraanuerungen allow otörende To eliminate residual flows from the iieaaergebniaaen. The torrent of torment can by Photoemiasionaatrönui the Kulloktorelektodo as a result Hüntgena radiation dej * lattice-like hit by electrons Anode or as a result of ultraviolet radiation of the cathode jt; ebildqtι been Furthermore, the adsorption of urolecules from the ionoue. woefully contribute to the urea atom, especially in the presence of O ^ or CO. This elimination is because (αΰ ^ ΐϊο.ι, because the ünderunt, dor CodulationsapunnunL on the one hand the real ion spectrum, i.e. dun from the gas phase atiuniuunden, the real gas pressure bostiuraund Ion atom, and on the other hand the restutx'uu negatively influenced. In comparison to the infiuaa & to the real ionic flow is the i'jlnfluaü on the; ie3t3troa ^ erinc and often vern ^ calil bar. The ilinfluaa on the real un ion atom can through the Uodulation factor k <lea real ionic atom indicated which factor affects the real ionic atrum,.
tion darstellt« Der i.odulationafaktox· dea wirkliche« Ionenütro..iu iot nahezu unabhängig von dem Gusdruu... bei einem Gaadruck uo hohen V/ertoa, dusa der wirkliche Ionenütroin erheblich hoher uia uor Heatstrom iut, iat dor iiodulationafuktor k dea wirklichen Ionenströme nahtau gleich den iiodulatiouafaktor des Kollektors tr oma k, welcher Faktor die underline des Geaumtkollektoratroma bei iuodulation darstellt. Daher kann k durch kesaung von k in einem Gau bei einem Gas bei einem Ionenstrom bestiiamt werden» bei dem die angedeuteten HeatWirkungen keine nannenowerte Holle spielen. Der Modulationsfaktor k des wirklichen Ionenatroms ist eine Funktion der Geometrie, der angulegten Jpamiungeii und des Klektroncnatroma und schwankt geriutfÜgic bei verschiedenen Ausführungen dea Ioniaationaraanomoters, tion represents "The iodulation afactox · the real" Ionutro..iu iot almost independent of the Gusdruu ... at a Gaa pressure uo high V / ertoa, the real Ionutroin considerably higher uia uor heat current iut, iat the iiodulationafuctor k the real Ion currents approach the iiodulatiouafaktor of the collector tr oma k, which factor represents the underline of the overall collector atroma in iuodulation. Hence, k can be determined by kesaing k in a Gau for a gas with an ionic current in which the indicated heat effects do not play a nominal role. The modulation factor k of the real ion atom is a function of the geometry, the applied Jpamiungeii and the Klektroncnatroma and fluctuates depending on different versions of the Ioniaationaraanomoters,
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-3- PHH. 2410.-3- PHH. 2410.
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Bei Anwendung eines solchen IonisationsnanonieterB kann der .,irklioho Ioncustivn (unu der wirkliche Gasdruck) mittels der Grösue ■ :er Änderung des ..ollektorstroniü .(odor des angelesenen Gasdrucks) bei Modulation beotimut verden. Die Gunauigkeit dieser Bestimmung des wirklichen ionuasiroms (oder dus v/irklichen Gasdrucksj ist umso grosser, je yuaser die relative ün-erung des Kollektorutrons (oder des abmaleüunc-n Gasdrucks) ist oder, in anderen .»'orten« je höher der Jlodulaiionsfaktor k ist. Das bekannte Ionisationscianom't'.r hat den ύ: enteil, dass der üodulationsfaktor k einen verh'iltnin::..'Isui, nii.äri^aii .("ort hat trott; dar grosson ilnderun^ der uor l.;udul.iturt>lcLtx*oiie augeführtc Jpannun^· -Die Lodulationsfdktoren der bekann!-cn .uaführungsformen haben /erte von weniger alüWhen using such an ionization meter, the. Irklioho ioncustivn (and the real gas pressure) can be changed by modulation by means of the change in the collector current (or the read gas pressure). The inaccuracy of this determination of the real ionization factor (or the actual gas pressure) is the greater, the greater the relative increase in the collector tron (or the depicted gas pressure) or, in other "places", the higher the integration factor k The well-known ionization cianom't'.r has the ύ: enteil that the modulation factor k has a relationship: .. 'Isui, nii.äri ^ aii. ("place has trott; dar grosson ilnderun ^ der uor l .; udul.iturt> lcLtx * oiie executed Jpannun ^ · -The Lodulationsfdctors of the known! -cn
»9 ΰ,ρ. rei Gasdrücken dur GröiJSenoi'ünunL von 10 Torr und weniger kuiin leicht infolge Jeaadsorptionsv/irkunL. ein so hoher Reststrou auftreten, da. y aurcu die verhal-nisaässit; eeringe Änderung des»9 ΰ, ρ. three gas pressures of 10 Torr and less kuiin easy as a result of Jeaadsorptionsv / irkunL. such a high residual flow occur there. y aurcu die verhal-nisaässit; Small change in the
e'η Uacjrucks der wirkliciie Gasdruck nicht mehr ausreichend b«.stinr.t worden kann.e'η Uacjrucks the real gas pressure is no longer sufficient b «.stinr.t can be.
Liu ..rfindium bezvieckt, ein ionisationsmanocieter anzuheben, in dei. r--in<- i-Iudulauion nit einen Faktor des wirklichen lonenetro...a durchcefülirt wir , «ier sich erheblich weniger von de:.. Idealwert 1 untersc'.e 'det.Liu ..rfindium aims to raise an ionization manocieter, in your r - in <- i-Iudulauion nit a factor of the real ionic metro ... a We are filled with much less of the ideal value 1 underc'.e 'det.
."ach uui .^rfiiiuunfi; wird in eine... j-onisationsuiiinomoter, in (ieir. ein,; dünne, druntforui^e -tollviktt;.*olektrodi-j innerhalb einer gitterartigen i.uüiit. jes^annt un^ eine Glühkathode au3serhalb der ..node angeordnet iat, und in deu der itaui-i innerhalb der Anoue an ■ ■leu i-.ndv-'n von i-iui^.ittern abceschirmt vird, wobi-i einer .Elektrode im Ionii\i-ion.::; iio.:eter eine in bezug auf die /Uiodenspannunf; raoi ulie_t' J])ajinu.H. auc-fülirt wird, uio iiudi lxertii opannun^ mindestens Ίϊϊν.-ν: ναι» der u '...· Getrennten ^n-l^i. "ach ^ uui rfiiiuunfi; is in a ... j-onisationsuiiinomoter, in (a ieir ,; thin druntforui ^ e - t ollviktt;.... * olektrodi-j within a lattice-like i.uüiit jes ^ un annt ^ a hot cathode is arranged outside the node, and in deu the itaui-i within the anoue an ■ ■ leu i-.ndv-'n is shielded from i-iui ^ .ittern, wherebyi-i an .electrode in the ionii \ i-ion. ::; iio.:eter one in relation to the / Uiodenspannunf; raoi ulie_t 'J]) ajinu.H. auc-fülirt, uio iiudi lxertii opannun ^ at least Ίϊϊν.-ν: ναι »der u '... · Separated ^ nl ^ i
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-4- - PHN. 2410.-4- - PHN. 2410.
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Ist der Momentanwert der Modulationsspannung d.h. der Spannung des von der ..mode getrennten Endgitters abzüglich der Anodenspannunf in diesem Ionisationscanometer IIullf so erfahrt ein in dem Gas innerhalb des Gitterraumes erzeugtes Ion eine bestimmte axiale Kraft infolge der momentanen Potentialverteiiung. Hat die Modulations spannung einen anderen ,/ert, bo erfährt ein Dolches lon eine andere axiale Kraft und erliegt eine andere .iahrscheinlichkeit zum Entweichen aus dem Gitterraum vor, bevor der Radius seiner Bahn zur Kollektion hinreichend JcIeiη geworden ist· Die Änderung der Modulationsspannung hat einen erheblich geringeren Einfluss auf Elektronen und etwaige desadsorbierte Ionen als auf in der Gasphase enstandene Ionen, da die Elektronen und die desadsorbierten Ionen eine hohe Anfangsgeschwindigkeit haben.If the instantaneous value of the modulation voltage is the voltage of the end grid separated from the ..mode minus the anode voltage in this ionization canometer IIull f, an ion generated in the gas within the grid space experiences a certain axial force as a result of the instantaneous potential distribution. If the modulation voltage is different, a dagger experiences a different axial force and succumbs to a different probability of escaping from the lattice space before the radius of its orbit has become sufficiently large to collect the change in the modulation voltage Significantly less influence on electrons and any desadsorbed ions than on ions formed in the gas phase, since the electrons and desadsorbed ions have a high initial velocity.
Die Wirkung der Modulation auf das Endgitter ist grosser, je dünner die Kollektorelektrode ist, da bei einem dünneren Kollektor die Ionen mehr Umdrehungen um den Kollektor mit abnehmendem Radius vollführen können. Vorzugsweise betragt der Durchmesser des Kollektordrahteß höchstens einige Mikrometer.The effect of the modulation on the final grating is greater, the thinner the collector electrode, since with a thinner collector the number of revolutions around the collector increases with decreasing Can perform radius. The diameter of the Collector wire at most a few micrometers.
In einer.besonders günstigen Ausführungsformhat der Kollektordraht einen Durchmesser von höchstens einigen Mikrometer, wahrend der Unterschied zwischen der Anodenspannung und der Kollektorspannung etwa das 3,5-fachö des Unterschieds zwischen der Anodenspannung und der Kuthodenspannung betrügt, so dass, wie bekannt, eine höchste Empfindlichkeit erzielt wird] dabei wird die modulierte Spannung beiden Endgittern zugeführt und das Maximum des absoluten Wertes der Modulationsspannung ist etwa i/6-tel des üpannungsunterschieds zwischen Ληοdu und Kollektor. Ein solche geringe kodulutionssimnnung genügt, um in einer solchen Ausführungsforiu einen I/lodulationsfaktor k dea wirklichen Ionone* l-rom-s- von etwa 0t9 *U er-In a particularly favorable embodiment, the collector wire has a diameter of at most a few micrometers, while the difference between the anode voltage and the collector voltage is about 3.5 times the difference between the anode voltage and the Kuthode voltage, so that, as is known, the highest sensitivity is achieved] the modulated voltage is fed to both end grids and the maximum of the absolute value of the modulation voltage is about one-sixth of the voltage difference between Ληοdu and collector. Such a low modulation simulation is sufficient to achieve an I / iodulation factor k dea real ionone * l-rom-s- of about 0 t 9 * U in such an embodiment.
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-5- * ' HHI. 2410.-5- * 'HHI. 2410.
während eine ^rifhun^ der Modulationsspannung nahezu keinen v/eiteren .;influsa hat.while a ^ rifhun ^ of the modulation voltage almost none v / fester.; influsa has.
Ein Ioni£jafcionsiaü.numeter, in dom die Endgitter von der ^node getrennt sind, ist an sich bekannt, Ks ist auch darauf hingewiesen, dass diti Anwendung .-eines i'oten ti&lunterschieds. a-wischen der Anoda und den Endgittern die Ernpfinulichkeit des Ilanometero verbessern könnte, jjü handelt sich dabei jodoch um Manome fcer, die lediglich durch feste; Jpannungen betrieben v/erden, während keine Löslichkeit zur ^esGitigunL. des .ies tr; iron υ angedeutet wird.An ioni £ jafcionsiaü.numeter, in which the final lattices are separated from the ^ node, is known per se; it is also pointed out that the application of a i'oten ti & l difference. a-wiping the anoda and the end grids could improve the tolerability of the Ilanometero; Voltages operated v / earth, while no solubility to ^ esGitigun L. des .ies tr; iron υ is implied.
iiie jJrfindving. v/ii-d für ein Ausriuirungaboispiel an Hand beiliegender Zeichnung ii"her erläutert. ,,;·,. zeilen:iiie jJrfindving. v / ii-d for an equipment example using the enclosed drawing ii "explained. ,,; · ,. lines:
Fig. 1 .gröüuentoiln im iiflijg-ijschnitfc eine lonisafcioaumanomoterrühre nach de Erfindung}Fig. 1. Large valve in the iiflijg-ijschnitfc a lonisafcioaumanomoterrühre according to the invention}
Pig. J die gleiche llöhre teilweise* im Längsschnitt senkrecht au dem .jciinifct m.ci. Fi^. 1,Pig. J the same hole partially * vertically in a longitudinal section au dem .jciinifct m.ci. Fi ^. 1,
die Fii.. 5» ·. und cj Liodultu-ionükennlinion der IoniDutiünu- «:unomotprr"hro n;:ch ύ<:ϊΐ ι<Ί£, 1 und 2. the Fii .. 5 »·. and c j Liodultu-ionükennlinion der IoniDutiünu- «: unomotprr" hro n ;: ch ύ <: ϊΐ ι <Ί £, 1 and 2.
In den x''ii,'. 1 und 2 bezeichnet 1 den zylindrischen Kolben der Mi'.noraotorrühr(. mit eine:·, -ι ulver£,lasbudon 2. liie iiöhre hat einen AruscLlussteil 3 "<ur 7ei*ttindun^ mit der.·. .Raum, Λ )ssen Druck bestimmt worden, noil, ie LiurcLfuhrungHstifte A tragen die zwei GlühkaLhoden 5 aus ,/olfraradraht. ixe ^itto-artiye iinode 6 aus llolybdändraht wird von ;Joly.Mi'nst".bt.'n 7 ab^.'Stiitzt, die sich an den Stifterj α Der Qiiterrajara yyird von zwei iind^i ttern 9 aus ...ol;ybdändraht Bchirmt» dl ο an ■ ol/td/Inringon 10 befestigt 3ind, v/elche sich, an den Stiften 11 ubatiltzon». In -zwei, Suitemschnauzen 12 3ind mit (iao überzogene x)urc}ifyhi>ung3Btifte 1-5■ eingescluaolzen, an eineuv dereolboneine Feder 14 bafestie.t ist, die den ».'olfriuadraht 15 i.iu . Kolloktorölektrodo innerhalb, der ^iiiode spannt;. Uie ^nden der ütii'u :■ In the x''ii, '. 1 and 2, 1 denotes the cylindrical flask of the Mi'.noraotorrühr (. With a: ·, -ι ulver £, lasbudon 2. liie iiöhre has a connecting part 3 "<ur 7ei * ttindun ^ with the. ·.. Space, Λ ) This pressure has been determined, noil, ie the guide pins A carry out the two glow electrodes 5, / olfrara wire. ixe ^ itto-artiye iinode 6 made of mololybdenum wire is supported by; Joly.Mi'nst ".bt.'n 7 , which are attached to the donor j α The Qiiterrajara yyird by two iind ^ i ttern 9 from ... ol; ybdändraht shields »dl ο to ■ ol / td / Inringon 10 3ind, v / elche themselves, to the pins 11 ubatiltzon» . In -two, suitemnoses 12 3ind with (iao coated x) urc} ifyhi > ung3Btifte 1-5 ■ cluaolzen, on one uv dereolbone a spring 14 is fastened, which the ».''olfriuadraht 15 i.iu. Collocator oil electrode within, the ^ iiiode spans ;. Uie ^ nd the ütii'u: ■
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13 v/erden von mit Blattfedern 16 versehenen ^uärzröhrchen \f- uew- - ■"''' geben, die sich bis jenseits der Schweissen zwischen den Dx-aht V,-'■''■ und den Stiften I3 und über dio Feder I4 erstrecken, jiine in α--- ·; Anschlusssteil 5 vorhandene tieiteaschnauze Id enthalt einen JDiu'o..-führungsstift I9» der düi'ch eine Feder 20 Kit einer leitenden zjinnoxydschicht 21 einen kontakt herstellt, v/elche Jehich-t sich von dem Anschluss teil 3 bis zu der llHae des Bodens 2 erütrockt. : Ein ./andteil <?2 um die i)urchführun,i,Listifto 13 ißt nicht mit dieser schicht überzogen. .13 v / grounding of ^ uarzröhrchen provided with leaf springs 16 \ f- uew- - ■ "''', which extend beyond the welding between the Dx-aht V, -' ■ '' ■ and the pins I3 and over dio Spring I4 extend, jiine in α --- ·; connection part 5 existing tieiteaschnauze Id contains a JDiu'o ..- guide pin I9 »which by means of a spring 20 kit of a conductive tin oxide layer 21 establishes a contact, v / which Jehich-t to erütrockt of the connection part 3 to the llHae the ground. 2:? A ./andteil <2 to i) urchführun, i, 13 Listifto not eat with this layer coated..
Die dargeatellte Ausführungsforin hat die n; chful^emien Lome asunkens "The execution form shown has the n; chful ^ emien Lome asunkens "
Die Kollektorelektrode A'j hut einen Durchmesser von 4 ρ-· Die jjünge desnicht von den 'viuarzrührclien 17 abgeschirmten Teiles ; der Xollektorelektrode ist 35 ηιη· · ■The collector electrode A'j has a diameter of 4 ρ- · The youngest part of the part not shielded by the vacuum stirrers 17 ; the xcollector electrode is 35 ηιη · · ■
Die gittei'cirbi^s Anoclo ij besteht aus einer. Draht nit oirioit jjurchmoijuer νυη 120 |ι::.. Die ..node hat 21 '..'indungen und einen Durch- ' messer von ^Q mra und ei.no Län^e von 4^ iitti. . . ■-■·-", :The gittei'cirbi ^ s Anoclo ij consists of one. Wire nit oirioit jjurchmoijuer νυη 120 | ι :: .. The ..node has 21 '..' indungen and a diameter of ^ Q mra and a length of 4 ^ iitti. . . ■ - ■ · - ",:
Die !,iolybdänstäbe 7 haben uinen Dur ohne aaez* von 0,6 nn. Die hn- fitter '-) bestehen aus . olybdändraht mit oin;jia Durchir.e3sor von 1iO u;::» Dei' Abstund zuiaclien den Gitturdrähten ist 3 iiua. Die ,loljrbdänrince 10 haben einen Durchmesser von 0,6 1.1m« Jede der Ülühkathoden 5 besteht au3 einen Draht mit einen Durchmesser von 1.ί[} jua. Jede dei.' (Jlilhkafchodcnhat 22 Yiinduntfen und eine Gesamtlänge von 70 ψφ. The!, Iolybdenum rods 7 have a major without aaez * of 0.6 nn. The HN fitter '-) are made. olybdenum wire with oin; jia Durchir.e3sor of 1iO u; :: »Dei 'distance zuiaclien the lattice wires is 3 iiua. The loljrbdänrince 10 have a diameter of 0.6 1.1m «Each of the Ülühkathoden 5 consists of a wire with a diameter of 1.ί [} jua. Each of you. ' (Jlilhkafchodcnhas 22 yiinduntfen and a total length of 70 ψφ.
Der Kolben 1 hat einen DurohuD33er von 6ü mm und eine Höhe von \2 min.The piston 1 has a DurohuD33er of 6 mm and a height of \ 2 min.
Die in d*vn ^i^. 3ι 4 und 5 dargestellten iModulationslcennlinion beziehen sich auf ein Ionisationai-anometGr mit der in den Fig. 1 und 2- davcestellten Röhr«;,, wobei das uollektorpotential iiullThose in d * v n ^ i ^. 3ι 4 and 5 shown iModulationslcennlinion relate to an Ionisationai-anometGr with the tube shown in Figs. 1 and 2 "; ,, where the uollektorpotential iiull
1Q9a337055&1Q9a337055 &
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-7- PIIH. 2410.-7- PIIH. 2410.
Volt, das LathodcnHOtexitial +213 ίΓ und dan Anodenpotential +200.V betrafen und dio leitende Zinno:i"dßchicht auf Kathodenpotentiul gehalten wird.Volt, the LathodcnHOtexitial +213 ίΓ and the anode potential + 200.V concerned and the conductive Zinno: i "the layer on cathode potential is held.
I1I1;. 3 atriijt die kodulationökennlinion für die mitI 1 I 1 ;. 3 atriijt the coding characteristic for those with
füllte; iiühre. I/er reelle Argqn-Dx^UCk ist 5 x 10 Torr. Der a oene Druc': int al3 Funktion der angewandten"LlodulationSspannung Vfilled; i lead. I / er real Argqn-Dx ^ UCk is 5 x 10 Torr. The open pressure: int al3 function of the applied modulation voltage V
orn aufgetragen· Die Spannung V iüt die Spannung dero rn plotted · The voltage V iut the voltage of the
lindjittsr .-ib:',"jlich der <oiod en spannung in Volt. Die drei Kurven I,
II, und III b.-nitiuuii sich auf drui verschiedene -rerte doe illeLlruneiiGtroms
vun 1 m,vt 10·0 iui .bzw« 10 jiA. Die Kennlinien zeigen den
groaacmr von dau .,lelitronenstrom prakLisch unabhängigen Einflücs der
!«!,dulationsspujEiiiun^ auf uen Ionenstroia, Eine Ll.jdul.ationsspHnnun& mit
einam äuoserstun ,/ert von -45 -V genügt, tun den Ionenstrom erheblich
zu ändern. Die Kennlinien I, II und III entsprechen den Kollektor stronmodulationsfaktorens
kj - 0,87",lindjittsr.-ib: ', "jlich der <oiod en voltage in volts. The three curves I, II, and III b.-nitiuuii refer to different -rerte doe IllruneiiGtroms of 1 m, v t 10 · 0 iui. or "10 jiA. The characteristic curves show the gross r of permanent, lelitron current practically independent influences of the!"! The characteristic curves I, II and III correspond to the collector current modulation factors
kj - 0.87 ",
R11- 0,8Y
kj-jeOjOi. R 11 - 0.8Y
kj-jeOjOi.
Da in diesen Fällen die Bedingung erfüllt isif dass-der Restatran im Vergleich zu den Viirklichen Ionenatroin vernachlassigbar sein soll, hat das Ionisationsmanometer einen I.Iodulatlonsfaktor k von 0,37.Since in these cases meets the condition f isi that-the Restatran compared to the Viirklichen Ionenatroin to be negligible, the ionization gauge has a I.Iodulatlonsfaktor k of 0.37.
Der Voi'toil des hohen Hodulationsfaktors in bezug auf korrektur' von Desadsorptionswirkungen zeigt eich deutlich aus den Ergebnissen, die bei adsorption von Sauerstoff an der gitterartigen iinode erzielt werden. Die Fig. 4 und 5 veranschaulichen in einer mit Sauerstoff gefüllten Röhre auftretende Erscheinungen.The Voi'toil of the high hodulation factor in relation to correction ' of desadsorption effects clearly shows from the results, the adsorption of oxygen on the lattice-like iinode be achieved. Figs. 4 and 5 illustrate in one with Oxygen-filled tube occurring phenomena.
Fig.. ; sex(,t den abgelesenen Druck als Funktion der..!.loäulutionüciiannung ί"ύχ· -inn i'iill, in dei.i ein Glolchgewichtszuetcind bei ei-Fig.; sex (t read the pressure as a function of ..!. loäulutionüciiannung ί "ύχ · -inn i'iill in dei.i a Glolchgewichtszuetcind with egg
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BADBATH
-ti- . . Pirn. 2410.-t-. . Pirn. 2410.
nem Druck von etwa Π χ 10 ' Torr eingestellt ist und Sauerstoff an die Röhre zugeführt wird. Me Kurven IV, V und VI beziehen sich wieder auf V/erte des Elektronenstroms von 1mA, 100 μΑ bz\,, 10 μΑ und bestimmen die nachfolgenden \.'erte von k: kIV - 0,92, - 'nem pressure of about Π χ 10 'Torr is set and oxygen is supplied to the tube. Me curves IV, V and VI refer again to V / erte of the electron current of 1mA, 100 μΑ bz \ ,, 10 μΑ and determine the following values of k: k IV - 0.92, - '
kv » 0,91 · .k v »0.91 ·.
kyi = 0,89.k yi = 0.89.
' Nach den Sperren der Sauerstoffzufuhr sinkt der Druck'' After the oxygen supply is blocked, the pressure drops
_Q_Q
schnell auf einen wert von etwa 10 Torr und nachdem ein Gleichgewicht3zustand eingetreten ist, zeigt sich das in Fig. 5 veranschaulichte Krgebnia box einem Elektronenstrom von 10 μΑ.quickly to a value of about 10 Torr and after a state of equilibrium has occurred, is shown in Fig. 5 illustrated Krgebnia box an electron flow of 10 μΑ.
Kin Vergleich dex· ,Curve VII in Fig. 5 ( k-.Vert von 0,47) mit der Kurve VI der fig. 4 ( k-..'ert von 0,89J zeigt deutlich den grossen Kinfluss der üesadsorption bei dem Gleicgewichtsdruck in dem Bereich von 10 Torr. Die änderung dar abgelesenen Spannung l.'ings der Kurve VIl, die im Vergleich zu-der längs der Kurve VI klein ist, ist jedoch an a.ich noch derart, dass der wirkliche Iononstroni und der lleatstrom aus dem in Fig. 5 veranschaulichten Resultat genau be-stimnt \/orden können. Die Ganauigkeit wäre erheblich geringer auf Grund der Resultate, die mit einem Manometer mit einem I.u dülationafa,.tor von v/eniger aliä 0,5 erzielt worden v.'üruen. In d-ieaem Falle wäre dio der i^urve VII entsprechende Kennlinie praktisch parallel zu der Achse, auf welche die Modulationespannung aufgetragenKin comparison dex, Curve VII in Fig. 5 (k value of 0.47) with curve VI of fig. 4 (k - .. 'ert of 0.89J clearly shows the large kinfluence of desadsorption at the equilibrium pressure in the range of 10 torr. The change in voltage read l.'ings of the curve VIl, which in comparison to that along the curve VI is small, but is still such that the real Iononstroni and the lleate flow from that illustrated in FIG Being able to precisely determine the result. The accuracy would be considerable lower due to the results obtained with a manometer with an I.u dülationafa, .tor of v / less aliä 0.5 v.'üruen. In this case, the curve corresponding to curve VII would be practically parallel to the axis on which the modulation voltage applied
109833/0558 BAD ORtGJNAt.109833/0558 BAD ORtGJNAt.
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