DE1648600A1 - Piezoelektrischer Messwandler - Google Patents

Piezoelektrischer Messwandler

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DE1648600A1 DE19671648600 DE1648600A DE1648600A1 DE 1648600 A1 DE1648600 A1 DE 1648600A1 DE 19671648600 DE19671648600 DE 19671648600 DE 1648600 A DE1648600 A DE 1648600A DE 1648600 A1 DE1648600 A1 DE 1648600A1
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L9/00Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
    • G01L9/0041Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms
    • G01L9/008Transmitting or indicating the displacement of flexible diaphragms using piezoelectric devices
    • GPHYSICS
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    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
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Description

  • Piezoelektrischer Meßwandler Die Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Meßwandler mit einer das piezoelektrische Meßelement enthaltenden Kammer, in der das Meßelement zwischen einem festen Auflager und einer die Kammer an der dem Auflager gegenuberliegenden Seite abschließenden, den Meßkräften ausgesetzten Plattenfeder unter axialer Vorspannung gehalten ist.
  • Ein bekannter Meßwandler dieser Art besitzt ein hohlzylindrisches Gehäuse, in dem das von zwei Quarzkristallecheiben mit zwischenliegender Ableitelektrode gebildete Meßelement zwischen einer als festes Auflager dienenden Stahlkugel und dem mit dem Wandlergehäuse aus einem Stück bestehenden plattenfederartigen Boden des Meßyandlers eingespannt ist. Die Ubertragung der Meßkraft auf das Meßelement erfolgt hiebei dber ein zwischen die Kristallanordnung und den Boden des Wandlergehäuses eingesetztes zylindrisches Zwischenstück. Diese WandlerausfUhrung weist jedoch eine Anzahl schwerwiegender Nachteile auf. Vor allem bereitet die Herstellung des plattenfederartigen Gehäusebodens, da dieser aus dem vollen Material des Wandlergehäuses herausgearbeitet werden muß, erhebliche fertigungstechnische Schwierigkeiten, vor allem hinsichtlich der unbedingt einzuhaltenden MaBtoleranzen des federnden Gehäusebodens, welche einen wesentlichen Binfluß auf die Charakteristik des Meßwandlers besitzen. Die geringe Flexibilität des mit verhältnismäßig großer Wandstärke ausgeführten Gehäusebodens führt überdies zu einer sehr geringen Meßempfindlichkeit dieser bekannten Wandlerausführung. Die Anwendung dieser Meßwandler ist wegen der niedrigen Bigenschwingungszahl des Wandlers zufolge der massiv ausgefuhrten Bauteile des Meßelementes stark eingeschränkt. Die von den massebehafteten Teilen des Meßelementes verursachte hohe Beschleunigungsempfindlichkeit führt außerdem zu unkontrollierbaren Verfälschungen des Meßergebnisses.
  • Es ist weiters ein Meßwandler bekannt, bei dem das Meßelement zum Schutz gegen unmittelbare Hitzeeinwirkungen von der Meßstelle her innerhalb einer ins Innere des Wandlergehäuses zurückvrsetzten Hülse mit federndem Boden eingeschlossen iate Die Ubertragung der Meßkraft auf den flexiblen Boden dieser Hülse erfolgt hiebei durch einen in einer axialen Bohrung des Wandlergehäuses gefuhrten, an der äußeren Stirnfläche dem-MeBdruck ausgesetzten Stempel Neben der auch bei diesem bekannten Gerät auftretenden hohen Beschleunigungsempfindlichkeit ergibt sich auch eine erhöhte Störungsanfälligkeit durch den im Gehäuse geführten Druckstempel. Ein weiterer Nachteil dieses bekannten Meßwandlers ist seine verhältnismäßig große Baulänge, die den Einsatz des Gerätes bei beengten räumlichen Verhältnissen an der MeBetelle erschwert bzw. vereitelto Diese Mängel und Nachteile der bekannten Wandlerausführungen werden durch die vorliegende Erfindung vermieden, welche darin besteht, daß die den unteren Abschluß eines Gehäuseeinsatzes oder den unteren hohlen Schaft eines Wandlergehäuses oder den VerschluB des hohlzylindrischen Gehäuses selbst bildende Plattenfeder als Membrane mit hülsenartigem Zentrierrand ausgebildet und linges des Zentrierrandes an der Stirnseite des die Kammer mit dem MeBelement enthaltenden Wandlerteiles angeschweißt ist. Durch diese Ausführung ergeben sich sowohl in fertigungstechnischer als auch in funktioneller Hinsicht eine Anzahl bedeutender Vorzüge gegenüber den bekannten Geräten. Vor allem besteht die vorteilhafte Möglichkeit einer rationellen Serienfertigung der Membrane, welche entsprechend ihrer Aufgabe als Vorspann-, Fühl- und Abschlußorgan des Wandlero mit allen erwünschten Eigenschaften ausgestattet werden kann.
  • Dabei lassen sich auch in der Großserie sehr enge Maßtoleranzen ohne Schwierigkeiten einhalten. o Durch das Vorhandensein des Zentrierrandes an der Membrane . erübrigen sich besondere Hilfsvorrichtungen zum Zentrieren der Membrane gegenüber dem die Kammer mit dem Meßelement enthaltenden Wandlerteil während des Schweißvorganges. Wenn im Verlauf des Schweißvorganges, fü den zweckmä0igerweise elektrische Viderstandsschweißung angewendet wird, die der zunehmenden Vorspannung des Meßelementes entsprechenden Ladungen laufend gemessen werden, kann der vorgegebene Sollwert der Vorspannung des Meßelementes mit großer Genauigkeit eingehalten werden.
  • Hiefür ist die an sich bekannte günstige Eigenschaft einer relativ wichen Federcharakteristik von Plattenfedern verantwortlich.
  • Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Meßwandlerausführung ist seine weitgehende Unempfindlichkei gegenüber Temperaturschwankungen, da sich diese im wesentlichen nur als radiale Spannungsänderungen der Membrane auswirken können, die jedoch keine nennenswerte Änderung der Vorspannung zur Folge haben. Die erfindungsgemäße Wandlerbauart erweist sich diesbezüglich allen jenen Wandlerausführungen überlegen, bei denen die Vorspannung des Meßelementes durch eine dünnwandige Rohrfeder erzeugt wird, die wegen ihrer harten Federcharakteristik schon beim Auftreten geringfügiger Wärmedehnungen einen beträchtlichen Vorspannungsverlust erleidet.
  • Weitere Vorzüge des Meßwandlers gemäß der Erfindung bestehen in dem absolut hermetischen Abschluß der das Meßelement enthaltenden Kammer, wobei sich auch bei MeBwandlern, die beispielsweise dem Angriff heißer Verbrennugsgase ausgesetzt sind, in der Regel die Anordnung einer eigenen Membran zur Gasabdichtung erübrigt. Bei der Anwendung der Erfindung an Lastmeßzellen und Beschleunigungsmeßgeräten kann überdies das bisher übliche, zum Schutz der sehr dünnwandigen und empfindlichen Rohrfeder vorgesehene besondere Gehäuse entfallen.
  • In allen Anwendungsfällen der Erfindung werden durch die bauliche und fertigungstechnische Vereinfachung namhafte Kosteneinsparungen erzielt.
  • In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, daß bei Anordnung des Meßelementes in einem Gehäuseeinsatz, der mit dem Wandlergehäuse einen durch eine flexible Dichtung gegen die Meßstelle hin abgedichteten Kühlflüssigkeitsraum bildet, der Mittelteil der am Gehäuseeinsatz angeschweißten Membrane in an sich bekannter Weise als durckübertragemder Stempel ausgebildet ist, dessen äußere Stirnfläche zur Meßstelle hin frei- » liegt und an dem die flexible Dichtung, z. B. eine Ringmembrane, befestigt ist, und daß der zwischen der Membrane und der im Abstand von dieser angeordneten flexiblen Dichtung gebildete Ringraum mit dem Kühlflüssigkeitsraum verbunden ist.
  • Es ist zwar bereits ein Meßwandler bekannt, bei dem das Meßelement in einer von einem Gehäuseeinsatz selbst gebildeten dtinnwandigen Rohrfeder angeordnet ist, deren Bodenteil ale massive, gleichfalls mit dem Gehäuseeinsatz einstückig ausgebildeter druckübertragender Stempel ausgeführt ist. Die Rohrfeder ist von einem Kühlflüssigkeitsraum umgeben, der durch eine Ringmembrane zur MeBstelle hin abgedichtet ist. Der druckübertragende Stempel ist mit Querbohrungen versehen, welche mit dem Kühlflüssigkeitsraum in Verbindung stehen. Abgesehen von den fertigungstechnischen Schwierigkeiten, mit denen die Herstellung des komplizierten, zum Teil außerordentlich dünnwandigen Gehäuseeinsatzes verbunden ist, besteht auch bei diesem Meßwandler wegen der relativ groBen Masse des druckübertragenden Stempels eine verhältaismäßig hohe Beschleunigungsempfindlichkeit. Eine relativ harte Federungscharakteristik und nicht in allen Fällen befriedigende Kühlverhältnisse sind weitere Nachteile dieser bekannten Wandlerbauart.
  • Bei der letztgenannten Wandlerausführung nach der Erfindung ergeben sich demgegenüber wesentlich verbesserte KUhlbedingungen für das Meßelement, da der flexible diinn- ~ wandige Teil der Membrane von auben von Kishlwasser bespUlt wird, sodaß die Wärmeleitung vom Stempel der Membrane an den Gehäuseeinsatz stark reduziert ist. Dies fuhrt zu einer beträchtlichen Abnahme der durch Wärmedehnungen hervorgerufenen Meßfehler.
  • In manchen Fällen kann es sich erfindungsgemaß als vorteilhaft erweisen, wenn zur Vergrdßerung des elastisch verfoxmbaren ringförmigen Teiles der Membrane der an der Innenseite der Membrane anliegende Bauteil des Meßelementes, z. B. eine der Meßkristallanordnung vorgelagerte Ausgleichs- » scheibe in an sich bekannter Weise einen zur Membrane hin verjüngten und zur Auflagefläche an der Membrane angerundeten Abschnitt aufweisto Damit werden die gunstigen Federungseigenschaften einer plattenfederartigen Membrane weitgehend ausgenützte Durch die Verjüngung und Anrundung des an der Innenseite der Membrane anliegenden Wandlerteiles wird die Berührungsfläche zwischen der Membrane und dem Meßelement verkleinerts wobei auch der Wärmeaustausch zwischen diesen Teilen vermindert wird.
  • Die Erfindung wird im folgenden an Ausführungsbeispielen an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen Fig. 1 einen Axialschnitt eines gemäß der Erfindung ausgeführten wassergekühlten Druckgebers, Fige 2 ein anderes Ausführungsbeispiel eines Druckgebers ohne Wasserkubhlung, gleichfalls im Axialschnitt und Fig. 3 einen Axialachnitt einer LastmeBzelle gemäß der Erfindung.
  • Bei der wassergekühlten Ausführung eines piezoelektrischen Druckgebers nach Fig. 1 ist in einer abgestuften zentralen Längsbohrung 1 des Wandlergehäuses 2 ein abgesetzt zylindrischer Einsatz 3 angeordnet, der sich mit einem Absatz 4 an einem entsprechenden'Absatz der Gehäusebohrung 1 abstützt.
  • Der Einsatz 3 besitzt eine axiale Längsbohrung 5, in die ein Isolierrohr 6 eingesetzt ist. Die Langsbohrung 5 ist zur Meßstelle hin zu einer zylindrischen Kammer 7 erweitert, in der das piezoelektrische MeBelement innerhalb einer rohrfbrmlgen IsolierhUlse 8 angeordnet ist, Das Meßelement umfaßt eine Anzahl übereinander geschichteter Scheiben 9 aus piezoelektrischem Material, eine auf der innersten Scheibe 9 aufliegende scheibenförmige Ableitelektrode 10 sowie eine mittig durchbohrte, gleichfalls aus piezoelektrischem Material bestehende, auf der Ableitelektrode 10 aufliegende Scheibe 9', die sich an dem an der Ubergangsstelle der Längsbohrung 5 zur Kammer 7 gebildeten Gehäuseabsatz 11 abstützt. Auf der der Meßstelle zunächst liegenden Schreibe 9 des Meßelementes liegt eine Ausgleichsscheibe 12 auf, welche einen zur Meßstelle sich konisch verjüngenden Abschnitt 13 aufweist.
  • Die Ausgleichsscheibe 12 stützt sich am Boden einer als Plattenfeder ausgebildeten Membrane 14 ab, welche an ihrem Umfang einen hülsenartigen Zentrierrand 15 aufweist, entlang dem die Membrane 14 an der Stirnseite des mit entsprechenden Zentrierflächen versehenen Gehäuseeinsatzes 3 angeschweiBt isto Die Membrane 14 schließt die Kammer 7 hermetisch nach auBen ab und hält das Meßelement unter einer vorbestimmten axialen Vorspannung. Diese Vorspannung ist erforderlich, um jede eventuelle Spaltfederung zwischen den Scheiben des Meßelementes auszuschließen und die Messung von Drücken unterhalb des Atmosphärendruckes zu ermöglichen.
  • Der Mittelteil der Membrane 14 ist als druckUbertragender Stempel 16 ausgebildet, dessen äußere Stirnfläche zur Meßstelle hin freiliegt. Der Stempel 16 der Membrane 14 ist in den Innenring 17 einer als Rollmembrane ausgebildeten flexiblen Dichtung 18 eingepreßt, deren Außenring 19 in eine Eindrehung an der der Meßstelle zugekehrten Seite des Wandlergehäuses 2 eingesetzt ist. Die flexible Dichtung 18 verschließt einen zwischen dem Wandlergehäuse 2 und dem Gehäuseeinsatz 3 gebildeten, im wesentlichen hohlzylindrischen Kühlflüssigkeitsraum 20 gegen die Meßstelle hin. Der Kühlflüssigkeitsraum 20 ist in bekannter Weise über einen Zulauf-und einen Ablaufkanal 21 bzw. 22 und in das Gehäuse 2 eingeschraubte SchlauchanschluBstutzen 23 und 24 an ein nicht dargestelltes Kühlwassersystem angeschlossen. Mit dem Kühlwasserraum 20 steht der zwischen der Membrane 14 und der im Abstand vor dieser angeordneten flexiblen Dichtung 18 gebildete Ringraum 25 in Verbindung, so daß die Membrane 14 von der Kühlflüssigkeit unmittelbar bespült wird. Durch die verstärkte Kühlung der Membrane 14 wird die Wärmeleitung vom Stempel 16 der Membrane zu den das Meßelement umgebenden Wänden des Gehäuseeinsatzes 3 stark behinderte Auf Grund der günstigen Kühlbedingungen ist dieser Druckgeber für hohe thermische Belastungen besonders geeignet. Er ist außerdem infolge der Verwendung einer plattenfederartigen Membrane 14 als Vorspannorgan für das Meßelement gegenüber Temperaturschwankungen weitgehend unempfindlich, da in der Membrane selbst im wesentlichen nur radiale Wärmedehnungen auftreten können, die jedoch keinen nennenswerten EinfluB auf deren elastische Vorspannung haben.
  • Beim Ausfthrungsbeispiel nach Fig. 2 handelt es sich um einen ungekühlten piezoelektrischen Druckgeber kleinster Abmessungen, der ein mehrfach abgesetztes zylindrisches Gehäuse 26 mit abgestufter zentraler Längsbohrung 27 besitzt.
  • Die das Meßelement enthaltende Kammer 28 befindet sich bei dieser Ausführung unmittelbar im hohlen Schaft 29 des Gebergehäuses 26 und ist gegen die MeBstelle hin durch eine plattenfederartige Membrane 30 abgeschlossen, die in ähnlicher Weise wie die Membrane des Druckgebers nach Fig. 1 mit ihrem hülsenartigen Zentrierrand 31 an der Stirnseite des Gebergehäuses 26 angeschweißt ist.
  • Das piezoelektrische Meßelement des Druckgebers der Figo 2 besitzt prinzipiell den gleichen Aufbau wie das Meßelement der Wandlerausfuhrung nach Fig. 1. Es entfällt jedoch die Zentrierung des Meßelementes durch eine Isolierhülse, da bei dieser Ausführung die Ausgleichsscheibe 32, die piezoelektrischen Kristallscheiben 33, die Ableitelektrode 34 und die mittig durchbohrte Scheibe 33' z.B. durch Diffusionsschweißung zu einem starren Block miteinander verbunden sindo Die Zentrierung dieses Blockes erfolgt durch die in der Längsbohrung 27 des Gebergehäuses 26 angeordnete, in die Bohrung der Scheibe 33' hineinragende Isolierhülse 35, durch die die Anschlußleitung 36 der Ableitelektrode 34 zu der nicht dargestellten Anschlußbuchse des Druckgebers heraubgefffhrt ist.
  • In Abwandlung dieser Ausführung ist auch eine Zentrierung des zu einem Block verschweißten MeBelementes an der Membrane 30 möglich, beispielsweise durch Anschweißen der Ausgleichsscheibe 32 an der Innenfläche der Membrane vor deren Montage am Wandlergehäuse.
  • Die in Fig 3 dargestellte piezoelektrische LastmeB-zelle besitzt ein hohlzylindrisches Gehäuse 37 mit ebenem Boden 38, in dem das Meßelement innerhalb einer rohrformigen Isolierhülse 39 angeordnet ist. Das Gehäuse 37 ist wie bei den vorerwähnten Wandlerausführungen durch eine angeschweißte Plattenfedermembrane 40 verschlossen, deren Mittelteil 41 jedoch zwecks Aufnahme der die Membrane 40 belastenden Meßkraft mit vergrößerter Wandstärke ausgefiihrt isto Das Meßelement der Lastmeßzelle umfaßt eine an Gehäuseboden 38 aufgelagerte Ausgleichsscheibe 42, der eine Scheibe 43 aus piezoelektrischem Material, eine scheibenförmige Ableitelektrode 44 und schließlich der von weiteren Scheiben 45 aus piezoelektrischem Material gebildete eigentliche Meßsatz folgt. Bine auf der obersten Scheibe 45 autelagerte abgesetzte Ausgleichsscheibe 46 stiitzt sich auf der Innenfläche des verstärkten Mittelteiles 41 der Membrane 40 ab.
  • Die Ableitung der positiven Ladungen der LastmeBzelle erfolgt über eine vom Mantel der Ableitelektrode 44 ausgehende Anschlußleitung 47, die in einem seitlichen AnschluBstutzen 48 des Wandlergehäuses 37 innerhalb einer Isolierhülse 49 zu einer in die Isolierhülse eingesetzten Anschlußbuchse 50 herausgefiihrt ist.
  • Auch die LastmeBzelle nach Fig. 3 weist die gleichen fertigungstechnischen und funktionellen Vorzüge wie die zuvor beschriebenen Wandlerausführungen nach der Erfindung auf, wobei noch hinzukommt, daß die bei Lastmeßzellen bisher übliche, zum Schutz der überaus empfindlichen Rohrfeder erforderliche Schutzkappe in Fortfall kommt.
  • Die Erfindung beschränkt sich nicht auf die dargestellten und beschriebenen AusfUhrungsbeispiele und kann mit gleichem Vorteil auch an anderen piezoelektrischen Einrichtungen, beispielsweise an Beschleunigungsmeßgeräten angewendet werden.

Claims (3)

  1. P a t e n t a n s p r ü c h e : 1. Piezoelektrischer Meßwandler mit einer das piezoelektrische Meßelement enthaltenden Kammer, in der das Meßelement zwischen einem festen Auflager und einer die Kammer an der dem Auflager gegenüberliegenden Seite abschließenden, den MeBkräften ausgesetzten Plattenfeder unter axialer Vorspannung gehalten ist, d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, daß die den unteren Abschluß (14) eines Gehäuseeinsatzes (3) oder den unteren hohlen Schaft eines Wandlergehäuses (26) oder den Verschluß (40) des hohlzylindrischen Gehäuses (37) selbst bildende Plattenfeder als Membrane (14,30,40) mit hülsenartigem Zentrierrand (15, 31) ausgebildet und longs des Zentrierrandes an der Stirnseite des die Kammer mit dem Meßelement enthaltenden Wandlerteiles (329, 37) angeschweißt ist.
  2. 2. Piezoelektrischer Meßwandler nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß bei Anordnung des Meßelementes in einem Gehäuseeinsatz (3), der mit dem Wandlergehäuse (2) einen durch eine flexible Dichtung (18) gegen die Meßstelle hin abgedichteten Kühlflüssigkeitsraum (20) bildet, der Mitteli teil der am Gehäuseeinsatz (3) angeschweißten Membrane (14) in an sich bekannter Weise als druoktibertragender Stempel (16) ausgebildet ist, dessen äußere Stirnfläche zur Meßstelle hin freiliegt und an dem die flexible Dichtung (18), z.B. eine Ringmembrane, befestigt ist, und daß der zwischen der Membrane (14) und der im Abstand von dieser angeordneten flexiblen Dichtung (18) gebildete Ringraum (25) mit dem Kühlflüseigkeitaraum (20) verbunden ist (Fig. 1 ).
  3. 3. Piezoelektrischer MeBwandler nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daB zur VergröBerung des elastisch verformbaren ringförmigen Teiles der Membrane der an der Innenseite der Membrane (14,30,40) anliegende Bauteil des Meßelementes, z. B. eine der Meßkristallanordnung vorgelagerte Ausgleichsscheibe (12, 32, 46), in an sich bekannter Weise einen zur Membrane (14, 30, 40) hin verjungten und zur Auflagefläche an der Membrane angerundeten Abschnitt (13) aufweist.
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AT384676B (de) * 1983-07-07 1987-12-28 Avl Verbrennungskraft Messtech Messwertaufnehmer zur messung heisser medien und verfahren zur montage eines als druckaufnehmerausgebildeten messwertaufnehmers
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