Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Verfahren und Anordnung zum Antrieb von Vorrichtungen, welche die bei elektrischem Strom-durchgang durch ein aus einem Halbleiter und einem denselben beruehrenden Halbleiter oder Leiter bestehendes Aggregat zwischen den Beruehrungsflaechen auftretende elektrostatische Anziehungskraft ausnutzen
Verfharen und Anordnung zum Antrieb von Vorrichtungen, welche dei bei elektrischem Stromdurchgang durch ein aus einem Halbleiter und einem denselben berührenden Halbleiter oder Leiter bestehendes Aggregat zwischen den Berührungsflächen auftretende elektrostatische Anziehungskraft ausnutzen.