DE1660561U - HIGH VACUUM VALVE. - Google Patents

HIGH VACUUM VALVE.

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DE1660561U
DE1660561U DE1953A0003817 DEA0003817U DE1660561U DE 1660561 U DE1660561 U DE 1660561U DE 1953A0003817 DE1953A0003817 DE 1953A0003817 DE A0003817 U DEA0003817 U DE A0003817U DE 1660561 U DE1660561 U DE 1660561U
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valve according
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Description

1R o c h v R g : u u m v e n t i 1 Eocilvauumventil Es sind hochvakuumdichte, fettfreie und ausheizbare Ventile bekannt, bei denen ein Konus aus härterem in eine Hülse aus weichere. Material hineingepresst wird und sich durch Verformen der Hülsenkante selbst einen abdichtenden Sitz schafft. 1R ochv R g: uumventi 1 Eocilvauum valve There are high-vacuum-tight, grease-free and bake-out valves are known in which a cone made of harder in a sleeve made of softer. Material is pressed in and creates a sealing seat by deforming the edge of the sleeve itself.

Aus der Praxis der Flanschdichtungen ist ferner bekannt, dal diese sicherer abdichten, wenn die Dichtfläche nicht eben ist, sondern einen scharfen Knick aufweist. ErCindungsgemäß lassen sich diese Erfahrungen auch für die Konstruktion eines fettfreien, ausheizbaren Hochvakuumventils nutzbar verwerten, indem der eine Ventilkörper durch eine Ringschneide aus hartem Metall gebildet wird, die sich in die Fläche des anderen, aus weicherem Metall bestehenden Ventilkörpers eindrückt. Zweckmässig wird der bewegliche Ventil-Körper mit einer besonders präzisen Führung versehen, um zu erreichen, daß die Scnneide immer wieder genau in dieselbe Grube des weicheren Ventilkörpers einfällt.It is also known from the practice of flange seals that these Seal more securely if the sealing surface is not flat, but a sharp one Has kink. In accordance with the invention, these experiences can also be applied to construction of a grease-free, bake-out high vacuum valve can be used by one Valve body is formed by a cutting edge made of hard metal, which is located in depresses the surface of the other valve body, which is made of softer metal. The movable valve body with a particularly precise guide is useful provided in order to ensure that the cutting edge always goes into exactly the same pit of the softer valve body occurs.

Die Erfindung sei an einem Ausf@hrungsbeispiel veranschaulicht.The invention is illustrated using an exemplary embodiment.

Die Ab@ildung zeigt ein Hochvakuumventil im Querschnitt in schematischer Darstellung. Das Ventil besteht im wesent-@ichen aus einem ruhenden ; durchbohrten Ventilkörper 1 aus sehr hartem Metall, an den die Zu- oder Ableitung angeschlossen und der mit einer Ringschneide 3 versehen ist sowie einem beweglichen Ventilkörper 4 mit eingelegter Silberplatte 5. Dieser bewegliche Ventilkörper 4 ist mit dem ruhender. Teil 1 über ein ellrohr 6 und einen Flansch 7 verburgen. Flansch 7 und Ventilkörper 1 sind in an sich bekannterWeisedurcheineMetalldichtung8fürHochvakuum gegeneinander abge@ichtet.The illustration shows a high vacuum valve in a schematic cross section Depiction. The valve essentially consists of a stationary; pierced Valve body 1 made of very hard metal, to which the inlet or outlet is connected and which is provided with a cup point 3 and a movable valve body 4 with inserted silver plate 5. This movable valve body 4 is with the stationary. Part 1 buried over an ellrohr 6 and a flange 7. Flange 7 and valve body 1 are in a manner known per se by a metal seal 8 for high vacuum against each other ab @ ied.

Die Silberplatte 5 ist auswechselbar am Ventilkörper 4 angebracht. Der VentilKörper 4 ist auf einem Hals 9 geführt, der Kolbenartig in eine Bohrung des Ventilkörpers eingreift und sich an einem topfförmigen Körper befindet, der den Ventilkörper 4 mit dem Wellrohr 6 umschließt und von einem Bund 11 des Flanschkörpers 7 zentriert ist. In den Hals 9 greift ein Stempel 12 ein, der durch eine mit dem Topf- Körper 10 verscnraubte gerändelte Überwurfmutter-bewegt wird. Diese greift am Stempel durch eine Kupplungskugel 14 und ei. ne in eine mut 15 eingreifende Feder 16 an. Dabei dient die Kugel 1@ zur Übertragung der Schließkräfte und die Feder 16 zum Rückholen des Stempels beim Öffnen des Ventils.The silver plate 5 is attached to the valve body 4 in an exchangeable manner. The valve body 4 is guided on a neck 9 which engages in a piston-like bore in the valve body and is located on a cup-shaped body which surrounds the valve body 4 with the corrugated tube 6 and is centered by a collar 11 of the flange body 7. In the neck 9 a punch 12 engages, which is Body 10 screwed knurled union nut is moved. This engages the punch through a coupling ball 14 and egg. ne in a mut 15 engaging spring 16. This serves the ball 1 @ for transmitting the closing forces and the spring 16 for returning the plunger when the valve is opened.

Die Erfindung ist nicht auf das dargestellte Beispiel beschränkt, insbesondere sind noch andere Ausführungsformen und Abänderungen möglich. So können die den Ventilschluß bewirkende Schneide unu. Fläche auch durch anderes geformte ventilkörpergebildetwerden.The invention is not limited to the example shown, in particular, other embodiments and modifications are also possible. So can the cutting edge causing the valve closure unu. Surface also formed by other things valve bodies are formed.

Claims (6)

Schutzanspruche - ----------------------------
1. ) HochvaKuumventil, dadurch gekennzeichnet, de. der eine Ventilkörper durch eine Ringschneide aus hartem Metall gebildet wird, die sich in die Fläche des anderen, aus weicherem Metall bestehenden Ventilkörpers eindrückt.
Protection claims - ----------------------------
1.) HochvaKuumventil, characterized in that de. the one valve body is formed by a cutting edge made of hard metal, which is pressed into the surface of the other valve body made of softer metal.
2. ) Ventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dat : der harte VentilKörper durch einen Hohlkonus, der weichere Ventilkörper durch eine Platte gebildet wird.2.) Valve according to claim 1, characterized in that dat: the hard one Valve body through a hollow cone, the softer valve body through a plate is formed. 3. ) Ventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der weiche Ventilkörper mit einer auswechselbaren Metallplatte, insbesondere Bilberplatte versehen ist.3.) Valve according to claim 2, characterized in that the soft The valve body is provided with an exchangeable metal plate, in particular a bilber plate is. 4.) Ventil nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, da der weichere Ventilkörper mit einem stempelförmig geführten und nach Art von Kolben und Zylinder beweglichen Träger verbunden ist.4.) Valve according to claim 1 to 3, characterized in that the softer one Valve body with a stamp-shaped guided and in the manner of piston and cylinder movable carrier is connected. 5.) Ventil nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Einstellung les Ventils ein Druckstempel vorgesehen ist, der durch einen Führungshals auf den die weiche Silberplatte tragenden Ventilkörper einwirkt und auf den eine Überwurfmutter mit Ropplungskugel einwirkt.5.) Valve according to claim 4, characterized in that for adjustment les valve a plunger is provided, which through a guide neck on the the valve body carrying the soft silver plate acts and on the one union nut acts with ropplungskugel. 6. ) Ventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Druckstempel durch eine mit der Überwurfmutter verbundene und in eine Nut des Stempels eingreifende Feder zurückgenolt wird. Patentanspruch 7
Vente, nacl Anspruch l bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß öap Vrtilseh. u. se si einer leicht lösbarer Flanschverbindung Eit pasheizbarer Metallgichtunr-versehen iEt.
6.) Valve according to claim 5, characterized in that the pressure ram is recovered by a spring connected to the union nut and engaging in a groove of the ram. Claim 7
Vente, according to claims 1 to 6, characterized in that öap Vrtilseh. u. se si an easily detachable flange connection Eit heatable metal gasket not provided.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0180784A2 (en) * 1984-10-31 1986-05-14 Rosenmund AG Valve for processing plant

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0180784A2 (en) * 1984-10-31 1986-05-14 Rosenmund AG Valve for processing plant
EP0180784A3 (en) * 1984-10-31 1987-07-01 Rosenmund AG Valve for processing plant

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